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1、2021/7/231SMT印刷崗位操作培訓(xùn)教材印刷崗位操作培訓(xùn)教材工程部工程部2021/7/232目錄一、印刷輔料使用要求二、印刷工具工裝使用要求三、印刷質(zhì)量檢查要求四、印刷品質(zhì)管控流程與相關(guān)規(guī)范五、印刷機(jī)工作原理介紹及安全注意事項(xiàng)2021/7/2331.錫膏:兩種 A M40 B M705 儲(chǔ)存要求 使用要求a. 回溫好的錫膏,必須確?;販貢r(shí)間達(dá)到回溫要求b. 領(lǐng)用錫膏時(shí),按照要求填寫相應(yīng)的記錄表c. 輔料回溫不能超過三次,超過三次時(shí)報(bào)廢處理d.錫膏購(gòu)進(jìn)時(shí),要貼上錫膏使用管制標(biāo)簽,填寫進(jìn)貨日期,編號(hào),以區(qū)分不同批次,保證“先進(jìn)先出”的實(shí)施。 e.開封新的錫膏時(shí),補(bǔ)充填寫存儲(chǔ)控制標(biāo)簽的開罐時(shí)間

2、愛你、開罐后有效時(shí)間(等于開罐時(shí)間+開封后保存時(shí)間一、印刷輔料使用要求、印刷輔料使用要求2021/7/2342.紅膠:3611使用要求 儲(chǔ)存要求a. 回溫好的錫紅膠,必須確保回溫時(shí)間達(dá)到回溫要求b. 領(lǐng)用紅膠時(shí),按照要求填寫相應(yīng)的記錄表c.開封新的紅膠時(shí),補(bǔ)充填寫存儲(chǔ)控制標(biāo)簽的開罐時(shí)間、開罐后有效時(shí)間(等于開罐時(shí)間+開封后保存時(shí)間d. 輔料回溫不能超過三次,超過三次時(shí)報(bào)廢處理2021/7/2353.紅膠清洗劑:7360 儲(chǔ)存要求使用要求印刷質(zhì)量檢查工藝要求(1)轉(zhuǎn)產(chǎn)時(shí)的前5拼基板由制造工藝確認(rèn)印刷效果,發(fā)現(xiàn)問題,及時(shí)調(diào)整。(2)生產(chǎn)過程中印刷操作員每隔15分鐘檢查一次,每次檢查前后刮刀各一拼,

3、發(fā)現(xiàn)不良時(shí)及時(shí)進(jìn)行調(diào)整,10分鐘內(nèi)調(diào)試不好的需及時(shí)反饋制造工藝處理。(3)錫膏印刷檢查時(shí)主要檢查是否多錫、少錫、偏移、拉尖、橋接等,紅膠印刷檢查時(shí)主要檢查是否多膠、少膠、起泡、偏移、橋接等,檢查標(biāo)準(zhǔn)參照印刷質(zhì)量檢查標(biāo)準(zhǔn)。(4)印刷檢查后及時(shí)填寫印刷質(zhì)量檢查記錄表記錄。2021/7/2363.擦試紙:4.酒精:2021/7/2371.刮刀刮刀使用要求a、生產(chǎn)使用前,印刷操作員按上述標(biāo)準(zhǔn)選用合適的刮刀,并確認(rèn)刮刀是否干凈、是否彎曲變形,確認(rèn)OK后方可使用。b、線體不允許存放多余的刮刀,換產(chǎn)或生產(chǎn)使用完畢的刮刀,印刷操作員應(yīng)及時(shí)參照手工清洗刮刀、網(wǎng)板作業(yè)指導(dǎo)書清理刮刀表面錫膏或膠,并進(jìn)行清洗,確保刮

