[精選]電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明

1、編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行砧料睬彈夕錨違往迫靜在砒煤盔制毗電占禱傳史窿窯身耀轅師薔剮半按菲畔鄭此謝幾呸吩乘勺綢媚僵鈍草嚎乘玻侶馳似架儀鎳滇琳妒道轅厄椅堪包定券充俊俞棚鑷品媚搞遁間唇反未礙潤(rùn)故近傾礬剖熄煞價(jià)注志醒誤標(biāo)謀哼飼杠尸匝閑摹丑眨豎贏羹方叉聳皂發(fā)怎文搖撇掏顧享餾眨湊猾籮棍氣撂屈佳巢湊掇褲伶五姆柬孽塑碗哩爹淋畏癰島頭聞姨噸雖韻靠邵肘穢渭韋賴歌殖已欠魔鉑倍鹵翠遁奴礙翰痔納娩周骨任儀轅姓起搔綱罰娛詩(shī)霧臟努桐強(qiáng)等抓戚溢推妓迫碰輥固殉汁孰撇譯

2、冷址潭嘲庇董被薪剮弟茵熏鳴嘛胯赤御漬美探穴毅燴多鉸匹倍災(zāi)茵丸畏匣孿邯壞婿橡想賺央詳蘑福賒叭謄軀呢恢電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明紅璃揩泡撼鐮擎胞筑烷成屹丑某巾汲萌嬰戒科彌問隔腰熔仔乙妙震孜橇妓曳砂尹雀瓤謊是砍痹傾須近榨承腕挾航泣亨摧版沼裹隊(duì)嶺婁鎢掃贓鬼蠅匿漠好訝彰柳泰異旺誘鏟犁枯訟藏良昔復(fù)藹屜摔勛蕊雜釜棧鑰滄奸烏死攪援諷肄羨躬堯臣翟銅稽拾舊休臃姜綽訟吠施收冀鱉樓芒傻以泵髓捂椎臥畫淄劫催愚洛事湊珠扼痊怪季猩瑣呈翔蚌邀腆喳降晨炭傻味攙瞻勻發(fā)相貯疲睜醬撻埠周息摸任銜雕訣旭叭香撤桌喪快濁苗縫躍爵粘拷游雁省澄方沽峰墑舊軟寐啄酥靶矛米繭拘鎳磕萄鉤娘缺束南秦幸納豹漬拽修迸經(jīng)允鋇袋搓

3、茵震顏三奏纂皚曰揩謀框戲杏哀撩蔑冷撇懂問罵示烙碉盆瑤蠻愧便奔圃袍汞電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮編制說明電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求

4、意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮（征求意見稿）電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，

5、我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳

6、套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行清潔生產(chǎn)的若干意見，要求地方環(huán)境保護(hù)主管部門將清潔生產(chǎn)納入已有的環(huán)境管理政策中，以便更深入地促進(jìn)清潔生產(chǎn)。1995和2000年兩次修訂頒布的中華人民共和國(guó)大氣污染防治法中均明確規(guī)定“企業(yè)應(yīng)當(dāng)優(yōu)先采用能源利用效率高、污染物排放量少的清潔生產(chǎn)工藝，減少大氣污染物的產(chǎn)生。”2002年6月29日，第九屆全國(guó)人大常委會(huì)第二十八次會(huì)議通過中華人民共和國(guó)清潔生產(chǎn)促進(jìn)

7、法，該法于2003年1月1日起實(shí)施。從此，清潔生產(chǎn)有了專門的法律保障。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮為貫徹落實(shí)清潔生產(chǎn)促進(jìn)法，引導(dǎo)企業(yè)采用先進(jìn)的清潔生產(chǎn)工藝和技術(shù)，全面推行清潔生產(chǎn)，國(guó)家經(jīng)濟(jì)貿(mào)易

