科學(xué)建筑設(shè)計(jì)是潔凈生產(chǎn)重要保障

1、電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房建筑設(shè)計(jì)示意圖潔凈廠(chǎng)房建筑設(shè)計(jì)要綜合考慮空氣凈化系統(tǒng)的布局、氣流流型選擇以及管線(xiàn)系統(tǒng)女排等 因素，創(chuàng)造最優(yōu)綜合效果的建筑空間環(huán)境。在電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設(shè)計(jì)中，建筑設(shè)計(jì)是一個(gè)重要的組成部分。潔凈廠(chǎng)房建筑設(shè)計(jì)要 綜介考慮空氣凈化系統(tǒng)的布局、氣流流型選擇以及管線(xiàn)系統(tǒng)安排等因素進(jìn)行建筑物的平而和 剖面設(shè)計(jì)，在滿(mǎn)足工藝流程要求的基礎(chǔ)上，恰當(dāng)?shù)靥幚頋崈粲梅亢头菨崈粲梅恳约安煌瑵崈?等級(jí)用房z間的和互關(guān)系，創(chuàng)造最優(yōu)綜合效果的建筑空間環(huán)境。建筑設(shè)計(jì)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)要求電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)的根本原則是必須滿(mǎn)足工藝生產(chǎn)的要求，同時(shí)要充分考慮場(chǎng)地的 合理利用。隨著現(xiàn)代工業(yè)的迅速發(fā)展，工藝和設(shè)備更新的周期越

2、來(lái)越短，牛產(chǎn)規(guī)模也fi趨擴(kuò) 大。對(duì)已有的廠(chǎng)房耍不斷地進(jìn)行技術(shù)改造，采用新的技術(shù)裝備和新的工藝流程，以適應(yīng)上述 要求。因此，在新廠(chǎng)房的設(shè)計(jì)中，亦要考慮改建、擴(kuò)建的可能性和在建筑使用上的靈活性、 通用性，必須注意潔凈廠(chǎng)房建筑參數(shù)的選擇，增人廠(chǎng)房寬度，以利于設(shè)備布置的變更。潔凈廠(chǎng)房一般包括潔凈生產(chǎn)區(qū)和為潔凈生產(chǎn)區(qū)服務(wù)的人身凈化區(qū)、物料凈化區(qū)、空調(diào)凈 化機(jī)房及其他輔助區(qū)域,此外述包扌舌各類(lèi)工業(yè)管道和線(xiàn)路所占據(jù)的空間。對(duì)于潔凈廠(chǎng)房來(lái)說(shuō), 有潔凈度要求的生產(chǎn)往往僅為部分工序或者部分部件與產(chǎn)品，對(duì)兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的 綜介性廠(chǎng)房，在考慮其平而布局和構(gòu)造處理時(shí)，應(yīng)介理組織人流、物流運(yùn)輸及消防疏散線(xiàn)路, 避

3、免-般生產(chǎn)對(duì)潔凈生產(chǎn)帶來(lái)不利的影響。當(dāng)防火要求與沽凈生產(chǎn)要求冇沖突時(shí)，應(yīng)采取扭 施，在保證消防安全的前提下，減少對(duì)潔凈牛產(chǎn)的不利影響?？諝庹{(diào)節(jié)與凈化、水與氣體的 凈化以及電器控制是凈化生產(chǎn)的重要輔助部分。這些機(jī)房的規(guī)模、設(shè)備特征、機(jī)房位置以及 其空氣循環(huán)與分配系統(tǒng)的女排，在很大程度上彫響著廠(chǎng)房建筑的空間組合。因此需要解決好 它們同生產(chǎn)工藝之間的布局關(guān)系，以取得使用上和經(jīng)濟(jì)上的良好效果。防火為疏散町因地制宜對(duì)于電子工廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，應(yīng)按照現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防 火規(guī)范(gb50016)進(jìn)行分類(lèi)。電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范附錄中列出了電子工廠(chǎng)潔凈 廠(chǎng)房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)的

4、舉例。電子工廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)啟中，有使用丁啊、內(nèi)酮、異丙 醇等易燃化學(xué)品的潔凈室，這些化學(xué)品均屬甲類(lèi)物質(zhì)，因此將電子工廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)房中包含這些 化學(xué)品的儲(chǔ)存間、分配間列為甲類(lèi)。在集成電路潔凈廠(chǎng)厲中常常使用氫氣、硅烷等對(duì)燃、有 毒氣體，它們均屬于甲類(lèi)氣體，因此將電子工廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)房中包含可燃、有毒氣體的儲(chǔ)存、分 配問(wèn)列為甲類(lèi)。集成電路和半導(dǎo)體分立器件工廠(chǎng)的外延問(wèn)，由于其生產(chǎn)過(guò)程屮需使用氫氣、 硅烷等可燃?xì)怏w，因此在現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范(gb50073)附錄a中被列為甲 類(lèi)。但是近年來(lái)，隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，分立器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備的設(shè)計(jì)、 制造技術(shù)的不斷提高，各種氣體供應(yīng)、控制系統(tǒng)、設(shè)備和附

