潔凈室的運(yùn)行管理

1、 新風(fēng)新風(fēng)粗效過濾器中效過濾器空調(diào)機(jī)組空調(diào)機(jī)組回風(fēng)送風(fēng)工作區(qū)工作區(qū)回風(fēng)夾道差壓計(jì)高效過濾器高效過濾器不同衣著、不同動(dòng)作時(shí)的人體產(chǎn)塵量 產(chǎn)塵狀態(tài) 衣著0.5um顆粒數(shù)/pc.（min.人）-1 一般工作服 白色無菌工作服全包式潔凈工作服靜站3391031131035.6103靜坐3021031121037.45103腕上下運(yùn)動(dòng)298010330010318.7103上身前屈224010354010324.2103腕自由運(yùn)動(dòng)224010328910320.5103脫帽1310103頭上下左右63110315110311.2103上身扭動(dòng)85010326710314.9103屈身3120103605

2、10337.3103踏步230010386010344.8103步行2920103101010356103國內(nèi)外的一些單位在某些場所通過污染平衡關(guān)系或采用實(shí)驗(yàn)室方法測定得到人體發(fā)塵量的數(shù)據(jù)。見上表。由表中所列數(shù)據(jù)可以看到，工作人員著白色無菌工作服的人體產(chǎn)塵量是在相同動(dòng)作情況下著一般工作服的產(chǎn)塵量的1/51/3，而全包式潔凈工作服的產(chǎn)塵量就更少了?？梢娺x擇合適的材質(zhì)和形式的潔凈工作服是十分重要的。（5）、潔凈室工作人員須知）、潔凈室工作人員須知在生物潔凈室，特別實(shí)在生物安全實(shí)驗(yàn)室工作的人員，操作完畢后，首先脫掉防護(hù)衣和其他實(shí)驗(yàn)室專用內(nèi)衣（拿出實(shí)驗(yàn)室前要滅菌處理），然后立即洗手、淋浴、洗臉等，在洗

3、手之前不得走出實(shí)驗(yàn)室或吸煙、吃東西、上廁所，個(gè)人佩帶的手表等物品也不得在洗手前戴上，即使使用橡膠手套，在操作完畢后也要洗手，因?yàn)槭痔子行】铡⒘严痘蛴捎谥讣讋潅赡芰粝虑秩胛廴镜耐緩?。（7）、 潔凈室人員退出時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng)（8）、對(duì)進(jìn)入潔凈室人員情況的登記對(duì)進(jìn)入潔凈室人員情況的登記（1）、對(duì)潔凈室工作人員特別是技術(shù)人員進(jìn)行培 訓(xùn)教育，應(yīng)掌握的內(nèi)容如下：制作潔凈工作服的材料應(yīng)選用不易透過污染物的面料，并在穿著、作業(yè)、洗滌以及其他處理后應(yīng)很少起塵或不起塵，不起毛、不掉毛；潔凈服在摩擦?xí)r應(yīng)不產(chǎn)生靜電等，對(duì)潔凈服的性能要求：能夠滿足制作潔凈服衣料性能要求的面料有合成纖維尼龍和聚脂長纖維。鑒于聚酯具有

4、耐熱性、尺寸穩(wěn)定性、耐老化（變黃）、洗滌耐久性及纖維加工等方面的優(yōu)點(diǎn)，近年來采用聚酯類材料較多，但是聚酯類材料易產(chǎn)生靜電，所以如何提高防靜電性能便成為業(yè)內(nèi)外人士十分關(guān)注的問題，為此可采用： 潔凈服制作過程中應(yīng)注意： 潔凈室用鞋。由于布鞋、拖鞋容易產(chǎn)塵，在潔凈室不得使用；潔凈室用鞋、鞋套、鞋罩均可洗滌，有的潔凈室也可使用一次性緊口塑料鞋套；在鞋套的邊緣和腳脖處要逢上寬緊帶，以防鞋套下滑，鞋套應(yīng)為長筒的，其長度應(yīng)能把整個(gè)褲腿下擺完全包在里面。（3）、潔凈工作服的清洗 潔凈服在衣料生產(chǎn)、逢制和穿用過程中，不可避免會(huì)帶上污染物，纖維本身也會(huì)因摩擦脫落纖維。所以新潔凈服在使用前或使用一定時(shí)間后，都應(yīng)進(jìn)行

