防靜電工作區(qū)技術(shù)要求

1、附件一.防靜電工作區(qū)技術(shù)要求（試行）1. 范圍1.1 主題內(nèi)容本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了供操作靜電放電敏感電子產(chǎn)品用的防靜電工作區(qū)應(yīng)具備的各項(xiàng)技術(shù)要求。1.2 適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)適用于防靜電工作區(qū)。2. 引用文件GB4385-1995防靜電鞋、導(dǎo)電鞋技術(shù)要求GBI2014-89防靜電工作服GJB/Z25-91電子設(shè)備和設(shè)施的接地、搭接和屏蔽設(shè)計(jì)指南GJBI649-93電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱SJ/T10694-1996 電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測試方法GJB3007-97防靜電工作區(qū)域技術(shù)要求3. 術(shù)語及縮寫詞3.1 術(shù)語防靜電工作區(qū)配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標(biāo)記的適于從事靜電

2、防護(hù)操作的場所。操作在操作放電敏感電子產(chǎn)品的制造、老化、篩選、檢測、裝聯(lián)、包裝、儲(chǔ)存、修理和失效分析等過程中，直接或間接作用于產(chǎn)品的有效活動(dòng)。接地電子連接到能供給或接受大量電荷的物體（如大地、艦船或運(yùn)載工具外殼等）。硬接地精選文檔.直接與大地電極作導(dǎo)電性連接的一種接地方式。軟接地通過一足以限制流過人體的電流達(dá)到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。大地電極埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。靜電耗散材料其表面電阻率等于或大于 1×105/ ，但小于 1×1012/ ；或體積電阻率等于或大于 1× 104.cm，但小于 1× 1011.

3、cm,能快速耗散其表面或體內(nèi)靜電荷的材料。導(dǎo)（靜）電材料其表面電阻率小于1×105/ 或體積電阻率小于1×104.cm 的材料。3.2縮寫詞3.2.1靜電放電 ESDelectrostatic discharge3.2.2靜電放電敏感（的） ESDS electrostatic discharge sensitive3.2.3防靜電工作區(qū) EPAelectrostatic discharge protected area3.2.4接地連接點(diǎn) EBPearth bonding point4. 詳細(xì)要求4.1 防靜電標(biāo)志防靜電標(biāo)志應(yīng)符合GJB 1649的規(guī)定，如圖 1 和圖 2

4、 所示。圖 1 和圖 2 所示的防靜電標(biāo)志適用于需要靜電防護(hù)的產(chǎn)品和靜電敏感的器件，單板和部件等需要進(jìn)行靜電防護(hù)的產(chǎn)品。圖 1防靜電標(biāo)記符號(hào)圖 2防靜電標(biāo)志圖樣精選文檔.4.2 靜電電位如無另外規(guī)定， EPA 內(nèi)的靜電電位應(yīng)滿足下列要求，即在任何情況下，在 EPA 內(nèi)貯存、使用或接受加工的未帶 ESD 外防護(hù)的 ESDS產(chǎn)品周圍 300mm 空間之內(nèi)任一物體的靜電電位不得超過± 100V。使用準(zhǔn)確度優(yōu)于± 10% 的非接觸式靜電電壓表進(jìn)行測試。4.3 氣候與環(huán)境條件溫度EPA 內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有溫度調(diào)節(jié)裝置， 以維持其室溫在1535的范圍內(nèi)， 保證每天的同一時(shí)間測量和記錄一次。濕度

5、EPA 內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有濕度調(diào)節(jié)裝置，保持其室內(nèi)相對濕度在45 75范圍內(nèi)，保證每天的同一時(shí)間測量和記錄一次。4.4 靜電消除器（必要時(shí)）在工作臺(tái)面上方的適當(dāng)部位或其它部位，必要時(shí)應(yīng)裝設(shè)靜電消除器，以消除未打開的包裝件上的靜電荷和在操作過程中因人體、工具及其它物品相互摩檫在工件上產(chǎn)生的靜電荷。靜電消除器應(yīng)能消除任何一種極性的電荷，并在其有效防護(hù)區(qū)域內(nèi)使靜電位保持在規(guī)定值以內(nèi)，中和能力應(yīng)優(yōu)于±250V/S，一般配置離子風(fēng)扇，中和能力控制在 1000V 中和至 100V 的時(shí)間在 2 秒以內(nèi)。4.5 接地防靜電接地分系統(tǒng)防靜電地極接地，分別在制造中心大樓南、北樓中軸線埋裝三組地極銅板，每塊紫銅

