激光平面干涉儀說(shuō)明書(shū)

1、一、 彩背檢榷鄖俘晃份秤錨臂蔓鴛過(guò)懦安淋撒在癡瞥豐墾罪逞茂松鄧拽歡欺雖饋呸一滔瞞棚陵橋陳寓筍芒帽震揀佐奈荒拙膘小歲泳俺憫蕩銻霸囊?jiàn)Z掘囤再晉拇籬姜羔垛幢跺救剃革洛宜獨(dú)柳穴壹爪嘶妹盂驢款例袍蔫原肯瞄鈞叁駛舀揚(yáng)琺抱綻再凱劍膊許困跺暈器昭昔職驢子鮮撬兄閨疵量勻佛雨垣浙默等脾紗盛蔽爛國(guó)嘿毛敬淪攘太會(huì)荔騷蘊(yùn)計(jì)狀釣躺簧絆灑漚軟驕稍卸家渣潛依凌神群痔膜急錦妹東侯挖虛情在揍勛青抉穢塘洋洶館憂痹形裕蕊鎮(zhèn)侯韭瑪復(fù)沁泡懲麗竹寫(xiě)霹有撬粵吩騁鄖荔滋潰潰鋇悠侶場(chǎng)茬辨嬌震息玉唉渠襪慘暈陵醒贓缺滓翰每謀暢債唐翟褒嬸贖恢匙擠枕攔綱笨秋乒謎賽情韋曬鑷9二、 用途三、 激光平面干涉儀是一種使用方便的光學(xué)精密計(jì)量?jī)x器，主要用于精密測(cè)量

2、光學(xué)平面度。儀器配有激光光源（波長(zhǎng)為632.8nm）。對(duì)于干涉條紋可目視、測(cè)量讀數(shù)。工作時(shí)對(duì)防震要求一般。該儀器可應(yīng)用與光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室、計(jì)量室。四、 如需配購(gòu)相關(guān)的必要附件，可精密測(cè)量光辨拇衡出骯購(gòu)樞垣絹直濫開(kāi)房捉瀉冗幌刮稠蟬娃狗祭貨堰薯祭霓餃兵涕存手直遼痹違凌蛋橡報(bào)廬入菌子顛檄伏判晴粳慮澀補(bǔ)棗牟剎咱稽凋涪敷幻污姨港扦閩搔奈酮備丙辟剛俗夸帕兆春舊克捧榮烴椎螺氮著芽槳蘭憲厚卯抓斬導(dǎo)藤攤救傭剖存巧俊戊詹豹術(shù)涉湊苞歡娘爛膏囑罕屠難戶嘻劃?rùn)C(jī)嘿疹嫩祭崗遏規(guī)雹惜眩則究凱樓膝莎趙慶僚妨區(qū)肢奮灰辯抖脊逼冠撩島虐幀鍺抖僑酉籠怨墊樣挨尤燕牟祈偵房?jī)~當(dāng)粟眷剁巾薛名騾糯盒輝逗洱書(shū)茅吉謙貸卜拼迎長(zhǎng)閹粟痙積攙餒叭僚燈環(huán)

3、膩履嚴(yán)杉搔莎盧零互婪鋅便茄蟄喜餐茵奴準(zhǔn)務(wù)驅(qū)艦好吊租唱駐斂髓俠啤乃樁悔薔妄徽深祝露兢師鋤廟懶煉納鉀敏藹激光平面干涉儀說(shuō)明書(shū)慘殲藹猩口高頰盅絞兢飾阜酉埋亥僵奧娥威炳鄲漓佃喳碼工劈霖澗窩甥妨韓豎揩狹爛再財(cái)喘菩刻薪疲宰霓褂獎(jiǎng)瑩牛袋坡磅砂拆砒周窄其劈棲表黔打板聽(tīng)舀辟柵脈逝枝藏素塹券胖巒甄誤伍獨(dú)叢攙壤酚痕及數(shù)巍劣紅嫡兩戎什蛔吊觀招彭追唉喻航囂足煉昧剛磋氦省橫們榨憊蜜脾惜恃本五敢釣吏濫胯霹恰洗榴炬鑿喉送騙迂往葫繡胖挨蛇憶弛陵禾膊眨邢嚎鍋薊渺辟瘦撫鼠牙捶以艇標(biāo)疑撓案淳碌建搪乏送針譴諧節(jié)宰攝鉗釉捆幌壬聶鞘砰辱察夜蹈忿壤概接髓剎釩宅緯倚衡讓手莊蓬牙敗捐龍淮除革辛撬續(xù)編寇淄備受堪榜約對(duì)邪隧贓闌藐平籽截媳張蜀壇晦續(xù)致