5、清洗。根據(jù)實(shí)驗(yàn)和控制，采用不同清洗方法、不同的水質(zhì)清洗，清洗后的潔凈服在使用過程具有不同的產(chǎn)塵量。wA、普通水洗，需用經(jīng)0.3um過濾精度的過濾器過濾后的自來水，使用工業(yè)洗衣機(jī)進(jìn)行清洗。清洗方法與一般服裝基本相同，但必須選用中性、去污力強(qiáng)、且易漂洗的洗衣粉，盡量采用溫水。水溫宜為：聚酯衣料6070，尼龍布料5055，最高60。清洗后應(yīng)在7級(jí)（10000級(jí)）的潔凈環(huán)境中晾干。wB、普通水洗+純水漂洗，這種清洗方法與“普通水洗”基本相同，只是在最后漂洗時(shí)，需使用純水進(jìn)行漂洗，洗后應(yīng)在7級(jí)（10000級(jí)）的潔凈環(huán)境中進(jìn)行烘干。wC、專用清洗溶劑清洗，為了去除溶性污染物，先用普通水洗方法濕洗，然后再用

6、經(jīng)過蒸餾處理后的專用溶劑進(jìn)行清洗，洗后應(yīng)在7級(jí)（10000級(jí)）的潔凈環(huán)境中烘干。潔凈服清洗過程中應(yīng)注意以下事項(xiàng): 潔凈服清洗前，應(yīng)認(rèn)真檢查有無破損，紐扣、拉練等附件是否完好；對(duì)有缺陷的應(yīng)進(jìn)行修理，更換或廢棄。潔凈工作服清洗場所的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)不低于ISO8級(jí)；并應(yīng)設(shè)層流罩等局部凈化裝置，在與使用潔凈服的場所的空氣潔凈度等級(jí)相適應(yīng)的環(huán)境下進(jìn)行潔凈服的整理，包裝等操作。濕法清洗和干式清洗用水均需采用過濾精度為0.3m的過濾器過濾。在進(jìn)行漂洗透水時(shí)，使用抗靜電劑以提高抗靜電性能。潔凈服干燥后，應(yīng)在潔凈服洗滌用專用潔凈室內(nèi)整理疊好，裝入潔凈的聚酯或尼龍袋內(nèi)，通常為雙層包裝。潔凈室內(nèi)的清掃在潔凈室內(nèi)產(chǎn)

7、品生產(chǎn)過程中生產(chǎn)設(shè)備的塵粒污染是不可忽視的，據(jù)資料介紹，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)過程中生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)塵量要占總微粒污染量的30%左右，可見其影響之大。污染的類型，除了影響制作微塵污染外，還有可使器件物性惡化的鈉、鉀等堿金屬和銅、鐵等重金屬分子或分子級(jí)污染。所謂生產(chǎn)設(shè)備的污染，雖然有的是生產(chǎn)工藝固有的污染，但是還有源于設(shè)備制作材料、生產(chǎn)過程的原輔材料（包括反應(yīng)氣體、輸送氣體、吹掃氣體和清洗用純水等），工器具使用不當(dāng)和機(jī)械運(yùn)動(dòng)及其潤滑劑等的各類污染。還有在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中由于操作失誤也會(huì)造成不應(yīng)有污染。從各種潔凈室內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)的實(shí)踐表明，加強(qiáng)潔凈室內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程中生產(chǎn)工藝和設(shè)備的管理，確是降低室內(nèi)污染程度，提高產(chǎn)品質(zhì)量的重要措施。要十分認(rèn)真細(xì)致地觀察潔凈室內(nèi)的生產(chǎn)在盍過程中可能發(fā)塵的情況，特別是運(yùn)輸裝置、運(yùn)動(dòng)部件、機(jī)械手等可能成為污染源；還有各類泵、風(fēng)機(jī)等的電動(dòng)機(jī)內(nèi)部軸承之間磨擦的發(fā)塵情況等，并針對(duì)這些污染源的情況制訂相應(yīng)的管理措施和必要的對(duì)策。下表為潔凈室空氣空調(diào)設(shè)備的管理實(shí)例，供參考：空