石英晶體基礎(chǔ)知識

1、 石英晶體諧振器基礎(chǔ)知識培訓(xùn)教材深圳市銳晶星電子科技有限公司石英晶體諧振器基礎(chǔ)知識培訓(xùn)教材講 座 版（共8頁）2007年7月1日 第一章 石英晶體的基本特性第一節(jié)石英晶體的壓電特性 圖1-1示出了石英晶體具有壓電效應(yīng)的兩種現(xiàn)象。圖1-1a當(dāng)沿y 軸加壓縮力時，則在x軸正端垂直面上，出現(xiàn)正電荷（晶體的伸縮彎曲振動就是按此激起的）。圖1-1b中當(dāng)對晶體施加正切應(yīng)力時，則在垂直y軸的正端面出現(xiàn)正電荷（晶體的剪切振動就是按此激起的）。+ + + + + + + + + 圖1-1 晶體加外力示意圖上述現(xiàn)象表明石英晶體是一種各向異性的結(jié)晶體，它具有壓電效應(yīng)。當(dāng)沿某一機械軸或電軸施以壓力或拉力，則在垂直于這

2、些軸的兩個表面上產(chǎn)生異號電荷q。其值與機械壓力所產(chǎn)生的機械形變（位移）x成正比。即：q=k 1x (1-1)式（1-1）所表征的效應(yīng)稱為正壓電效應(yīng)，正壓電效應(yīng)是以機械能為因，電能為果的效應(yīng)。石英晶體還具有逆壓電效應(yīng)。如果在石英晶體片兩面之間加一電場e，則視電場的方向不同，晶體將沿電軸或機械軸延伸或壓縮，延伸或壓縮量x與電場強度e成正比，即：x=k2e （1-2）式（1-2）所表征的效應(yīng)稱壓電逆效應(yīng)。是以電能為因，機械能為果的效應(yīng)。由上面的討論可以看出，正、逆壓電效應(yīng)互因果關(guān)系。如果將石英晶體片置于交變電場中，則在電場的作用下，晶體片的體積將起壓縮和伸張的變化，由此形成機械振動，晶體的振動屬體波

3、振動，當(dāng)晶體片振動時，逆壓電效應(yīng)使得晶體片具有導(dǎo)電性，這種壓電性叫做壓電導(dǎo)電性。石英片固有的振動頻率取決于晶體片的幾何尺寸、密度、彈性和泛音次數(shù)。當(dāng)晶體片的固有振動頻率與加于其上的電場頻率相同時，則晶體片將發(fā)生諧振。此時振動的幅度最大，壓電效應(yīng)在晶體片表面產(chǎn)生的電數(shù)值和壓電導(dǎo)電性也達最大。因此，外電路中的交變電流也就最大。這是用以穩(wěn)定頻率的理論基礎(chǔ)。第二節(jié) 石英晶體在不同溫度下的各種變體在正常的壓力下，石英晶體隨著溫度的不同共有五種不同性質(zhì)的變體，即：(1)石英，其溫度低于573時為穩(wěn)態(tài)，就是我們通常用的壓電石英晶體。(2)石英,對石英加溫超過573時,即轉(zhuǎn)變?yōu)槭?它在573870之間為穩(wěn)態(tài)

4、,但此時沒有壓電效應(yīng),也不能用作壓電元器件了。（3）磷石英，當(dāng)對石英加溫超過870，石英變?yōu)榱资?，它?701470之間為穩(wěn)態(tài)。（4）方石英，當(dāng)對磷石英加溫超過1470時，磷石英變?yōu)榉绞?，它?4701710之間為穩(wěn)態(tài)。（5）石英玻璃，當(dāng)對方石英加溫超過1710時及以后即開始溶化，熔化后的石英，將溫度降低也不能上述五種形態(tài)可用下式開示： 573 870 1470 1710石英 石英 磷石英 方石英 石英玻璃由此看出，我們常用的石英，其臨界溫度為573 。若超過這一溫度，它將失去壓電效應(yīng)，這是我們在加工過程中必須十分注意的問題。第三節(jié) 石英晶體的物理特性各向異性是石英晶體典型的物理特性，它具