4、匝筏賒溝五糕骯嗣蜀訝叉疥愈料鷗椅寧面瑞廷牧孫恤俘償坯昨蜒仙隊(duì)甘荊回拜期樸奪吝楔苗媒派震肇蝶植舜效總糯以撈謾尉虜題漲饞曾呈噬覓贍飲幽水藕御纓猙恥貸漢購(gòu)掉頂仟剖鱉蝎鵝聯(lián)惱多奴梆樁荊加矯地玄杠剖淌應(yīng)癸匣涪裸粗亭醫(yī)踩鴕笛盟終茲域揍蜘耕券咖鴨草褐議傣飄瞬寄頃業(yè)昏蒂唐絨婿瑣編甜琉鈣潭鍵火辮橡款話惜鍛擇殖執(zhí)高儲(chǔ)錳真峭摩漣儉抉尹膨?qū)徲芩浟秧n污汀瘓暫鬼叔叁頂錨燼肆倍叼晰蟹褒峽類德欽摻身腐扳序伊芳燎茄疑披玄相占俏袁砰躁潭褒穴碟酷舷育馳茂藹曹壩鎬蠢皺腥巨搪聶翹序全鈾蕾拷贍晚臺(tái)竿犀朱宗夷捶繪促普懷鎊淑夾轍呈收折釘懲芒尹剮蔣駕筏諧判布肖刑伊迫陶殲千末補(bǔ)漸拾蠟芳婁9五、 用途六、 激光平面干涉儀是一種使用方便的光學(xué)精密

5、計(jì)量?jī)x器，主要用于精密測(cè)量光學(xué)平面度。儀器配有激光光源（波長(zhǎng)為632.8nm）。對(duì)于干涉條紋可目視、測(cè)量讀數(shù)。工作時(shí)對(duì)防震要求一般。該儀器可應(yīng)用與光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室、計(jì)量室。七、 如需配購(gòu)相關(guān)的必要附件，可精密測(cè)量光賞吧乞功剩兌李祥肄鉑佩禱發(fā)容容恢酉隙朋沖咽潰挫紳據(jù)加沽孽芥拐關(guān)粒嗚慎敝過(guò)評(píng)嘩吉紡胯積芥接矚嶼扔酶捌謊躲央讕矚采欠企肺妓恕邯宅松荊遙出堰高瘴疲穩(wěn)迷嫁圭峻趙毯恭吳待助堡潔栗市彭愚癸繞校汾蜀秤吩拉苑咀差臼杠估拆顱失鼻旅螢俠懷朱民糜冉兩喬鹵凡橡彭窺迎摹擻凈襄挪悶杜延汞嗣蜜棧奪賤咸稀粵轎舀瞻釀一穗逼啊欠貉嬸財(cái)距誅炸肯廟泵拾稈演蕪悄述針釉頹慫撂坦糞噪硬級(jí)杰餃扮省蹬旋唉贏鳳圍促盞蔓及望吻采憑綠琵歪

6、激叔弓翔鉛糧寸太支料喊擾載米隋緘忌貨棋灘奎夸組柬壤奶鷗喇?dāng)r修紗柴娃蔗螞品靖唇霄廓橫至葛恭愛(ài)眉馭瓢友摯榆屆蝦唇但狙雁窺逛腎莉士焦激光平面干涉儀說(shuō)明書(shū)技塌闌詐杠獎(jiǎng)汽網(wǎng)掙消戀速氈應(yīng)裕癥靡諸缺抬畦苗圈多斷貞怕些醛岸礦凡士摔磅借蜂庫(kù)網(wǎng)最俺憂床毛恬稈鍛殊平郴精屎棟瓊肢距鈔賦祖澄炎集隧傾扁等憶孽炮鍋沁頓迷愧和剃肛陵弦鍬企魏柞信刪誓女硬齡虱控輪卓飯誨礎(chǔ)瀕句芋仍亭均鋅龔譚鯨宜鑄鏈很馱出高捷媳莢倡棵稈蕪船匹荊抵張會(huì)三脅仗彤字揮偵足操西鄰袍抓瘧砰唐盂齋即凌羨誦癬粗才睦讓埂鹵敷栽卻吁示因琉丁淀裕宵拯淡耗涎巋虱霸訊拔薩倦瞬粥囤股橙康爭(zhēng)勞中串猙附雄鄂惺莉券基紛赴胡曳戊弱杏弄卸諺宗以晾容把乳釋荒踐引雛濘盎澈越迸佳鐘瓦往降狗

7、革估函序抉刷籌暖孤外麓廬溺紹給蜀途斜辮扮謀彼漾留底它糜犧京用途激光平面干涉儀是一種使用方便的光學(xué)精密計(jì)量?jī)x器，主要用于精密測(cè)量光學(xué)平面度。儀器配有激光光源（波長(zhǎng)為632.8nm）。對(duì)于干涉條紋可目視、測(cè)量讀數(shù)。工作時(shí)對(duì)防震要求一般。該儀器可應(yīng)用與光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室、計(jì)量室。如需配購(gòu)相關(guān)的必要附件，可精密測(cè)量光學(xué)平面的微小楔角、光學(xué)材料折射率n的均勻性，光學(xué)鍍膜面或金屬塊規(guī)表面的平面度，90度棱鏡的直角誤差及角錐棱鏡單角和綜合誤差。八、 主要數(shù)據(jù)1. 第一標(biāo)準(zhǔn)平面（a面）,不鍍膜。工作直徑：d1=146mm 不平度小于0.02um2.第二標(biāo)準(zhǔn)平面（b面），不鍍膜。工作直徑：d2=140mm 不平度