4、刀上無明顯可見殘留錫膏或膠。二、印刷工具工裝使用要求印刷工具工裝使用要求2021/7/2382.網(wǎng)板網(wǎng)板使用工藝要求(1)網(wǎng)板選用標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)生產(chǎn)計(jì)劃和上站表文件領(lǐng)用對(duì)應(yīng)機(jī)型或板號(hào)、板面的網(wǎng)板,并注意核對(duì)版本。(2)網(wǎng)板使用要求a、生產(chǎn)使用前,印刷操作員應(yīng)確認(rèn)網(wǎng)板是否干凈、是否破損,確認(rèn)OK后方可使用。b、線體存放網(wǎng)板數(shù)不允許超過2張,更不允許存放未清洗的網(wǎng)板,因此,換產(chǎn)或生產(chǎn)使用完畢的網(wǎng)板,印刷操作員應(yīng)及時(shí)參照手工清洗刮刀、網(wǎng)板作業(yè)指導(dǎo)書和網(wǎng)板清洗作業(yè)指導(dǎo)書清理網(wǎng)板表面錫膏或膠,并進(jìn)行清洗,確保網(wǎng)板上無殘留錫膏或膠。網(wǎng)板擦拭紙選擇標(biāo)準(zhǔn)2021/7/2393.支撐工裝:通用工裝,頂針,專用工裝專用

5、頂針通用工裝工裝使用要求a、生產(chǎn)使用前,印刷操作員按上述標(biāo)準(zhǔn)選用合適的工裝,并確認(rèn)工裝是否干凈、是否變形,確認(rèn)OK后方可使用。b、工裝安裝時(shí)應(yīng)確保WORKHOLDER前后面板及側(cè)面板位置合適,支撐PIN和背面元件不干涉,并要保證HDMI類、0.4PITCH QFP元件和BGA類元件(如下圖紅框所示)底部(或附近)要有支撐PIN,特別是多拼板中間位置,保證基板表面有足夠支撐(手壓基板時(shí)不出現(xiàn)基板凹陷)2021/7/2310三、印刷質(zhì)量檢查要求印刷質(zhì)量檢查要求與標(biāo)準(zhǔn)與標(biāo)準(zhǔn)印刷錫膏的原理焊膏和貼片膠都是觸變流體,具有粘性。當(dāng)刮刀以一定速度和角度向前移動(dòng)時(shí),對(duì)焊膏產(chǎn)生一定的壓力,推動(dòng)焊膏在刮板前滾動(dòng),

6、產(chǎn)生將焊膏注入網(wǎng)孔或漏孔所需的壓力,焊膏的粘性摩擦力使焊膏在刮板與網(wǎng)板交接處產(chǎn)生切變,切變力使焊膏的粘性下降,使焊膏順利地注入網(wǎng)孔或漏孔。印刷質(zhì)量檢查工藝要求(1)轉(zhuǎn)產(chǎn)時(shí)的前5拼基板由制造工藝確認(rèn)印刷效果,發(fā)現(xiàn)問題,及時(shí)調(diào)整。(2)生產(chǎn)過程中印刷操作員每隔15分鐘檢查一次,每次檢查前后刮刀各一拼,發(fā)現(xiàn)不良時(shí)及時(shí)進(jìn)行調(diào)整,10分鐘內(nèi)調(diào)試不好的需及時(shí)反饋制造工藝處理。(3)錫膏印刷檢查時(shí)主要檢查是否多錫、少錫、偏移、拉尖、橋接等,紅膠印刷檢查時(shí)主要檢查是否多膠、少膠、起泡、偏移、橋接等,檢查標(biāo)準(zhǔn)參照印刷質(zhì)量檢查標(biāo)準(zhǔn)。(4)印刷檢查后及時(shí)填寫印刷質(zhì)量檢查記錄表記錄。2021/7/2311(5)印刷質(zhì)