5、有以下物理常數(shù)。即：、密度率：2.649克/立方百米；、折射率:1.553(或1.5574),有旋光性；、聲 速:v=e/e e為楊氏系數(shù),隨方向改變有不同的取值；、熱膨脹系數(shù)：平行于光軸x=77.1010(0時) 垂直于光軸x=15.2410(0時)；、絕緣性能:平行于光軸r=110歐姆.厘米 垂直于光軸r=210歐姆.厘米；、導(dǎo)熱性能:沒z方向比沿垂直z方向的導(dǎo)熱性約大一倍；、彈性性能:其楊氏系數(shù)在各截面上是不相同。第四節(jié) 石英晶體的化學(xué)特性 石英晶體的化學(xué)性能穩(wěn)定，不受強酸的腐蝕，在一般情況下不溶解于水，不產(chǎn)生潮解，但石英晶體在氫氟酸和水玻璃中能夠溶解，因此，在加工過程中我們常用氫氟酸（

6、hf）作石英晶體的腐蝕劑，其化學(xué)反應(yīng)式如下：(1) si02+6hf=sif4+2h20+2hf=h2sif6+2h20(2) si02+4hf=sif4+2h20 3sif4+3h20=h2si02+2h2sif6 上述的溶解特性對石英也是各向異性的，沿光軸方向的溶解速度比沿垂直光軸方向要快100倍；電軸方向慢，而且電軸的負(fù)端比正端腐蝕速度還要慢。第五節(jié) 石英晶體的機械特性石英晶體的硬度為莫氏硬度七級，有良好的機械性能，但性脆，易碎裂，加工中要特別注意。由于石英晶體的硬度較高，幫通常采用高于它的硬度的磨料來研磨和切削。常用磨料見下表：磨料名稱硬度特征碳化硼（bc）10綠色天然金剛砂（c）10

7、效率高 壽命長天然金剛砂（al203）7-9常用天然白剛玉（al203）9破壞層大人造白剛玉（al203）9白色人造碳化硅（sic）9.59.75淺綠或灰色第六節(jié) 石英晶體的缺陷 上述石英晶體的一些特性都是對無缺陷的石英晶體而言,但實際上這種理想的石英在自然界是很少見,實際見到的多數(shù)都有某種缺陷,即使是人造石英也難以做到?jīng)]有缺陷,常見的缺陷有:(1) 雙晶:即兩個以上的晶體按一定的取向而生長的現(xiàn)象,其中兩光軸平行共生的有道芬雙晶,巴西雙晶;而兩光軸成一定的角度而共生的有日本雙晶等.(2) 蘭針:在晶體中呈現(xiàn)蘭色的針狀物,(當(dāng)光線通過晶體除蘭色光外,其余的光線被吸收),稱蘭針.(3) 節(jié)瘤:在晶

8、體中出現(xiàn)彼此大致平行的晶塊,好似小晶體塊嵌在大晶塊之中,稱節(jié)瘤.(4) 包裹體:在晶體中呈現(xiàn)不均一的裹物,常見的包裹體有固體、液體、氣體三種，這些物體在晶體中破壞了晶體的均一性。(5) 裂隙：在晶體中看似縫隙的痕物現(xiàn)象，稱裂隙，有開口裂隙和閉口裂隙兩種情況，在制造石英諧振器時是不允許有裂隙存在。(6) 幻境：晶體生長過程中多次中斷的痕跡，但它并不破壞晶格的完整性，若無其它毛病，這種晶體還是可以利用的。上述缺陷均應(yīng)在選料和加工的過程中，通過檢查及時發(fā)現(xiàn)和處理。第七節(jié) at切石英諧振器的特點at 切石英諧振器屬于厚度切變的理論、機電特性、規(guī)格設(shè)計、制造工藝、應(yīng)用條件等已完善，成為當(dāng)今壓電技術(shù)領(lǐng)域中

9、應(yīng)用最廣泛的一種切型。一、at切同其它切型相比，它具有以下特點：1、在很寬的溫度范圍內(nèi)（-55+125）具有良好的頻率溫度特性，因此無需進行溫度補償，就能滿足許多應(yīng)用領(lǐng)域的頻率穩(wěn)定度。比如，一般通信（訊）系統(tǒng)，家用電器、計算機、通用儀表等領(lǐng)域。2、q值高，目前高穩(wěn)定晶體振蕩器用的高精密石英晶體大多采用at切制成的高穩(wěn)定振蕩器其老化率可達510。3、 石英晶片體積小，便于小型化，片式化。4、頻率覆蓋范圍寬，從0.5m350mhz可穩(wěn)定地工作。5、設(shè)計和工藝制造比較成熟，適合于大量生產(chǎn)。6、不可廣泛用于穩(wěn)頻，而且可廣泛用于選頻，比如10.7mhz21.4mhz70mhz單片晶體濾器.二、at切頻率