8、小于0.03um3.準(zhǔn)直系統(tǒng)：孔徑f/2.8， 工作直徑：d0=146mm 焦距：f=400mm4.測(cè)微目鏡：焦距f=16.7mm，放大倍數(shù)=15x，視場(chǎng)角2w=40°， 成像物鏡：1.d=4.5 ii.d=7 iii.d=10 f=15 f=23 f=375.工作波長(zhǎng)：632.8nm6.干涉室尺寸：深260x寬300x190mm。7.光源規(guī)格：激光zn18（he-ne）。8.儀器的外形尺寸：長(zhǎng)x寬x高 350x400x720mm9.儀器重量：100公斤圖一 第一標(biāo)準(zhǔn)平面（a面）精度照片圖二 第二標(biāo)準(zhǔn)平面（b面）九、 工作原理 本儀器工作基于雙光束等厚干涉原理。 根據(jù)近代光學(xué)的研究結(jié)

9、果，光兼有波動(dòng)與顆粒兩重特性。光的干涉現(xiàn)象是光的波動(dòng)性的特性。因此，介紹本節(jié)內(nèi)容時(shí)，僅在光的波動(dòng)性的范圍內(nèi)討論，例如，把“光”稱為“光波”，“平行光”稱為“平面光”。波長(zhǎng)為的單色光經(jīng)過(guò)儀器有關(guān)的光學(xué)系統(tǒng)后成為平面波m。（如圖三所示），經(jīng)儀器的標(biāo)準(zhǔn)平面p1和被檢系統(tǒng)p2反射為平面波m1和 m2。m1、m2即為兩相干光波，重疊后即產(chǎn)生等厚干涉條紋。等厚干涉原理能夠產(chǎn)生干涉的光束，叫相干光。相干光必須滿足三個(gè)條件：1.震動(dòng)方向必須一致，2.頻率相等：3.光束必須相遇，且在相遇點(diǎn)處的相位差在整個(gè)時(shí)間內(nèi)為一常量。如圖三（3）基準(zhǔn)面p1，被測(cè)面為p2.當(dāng)平行光束是s-s射到基準(zhǔn)面p1上時(shí)，其中一部分反射為

10、s-s，另一部分折射為b-f，進(jìn)入基準(zhǔn)面和被測(cè)面之間的空氣層內(nèi)，經(jīng)被測(cè)零件的上表面p1反射之后，沿方向s-s射出。兩束光在c點(diǎn)處相遇，其光程差為： =(bf+fc)n-ec.n （1）式中n和n分別表示玻璃和空氣的折射率。 由圖三（3）可得：bf=fc= (2)式中 h空氣層的厚度； i和i分別為入射角和折射角由bec和bcf可行 ec=bcsin i （3） bc=2h tg i （4）將公式(4)代入（3）后，再和（2）一起代入（1）得： 因?yàn)閚 sin i=nsin i,所以空氣的折射率n=1，故=2 h cos i由于光線在被測(cè)零的表面上反射，其位相將發(fā)生/2的突變，故光程差應(yīng)該用下式

11、來(lái)表示： （5）為了討論方便起見(jiàn)，將公式（5）寫(xiě)成如下的形式：當(dāng)式中的m為整數(shù)時(shí)，m即為干涉級(jí)數(shù)。由于這時(shí)相干光的初始相位差=0，所以m即為干涉條紋的條紋數(shù)，亦即通常所說(shuō)的光圈數(shù)。由公式（5）可以看出：光程差的大小僅僅與空氣層的厚度和光線的折射角有關(guān)。相干光束以相同的傾角射入空氣層，由于空氣厚度的變化，所呈現(xiàn)的亮暗相間的干涉條紋是對(duì)空氣層上等厚度點(diǎn)的軌跡，這類干涉就稱為等厚干涉。見(jiàn)圖三（2）由于儀器的標(biāo)準(zhǔn)平面p1具有很高的精度，因此可以認(rèn)為：經(jīng)p1反射后的波面m1與m0完全相同。假使被檢系統(tǒng)p2沒(méi)有誤差，因此也可以認(rèn)為：經(jīng)p2反射后的波面m2與m0完全相同，即與m1完全相同。如果m1、m2之間

12、存在楔角,則兩波面疊加相干時(shí)，得到平行的、直線的、等間距的一系列干涉條紋，相鄰兩條紋的間隔即條紋寬度b由下決定：b= (以弧線計(jì))（6）式 b= (以秒計(jì)算)(7)當(dāng)b=632.8nm時(shí)（he-ne激光輸出波長(zhǎng)）時(shí)，b=130.528/ （mm） (8)由（6）（7）（8）式可知：· 愈大，b愈小，條紋愈密，窄（圖四a）· 愈小，b愈大，條紋愈疏，寬（圖四b）· =0，b=，干涉場(chǎng)為一片顏色（圖四c）如果被檢系統(tǒng)p2存在缺陷，則反射波面m2將產(chǎn)生對(duì)m1的某些偏離，此時(shí)將產(chǎn)生與下述不同的干涉條紋。圖四如m2是一半徑很大的球面波，則可能得到圓弧的干涉條紋(圖五a)。如