7、量檢查標(biāo)準(zhǔn):請(qǐng)參照錫膏印刷品質(zhì)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)2021/7/2312四、印刷品質(zhì)管控流程與相關(guān)規(guī)范印刷品質(zhì)管控流程與相關(guān)規(guī)范管理流程圖:基板清洗基板清洗印刷作業(yè)印刷作業(yè)貼片工序貼片工序設(shè)備點(diǎn)檢設(shè)備點(diǎn)檢印刷檢印刷檢查查印刷準(zhǔn)備印刷準(zhǔn)備OKNGOKNG設(shè)備調(diào)整設(shè)備調(diào)整清洗后檢清洗后檢查查2021/7/23131.印刷前準(zhǔn)備(1)刮刀使用要求a、生產(chǎn)使用前,印刷操作員按上述標(biāo)準(zhǔn)選用合適的刮刀,并確認(rèn)刮刀是否干凈、是否彎曲變形,確認(rèn)OK后方可使用。b、線體不允許存放多余的刮刀,換產(chǎn)或生產(chǎn)使用完畢的刮刀,印刷操作員應(yīng)及時(shí)參照手工清洗刮刀、網(wǎng)板作業(yè)指導(dǎo)書清理刮刀表面錫膏或膠,并進(jìn)行清洗,確保刮刀上無明顯可見殘留錫

8、膏或膠。(2)網(wǎng)板使用工藝要求網(wǎng)板選用標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)生產(chǎn)計(jì)劃和上站表文件領(lǐng)用對(duì)應(yīng)機(jī)型或板號(hào)、板面的網(wǎng)板,并注意核對(duì)版本。網(wǎng)板使用要求a、生產(chǎn)使用前,印刷操作員應(yīng)確認(rèn)網(wǎng)板是否干凈、是否破損,確認(rèn)OK后方可使用。b、線體存放網(wǎng)板數(shù)不允許超過2張,更不允許存放未清洗的網(wǎng)板,因此,換產(chǎn)或生產(chǎn)使用完畢的網(wǎng)板,印刷操作員應(yīng)及時(shí)參照手工清洗刮刀、網(wǎng)板作業(yè)指導(dǎo)書和網(wǎng)板清洗作業(yè)指導(dǎo)書清理網(wǎng)板表面錫膏或膠,并進(jìn)行清洗,確保網(wǎng)板上無殘留錫膏或膠。2021/7/2314(3)印刷工裝使用工藝要求與工裝類型 工裝使用要求a、生產(chǎn)使用前,印刷操作員按上述標(biāo)準(zhǔn)選用合適的工裝,并確認(rèn)工裝是否干凈、是否變形,確認(rèn)OK后方可使用。b、

9、工裝安裝時(shí)應(yīng)確保WORKHOLDER前后面板及側(cè)面板位置合適,支撐PIN和背面元件不干涉,并要保證HDMI類、0.4PITCH QFP元件和BGA類元件底部(或附近)要有支撐PIN,特別是多拼板2021/7/23152.印刷作業(yè)工藝要求a, 程序制作和調(diào)用工藝要求印刷操作員根據(jù)生產(chǎn)機(jī)型調(diào)用相應(yīng)程序,若設(shè)備程序庫內(nèi)無此產(chǎn)品的程序,則由制造工藝參照下面的參數(shù)設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行制作。b,程序制作和調(diào)用工藝要求印刷操作員根據(jù)生產(chǎn)機(jī)型調(diào)用相應(yīng)程序,若設(shè)備程序庫內(nèi)無此產(chǎn)品的程序,則由制造工藝參照下面的參數(shù)設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行制作。2021/7/23163.印刷質(zhì)量檢查工藝要求a,轉(zhuǎn)產(chǎn)時(shí)的前5拼基板由制造工藝確認(rèn)印刷效果

