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文檔簡介

1、光刻膠涂布與曝光正光阻正光阻負(fù)光阻負(fù)光阻分辨率高分辨率低黏結(jié)能力差黏結(jié)能力好與mask暗場圖形一致與mask亮場圖形一致成本高成本低光刻膠分類E&H GF2結(jié)構(gòu)采用正性干膜光刻膠萊寶 GG結(jié)構(gòu)采用正性濕膜光刻膠曝光機(jī)理UV光光罩光阻顯影后負(fù)光阻(BM、R、G、B、 PS layer)(見光留)正光阻(MVA、TFT layer)(見光死)Cr膜玻璃基板石英 GF2結(jié)構(gòu)使用干膜光刻膠,采用雙面熱壓roller形式上膠。 膜厚在線不可調(diào)控,膜厚由DFR決定,E&H 1st DFR 厚度15um,2nd DFR 厚度 30um,不易產(chǎn)生針孔,分辨率低,工藝制程簡單。 GG使用濕膜光刻

2、膠,采用單面壓輥或刮刀涂布方式上膠。 膜厚在線可通過走速/抽泵強(qiáng)度調(diào)控,厚度1.4um2.3um,易產(chǎn)生針孔,分辨率高,工藝制程復(fù)雜,涂布后需軟烘烤后才能曝光。涂布方式 GF2結(jié)構(gòu) 主要控制參數(shù):壓輥溫度,壓輥壓力 主要品質(zhì)問題:氣泡,異物,附著不良 GG結(jié)構(gòu) 主要控制參數(shù):涂布速度,抽泵頻率,壓輥壓力 主要品質(zhì)問題:膜厚不均,針孔,異物主要控制參數(shù)及品質(zhì) GF2結(jié)構(gòu)1st exposure:雙面接近式曝光,分辨率低,不易造成產(chǎn)品缺陷及mask劃傷,6個對位鏡頭,雙面同時對位2nd exposure:雙面接觸式曝光,分辨率低,易造成產(chǎn)品缺陷及mask劃傷,4個對位鏡頭,雙面同時對位 GG結(jié)構(gòu)單

3、面接近式曝光,分辨率低,不易造成產(chǎn)品缺陷及mask劃傷, 2個對位鏡頭,單面對位曝光方式GG對位方式 (Glass stage 校準(zhǔn))maskglass 鉻版mask(石英基板) 對320-450nm波長有很好的透過率,變形尺寸小,精度高5um,成本高 干版mask (鈉鈣玻璃基板) 對320-450nm波長有較好的透過率,變形尺寸小,精度較高20um 菲林 對320-450nm波長有的透過率低,變形尺寸大,精度較高30umMask 分類E&H GF2結(jié)構(gòu):1st exposure支持玻璃mask及菲林,2nd exposure 只支持菲林萊寶 GG結(jié)構(gòu):使用鉻版mask主要控制參數(shù)及品質(zhì) 主要控制參數(shù):曝光強(qiáng)度,曝光gap, 曝光時間 主要品質(zhì)問題:曝光不均,異物,過曝光,曝光不足

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