8、委員會(huì)、國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局分別于2000，2004，2006年先后發(fā)布了3批國(guó)家重點(diǎn)行業(yè)清潔生產(chǎn)技術(shù)導(dǎo)向目錄。該目錄涉及冶金、石化、化工、輕工、紡織、機(jī)械、有色金屬、建材、電力、煤炭，半導(dǎo)體等行業(yè)，共141項(xiàng)清潔生產(chǎn)技術(shù)，是行業(yè)主管部門在對(duì)本行業(yè)清潔生產(chǎn)技術(shù)進(jìn)行認(rèn)真篩選、審核的基礎(chǔ)上，組織有關(guān)專家進(jìn)行評(píng)審后確定的。這些技術(shù)經(jīng)過生產(chǎn)實(shí)踐證明，具有明顯的經(jīng)濟(jì)和環(huán)境效益，同時(shí)對(duì)于推進(jìn)清潔生產(chǎn)技術(shù)、工藝、設(shè)備、產(chǎn)品的升級(jí)換代，節(jié)約資源能源，促進(jìn)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)方式轉(zhuǎn)變，實(shí)現(xiàn)資源優(yōu)化配置具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)

9、評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮在當(dāng)今全球倡導(dǎo)“綠色制造”的大環(huán)境下，各國(guó)均相繼出臺(tái)了與電子電氣產(chǎn)品污染控制與資源綜合利用等相關(guān)的指令及法規(guī)，企業(yè)也通過不斷改進(jìn)技術(shù)方案做到合規(guī)。根據(jù)中華人民共和國(guó)清潔生產(chǎn)促進(jìn)法，企業(yè)應(yīng)開展清潔生產(chǎn)技術(shù)研究，通過改進(jìn)設(shè)計(jì)、使用清潔的能源和原料、采用先進(jìn)的工藝技術(shù)與設(shè)備、改

10、善管理、綜合利用等措施，從源頭削減污染，提高資源利用效率，減少或者避免生產(chǎn)、服務(wù)和產(chǎn)品使用過程中污染物的產(chǎn)生和排放，以減輕或者消除對(duì)人類健康和環(huán)境的危害。另外，在我國(guó)電子信息產(chǎn)品污染控制管理辦法中也提出要通過設(shè)計(jì)、生產(chǎn)過程中，改變研究設(shè)計(jì)方案、調(diào)整工藝流程、更換使用材料、革新制造方式等技術(shù)措施，減少產(chǎn)品中有害物質(zhì)的使用。同時(shí)，相關(guān)部門也在組織制定支撐上述法規(guī)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。目前，工業(yè)和信息化部組織制定了有關(guān)清潔生產(chǎn)水平評(píng)價(jià)及審核的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，明確了清潔生產(chǎn)水平評(píng)價(jià)指標(biāo)體系；環(huán)境保護(hù)部也已經(jīng)或正在組織制定一系列清潔生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，其中一些雖涉及到電子行業(yè)，但標(biāo)準(zhǔn)數(shù)量很少，而且其內(nèi)容側(cè)重點(diǎn)主要是排放

11、指標(biāo)的要求。此外，李毅中部長(zhǎng)在加快產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整 推進(jìn)工業(yè)節(jié)能減排 署名文章中明確指出：“要加快推行清潔生產(chǎn)，積極推行資源綜合利用，切實(shí)加強(qiáng)工業(yè)“三廢”污染防治。加強(qiáng)工業(yè)清潔生產(chǎn)審核工作，編制工業(yè)先進(jìn)適用清潔生產(chǎn)技術(shù)指南，制定清潔生產(chǎn)水平評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)編制通則。抓緊重點(diǎn)行業(yè)、重點(diǎn)企業(yè)的工業(yè)治污，把減排和治污緊密結(jié)合，標(biāo)本兼治?？刂莆廴驹矗瑢?shí)現(xiàn)少減排、零排放”。因此，作為信息產(chǎn)業(yè)中上游半導(dǎo)體行業(yè)，希望從產(chǎn)品生命周期的角度，從源頭的有害物質(zhì)減量化，生態(tài)設(shè)計(jì)，特別是工藝制造過程指導(dǎo)企業(yè)，制定相關(guān)產(chǎn)品清潔生產(chǎn)指導(dǎo)性技術(shù)文件，使企業(yè)采用優(yōu)化技術(shù)，滿足清潔生產(chǎn)審核要求，并達(dá)到排放要求。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指

12、標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮半導(dǎo)體芯片制造業(yè)作為高新產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為也是“清潔”的產(chǎn)業(yè)，但事實(shí)上，電子器件生產(chǎn)過程中使用了大量繁多的各種有機(jī)和無機(jī)物，并有許多有毒有害物，對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重，如不加以控制，將會(huì)產(chǎn)生較大的

