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文檔簡介
1、p p. . 1 / 36 .15.3 薄膜干涉 劈尖 牛頓環(huán)11.3 -4 薄膜干涉 劈尖 牛頓環(huán)p p. . 2 / 36 .一、薄膜干涉一、薄膜干涉設(shè)設(shè)12312有有13無無23有有(其他反射光較弱)p p. . 3 / 36 .123若若p p. . 4 / 36 .123若若明明暗暗注注 k 0 p p. . 5 / 36 .明明暗暗注注 k 0 12323選擇性干涉選擇性干涉p p. . 6 / 36 .12323選擇性干涉選擇性干涉等厚干涉等厚干涉 等傾干涉等傾干涉p p. . 7 / 36 .二、選擇性干涉:二、選擇性干涉:例例解解等厚干涉等厚干涉 等傾干涉等傾干涉p p. .
2、 8 / 36 .二、選擇性干涉:二、選擇性干涉:例例解解干涉相長干涉相長p p. . 9 / 36 .k = 1法線法線解解干涉相長干涉相長p p. . 10 / 36 .k = 1法線法線p p. . 11 / 36 .黃色黃色即即 黃色黃色p p. . 12 / 36 .黃色黃色即即 黃色黃色p p. . 13 / 36 .增透膜與增反膜:增透膜與增反膜:增透膜增透膜干涉相消干涉相消增透膜增透膜增反膜增反膜增反膜增反膜干涉相長干涉相長p p. . 14 / 36 .三、等厚干涉:三、等厚干涉:明明 暗暗 e同一級同一級即即等厚線等厚線p p. . 15 / 36 .1、劈尖、劈尖p p.
3、 . 16 / 36 .1、劈尖、劈尖123設(shè)設(shè)明明暗暗p p. . 17 / 36 .123 k e = 0空氣劈尖空氣劈尖底邊為暗紋底邊為暗紋明明暗暗p p. . 18 / 36 .123 k e = 0明紋明紋暗紋暗紋空氣劈尖空氣劈尖底邊為暗紋底邊為暗紋p p. . 19 / 36 .n1 123明紋明紋暗紋暗紋p p. . 20 / 36 .n1 p p. . 21 / 36 .利用劈尖干涉測量小物體尺寸利用劈尖干涉測量小物體尺寸 :設(shè)設(shè) hn p p. . 22 / 36 .利用劈尖干涉測量小物體尺寸利用劈尖干涉測量小物體尺寸 :設(shè)設(shè) hn p p. . 23 / 36 .利用劈尖干
4、涉測量工件的平整程度利用劈尖干涉測量工件的平整程度 :fig. 1fig. 2 待測工件標準件p p. . 24 / 36 .上轉(zhuǎn)時:上轉(zhuǎn)時:例例 上移時:上移時:p p. . 25 / 36 .2、牛頓環(huán)、牛頓環(huán)密接觸密接觸明環(huán)明環(huán)暗環(huán)暗環(huán)p p. . 26 / 36 .明、暗環(huán)半徑:明、暗環(huán)半徑:明環(huán)明環(huán)暗環(huán)暗環(huán)暗環(huán)暗環(huán)明環(huán)明環(huán)暗環(huán)暗環(huán)p p. . 27 / 36 .明、暗環(huán)半徑:明、暗環(huán)半徑:明環(huán)明環(huán)暗環(huán)暗環(huán)暗環(huán)暗環(huán)條紋特點條紋特點p p. . 28 / 36 .利用牛頓環(huán)測量透鏡曲率半徑:利用牛頓環(huán)測量透鏡曲率半徑:條紋特點條紋特點p p. . 29 / 36 .例例(a)(b)(c)明環(huán)明環(huán)暗環(huán)暗環(huán)p p. . 30 / 36 .例例(a)(b)(c)(d)(e)暗紋:暗紋:p p. . 31 / 36 .1.2. 增透膜、增反膜增透膜、增反膜3.k = 0,1,2 p p. . 32 / 36 .( 請看錄像請看錄像 )1.2. 增透膜、增反膜增透膜、增
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