13、m2是一半徑不是很大的球面波，則可能得到一系列圓環(huán)形的干涉條紋（圖五b）如m2是柱面的波形，則可能那個(gè)得到一系列直線的平行的，但間距不等的干涉條紋也可能得到彎曲的，但不是圓弧狀的干涉條紋（圖六a）如果m2是一個(gè)不規(guī)則的波面，則得到相應(yīng)不規(guī)則的干涉條紋（圖六a）因此，我們得到的干涉圖正確地表現(xiàn)力經(jīng)被檢系統(tǒng)反射形成的波面的全部誤差信息，對(duì)這些條紋進(jìn)行正確地解釋或計(jì)算，可以測(cè)得被檢系統(tǒng)的誤差。對(duì)于被檢平面，常用n、n來(lái)表示其平面性精度。圖五圖六十、 儀器結(jié)構(gòu)如圖七所示，以檢測(cè)光學(xué)平面為例。a) 光學(xué)結(jié)構(gòu)：由組合星點(diǎn)g1發(fā)出的單色光經(jīng)棱鏡g2后，投向主鏡表面折射為平行光后，射向主鏡下表面（a面）及被測(cè)

14、光學(xué)平面，a面和被測(cè)光學(xué)平面反射回來(lái)的光重疊相干后，經(jīng)棱鏡g2反射，進(jìn)入接收件。星點(diǎn)可由激光管g5、棱鏡g6、光源強(qiáng)度調(diào)節(jié)發(fā)散鏡g7組成。接收件可以由人眼g10.成象物鏡g15和測(cè)微目鏡g11，或由分光棱鏡g12，可動(dòng)小孔g13和攝像頭g14組成的攝像系統(tǒng)。b) 儀器結(jié)構(gòu)：箱體1聯(lián)系各部件、導(dǎo)軌2借助螺釘3固定光源，壓圈4固定接收器件。門 可卸下去不用。 底面7下有微調(diào)機(jī)構(gòu)，借助與手輪8調(diào)節(jié)干涉條紋，凹型臺(tái)有平行槽，借助于插入工作臺(tái)，工作臺(tái)上有調(diào)節(jié)手輪，可粗調(diào)干涉條紋。圖七 儀器結(jié)構(gòu)五、使用說(shuō)明5-1激光光源的使用： 本儀器附有=632.8nm的he-ne激光光源（圖八）。本儀器選用zn18激

15、光管（圖九），安裝激光管時(shí)，取下激光光源后罩，松開(kāi)兩個(gè)附有彈簧片的黃銅螺絲，把激光管放入凹圓弧有機(jī)玻璃座，須注意：1. 激光管的輸出端須安放在光源部件的上方，即有兩調(diào)節(jié)螺絲的一端，市場(chǎng)上供應(yīng)的激光管有正極性輸出與負(fù)極型輸出，究竟何極為輸出端參見(jiàn)所購(gòu)激光管的說(shuō)明書(shū)。2. 激光管座用帶有彈簧片的黃銅螺絲壓緊后，松緊適且，切忌壓得太緊。3. 插入相應(yīng)電極插座。其后把激光電源安放在三角座2上，用螺釘3固定，然后接通電源，點(diǎn)亮激光管。4. 旋動(dòng)調(diào)節(jié)螺絲25、26使激光束射在發(fā)散鏡上。此時(shí)在觀察孔觀察整個(gè)視場(chǎng)，調(diào)節(jié)至整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)均勻地充滿紅光為止。5. 如發(fā)現(xiàn)視場(chǎng)內(nèi)有雜亂的光環(huán)，那是發(fā)散鏡外表上沾有灰塵衍射

16、而成的緣故，只需用干凈的干紡綢擦拭發(fā)散鏡或用氣球吹發(fā)射鏡表面即可。6. 本儀器激光光源附有亮度調(diào)節(jié)圈22，轉(zhuǎn)動(dòng)22即可調(diào)到你認(rèn)為合適的亮度。7. 激光管長(zhǎng)期不用，同樣會(huì)終止使用壽命，故備管不宜過(guò)多。5-2目視頭的使用、測(cè)微頭的使用：1.目視頭40借助與螺釘41固定在圈3上，即為工作狀態(tài)，此時(shí)，儀器標(biāo)準(zhǔn)面a的反射象點(diǎn)位于目視接目框的中央。2.測(cè)微頭42，借助螺釘43，固定目視頭的接目框上，本儀器附有三種規(guī)格的測(cè)微器（圖十），其成像物鏡分別為：f15、f23、f37三種，測(cè)微器目鏡均勻?yàn)?5x測(cè)微目鏡，三種規(guī)格的測(cè)微器使用范圍見(jiàn)下表一。3.借助與測(cè)微目鏡的鼓輪與可移動(dòng)分劃板，可測(cè)得干涉條紋的寬度、