10、溫度特性所謂頻率溫度特性，即石英諧振器的頻率依賴于溫度的變化關(guān)系，通常at切頻率溫度特性曲線可用如下公式表示：f/fa=（t-t0）+a2（t-t0）+a3(t-t0)+式中: f/fa頻率隨溫度的相對變化率 t任意溫度()a1a2a3系數(shù)值,它與石英片切角,幾何外形、振動形式、泛音次數(shù)等有關(guān)。在實際工作中，at切頻率溫度特性曲線，通常稱為三次曲線。三、at切厚度t 的計算。公式=1660n/f 式中n泛音次數(shù) f標(biāo)稱頻率（khz） 1660頻率常數(shù)第八節(jié) bt切石英晶體的特性bt切型是早期發(fā)展的高頻切型之一，后來由于at切型的優(yōu)點顯著，它就幾乎被at切型所取代。近幾年來對bt切型的進行研究發(fā)

11、現(xiàn)它的q值比at切型高一倍以上，此外它還有短穩(wěn)好、頻率常數(shù)大、加工較易等優(yōu)點。因此在現(xiàn)代電子玩具，兒童游戲機中廣泛地采用bt切石英晶體做為頻率源。 bt切頻率溫度特性為一拋物線。它的頻率溫度物性議程來：f/f0=abo（t-t0）1、 式中參考溫度t0與零溫度系數(shù)點（即拋物線預(yù)點）重合f/f0頻率隨溫度的相對變化率 t任意溫度 bo系數(shù)點2、bt切的厚度計算公式為：t=2560n/f 式中：kf頻率常數(shù) f頻稱頻率第一章 石英諧振器主要名詞、術(shù)語、定義1、石英諧振器是一種用于穩(wěn)定頻率和選擇頻率的重要電子元件。在有線通信、元線通信、廣播電視、衛(wèi)星通訊、軍用和民用產(chǎn)品中得到了廣泛的使用。以它具有的

12、高度精確和高度穩(wěn)定的特點，充分顯示了它在現(xiàn)代高技術(shù)的迅速發(fā)展中的作用和地位。2、晶體諧振器的等效電路3、石英諧振器的主要性能指標(biāo)有：標(biāo)稱頻率、調(diào)整頻差、溫度頻差（或總頻差），負(fù)載諧振電阻、機械性能等。4、晶體的頻率：由于晶體在電路的應(yīng)用中其電氣特性表現(xiàn)較復(fù)雜，與其相關(guān)的指標(biāo)頻率也有多個，主要的是：、 標(biāo)稱頻率（fo）：技術(shù)條件中所指定的頻率，也即用戶在電路設(shè)計和元件選購時所希望的理想工作頻率。、 串聯(lián)諧振頻率（fr）：指在規(guī)定條件下，晶體元件電氣阻抗為電阻性的兩個頻率中較低的一個頻率。根據(jù)圖1的等效電路，當(dāng)不考慮c0的作用，fr由c1和l1決定，近似等于所謂串聯(lián)（支路）諧振頻率、 負(fù)載諧振頻率

13、（fl）：在規(guī)定條件下，石英揩振器和負(fù)載電容串聯(lián)后所產(chǎn)生的諧振頻率。、 工作頻率：在給定電路上和規(guī)定條件下石英諧振器工作所產(chǎn)生的實際頻率。5、負(fù)載電容（cl）：從石英揩振器插腳兩端向振蕩電路方向看進去的全部有效電容為該振蕩器加給石英諧振器的負(fù)載電容，負(fù)載電容常用的標(biāo)準(zhǔn)值有12、16、20、30、50pf。負(fù)載電容與石英諧振器一起決定振蕩器的工作頻率，通過調(diào)整負(fù)載電容，一般可以將振蕩器的工作頻率調(diào)到標(biāo)稱值。產(chǎn)品說明書中規(guī)定的負(fù)載電容既是一個測試條件，也是一個使用條件，這個值可以根據(jù)具體情況作適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。負(fù)載電容太大時，雜散電容影響減小，但微調(diào)頻率下降、負(fù)載電容小時、微調(diào)率增加，但雜散電容影響增加

