玻璃的減薄技術(shù)及不良影響

1、LOGO玻璃的減?。úＡУ臏p?。⊿limming） 工藝工藝.Contents減薄的作用1減薄工藝簡介2常見的減薄不良32減薄的作用減薄的作用1.減少占有的空間2.使Glass達(dá)到一定的柔性3減薄工藝簡介減薄工藝簡介蝕刻蝕刻激光激光離子離子4穩(wěn)流穩(wěn)流漸開漸開減減薄薄方方法法技術(shù)一：蝕刻技術(shù)一：蝕刻 蝕刻工藝蝕刻工藝以以HF溶液作為蝕刻溶液溶液作為蝕刻溶液1.以固定流速以固定流速沿玻璃基材沿玻璃基材垂直下流垂直下流 2.蝕刻溶液依蝕刻溶液依靠重力下流，靠重力下流，蝕刻玻璃基材蝕刻玻璃基材表面表面 。5Text in here蝕刻蝕刻清洗清洗清洗清洗技術(shù)一：蝕刻技術(shù)一：蝕刻Slimming6減薄流

2、程減薄流程7減薄設(shè)備減薄設(shè)備其余組件： 供酸裝置 HF酸濃度計(jì) 溫度控制器 洗氣裝置Loader單元單元預(yù)清洗單元蝕刻單元清洗單元干燥單元Unloader單元 技術(shù)二：真空激光減薄技術(shù)二：真空激光減薄8所謂真空激光減薄技術(shù)所謂真空激光減薄技術(shù), 是指利用激光器發(fā)是指利用激光器發(fā)出的出的脈沖激光束脈沖激光束聚焦成直徑很小的光斑聚焦成直徑很小的光斑, 并并調(diào)節(jié)到適當(dāng)?shù)哪芰棵芏日{(diào)節(jié)到適當(dāng)?shù)哪芰棵芏?對于處在真空環(huán)境對于處在真空環(huán)境中的待減薄膜層進(jìn)行高速掃描中的待減薄膜層進(jìn)行高速掃描,使膜層汽化使膜層汽化, 從而達(dá)到減薄膜層的目的。從而達(dá)到減薄膜層的目的。技術(shù)二：真空激光減薄技術(shù)二：真空激光減薄9系統(tǒng)

3、原理系統(tǒng)原理： 激光束經(jīng)過聚焦、偏轉(zhuǎn)后激光束經(jīng)過聚焦、偏轉(zhuǎn)后, 經(jīng)經(jīng)由石英窗口由石英窗口, 照射放置在真空度為照射放置在真空度為10- 3 Pa 高真空環(huán)境中的待加工高真空環(huán)境中的待加工晶片晶片, 以實(shí)現(xiàn)對晶片表面銀電極層以實(shí)現(xiàn)對晶片表面銀電極層的激光減薄。的激光減薄。系統(tǒng)工作原理圖如圖。系統(tǒng)工作原理圖如圖。技術(shù)二：真空激光減薄技術(shù)二：真空激光減薄10優(yōu)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：( 1) 可以實(shí)現(xiàn)對膜層的精確減薄, 且減薄后的膜層不存在性能漂移不存在性能漂移現(xiàn)象; ( 2) 工作在真空環(huán)境下,膜層減薄過程中不會出現(xiàn)對膜層污染、氧化不會出現(xiàn)對膜層污染、氧化等問題,加之激光加工為非接觸加工, 不會對膜不會對膜層產(chǎn)生

4、機(jī)械損傷層產(chǎn)生機(jī)械損傷; ( 3) 利用激光移動(dòng)靈活的特點(diǎn), 可以實(shí)現(xiàn)快速的多片薄膜大面積的薄膜減薄多片薄膜大面積的薄膜減薄。技術(shù)三：離子減薄技術(shù)技術(shù)三：離子減薄技術(shù)11兩個(gè)離子槍兩個(gè)離子槍從真空室兩側(cè)插入從真空室兩側(cè)插入 離子束以一定的離子束以一定的掠射角掠射角(連續(xù)可調(diào)連續(xù)可調(diào)) 從樣品的兩側(cè)轟擊樣品。從樣品的兩側(cè)轟擊樣品。聚光燈從樣品聚光燈從樣品背面照明背面照明 當(dāng)樣品出現(xiàn)微孔時(shí)當(dāng)樣品出現(xiàn)微孔時(shí)停止減薄。停止減薄。1234縱向和橫向縱向和橫向控制好錫液控制好錫液流動(dòng)流動(dòng)控制好玻璃控制好玻璃液的溫度液的溫度合理配置好合理配置好拉邊機(jī)進(jìn)行拉邊機(jī)進(jìn)行雙向拉薄雙向拉薄技術(shù)四：雙向穩(wěn)流拉薄法技術(shù)四

5、：雙向穩(wěn)流拉薄法12關(guān)鍵點(diǎn)關(guān)鍵點(diǎn)：圍繞玻璃厚薄差和微觀波紋度，在：圍繞玻璃厚薄差和微觀波紋度，在“ 穩(wěn)穩(wěn)” 字上采取有效的技術(shù)措施。字上采取有效的技術(shù)措施。適用范圍適用范圍：超薄玻璃的生產(chǎn)。：超薄玻璃的生產(chǎn)。13技術(shù)五：逐級漸開拉薄法技術(shù)五：逐級漸開拉薄法1、是在試驗(yàn)的基礎(chǔ)上建立起來的；2、是在超薄浮法玻璃的實(shí)際生產(chǎn)當(dāng)中, 通過參照普通浮法玻璃的拉薄方法, 對原有的拉薄方法( 強(qiáng)冷重?zé)崂》?、徐冷拉薄法和雙向展薄法) 進(jìn)行了試驗(yàn)探索；3、其整板厚度、厚薄差、微觀波紋度均能滿足用戶的質(zhì)量指標(biāo)要求。14減薄工藝自身不良1.不可擦拭臟污2.薄化不勻薄化不勻15減薄工藝自身不良減薄工藝自身不良玻璃本身含有雜質(zhì).1. 除膠未干除膠未干凈，有殘留凈，有殘留2. PT等未清等未清洗干凈洗干凈 玻璃被蝕刻時(shí)玻璃被蝕刻時(shí)局部蝕刻不一致局部蝕刻不一致工藝設(shè)備工藝設(shè)備玻璃表面玻璃表面玻璃本身玻璃本身16Slimming后劃傷后劃傷Slimming前發(fā)生輕微ScratchSlimming后Scratch程度加重Human eye invisibleHuman eye invisibleSlimming17Slimming后劃傷后劃傷1. Lif