等離子清洗機(jī)應(yīng)用及原理

1、等離子清洗機(jī)應(yīng)用及原理、金屬表面去油及清潔金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。在這種情況下的等離子處理會(huì)產(chǎn)生以下效果： 1.1灰化表面有機(jī)層表面會(huì)受到化學(xué)轟擊（氧下圖）hcfti?州癩出 tmWnlPhm tn omnt wtfh-在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下，污染物部分蒸發(fā)-污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出-紫外輻射破壞污染物因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用 1.2氧化物去除金屬氧化物會(huì)與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（下圖）這種處理要采

2、用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時(shí)也采用兩步處理工藝。第一步先用氧 氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體進(jìn)行處理。1.3焊接通常，印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等 離子方法去除，否則會(huì)帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。1.4鍵合好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過(guò)等離子方法 有選擇地去除。同時(shí)氧化層對(duì)鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進(jìn)行等離子清潔。二、等離子刻蝕在等離子刻蝕過(guò)程中， 通過(guò)處理氣體的作用， 被刻蝕物會(huì)變成氣相 （例如在使用氟氣對(duì)硅刻 蝕時(shí)，下圖）。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新

3、鮮的處理氣體覆蓋。不希望被 刻蝕部分要使用材料覆蓋起來(lái)（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料）。等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過(guò)氧氣可以灰化填充混合物，同時(shí)得到分布分析情況?？涛g方法在塑料印刷和粘合時(shí)作為預(yù)處理手段是十分重要的，如POM、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤(rùn)濕面積。三、刻蝕和灰化PTFE亥y蝕PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知，使用活躍的堿性金屬可以增強(qiáng)粘合能力，但是這種方法不容易掌握，同時(shí)溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護(hù)環(huán)境，還能達(dá)到更好效果。（下圖）FIFE bBfotfe plutrn a EreMuedtBEfR 曲 mi f桶“-polyn

4、i or chiatcj-atrucEuring surfdEe -produrirg ui i日term“血 IjvyrA. hydk傅切* 匚jvbon. flu onneC.腳和咂鯉世Y陋塑緲伽AM!PTFE 時(shí) ftreatfaefll：等離子結(jié)構(gòu)可以使表面最大化，同時(shí)在表面形成一個(gè)活性層，這樣塑料就能夠進(jìn)行粘合、 印刷操作。P1IHE Birnuni adh-eav? pow?i. |祉站MN伽事-capillary efFed.Q y pf essirig m. bfatti &1 X on line PTFE. 'Hip ©jm sffict- a vb

5、y ealloit.PTFE混合物的刻蝕PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細(xì)地進(jìn)行，以免填充物被過(guò)度暴露，從而削弱粘合力。PTFE-PTFE cwn pou-nd befctfe pl*gtna treattnetii8.a7tti 廠o opLiiri a trrntm entp/jfer plasma treatnuentBno-ugh elchedwell etchedover etched處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣?？梢詰?yīng)用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE 一樣是沒(méi)有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、

6、涂覆前要進(jìn)行處理。 同時(shí)，玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理相比不會(huì)損害樣品。同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣， 中空和帶縫隙的樣品也可以處理。不需要用溶劑進(jìn)行預(yù)處理« 所有的塑料都能應(yīng)用 具有環(huán)保意義 占用很小工作空間*成本低廉等離子表面處理的效果可以簡(jiǎn)單地用水來(lái)驗(yàn)證，處理過(guò)的樣品表面完全被水潤(rùn)濕。長(zhǎng)時(shí)間 的等離子處理（大于 15分鐘），材料表面不但被活化還會(huì)被刻蝕，刻蝕表面具有最大潤(rùn)濕能力 常用的處理氣體為：空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等五、等離子涂鍍聚合ftedpitaftedlayw1after plasmtr

7、eaiment在涂鍍中兩種氣體同時(shí)進(jìn)入反應(yīng)艙，氣體在等離子環(huán)境下匯聚合。這種應(yīng)用比活化和清潔的要求要嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護(hù)層的形成，應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類(lèi)似PTFE材質(zhì)的涂鍍、防水涂鍍等。涂鍍層非常薄，通常為幾個(gè)微米，此時(shí)表面的親和力非常好。常用的有3種情況 防水涂鍍一環(huán)己物 * 類(lèi)似PTFE材質(zhì)的涂鍍含氟處理氣體親水涂鍍乙烯醋酸小型等離子清洗機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn)，與動(dòng)輒十幾萬(wàn)美元的大型產(chǎn)品相比小型等離子清潔小型機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn)：1、可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類(lèi)和處理程序。2、不會(huì)對(duì)人員的身體造成任何傷害。3、其成本對(duì)于等離子處理方法來(lái)說(shuō)是微不足道的。小型等離子

8、設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗和表面改性等場(chǎng)合。通過(guò)其處理，能夠改善材料的潤(rùn)濕能力，使多 種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。其具體應(yīng)用包括：1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是沒(méi)有極性的，因此這些材料在進(jìn)行粘合、油漆和涂覆之前要進(jìn)行表面活化處理。2、金屬去油及清潔金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。焊接操作前：通常印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離 子方法

9、去除，否則會(huì)帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。鍵合操作前：好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過(guò)等離子方法有 選擇地去除。同時(shí)氧化層對(duì)鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進(jìn)行等離子清潔。特點(diǎn)：* 操作簡(jiǎn)便、成本低廉* 高效真空電極* 氣體流量通過(guò)流量計(jì)和針閥實(shí)現(xiàn)精確控制* 功率可在200W以內(nèi)調(diào)節(jié)控制（完全能夠能夠滿足清潔需要，200W以上功率用于刻蝕）* 自動(dòng)阻抗匹配* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時(shí)間、功率、氣體、壓力安全保護(hù)功能：真空觸發(fā)、艙門(mén)鎖o小型等離子清洗、刻蝕機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn)，主要適合于大學(xué)、 科研機(jī)構(gòu)高科技生產(chǎn)單位的以下場(chǎng)合：半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)集成電路開(kāi)發(fā)真空電子行業(yè) TEM、

10、SEM樣品及支架清潔生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)與動(dòng)輒十幾萬(wàn)美元的大型產(chǎn)品相比具有以下優(yōu)點(diǎn)1、可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類(lèi)和處理程序。2、不會(huì)對(duì)科研人員的身體造成任何傷害。3、其成本對(duì)于等離子處理方法來(lái)說(shuō)是微不足道的。等離子設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合。通過(guò) 其處理，能夠改善材料的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī) 污染物、油污或油脂。其具體應(yīng)用包括：1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是沒(méi)有極性的，因此這些材料在進(jìn)行粘合、油漆和涂覆之前要進(jìn)行表面活化處理。2、金屬去油及清潔金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層， 在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。焊接操作前：通常印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離 子方法去除，否則會(huì)帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。鍵合操作前：好