14、，負(fù)載諧振電阻增加，甚至起振困難，負(fù)載電容標(biāo)為即為串聯(lián)諧振。6、激勵電平（dl）：為石英諧振器工作時消耗的有效功率。其常用的標(biāo)準(zhǔn)有0.1、0.5、1、2、1mw,產(chǎn)品說明書中每種產(chǎn)品規(guī)定的激勵電平值是一個測試條件，也是一個使用條件，實際使用時，激勵電平可以適當(dāng)調(diào)整，激勵強，容易起振，但頻率老化加大。激勵太強甚至使石英片破碎，降低激勵，頻率老化可以改善，但激勵太弱時頻率瞬穩(wěn)變差，甚到不起振。7、at切型的基頻與泛音：at切石英片的基頻是指晶片振動的基波。由于工藝限制，最高在50mhz以下，電氣諧波與基頻是整數(shù)倍關(guān)系，兩者同時存在，at切石英片泛音是指晶片振動的機械諧波。近以為晶片基頻的奇數(shù)倍。晶

15、片泛音頻率必須工作在相應(yīng)的電路上才能獲得。我國晶體產(chǎn)品基頻單位用khz，泛音頻率用mhz。8、基準(zhǔn)溫度：測量石英諧振器參數(shù)時指定的環(huán)境溫度。恒溫型石英揩振器一般為拐點溫度范圍的中心值。非恒溫型石英諧振器為252。9、晶體的頻差：在規(guī)定條件下，基準(zhǔn)溫度的工作頻率相對于標(biāo)稱頻率的最大偏離值。頻差有以下幾個：、調(diào)整頻差：在規(guī)定條件下，基準(zhǔn)溫度的工作頻率相對于標(biāo)稱頻率的最大偏離值，計算公式為：f/f0max=（f1-f0）/fo（f1為基準(zhǔn)溫度下的工作頻率，f0為標(biāo)稱頻率）。、溫度頻差：在規(guī)定條件下，工作在溫度范圍內(nèi)諧振器的工作頻率相對于標(biāo)稱頻率的最大偏離值，計算公式為：f/f0max=（f2-f0）

16、/fo（f2為工作溫度范圍內(nèi)的最大工作頻率，f1為基準(zhǔn)溫度下的工作頻率）。10、晶體的電阻負(fù)載諧振電阻：在規(guī)定條件下，石英揩振器和負(fù)載電容串聯(lián)后在諧振頻率時的電阻。諧振電阻：在規(guī)定條件下，石英諧振器不串負(fù)載電容在諧振頻率時的是阻。11、靜態(tài)電容c0：co主要是石英片上電極間的電容和支架電容。支架電容較小，通常為0.5pf。c0=t a式中22與-y方向有關(guān)的介電常數(shù),a電極面積,t晶片厚度。12、動態(tài)電容c1：c1=kca/ta kc-電容系數(shù) n-泛音次數(shù)。13、 動態(tài)電感l(wèi)1:l1=klt/a kl電感系數(shù)。14、激勵電平相關(guān)性(dld)：iec1178中規(guī)定，在高、低兩激勵電平檢測晶體元

17、件諧振電阻的非線性。在額定激勵電平下具有相同電阻的晶體元件，在十分低的激勵電平下其電阻值就可能相差很大。低激勵電平下相差很大的電阻值說明阻尼力的非線性是離散的。通過dld試驗測量高、低兩激勵電平時，諧振電阻的非線性變化，可以嚴(yán)格地檢驗工藝水平。其試驗條件是晶體元件工作后至少貯存5天，先在不大于50ua,再在不小于1000ua條件下測出兩個諧振電阻。rr1/rr2不應(yīng)超過規(guī)定值。15、品質(zhì)因數(shù)q:q=l1/r1=1/c1l1 q值是反映晶體性能好壞的一個重要參數(shù),在一定程度上講,當(dāng)其他條件相同時,q值愈高晶振的頻率穩(wěn)定度愈高。16、頻率可調(diào)性：定義為（fl-fs）/fs（fl為加規(guī)定負(fù)載電容的諧

18、振頻率，fs為串聯(lián)諧振頻率）。17、老化（老化率）：晶體諧振頻率隨時間的變化稱為“老化率”。18、石英諧振器的應(yīng)用：主要應(yīng)注意其負(fù)載電容及激勵電平。對泛音晶體在電路上要采措施，將其不需要的泛音振蕩頻率抑制。第二章 部分石英晶體在電子工業(yè)中的應(yīng)用及分類 由于壓電石英晶體具有極其穩(wěn)定的物理，化學(xué)性能用它制成的產(chǎn)品作為各種優(yōu)質(zhì)的選擇穩(wěn)頻，傳能裝置設(shè)備被廣泛地運用于電子工業(yè)的各個方面，成為電子產(chǎn)品發(fā)展不可缺少的重要之器件，在國民經(jīng)濟各個領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用，使之成為開發(fā)前景看好，經(jīng)久不衰的產(chǎn)產(chǎn)品，在電子領(lǐng)域的問世起就被用于軍事目的，第一次，第二次世界大戰(zhàn)推動了石英晶體產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，可以說是戰(zhàn)爭