5、件設(shè)計(jì)、制造技術(shù)的不斷提高, 氣體報(bào)警設(shè)施的安全可靠性得到了長(zhǎng)足的進(jìn)步和提高。調(diào)杏表明，分立器件和集成電路生產(chǎn) 所采用的外延設(shè)備已配置有氫氣泄漏和超濃度排放報(bào)警及其連鎖控制裝置；外延間的氫氣供 應(yīng)管路設(shè)冇緊急切斷閥，一旦發(fā)生事故或火情時(shí)自動(dòng)切斷紅氣供應(yīng)；外延間按建筑特點(diǎn)在可 能積聚氫氣處設(shè)置氫氣報(bào)警裝置和事故排風(fēng)連鎖控制裝置等安金措施。因此，電子工業(yè)潔 凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范規(guī)定，在具備上述安全技術(shù)措施的條件下，宜將半導(dǎo)體分立器件和集成電 路生產(chǎn)等所使用的外延間列為丙類(lèi)。防火分區(qū)是采用具有一定耐火性能的分隔構(gòu)件劃分的，能在一定時(shí)間內(nèi)防止火災(zāi)向同一 建筑物的其他部分蔓延。在建筑物內(nèi)采取劃分防火分區(qū)這一措

6、施，町以在建筑物一旦發(fā)生火 災(zāi)時(shí)，有效地把火勢(shì)控制在一定的范圍內(nèi)，減少火災(zāi)損失，同時(shí)可以為人員安全疏散、消防 撲救提供有利條件。自20世紀(jì)90年代末以來(lái)，我國(guó)建設(shè)了一批人規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)用 潔凈廠(chǎng)房、tft-lcd（薄膜品體管液品顯示器）生產(chǎn)用潔凈廠(chǎng)房，其潔凈室面積和防火分區(qū)面 積均大大超過(guò)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范（gb50073）、建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范xgb50016） 規(guī)定的面積。由于上述電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的連續(xù)性和口動(dòng)化傳輸設(shè)施的貫通性，使?jié)崈羰遥▍^(qū)） 無(wú)法進(jìn)行防火分區(qū)的分隔。電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范規(guī)定：若因電子產(chǎn)品生產(chǎn)的工藝 要求使防火分區(qū)確不可分時(shí)，在采取町靠的強(qiáng)化消防措施后，此

7、類(lèi)潔凈廠(chǎng)房的防火分區(qū)最大 容許建筑面積可以放寬。安全疏散設(shè)計(jì)是建筑防火設(shè)計(jì)的一項(xiàng)重要內(nèi)容。潔凈廠(chǎng)龍的安全疏散設(shè)施主耍包括安全 出口、疏散樓梯、走道和門(mén)等。潔凈廠(chǎng)房的安全疏散距離也應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì) 防火規(guī)范（gb500的規(guī)定。不過(guò)，由于電子潔凈廠(chǎng)房具有特殊性，電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房 設(shè)計(jì)規(guī)范也有針對(duì)性地制能了規(guī)則。例如，高世代tft-lcd廠(chǎng)厲山于其生產(chǎn)設(shè)備體積大、 連續(xù)性生產(chǎn)、白動(dòng)化傳輸籌因索，致使要實(shí)現(xiàn)廠(chǎng)房?jī)?nèi)任一點(diǎn)到安全出口的距離符合gb50016 的規(guī)定十分困難，并且此類(lèi)廠(chǎng)厲中操作人員較少，人員密度極低。因此，電子工業(yè)潔凈廠(chǎng) 房設(shè)計(jì)規(guī)范規(guī)定：對(duì)于玻璃基板尺寸人于1500mmx 1850

8、mm的tft-lcd廠(chǎng)房,當(dāng)潔凈 生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/m 2時(shí)，其疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于120m。潔凈室構(gòu)造和裝修須引起重視潔凈室的構(gòu)造處理和材料選擇應(yīng)充分考慮不同的凈化級(jí)別、結(jié)構(gòu)形式和室內(nèi)建筑設(shè)計(jì)的 要求。除一般的要滿(mǎn)足保溫隔熱、隔音防振等要求外，最重要的是要保證其氣密性和建筑材 料表面不產(chǎn)塵、不積塵的要求。另外還要注意裝修及人體產(chǎn)生的靜電效應(yīng)。所冇的構(gòu)造設(shè)計(jì) 耍力求簡(jiǎn)潔，盡量減少凹凸和不必要的裝飾，表面耍具有不產(chǎn)塵、不聚塵和易清扌h等特點(diǎn)。 因此，對(duì)潔凈建筑來(lái)說(shuō)，科學(xué)的建筑構(gòu)造、室內(nèi)裝修比建造其他類(lèi)型的生產(chǎn)廠(chǎng)房更加重耍。氣密性是廠(chǎng)房圍護(hù)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的一個(gè)關(guān)鍵。氣密性不良

9、會(huì)導(dǎo)致潔凈空氣的外泄和外界污染 空氣的侵入，破壞潔凈室室內(nèi)環(huán)境的潔凈度。圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密質(zhì)量取決于墻、頂棚、門(mén)窗以 及其他附加配件的構(gòu)造和施工，這些都是應(yīng)該引起重視的問(wèn)題。建筑材料的產(chǎn)塵是-種不可忽視的污染源。實(shí)踐證明，即使在無(wú)碰撞的情況下，建筑材 料表面也在不斷地向周?chē)諉?wèn)散發(fā)微粒子，而這些都與材料的使用狀態(tài)、質(zhì)量、老化程度等 冇著直接關(guān)系。在電子工廠(chǎng)沽凈室內(nèi)，某些電子產(chǎn)品會(huì)因化學(xué)污染物在產(chǎn)品表面降落沉積從 而影響產(chǎn)品質(zhì)量或在后續(xù)生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，造成次品以至廢品，所以電子工廠(chǎng)潔凈 室裝飾材料（包括密封材料）不得采川對(duì)電子產(chǎn)品有影響的材料。在進(jìn)行潔凈室設(shè)計(jì)或選用裝 飾材料時(shí)，應(yīng)與具體項(xiàng)目的業(yè)主方或生產(chǎn)工藝提供方進(jìn)行協(xié)調(diào)厲確定。另外，由于潔凈室內(nèi)的裝修用料一般