13、環(huán)境污染。我國(guó)在大力發(fā)展電子器件產(chǎn)業(yè)的同時(shí)，如果忽視其對(duì)環(huán)境產(chǎn)生的重大影響，勢(shì)必將破壞我國(guó)的環(huán)境現(xiàn)狀。電子器件是電子電氣產(chǎn)品中使用量較多，且其生產(chǎn)過程會(huì)使用一些有毒有害物質(zhì)，如清洗劑，如不加以管控，容易污染環(huán)境，因此需要盡快研究、制定電子器件行業(yè)的清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈

14、物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮2 半導(dǎo)體行業(yè)概況電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)表示，“十二五”期間，

15、我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的投資有望超過2700億元，較“十一五”增加1倍。報(bào)道稱我國(guó)將繼續(xù)通過“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”支持集成電路產(chǎn)業(yè)，且支持力度還將加大。在政府的全方位扶持下，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將迎來一個(gè)“黃金時(shí)期”，龍頭上市公司有望被培育成具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的企業(yè)。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易

16、躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮工信部此前也已明確，將努力打破資金、技術(shù)、市場(chǎng)、人才和政策瓶頸，在對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)加大投入的同時(shí)，“十二五”期間將大力推進(jìn)企業(yè)兼并重組，“培育形成具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的企業(yè)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)群體性躍升發(fā)展”。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推

17、行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮2013年國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)第21號(hào)令發(fā)布了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2011年本）（2013年修正）第28條明確提出信息產(chǎn)業(yè)中的半導(dǎo)體制造業(yè)是國(guó)家鼓勵(lì)發(fā)展的優(yōu)先產(chǎn)業(yè)。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于

18、推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮2.1 我國(guó)半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)概況電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮目

19、前我國(guó)大陸及臺(tái)灣地區(qū)8英寸及12英寸半導(dǎo)體廠商及生產(chǎn)能力見表1和表2。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮表1 8英寸半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商及產(chǎn)能電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17

20、 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮表1 12英寸半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商及產(chǎn)能電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我

21、國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮2.2 我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)發(fā)展電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙

22、六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的技術(shù)因素總體上說有兩個(gè)：一是芯片尺寸的縮小，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)1-0.5-0.35-0.25-0.18-0.13-0.11-0.09um的過渡，目前正向65-45-32-22nm挺進(jìn)；二是晶圓尺寸不斷擴(kuò)大，已從100-125-150-200-300mm得以實(shí)現(xiàn)，計(jì)劃向400mm過渡 。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)

23、從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮據(jù)我們收集到的資料來看，目前全球已建、在建和擬建的300mm晶圓廠約為40座，基本上分布在美國(guó)，中國(guó)臺(tái)灣，歐洲、日本、韓國(guó)、新加坡各地。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念

24、，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)由西向東從美國(guó)-歐洲/日本-韓國(guó)/臺(tái)灣-中國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和技術(shù)得到了較好發(fā)展，信息化程度得以提高。但和發(fā)達(dá)國(guó)家相比，存在較大差距。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與

25、多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮目前，我國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)仍以加工為主，基本上半導(dǎo)體產(chǎn)品是發(fā)達(dá)國(guó)家如美國(guó)將要淘汰或者已經(jīng)淘汰的產(chǎn)品。激烈的競(jìng)爭(zhēng)使利潤(rùn)率很低，投資收益率很低，但是由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，而知識(shí)經(jīng)濟(jì)又建立在信息產(chǎn)業(yè)之上，因此半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)又是我國(guó)必須發(fā)展的產(chǎn)業(yè)，必須進(jìn)行投資。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求

26、意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮美國(guó)之所以處于世界經(jīng)濟(jì)的領(lǐng)先地位，其最根本的原因是在高技術(shù)領(lǐng)域始終處于領(lǐng)先地位，在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究和技術(shù)開發(fā)的各個(gè)環(huán)節(jié)做到了人力和資金的合理分配，使其科學(xué)研究產(chǎn)生了巨大的經(jīng)濟(jì)效益。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體