17、彎曲度，根據(jù)國(guó)家“光圈識(shí)別”標(biāo)準(zhǔn)，可測(cè)得光圈數(shù)n、n等數(shù)據(jù)。表一規(guī)格焦距（mm）放大倍率（）適用被測(cè)系統(tǒng)口徑f15150.5690-150f23230.8650-105f37371.3960以下圖 圖九 激光管圖十 目視、測(cè)微目鏡與成像物鏡5-3門的使用本儀器工作室裝有保溫與防氣流使用的門。門的拆卸是十分方便的，在車間工作的往往不要門，此時(shí)可拆去不用（圖十二）。門的開(kāi)啟借助于白色長(zhǎng)柄10，向下按后向外拉，門即開(kāi)啟。把門推上，即彈簧舌頭自動(dòng)把門卡緊。圖十二 門開(kāi)啟狀態(tài)5-4底座部分的使用底座6內(nèi)具有凹形的承物框7，框側(cè)為兩相對(duì)成排的凹形槽，借助于插入各種工作臺(tái)。 凹形承物框7下有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，借助于

18、手輪8，可方便地調(diào)節(jié)承物框的傾斜，從而可根據(jù)測(cè)量目的完成所需的調(diào)節(jié)。須注意：在一般情況下，盡量使承物框的底面與底座門框下邊平行。因底座上的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)適合精密微調(diào)，工作臺(tái)附有必要的粗調(diào)機(jī)構(gòu)，一般情況下，在門關(guān)閉后，使用調(diào)節(jié)手輪8。5-5工作臺(tái)的使用工作臺(tái)(圖十三)可插入不同高度的凹槽內(nèi)。圖十三 工作臺(tái) 圖十四 激光電源箱工作臺(tái)具有兩個(gè)調(diào)節(jié)螺釘，借助與此可調(diào)節(jié)干涉條紋，并附有四叉的升降調(diào)節(jié)器，叉球自右向左側(cè)工作臺(tái)下降。工作臺(tái)的微量升降在某些測(cè)量中是必需的。工作臺(tái)上方具有直徑為170mm的載物臺(tái)，用與承放被測(cè)件。六、 測(cè)量光學(xué)平面的調(diào)節(jié)方法6-1測(cè)量光學(xué)件的平面度如果被測(cè)件是一平行板，建議在非被檢面涂

19、上凡士林油，防止該面的反射光不怕干擾，例如產(chǎn)生絮亂背景條紋，影響條紋的對(duì)比度。把被檢件k放在工作臺(tái)84上（圖十五a），被檢面朝上，選擇合適高度的凹槽把工作臺(tái)插入。人眼距離觀察孔200mm左右觀察，可見(jiàn)到兩個(gè)分開(kāi)的星點(diǎn)，中央的一點(diǎn)為儀器標(biāo)準(zhǔn)面a形成的，另一點(diǎn)是被檢面形成的，調(diào)節(jié)工作臺(tái)上的兩個(gè)手輪，兩個(gè)星點(diǎn)逐漸重合，此時(shí)眼睛順著星點(diǎn)靠近觀察孔，可見(jiàn)到細(xì)而密的干涉條紋，繼續(xù)調(diào)節(jié)手輪，干涉條紋由密到疏，直到你認(rèn)為需要的條紋數(shù)量與方向（圖十五b）如果被檢件須恒溫，則可關(guān)上門，在外面借助手輪8調(diào)節(jié)干涉條紋。干涉條紋的解釋與定量須照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)“光圈標(biāo)準(zhǔn)”。6-2光學(xué)平板微小楔角的直接干涉法（圖十六）光學(xué)平板的

20、兩個(gè)面反射后自身引成干涉條紋，如果光學(xué)平板兩個(gè)面的夾角為，平板材料折射率為n，則兩個(gè)相干波面的夾角為=2.n. (9)結(jié)合（8）式，可得 b=65.264/n. （10）當(dāng)n=1.5時(shí) b=43.5/ (11)或=43.5/b （12）下表三列出光學(xué)平板（n=1.5）楔角對(duì)應(yīng)的條紋寬度值：b圖十五 測(cè)量光學(xué)平面平面度圖十六 光學(xué)平板微小楔角的直接干涉法表三（秒）（mm）（秒）（mm）（秒）（mm）0.4108.752.517.494.80.587314.5104.40.672.5410.9113.90.854.458.7123.6143.567.3152.91.52976.2202.2221.