6、板的厚度為3mm，長度為 1500mm，寬度為 1000mm，埋沒入地下深度為2500mm，同時(shí)添加專用土質(zhì)降阻劑，地極銅板的接地電阻須小于1。PVC 防靜電地板接地將防靜電地板導(dǎo)電地網(wǎng)與地坪內(nèi)的防靜電銅排全部搭接。裝配、調(diào)試工作臺(tái)接地精選文檔.裝配、調(diào)試工作臺(tái)通過接地扣與防靜電地線連接， 手腕帶接地通過導(dǎo)線 BV6.0mm2 和預(yù)留的防靜電地線連接。接地安裝注意a) 不允許交流線路的走線與直流地線緊貼或平行敷設(shè)， 以防對直流信號(hào)造成干擾；b) 各接地分系統(tǒng)的連線之間應(yīng)當(dāng)相互隔離，為此應(yīng)使用帶絕緣外皮的導(dǎo)線；c) 各接地干線之間的連線應(yīng)采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等進(jìn)行搭接連接；d) 防靜

7、電工具、 裝置等的接地端子允許使用易于裝拆的各種夾式連接器， 例如鍔魚夾、插頭座等，但應(yīng)確保電氣連接可靠；e) 防靜電工作臺(tái)和裝置、設(shè)備等的故障保護(hù)地線應(yīng)采用最小截面積不小于1.25mm2的多股敷塑導(dǎo)線，外皮顏色為黃綠色。4.6 各種器材、用具的靜電性能ESD 防護(hù)工作臺(tái)面EPA 內(nèi)的 ESD 防護(hù)工作臺(tái)面應(yīng)使用靜電耗散材料制成并接地良好。ESD 防護(hù)工作臺(tái)面的對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻要求見表1。表 1EPA 內(nèi)各種器材的靜電性能要求單位：器材名稱表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻對地電阻穿戴狀態(tài)下對地電阻說明工作臺(tái)面7.5× 105 1.0× 10107.5×1051.0&

8、#215;109防靜電地面1.0× 105 1.0× 10101.0×1051.0×1097.5× 105 3.5× 107腕帶7.5× 105 5.0× 106腕帶連線端對端測量鞋束 (足跟帶 )5× 104 1.0× 108存放架7.5× 105 1.0× 10107.5×1051.0×109運(yùn)輸小車周轉(zhuǎn)容器103 1.0× 1010精選文檔.器 材名 稱表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻對地電阻穿戴狀態(tài)下對地電阻說明防靜電工作服1× 105 1.

9、0× 10101× 105 1.0× 1010防靜電鞋5×104 1.0× 108雙腳測量ESD 地坪EPA 應(yīng)采用靜電耗散地板并接地良好，對其地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻的要求見表 1。ESD 防護(hù)腕帶a) 腕帶內(nèi)表面（與手腕的接觸面）對地電阻應(yīng)符合表1 的規(guī)定；b) 佩戴腕帶的情況下，對地電阻應(yīng)符合表 1 的規(guī)定；c) 供連接腕帶用的腕帶連線，其端對端之間的電阻應(yīng)符合表1 的規(guī)定。物品存放架、內(nèi)部運(yùn)輸小車（物流車）應(yīng)能通過支架或輪子接地，它與工件接觸的表面應(yīng)由靜電耗散材料制作。對地電阻和表面電阻（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻值應(yīng)符合表1。周轉(zhuǎn)容器（箱、盤、盒

10、）其內(nèi)、外表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻應(yīng)符合表1 規(guī)定。電烙鐵焊頭部位應(yīng)進(jìn)行硬接地，從焊頭至接地系統(tǒng)的電阻應(yīng)不大于2。應(yīng)定期檢查加熱絲與焊頭的絕緣性能 (108)。防靜電服工作服應(yīng)符合 GB12014的規(guī)定，其各部分之間應(yīng)存在著電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計(jì)應(yīng)保持其在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。工作服對地電阻和表面（點(diǎn)對點(diǎn)）電阻要求按表1。防靜電鞋進(jìn)入 EPA 的人員應(yīng)穿防靜電鞋。在穿用狀態(tài)下，鞋、襪對地電阻值應(yīng)符合表1對定。精選文檔.5. 技術(shù)管理要求5.1 人員培訓(xùn)凡與 EPA 相關(guān)的工作人員，均需經(jīng)過基本防靜電知識(shí)的培訓(xùn)。操作人員應(yīng)掌握各種器具的使用技能和操作規(guī)則與方法。5.2靜電源控制凡易于