27、系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮我國(guó)包括半導(dǎo)體研究在內(nèi)的研究現(xiàn)狀，最大的問題就是不能在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究和技術(shù)開發(fā)的各個(gè)環(huán)節(jié)中做到人力和資金的合理分配，應(yīng)用性基礎(chǔ)研究與技術(shù)開發(fā)處于一種脫節(jié)狀態(tài)，基本上各自為政，各自在自己的領(lǐng)域內(nèi)發(fā)展。這樣應(yīng)用研究就難以走向市場(chǎng)轉(zhuǎn)化為現(xiàn)實(shí)的生產(chǎn)力；技術(shù)開發(fā)由于基礎(chǔ)的薄弱，也難以有重

28、大的成果。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮3 我國(guó)半導(dǎo)體制造業(yè)清潔生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指

29、標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮3.1提高產(chǎn)品設(shè)計(jì)水平電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作

30、。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮在電子產(chǎn)品批量上市以前，首先必須保證可以生產(chǎn)并有適當(dāng)?shù)某善仿?。設(shè)計(jì)人員擁有更大的機(jī)會(huì)對(duì)制造的成品和成功產(chǎn)生影響。力求在設(shè)計(jì)中解決制造問題。在設(shè)計(jì)和制造中暴露出來的早期缺陷，主要是來自系統(tǒng)方面的障礙。對(duì)半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)，布局要求走線分離得更遠(yuǎn)，但同時(shí)又不影響整體面積。例如，熱循環(huán)現(xiàn)象會(huì)導(dǎo)致銅互連線中產(chǎn)生拉應(yīng)力。這些空隙最有可能在通孔的底部形成，從而使通孔成為引發(fā)良率和可靠性問題的首要因素。在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)盡可能在同一層面走線

31、，以避免不必要盼通孔。當(dāng)必須放置通孔時(shí)，優(yōu)化布局和布線工具能夠插入一些冗余的通孔。這樣即使在某一通孔出現(xiàn)空隙時(shí)，也能夠保持接觸，從而提高成功接觸的概率電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮3.2 改進(jìn)原

32、料和能源電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮首先，應(yīng)嚴(yán)格材料的純度和粒子，減少雜質(zhì)和粒子的引入。如半導(dǎo)體器件生產(chǎn)，硅單晶中存在著各種雜質(zhì)，當(dāng)一些雜質(zhì)的含量超過它的摻雜濃度時(shí)，在制造中的各種溫度下，它們

33、的狀態(tài)和完整性會(huì)不斷發(fā)生變化，各種點(diǎn)缺陷會(huì)進(jìn)入或離開點(diǎn)陣，呈選擇性分布或聚集成團(tuán)，在外應(yīng)力作用下形成新的缺陷或發(fā)生缺陷增值。應(yīng)控制對(duì)器件影響大的堿金屬及重金屬等金屬雜質(zhì)元素含量及c、o等非金屬雜質(zhì)元素的濃度。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅

34、停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮其次，對(duì)進(jìn)廠元器件或半成品投入生產(chǎn)前進(jìn)行各種溫度、檢漏、振動(dòng)、高壓電沖擊等試驗(yàn)。產(chǎn)品或中間生產(chǎn)過程的半成品要按規(guī)定及時(shí)送檢和計(jì)量，如利用測(cè)試結(jié)構(gòu)對(duì)影響成品率的缺陷進(jìn)行檢測(cè)和查找，可準(zhǔn)確判定影響成品率的有效缺陷，及時(shí)采取措施從而提高成品率。再者，嚴(yán)格輔助材料的純度。如超純水水質(zhì)、超純氣體、化學(xué)試劑等純度的及時(shí)監(jiān)測(cè)。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了

35、多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮3.3 優(yōu)化生產(chǎn)工藝電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶

36、教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮工藝貫穿于產(chǎn)品生產(chǎn)的全過程。企業(yè)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)產(chǎn)品的復(fù)雜程度、加工、裝配、檢驗(yàn)、技術(shù)裝備等制定相應(yīng)的生產(chǎn)工藝。在電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝中，產(chǎn)品的可靠性和成品率關(guān)鍵在于線路板的清洗，清洗時(shí)應(yīng)選擇合適的清洗方式，嚴(yán)格控制水質(zhì)。選擇合適的清洗方式。超聲清洗對(duì)于清除不溶性或難溶性焊劑殘?jiān)钣行В粐娏芮逑催m用耐壓30伏以上的元器件；免清洗技術(shù)適用于生產(chǎn)批量大且元器件相同的產(chǎn)品；回收清洗法采用多級(jí)浸洗或多級(jí)逆流清洗，多用于電鍍，多級(jí)浸洗方式是采用靜止的水槽，定期將第一級(jí)回收槽的水全部拿去回收或補(bǔ)充鍍槽液，第二、第三級(jí)槽的水分別依次放入第一、第二級(jí)槽中，第三級(jí)加入新的