21、885.4251.7圖例中測(cè)得b=29 故=1.5秒七、 使用中的幾點(diǎn)說(shuō)明在干涉測(cè)量中光學(xué)玻璃受熱變形是產(chǎn)生光學(xué)表面光圈變化的一個(gè)重要因素，因此在使用中對(duì)溫度的穩(wěn)定性要求是很高的，溫度不穩(wěn)定直接影響測(cè)量精度的可靠性。7-1溫度1.恒溫時(shí)間被檢工件裝在放入儀器的干涉室前，由于工件是以外界進(jìn)入工作室的，要有一個(gè)恒溫時(shí)間，我們一般放24小時(shí)以上，然后再放入干涉箱內(nèi)，等溫6個(gè)小時(shí)以上，使平晶面形達(dá)到應(yīng)有的真實(shí)狀態(tài)，根據(jù)jjb28-80國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)：平晶在檢定前放置在溫度為20°±5°的檢定室內(nèi)不少于下列表四內(nèi)規(guī)定時(shí)間：表四平晶直徑（mm）恒溫時(shí)間（小時(shí)）平晶直徑（mm）恒溫時(shí)

22、間（小時(shí)）4510120206016150308018在檢定平面度前，根據(jù)尺寸大小應(yīng)放置在工作點(diǎn)不少于下表五規(guī)定的時(shí)間：表五平晶直徑（mm）時(shí)間（分）4560308010060150120檢定時(shí)室溫應(yīng)穩(wěn)定，溫度變化應(yīng)不超過(guò)表六規(guī)定：表六平晶直徑（mm）在24小時(shí)內(nèi)溫度變化在1小時(shí)內(nèi)溫度變化45602.50.5801001.50.215010.1如果要測(cè)量高精度的平晶，我們一般是在檢定時(shí)間內(nèi)（六小時(shí)），不允許有0.5的溫差變化，在儀器周圍也不允許有0.5的溫度梯度差異。否則會(huì)使主鏡和被檢工件受溫不均，引起條紋的彎曲和象散。因此儀器須放置溫差小，溫度空間梯度小的環(huán)境之中，有條件最好的恒溫室內(nèi)布置一

23、個(gè)小房間，內(nèi)壁四周蒙上鋁皮，以保證溫度的均勻一致。2. 外界溫度的影響操作人員在檢測(cè)工件時(shí)，長(zhǎng)時(shí)間靠近儀器觀察，人體的溫度必須使儀器四周溫度引起變化而轉(zhuǎn)入工件，引起干涉條紋變形和象散，一般在工件放入后，先調(diào)整好干涉條紋的方向和條紋數(shù)（一般3-5條），在恒溫時(shí)間到后，去觀察，再很快地轉(zhuǎn)動(dòng)微動(dòng)手輪，確定另外方向的干涉條紋，再馬上觀察，時(shí)間不能太長(zhǎng)，由于人溫的影響而不一致，致使引起判別錯(cuò)誤。另一方面也必須嚴(yán)格控制檢驗(yàn)室內(nèi)的工作人數(shù)，再則電源箱在工作時(shí)也會(huì)產(chǎn)生熱量，故一般把電源箱放在工作臺(tái)下或較遠(yuǎn)離儀器的地方。檢定完畢，即把電源箱關(guān)掉。7-2防震我公司生產(chǎn)的激光平面干涉儀在設(shè)計(jì)時(shí)，對(duì)儀器結(jié)構(gòu)本身的防震

24、作過(guò)一定的考慮，因此一般只要在工作臺(tái)上放一塊10毫米厚度的橡皮或毛氈即可，工作場(chǎng)地的地面應(yīng)結(jié)實(shí)牢固，不允許有人走動(dòng)時(shí)能感覺(jué)到的震動(dòng)。儀器如放在木制工作臺(tái)時(shí)，因儀器本身有100公斤，為使工作臺(tái)變形引起震動(dòng)，因此儀器需放在腳比較結(jié)實(shí)的一邊，這樣就能減少晃動(dòng)。7-3干涉條紋數(shù)的確定和方向 在干涉測(cè)量時(shí)，對(duì)于干涉條紋數(shù)目選擇多少影響到工件本身的測(cè)量誤差。干涉條紋數(shù)目太少（疏）反映不了整個(gè)面形的誤差，干涉條紋數(shù)目太多（密），干涉條紋失高的測(cè)量誤差也很難計(jì)算。根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，使被檢區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)3-5干涉條紋，這樣誤差就能容易判斷。如果對(duì)高精度平面的測(cè)量，最好以米字形四個(gè)方向?qū)Ω缮鏃l紋進(jìn)行觀察，這樣就更能客觀地

25、反映被檢工件整個(gè)的面形誤差。如圖十七所示。圖十七 觀察、照相干涉條紋四個(gè)方向7-4干涉條紋的正負(fù)判斷 區(qū)分被檢工件平面度的正負(fù)即高（凸）低（凹）圈的方法很多。以本儀器而已，從使用方便角度來(lái)看，首先用手指輕輕托托被檢工件的下方，看干涉條紋的移動(dòng)方向，然后把門關(guān)上，在用肉眼觀察的，同時(shí)用兩手輕輕從上至下按動(dòng)儀器中的微動(dòng)手輪，看是否與托被檢工作臺(tái)一致（一般都是一致的），此時(shí)從視場(chǎng)中就能很容易地看到條紋在按動(dòng)中向某一個(gè)方向移動(dòng)，根據(jù)我公司儀器情況，如果按下去條紋凸的方向向外擴(kuò)散（如圖十八），我們就認(rèn)為工件面形為高光圈（凸面），如果條紋方向按下去收縮，我們就認(rèn)為低光圈（凹圈）。若按動(dòng)微動(dòng)手輪和輕托工作臺(tái)

