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123456dblCr00dbllCCCr)(00lllllCC10dblClCSr007 結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)型型傳傳感感器器 物物性性型型傳傳感感器器 特特性性 結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)參參數(shù)數(shù)決決定定 物物質(zhì)質(zhì)性性質(zhì)質(zhì)決決定定 性性能能 穩(wěn)穩(wěn)定定 將將迅迅速速提提高高 成成本本 較較高高 將將大大大大降降低低 應(yīng)應(yīng)用用 廣廣泛泛 發(fā)發(fā)展展方方向向之之一一 89dACr00dACr01011BIKUHHBIdRH12dtdWeL1314151617 基基本本物物理理量量 派派生生物物理理量量 線線位位移移 長(zhǎng)長(zhǎng)度度、厚厚度度、應(yīng)應(yīng)變變、振振動(dòng)動(dòng)、磨磨損損、不不平平度度 位位移移 角角位位移移 旋旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)角角、偏偏振振角角、角角振振動(dòng)動(dòng) 線線速速度度 速速度度、振振動(dòng)動(dòng)、流流量量、動(dòng)動(dòng)量量 速速度度 角角速速度度 轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速速、角角振振動(dòng)動(dòng) 線線加加速速度度 振振動(dòng)動(dòng)、沖沖擊擊、質(zhì)質(zhì)量量 加加速速度度 角角加加速速度度 角角振振動(dòng)動(dòng)、扭扭矩矩、轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)慣慣量量 力力 壓壓力力 重重量量、應(yīng)應(yīng)力力、力力矩矩 時(shí)時(shí)間間 頻頻率率 周周期期、計(jì)計(jì)數(shù)數(shù)、統(tǒng)統(tǒng)計(jì)計(jì)分分布布 溫溫度度 熱熱容容量量、氣氣體體速速度度、渦渦流流 光
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