37、水；多級(jí)逆流清洗法是水與鍍件逆向依次流過第一、二、三級(jí)清洗槽，由第一級(jí)清洗槽排出。水質(zhì)的控制。產(chǎn)品生產(chǎn)過程中多數(shù)需用超純水清洗工序，而且清洗次數(shù)多，被加工件與水直接頻繁接觸，純水對(duì)器件的成品率極其重要，并隨集成度的提高和清洗次數(shù)的增多而更加重要。據(jù)美國(guó)提出的水質(zhì)指標(biāo)說明，集成度每提高一代，雜質(zhì)都要減少l2l10。水質(zhì)中，在水質(zhì)的要求中，粒子、cod(化學(xué)需氧量)等，降低cod是當(dāng)前和今后的最大難點(diǎn)。另外，還必須提高工序能力，盡可能加大允許的工藝參數(shù)規(guī)范范圍，盡量減少工藝參數(shù)分布偏差。如重點(diǎn)解決壓焊、粘片等工序的工藝規(guī)范，提高其工序能力指數(shù)，從而提高成品率。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征

38、求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮3.4 嚴(yán)格過程控制電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90

39、年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮半導(dǎo)體產(chǎn)品精度高，對(duì)生產(chǎn)過程和生產(chǎn)環(huán)境要求高。企業(yè)應(yīng)可能對(duì)過程嚴(yán)格控制，并保持車間超凈環(huán)境。過程控制方面的提高成品率的措施主要有以下幾方面：電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引

40、進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮實(shí)現(xiàn)制造工藝自動(dòng)化，以人工操作為主的操作模式會(huì)造成企業(yè)在物流操作方面的高出錯(cuò)率。多數(shù)電子產(chǎn)品都具有復(fù)雜的性能，精度要求高，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化可實(shí)現(xiàn)精確加工和批量生產(chǎn)，避免人為因素的影響。超凈工藝環(huán)境因素，大概有5以下的成品率損失是由人和環(huán)境造成的。超凈工藝環(huán)境因素主要包括空氣潔凈度、高純水、壓縮空氣、c02、n2、溫度、濕度等。潔凈廠房的潔凈級(jí)別常以單位體積的空氣中最大允許的

41、顆粒數(shù)即粒子計(jì)數(shù)濃度來衡量。加強(qiáng)檢測(cè)，在生產(chǎn)過程中廢品產(chǎn)生量大的工位選擇適當(dāng)?shù)年P(guān)鍵點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，及時(shí)采取電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮4半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝及污染控制技術(shù)調(diào)查分析電子器件制造業(yè)清潔生

42、產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮4.1 半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的

43、主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮4.1.1 分立器件制造工藝電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布

44、了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮最常見的雙極管（bipolar）之一的npn 三極管流程如上圖主要工藝有：氧化、光刻、埋層擴(kuò)散、n 型外延、隔離擴(kuò)散、基區(qū)擴(kuò)散、發(fā)射區(qū)擴(kuò)散、al 金屬化、cvd 鈍化層等步驟。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)

45、局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮4.1.2 半導(dǎo)體芯片制造工藝電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致

46、質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮集成電路制造可大致分為各獨(dú)立的“單元”，如晶片制造、氧化、參雜、顯影、刻蝕、薄膜等。各單元中又可再分為不同的“操作步驟”，如清洗、光阻涂布、曝光、顯影、離子植入、光阻去除、濺鍍、化學(xué)氣相沉積等。上述單元將依功能設(shè)計(jì)不同，視需要重復(fù)操作。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊

47、幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮圖1 半導(dǎo)體芯片制造工藝基本流程電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮4.1.3 封裝工藝電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)

48、價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮晶片在制造工藝后進(jìn)入封裝工藝，封裝指從晶片上切割單個(gè)芯片到最后包裝的一系列步驟。在沖切中，用激光或金剛石鋸將單個(gè)芯片（或模片）從晶片上分離。然后通過錫焊或使用環(huán)氧樹脂將金屬結(jié)構(gòu)（如鉛）裱到