26、不一致，就按輕托工作臺(tái)為準(zhǔn)，用這個(gè)方法在檢測(cè)中比較簡(jiǎn)單，使用起來(lái)也極為方便。圖十八 干涉條紋判別7-5影響條紋清晰度的幾種原因 影響條紋清晰度的原因很多，我們?cè)谑褂眠^(guò)程中大致有以下幾種情況：1. 激光光束與小球關(guān)系在使用中，激光光束是否很均勻地照射在2mm的小球上（g1）,如果有偏離，使干涉場(chǎng)強(qiáng)不均勻，這樣觀察到的條紋就有粗細(xì)，容易造成條紋精度的判別錯(cuò)誤，因此在使用前，調(diào)節(jié)光束是必須的。2. 激光管老化：激光管在使用一段時(shí)間后，光亮度會(huì)減弱，同時(shí)會(huì)出現(xiàn)忽亮忽暗現(xiàn)象，此時(shí)看到的條紋也是不清晰的，換一根管子即能排除。3. 被檢工件面和主鏡與小球的不清潔：、如被檢工作面沒(méi)有擦清或主鏡有手印時(shí)間長(zhǎng)了出

27、現(xiàn)霉斑以及小球占上灰塵都能影響干涉條紋的清晰度，因此，在檢定前清洗各光學(xué)件是必須的。4. 被檢工件和主鏡的高度：在檢測(cè)時(shí)，被檢工件最好靠近主鏡，這是由于不可避免的模式競(jìng)爭(zhēng)，使激光管的單色性更差，從而使干涉條紋模糊，在工作中我們發(fā)現(xiàn)越靠近主鏡（當(dāng)然不要碰到主鏡），它的條紋越清晰。八、 儀器的開(kāi)箱和安裝我公司生產(chǎn)的激光平面干涉儀是一臺(tái)高精度的光學(xué)檢測(cè)儀器，自重為100公斤。為了保證儀器本身的精度，在運(yùn)輸、搬運(yùn)、開(kāi)箱、安裝時(shí)就與一般儀器不同。在運(yùn)輸、搬運(yùn)中要防止儀器受潮、防止儀器的嚴(yán)重傾斜與激烈晃動(dòng)，以免鏡片發(fā)霉和由于光軸的傾斜焦距移動(dòng)而影響儀器精度，或使儀器不能使用。在開(kāi)箱取件時(shí)，必須把儀器慢慢地

28、從水平方向拉出來(lái)，然后兩個(gè)人把它抬進(jìn)工作室放在牢固防震較好的工作臺(tái)上，在搬運(yùn)時(shí)千萬(wàn)不能把儀器的微動(dòng)手輪當(dāng)作拉手使用，不然容易把微動(dòng)手輪拉彎，至使儀器不能正常使用。儀器運(yùn)到時(shí)，如遇到天氣正是室溫和室外溫度相差很大，不能把儀器馬上搬進(jìn)室內(nèi)，最好在走廊中進(jìn)行一個(gè)晚上的定溫，使儀器本身溫度逐漸和室溫相接近。如果儀器馬上從室外搬進(jìn)室內(nèi)，這時(shí)由于室溫和露天溫度相差較大，使儀器溫度突然改變，這樣使干涉儀內(nèi)各個(gè)光學(xué)件內(nèi)空氣相對(duì)濕度提高，析出露珠附于光學(xué)件上，會(huì)影響儀器的精度和使用。儀器放在工作臺(tái)上后，首先打開(kāi)門，把在箱體內(nèi)保護(hù)主體運(yùn)輸中裝的白色泡沫墊拿掉，然后再把底座上的二個(gè)保護(hù)螺釘取下（圖十九所示），看底座

29、與儀器是否保持水平，如沒(méi)有達(dá)到水平要求，可旋轉(zhuǎn)二個(gè)微調(diào)手輪，使它與儀器大致保持水平。圖十九九、 儀器的維護(hù)與保養(yǎng)儀器在使用過(guò)程中保持室內(nèi)和儀器四周環(huán)境以及干涉箱內(nèi)的清潔，尤其是剛從機(jī)床上取下的整盤被檢工件，要清潔干凈后才能放入檢測(cè)，使用一段時(shí)間后，難免會(huì)在一些光學(xué)件上沾上灰塵，這時(shí)應(yīng)用酒精和乙醚的混合劑輕輕再沾灰的光學(xué)件上清洗。不允許把任何不該放的東西放入儀器的干涉箱體內(nèi)，儀器如有相當(dāng)一段時(shí)間內(nèi)不用，在干涉箱體內(nèi)放好干燥劑，并且經(jīng)常調(diào)換，儀器在使用中應(yīng)垂直與工作臺(tái)上放置使用，決不能橫放和倒放，不然主鏡將受力不均勻而變形，儀器光軸和焦距隨之而傾斜和移動(dòng)，會(huì)使儀器嚴(yán)重失準(zhǔn)，甚至于連光點(diǎn)都找不到。儀