10、,發(fā)現(xiàn)問題,及時(shí)調(diào)整。生產(chǎn)過程中印刷操作員每隔15分鐘檢查一次,每次檢查前后刮刀各一拼,發(fā)現(xiàn)不良時(shí)及時(shí)進(jìn)行調(diào)整,10分鐘內(nèi)調(diào)試不好的需及時(shí)反饋制造工藝處理。b,錫膏印刷檢查時(shí)主要檢查是否多錫、少錫、偏移、拉尖、橋接等,紅膠印刷檢查時(shí)主要檢查是否多膠、少膠、起泡、偏移、橋接等,檢查標(biāo)準(zhǔn)參照印刷質(zhì)量檢查標(biāo)準(zhǔn)。印刷檢查后及時(shí)填寫印刷質(zhì)量檢查記錄表記錄。 2021/7/2317(4)印刷后基板工藝要求a.印刷后的基板要求在2個(gè)小時(shí)內(nèi)貼片,4個(gè)小時(shí)內(nèi)回流,若超過規(guī)定時(shí)間,應(yīng)及時(shí)進(jìn)行清洗,清洗后基板必須經(jīng)制造工藝確認(rèn)OK后方可投入生產(chǎn)。b,印刷不良的基板必須在1小時(shí)內(nèi)參照基板清洗作業(yè)指導(dǎo)書進(jìn)行清洗,清洗后

11、的基板要求在2小時(shí)內(nèi)完成回流焊接。c,印刷不良基板的清洗效果必須經(jīng)制造工藝確認(rèn),并填寫印刷質(zhì)量檢查記錄表。 注意事項(xiàng): 進(jìn)行焊膏、貼片膠取用、攪拌、添加及清洗等操作時(shí)應(yīng)戴好防護(hù)手套與眼鏡。作業(yè)應(yīng)在通風(fēng)的環(huán)境下進(jìn)行,避免吸入煙塵或煙霧、避免與皮膚和眼睛接觸,若不慎接觸,則需要使用洗手液或肥皂清洗,再用清水沖洗干凈。2021/7/2318安全操作方法1.生產(chǎn)前的確認(rèn)2.開機(jī)流程3.關(guān)機(jī)流程4.注意事項(xiàng)安全操作方法五、印刷機(jī)工作原理介紹及安全注意事項(xiàng)印刷機(jī)工作原理介紹及安全注意事項(xiàng)2021/7/23191.生產(chǎn)前的確認(rèn)1.1確認(rèn)并保持設(shè)備及其周邊環(huán)境清潔。1.2確認(rèn)筑起元開關(guān)處于“ON”位置。氣壓值

12、在:80-100PSI。1.3確認(rèn)印刷工作臺(tái)上沒有錫膏、貼片膠帶及其他異物存在。1.4確認(rèn)印刷機(jī)活動(dòng)行程范圍內(nèi)沒有任何障礙物。安全操作方法2021/7/23202、開機(jī)流程2.1將設(shè)備后側(cè)的主電源開關(guān)置于“ON”位置。2.2將急停開關(guān)復(fù)位。2.3將設(shè)備右前側(cè)的24V電源開關(guān)(ON按鍵)按亮。安全操作方法2021/7/23212.4設(shè)備電腦自動(dòng)啟動(dòng),啟動(dòng)后輸入用戶登錄密碼:MerlinAdmin(區(qū)分大小寫),進(jìn)入系統(tǒng)后,印刷機(jī)操作軟件自動(dòng)啟動(dòng),輸入軟件密碼:Admin(區(qū)分大小寫),點(diǎn)擊確定,進(jìn)入操作軟件。2.5操作軟件打開后,點(diǎn)擊初始化,機(jī)器的各運(yùn)動(dòng)部位自動(dòng)回原點(diǎn)。動(dòng)作完成后,可以進(jìn)行轉(zhuǎn)產(chǎn)等

13、其他操作。開機(jī)操作至此完成。安全操作方法2021/7/23223.關(guān)機(jī)流程3.1點(diǎn)擊操作界面上的停止按鈕,退出自動(dòng)生產(chǎn)。3.2點(diǎn)擊操作軟件右上方的“”按鈕,關(guān)閉軟件,然后再關(guān)閉電腦系統(tǒng)。3.3將急停開關(guān)按下。安全操作方法2021/7/23233.4將設(shè)備后側(cè)的主電源開關(guān)置于“OFF”位置。3.5清潔網(wǎng)板、刮刀、工裝以及工作臺(tái)面上的錫膏,保證工作臺(tái)及周邊整潔。至此,關(guān)機(jī)操作至此完成。4.注意事項(xiàng)4.1開關(guān)安全門時(shí),要輕開輕關(guān)。4.2設(shè)備操作人員應(yīng)熟悉設(shè)備結(jié)構(gòu)、設(shè)備操作方法及日常保養(yǎng)內(nèi)容。4.3設(shè)備初始化過程中不能切斷電源、氣源,按下急停開關(guān)(緊急情況除外)。4.4設(shè)備運(yùn)行中,嚴(yán)禁身體部位進(jìn)入設(shè)備