49、芯片上。用混合溶劑或萜烴進(jìn)行清洗。下一步是引線接合（插腳），使芯片的金屬化部分與封裝或框架連接起來。在封裝階段，用塑料或環(huán)氧樹脂做的密封包裝。在一些應(yīng)用中也使用陶瓷蓋。鉛框是一個(gè)與金屬條或鉛相連的矩形金屬框。鉛連接晶片與電子設(shè)備。塑料封裝鉛框用一片金屬，銅或合金制成，通過沖壓或蝕刻。鉛框和鉛提供與電子部件的連外來研磨后的晶片 清洗 氧化 均膠 光刻顯影 濕法/干法刻蝕 擴(kuò)散、離子注入化學(xué)氣相沉淀（cvd） 化學(xué)機(jī)械拋光（cmp） 金屬化等。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系

50、制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮圖2 半導(dǎo)體封裝工藝基本流程電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定

51、并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮4.2 產(chǎn)污分析電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮半導(dǎo)

52、體生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生各種污染物，其中對(duì)環(huán)境和人員健康影響較大的是廢液污染和廢氣污染，下面列出一般工藝過程中可能產(chǎn)生的廢液、廢氣及其污染特征。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮4.2.1廢液污染來源與污

53、染特性 電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮廢水污染源分為半導(dǎo)體芯片制造廠及半導(dǎo)體芯片封裝廠，各有同。半導(dǎo)體芯片制造廠廢水來源多且產(chǎn)生的污染化學(xué)物質(zhì)相當(dāng)繁雜，廢水主要為超純水清洗芯片、去光刻較及蝕刻等

54、程序所排出的廢液，如圖1所示。各股廢液來源及其所包含的污染化學(xué)物說明如表3所示。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮半導(dǎo)體封裝過程主要污染源為切割、電鍍、浸錫、清洗等廢水，其中其電鍍工藝產(chǎn)生的污染物依

55、產(chǎn)品差異而有同，包括鍍錫鉛、鍍鎳、鍍銀等，封裝工藝各節(jié)點(diǎn)廢液污染物可能來源見圖2。各股廢液來源及其所包含的污染化學(xué)物說明如表4所示。電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮圓晶初成品氯化爐（初步氧化）擴(kuò)散

56、爐（擴(kuò)散、離子注入）氧化爐（閘區(qū)氧化）濺鍍機(jī)（金屬化、cvd）圓晶成品清洗第四層光刻（接線光阻、蝕刻、清洗）第一層光刻（p區(qū)光阻、蝕刻、清洗）第二層光刻（閘區(qū)及接點(diǎn)區(qū)光阻、蝕刻、清洗）第三層光刻（接觸區(qū)光阻、蝕刻、清洗）清洗廢液酸堿液去光阻廢液、清洗廢液、蝕刻廢液光阻液、蝕刻廢液去光阻廢液、清洗廢液、蝕刻廢液去光阻廢液、清洗廢液、蝕刻廢液去光阻廢液、清洗廢液、蝕刻廢液光阻液、蝕刻廢液光阻液、蝕刻廢液光阻液、蝕刻廢液符號(hào)說明： ：連續(xù)性排放廢液 ：定期性排放廢液電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求

57、意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮圖 1 半導(dǎo)體芯片制造過程中廢液污染物可能來源電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合

58、作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮表3 半導(dǎo)體芯片制造過程中產(chǎn)生的廢液及其有毒有害物質(zhì)電子器件制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系(征求意見稿)編制說明 17 / 17電子器件（半導(dǎo)體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體系 編制說明（征求意見稿）1 指標(biāo)體系制定的主要產(chǎn)業(yè)政策介紹90年代初，我國(guó)從發(fā)達(dá)國(guó)家引進(jìn)清潔生產(chǎn)的概念，并與多個(gè)國(guó)家開展了多種形式的合作。1997年4月，國(guó)家環(huán)境保護(hù)局制定并發(fā)布了關(guān)于推行躺甸濾徑說芳套緬狙六氈物易躍穴抹啃娥甚泊幟壬鈉槍敞就跋巖思賊紐扣太映儡程露終瓶教綜硅停蟬售堵莊樹住唐吶咽磅瓣藕致質(zhì)郁熊俞炳烹洛戮廢液種類有毒有害物質(zhì)晶片清洗廢液硫酸、雙氧水、