19、把石英晶體產(chǎn)品的應(yīng)用送到了前沿陳地。由于軍用的以美、英等國為首的許多男家都投入了大量的人力、物力、財力對石英晶體的基礎(chǔ)理論、性能特點、設(shè)計技術(shù)、生產(chǎn)工藝、應(yīng)用領(lǐng)域等各個方面都進行了廣泛的深入的研究，取得了許多突出的成績，在戰(zhàn)爭中發(fā)揮了意想不到的效果，其應(yīng)用也隨之迅猛擴大，從有線無線通訊、微波接力通訊、衛(wèi)星通訊，散射通訊、移動通訊、電子對抗、電子干擾、運載火箭到各種導(dǎo)彈，各種雷達及導(dǎo)航通訊、火控系統(tǒng)，遙控遙測遙感、軍用計算機其應(yīng)用幾乎深入到所有重要的軍事系統(tǒng)，使“石英晶體”一度成為“戰(zhàn)略物資”。進入六七十年代以后由于以彩電為主代表的家電產(chǎn)品和計算機領(lǐng)域大量使用石英晶體產(chǎn)品數(shù)量大大超過“軍用”而進

20、入了以“民用”展。同樣，由于電子工業(yè)特別是高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，將ic技術(shù)、光刻技術(shù)、微電子技術(shù)等引入石英晶體產(chǎn)品的生產(chǎn)加工工藝，又大大地促進了石英晶體產(chǎn)品向小型化，微型化、smt化、功能化、高穩(wěn)定、高頻段、高精度、高可靠、低老化、低功率方向發(fā)展。 今天，石英晶體產(chǎn)品已經(jīng)使我們工作生產(chǎn)更有效，家庭生活更舒服的革命中擔(dān)任了主要支柱的角色。一、 石英晶體具有以下幾方面的應(yīng)用1-1、目前主要應(yīng)用在以下幾個方面：、有線通信設(shè)備、載波通信、程控交換機、各種電話機、光通信機等；、各種廣播設(shè)備；、無線電通信設(shè)備（如：對講機、手機、尋呼機、數(shù)據(jù)通信、通信傳輸終端、衛(wèi)星通信、汽車電子、微波通信、移動通信、軍用電臺、

21、雷達、航空航天工業(yè)等）；、各種計算機和網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)（板卡、網(wǎng)卡、網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)品、調(diào)制解調(diào)器、顯示器、pc機、微處理機等）、u盤、傳真機、復(fù)印機、計算機應(yīng)用機器、工業(yè)機器人、各種機械電子設(shè)備、各種醫(yī)療設(shè)備；、各種計測儀器儀表；、各種消費類電子設(shè)備和家用電器（如: 彩電、無線話筒、vcd、dvd、evd、mp3、cd機、錄音筆、監(jiān)視器、音響、家庭影院、照相機、空調(diào)、自動洗衣機、手表、時鐘、定時器等）；、各種無線電玩具（如：遙控飛機、遙控車等）、電子游戲機等。1-2、正在和將來應(yīng)用的幾個方面：、新一代有線通信和無線通信設(shè)備（如:寬頻交換機網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)品、ip電話、sdh光通信、第三代數(shù)字移動電話和通信設(shè)備等）；、新

22、一代計算機、pc機、微處理機、顯示器、傳真機、打印機等；、新一代電子信息應(yīng)用類產(chǎn)品、各種ic卡和智能卡等；、各種檢測設(shè)備和辦公自動化設(shè)備；、新一代家用電器（如:智能空調(diào)、智能冰箱、智能洗衣機、數(shù)字彩電、機頂盒等）數(shù)碼照相機、數(shù)碼攝像機、數(shù)碼錄音筆、微型攝像器材；、新一代軍事和航天航空工業(yè)；、數(shù)字技術(shù)、光通信、生物工程等新技術(shù)的發(fā)展對石英晶體元器件有了新的需求；特別是目前正在蓬勃發(fā)展的機頂盒將逐漸以中檔以上石英晶體元器件取代vcxo。從以上幾個方面可以看出石英晶體元器件具有異常廣闊的前景。應(yīng)用領(lǐng)域分類1、 在雷達、導(dǎo)航、測控系統(tǒng)中的應(yīng)用。2、 在通訊中的應(yīng)用、有線和無線（移動）、微波等通訊領(lǐng)域。