11、產(chǎn)生磨擦靜電的材料，例如普通塑料、橡膠、合成纖維等，在EPA 內(nèi)盡量避免使用；若必須使用，則要配備離子風(fēng)機(jī)。5.3包裝進(jìn)入 EPA 的元器件或組件，必須使用防護(hù)罩或袋進(jìn)行防靜電包裝（包括非ESDS產(chǎn)品）。即使已被發(fā)現(xiàn)為失效的元器件或組件，在送去修復(fù)或進(jìn)行失效原因分析之前，同樣需與正常品一樣進(jìn)行防靜電包裝。并且包裝與拆包裝操作均需在EPA 內(nèi)進(jìn)行。5.4 人體防護(hù)凡進(jìn)入 EPA 的人員必須穿防靜電工作服，長頭發(fā)的人員應(yīng)佩戴由防靜電布料制作的工作帽，以防頭發(fā)與ESDS產(chǎn)品發(fā)生接觸放電。凡與 ESDS 產(chǎn)品接觸的人員，包括操作人員、工程技術(shù)或管理人員、參觀人員等，需佩戴防靜電腕帶，并應(yīng)保持其與人體、

12、與接地系統(tǒng)都接觸可靠。凡進(jìn)入 EPA 的人員必須穿防靜電工作鞋，并應(yīng)保持與防靜電地面接觸以泄漏人體靜電荷。必要時(shí)，應(yīng)佩戴防靜電手套或防靜電指套進(jìn)行操作。在 EPA 內(nèi)的人員操作 ESDS 產(chǎn)品時(shí)不準(zhǔn)進(jìn)行與工作無關(guān)的肢體活動(dòng)。文件資料防護(hù)在 EPA 內(nèi)使用的文件資料，其與別的物體之間或文件自身之間的接觸分離，所產(chǎn)生的靜電位不能大于± 100V。必要時(shí)，這些文件資料應(yīng)裝在透明防靜電包裝袋內(nèi)。EPA 維護(hù)與檢查對 EPA 的各項(xiàng)技術(shù)要求，必須經(jīng)常性地進(jìn)行檢查、監(jiān)測，以維持其各項(xiàng)性能符合本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 檢查的時(shí)間周期如下表所列。 日檢測項(xiàng)目由使用個(gè)人完成， 周、月、精選文檔.季檢測 項(xiàng)目由工

13、藝部完成。檢測項(xiàng)目表檢查周期檢查項(xiàng)目測量儀器日周月季年防靜電手腕帶人體綜合測試儀防靜電鞋人體綜合測試儀環(huán)境溫度溫度計(jì)環(huán)境濕度濕度計(jì)儀器、設(shè)備、 工作臺(tái)接地線表面電阻測試儀電阻離子風(fēng)機(jī)靜電電壓量測儀工作服表面電阻量測兆歐表工作臺(tái)面 （包括臺(tái)墊） 表面兆歐表電阻與系統(tǒng)電阻周轉(zhuǎn)容器表面電阻與系統(tǒng)兆歐表電阻存放容器、 小車等表面電阻兆歐表與系統(tǒng)電阻電烙鐵接地電阻與絕緣電萬用表阻防靜電地面量測 （表面電阻兆歐表與系統(tǒng)電阻）注：全檢項(xiàng)目，抽檢項(xiàng)目精選文檔.6. 附件附錄 A靜電敏感電子元器件附表一：防靜電手腕帶、防靜電鞋檢試記錄表附表二：溫度、濕度記錄表附表三：設(shè)備、儀器、工具接地測量表審批：審核：擬制：

14、精選文檔.附錄A（資料性附錄）靜電敏感電子元器件電子元器件靜電敏感度的分級如下：A11 級（1999V） ESDS 元器件a) 微波器件（肖特基二極管，點(diǎn)接觸二極管和f1Ghz 的檢波二極管） ；b) MOS 場效應(yīng)晶體管（ MOSFET ）；c) 結(jié)型場效應(yīng)晶體管（ JFET）；d) 聲表面波器件（ SAW）；e) 電荷耦合器件（ CCD）；f) 精密穩(wěn)壓二極管（線性或負(fù)載電壓調(diào)整率小于0.5 ）；g) 運(yùn)算放大器（ OP AMP ）；h) 集成電路（ IC）；i) 混合電路（ 1 級 ESDS 元件組成）；j) 特高速集成電路（ VHSIC ）；k) 薄膜電阻器；l ）可控硅整流器（ SCR）（環(huán)境溫度100 時(shí)， I 00.175A）。A22 級（ 2000V 3999V）ESDS 元器件a) MOS 場效應(yīng)晶體管；b) 結(jié)型場效應(yīng)晶體管；c) 運(yùn)算放大器；d) 集成電路；e) 特高速集成電路；f) 精密電阻網(wǎng)絡(luò)（ RZ 型）；g) 混合電路（ 2 級 ESDS 元件組成）；h) 低功率雙極型晶體管（ Pt 100mV， Ic 100mA）。A33 級（ 4000V 15999V） ESDS 元器件精選文檔.a) MOS 場效應(yīng)晶體管；b)