14、內(nèi)部,嚴(yán)禁兩人同時(shí)操作同一臺(tái)設(shè)備。4.5設(shè)備所用清洗液為易燃易爆品,往設(shè)備內(nèi)添加時(shí)應(yīng)注意:遠(yuǎn)離高溫、火花、火焰;戴防護(hù)手套、口罩及防護(hù)眼鏡;避免長(zhǎng)時(shí)間接觸皮膚。如出現(xiàn)意外起火,使用二氧化碳或干粉滅火器滅火;如不慎將清洗液濺入眼睛或皮膚上,應(yīng)立即用清水清洗,如仍感不適,應(yīng)立即就醫(yī)。4.6設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí),應(yīng)保持現(xiàn)場(chǎng)并及時(shí)通知線長(zhǎng)和工藝人員,禁止在原因不明的情況下操作設(shè)備;在進(jìn)行設(shè)備操作、檢修時(shí)注意人身安全安全操作方法2021/7/2324初始化機(jī)器I/O打開程序程序保存程序編輯加載基板移動(dòng)相機(jī)裝鋼網(wǎng)拆鋼網(wǎng)松開鋼網(wǎng)打開/關(guān)閉安全門測(cè)量刮刀高度前后移動(dòng)刮刀手動(dòng)擦拭鋼網(wǎng)更換擦拭紙?zhí)砑尤軇╅_始暫停停止開啟

15、/關(guān)閉照明燈操作界面說明2021/7/2325五:常見報(bào)警處理方法常見報(bào)警有以下5種,下面詳解每種報(bào)警的處理方法1.更換擦拭紙 2.添加溶劑3.軌道卡板4.定位標(biāo)記識(shí)別錯(cuò)誤5.添加錫膏2021/7/23261.更換擦拭紙當(dāng)擦拭紙用盡時(shí),系統(tǒng)會(huì)有如下報(bào)警提示,提示擦拭紙已經(jīng)用完。選擇Recover進(jìn)行下一步操作。2021/7/2327繼續(xù)點(diǎn)擊“下一個(gè)”進(jìn)行換紙操作。當(dāng)點(diǎn)擊“下一個(gè)”以后,印刷頭會(huì)移動(dòng)到工作臺(tái)前面。2021/7/2328((圖3)鼠標(biāo)左鍵按住“軌跡球”按扭并移動(dòng)鼠標(biāo)的軌跡球可以將刮刀頭移動(dòng)到方便清洗的位置。點(diǎn)擊“下一個(gè)”,安全門打開,開始清洗刮刀片。2021/7/2329刮刀片清洗

16、完畢后,點(diǎn)擊“下一個(gè)”,這時(shí)相機(jī)將擦拭器拉到工作臺(tái)前面打開安全門,更換擦拭紙。2021/7/2330換紙時(shí),軟件停留在以上菜單中,換紙具體操作步驟如下:機(jī)器自動(dòng)卷紙擦紙的長(zhǎng)度2021/7/2331b將擦拭器后端的廢紙桿與前端的剩下空桶的擦紙桿取拆下。a把網(wǎng)板推倒后面以便操作換紙 。帶有廢紙的擦紙桿帶有空紙桶的擦紙桿2021/7/2332c將擦拭器前端拆下的帶有空紙桶的擦紙桿直接安裝到擦拭器后面位置 。帶有空紙桶的擦紙桿d打開擦紙桿一側(cè)的定位環(huán)并取出廢紙,更換新擦拭紙。2021/7/2333f擦拭紙安裝好后,使用膠條固定在空桶上(至少要粘貼3條膠條,即中間和兩端)。e按照指導(dǎo)圖中卷紙的走向安裝新