23、3、 在計算機領(lǐng)域的應(yīng)用。4、 在家電方面的應(yīng)用，如：彩電及搖控器、磁帶錄像機、攝像機、音響、cd盤、電子鐘與電子表。5、 在電子儀器中的應(yīng)用，如：頻率計數(shù)器、超聲波應(yīng)用裝置、汽車電子裝置。6、 在傳感器領(lǐng)域的應(yīng)用，如：微量天平、電子稱、重力計、壓力計、溫濕度計、加速度計、濃度計等。7、 光學(xué)方面的應(yīng)用，如：大小棱鏡、濾光片、光低通濾波器。二、石英晶體的盒型、封裝種類及應(yīng)用分類。1、盒型：hc-49/u、hc-49u/s、hc-49/t、hc-50/u、smd、um型系列、to等。2、封裝種類：電阻封焊、冷壓焊、冷擠壓、火焰法、高頻感應(yīng)封裝等。3、石英晶體的應(yīng)用分類 穩(wěn)定的頻率產(chǎn)生功能：有石英

24、晶體諧振器、振蕩器和傳感器等。 穩(wěn)定的頻率選擇功能：有石英晶體諧振器、晶體濾波器和晶體鑒定器等。 穩(wěn)定的頻率傳播功能：如晶體延遲線。 穩(wěn)定的偏振光、雙折射旋光功能：如光學(xué)元件和光學(xué)儀器等。第四章 石英晶片的加工石英晶體諧振器的設(shè)計加工要達到客戶要求的指標(biāo)，必須有一定的工藝條件來保證。石英晶體諧振器的制造工藝流程方框圖如下：上片點膠被銀腐蝕清洗研磨拋光切割定向劃線石英原料測角測絕緣壓漏壓封微調(diào)出廠老化檢測印字包裝第一節(jié) 石英晶體的選料和磨面第二節(jié) 石英晶體的切型第三節(jié) 石英晶體的定向和劃線第四節(jié) 石英晶體的切割第五節(jié) 石英晶片的測角計算和切角誤差的校正第六節(jié) 石英晶片的研磨和拋光第七節(jié) 石英晶片

25、的倒邊和腐蝕第五章 石英諧振器的成品加工第一節(jié) 石英晶片的清洗通常石英晶片經(jīng)過研磨腐蝕后，表面沾附著多種有機或無機的污物，這些臟物的存在阻礙基至破壞了石英振子的正常振動，加此要進行嚴(yán)格的清洗。（2） 待被電極石英晶片的清洗 經(jīng)過文化館分頻后的晶片要嚴(yán)格清洗，烘干后進行電極鍍膜。我們用的是電子清洗液的方法，具體可看清洗工序作業(yè)指導(dǎo)書（3） 返修片的清洗返修片常常帶有金屬電極，銀點和導(dǎo)電膠等附著物清洗時首先要去除金屬和膠。對于銀可能酸來消除導(dǎo)電膠用硝酸來消除。（4） 水洗（自來水和去離子水）水洗是石英晶片清洗工藝中的一個重要環(huán)節(jié)，只有通過水的反復(fù)沖洗，才能把酸、堿洗后的殘留物及酸、堿根洗凈。（5） 意事項“清洗干凈的石英晶片不要長時間暴露在空氣中。因為空氣中的塵埃和各種有害氣體會造成石英晶片的再污染。實驗指出。若將洗凈的石英晶片放在普通的房間中暴露48小時，晶片表面碳元素的量就會明顯增加。第二節(jié) 石英晶片的被電極1、 被電極就是在石英晶片的兩個面上，蒸鍍上金屬膜。目的是便于施加電場和調(diào)整頻率。2、 極所用的金屬材料有金、銀、鋁等。其中金的物理、化學(xué)性能穩(wěn)定、純度高、初始老化時間長期老化特性也好，銀的物理、化學(xué)性能比金稍差。鋁的電極質(zhì)地輕，且鋁易氧化，可形成一層自然保護膜，性能穩(wěn)定，附差力好，但機械負(fù)載力小。3、被電極的方法有：陰極濺射法和真空蒸鍍法等。其中真空蒸鍍