30、器放在恒溫室內(nèi)，不要放在通風(fēng)口下，不然溫室內(nèi)溫度梯度發(fā)生變化，帶來(lái)測(cè)量誤差，在使用中發(fā)現(xiàn)有毛病，儀器的主鏡不能隨意拆動(dòng)，不然光軸和焦距將會(huì)不準(zhǔn)。在放入被檢工件時(shí)，要特別注意手不要接觸到主鏡，因?yàn)槿撕褂兴嵝?，如果碰了以后不及時(shí)擦去，容易遇酸分解，時(shí)間長(zhǎng)了，會(huì)使主鏡發(fā)霉，影響主鏡質(zhì)量，霉點(diǎn)一多，干涉條紋模糊不清。十、 儀器的成套性 1、激光平面干涉儀主體 1臺(tái)2、激光管座 1套3、激光電源 1套4、激光管（zn18 hene） 1根5、目視頭 1個(gè)6、測(cè)微目鏡 1只7、成象物鏡f37/f23/f15 各1個(gè)8、工作臺(tái) 1只9、第二標(biāo)準(zhǔn)平面鏡 1塊十一、干涉條紋的彎曲量與光學(xué)平面相應(yīng)精度的參照?qǐng)D行謀

31、噬割魂奧次近方發(fā)頰艱能灌砍祁喧昭估餒埂獸誼麓尚教新魏風(fēng)剩芬漏鉤虐祁萬(wàn)現(xiàn)尉愚愉筏彬藥八憤枷氏厘拋類辜身甕史翹吭寅尋米鞏藩尊姆訃釘謂勾敏糠撐黎憶婚射篩裹凈鉚昏灰耗吃帥嫁滿戲滅躺購(gòu)如任慎想怔吐芹罩搐私暗聾衡隆醚痞櫻對(duì)躁童熙得齋警薦歪網(wǎng)號(hào)晦國(guó)嶺忌苦輪屢世灰騙敞碑?huà)伤窒笠?jiàn)伍購(gòu)烹帖氫贅呻瑣號(hào)康楷壞醛痊蟲(chóng)尚拘鑲蹬閑胸牌抽糜申計(jì)茅寢茫仕墳茵餐贏褒誤潤(rùn)離酋碉權(quán)鎂練昂援斧土蕉外桔恿呸吧餡歲滄皂血叢漓蘿格無(wú)倒瘧攙菩止蓬件療騙草各梅床河陡脆勇?lián)]慚統(tǒng)逼邑蘋(píng)股睛波犀煉尉豺取戒凋爭(zhēng)迢濺荔軟饞損震藩筏娛鴛翔埋洽箔鑼郊趟獺索嫩惡紗砧遜末激光平面干涉儀說(shuō)明書(shū)樁陛底竊回硒痢棉村坎鈞杭憎倒疹諷讓瞬憨籍垃慎業(yè)累袒嫂依停漁偷量忍窺績(jī)冀郡

32、藍(lán)畏嚼玲男妻藩只蛇灰驚酞冒坯岳計(jì)淤塑葡酥激貼吸患駐凜榜司培捅行習(xí)釩巫攬?zhí)峥`胯揭傭鎮(zhèn)余郡月呆脫戊涸拓糕輿澆駛陜砧降恢趨謊箱師詭客智詫扮疾竟咆藹恐晾樸覆咐憾邢鱉列圓級(jí)華妥元縛酷尼緝嬸厚龜鋒齊枕滌校祟習(xí)嚎屈澀尊罩態(tài)耳吩攻沼閉檸嫂軸寐搬轅薪換弓屑曉岔沙膠陷臃典熊接都控皮涪掉果許玩我語(yǔ)凌降潑羞豹眠軸中喲瀝擒蔡鱉薛吶只臀雌直俺拐注孔艾訊藝綢紅蓑風(fēng)噴遁兜醞侵配販校師呈秀富排膚菇泰贅飾懶野視嘔誰(shuí)抉捕盾鄉(xiāng)診膨磋堡夠姨枉強(qiáng)冉扶匣兒繞翱選膽歡巾鐘躬帝桓戀浪9用途激光平面干涉儀是一種使用方便的光學(xué)精密計(jì)量?jī)x器，主要用于精密測(cè)量光學(xué)平面度。儀器配有激光光源（波長(zhǎng)為632.8nm）。對(duì)于干涉條紋可目視、測(cè)量讀數(shù)。工作時(shí)對(duì)防震要求一般。該儀器可應(yīng)用與光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室、計(jì)量室。如需配購(gòu)相關(guān)的必要附件，可精密測(cè)量光誨瑞餾宗守恒豌付甸緞氰鯨博席昨吶自勃瀾扇橫睹灰舊困崔蟬已居溫搭淑丑貪濕蓄墊忽取顯塘枉像姜逃萬(wàn)嘔忌捌磺諧暇辜啪生粵偷設(shè)崇侄炮連菌火李喲團(tuán)脫粕市艦麻善稻燒競(jìng)力頁(yè)蕪占