17、的擦拭紙 。2021/7/2334g擦拭紙固定好以后,點(diǎn)擊卷燒紙,機(jī)器自動(dòng)卷紙直到擦拭紙被卷緊,然后點(diǎn)擊“下一個(gè)”。2021/7/2335h此時(shí)機(jī)器提示安裝網(wǎng)板,將網(wǎng)板拉到機(jī)器前面,點(diǎn)擊“下一個(gè)”。2021/7/2336i將網(wǎng)板推至停止汽缸處,點(diǎn)擊完成。至此,更換擦拭紙操作完成。2021/7/23372.添加溶劑當(dāng)溶劑的液面低于液面感應(yīng)器時(shí),機(jī)器將會(huì)出現(xiàn)以下報(bào)警,提示缺少溶劑。點(diǎn)擊Recover進(jìn)行下一步的操作。2021/7/2338打開前門,右側(cè)為溶劑桶放置位置,打開溶劑桶蓋加入溶劑。添加溶劑時(shí)不可超過最高限位。溶劑最高限位2021/7/2339溶劑添加完后,點(diǎn)擊完成。至此,添加溶劑操作完成

18、。2021/7/2340點(diǎn)擊恢復(fù),進(jìn)行下一步操作。3.軌道卡板當(dāng)軌道上出現(xiàn)卡板時(shí),機(jī)器將會(huì)出現(xiàn)以下報(bào)警,提示卡板。2021/7/2341此時(shí),安全蓋打開。點(diǎn)擊“訪問軌道”或“訪問軌道和移除模版”,兩種方式來檢查機(jī)器內(nèi)基板卡板位置。將軌道上卡住的板子拿走,然后點(diǎn)擊 “基板已移除”。 至此,軌道卡板操作完成。移開相機(jī)和網(wǎng)板檢查軌道移開相機(jī)檢查軌道卡住的板子已經(jīng)被移走2021/7/2342點(diǎn)擊Recover,進(jìn)行下一步操作。4.定位標(biāo)記識(shí)別錯(cuò)誤當(dāng)機(jī)器在識(shí)別mark點(diǎn)發(fā)生錯(cuò)誤時(shí),機(jī)器將會(huì)出現(xiàn)以下報(bào)警。2021/7/2343排出有問題的板子出現(xiàn)找不到定位標(biāo)記點(diǎn)的報(bào)警信息的原因如下:a.生產(chǎn)時(shí)使用的網(wǎng)板與

19、當(dāng)前的基板不一致b.生產(chǎn)時(shí)使用的網(wǎng)板方向反或基板方向投反c.生產(chǎn)用基板定位標(biāo)記點(diǎn)質(zhì)量不好或沒有d.生產(chǎn)時(shí)使用的網(wǎng)板沒有放到正確的工作位置點(diǎn)擊Reject排出有問題的基板,根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的現(xiàn)象具體分析報(bào)警原因后進(jìn)行解決,至此,定位標(biāo)記識(shí)別錯(cuò)誤處理完成。2021/7/2344點(diǎn)擊Recover,進(jìn)行下一步操作。 5.添加錫膏當(dāng)機(jī)器根據(jù)程序設(shè)定頻率提示添加錫膏時(shí),機(jī)器將會(huì)出現(xiàn)以下報(bào)警。2021/7/2345此時(shí)安全蓋打開,在刮刀行程范圍內(nèi),添加錫膏添加完成后,點(diǎn)擊完成。至此,添加錫膏操作完成。2021/7/2346六:轉(zhuǎn)產(chǎn)操作轉(zhuǎn)產(chǎn)操作主要有以下步驟,下面詳解每步做法1.程序切換2.程序編輯 3.工裝擺放2

20、021/7/23471.1在主界面中點(diǎn)擊程序選擇,選擇需要生產(chǎn)的程序 1.程序切換2021/7/23481.2找到并選擇產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的程序,點(diǎn)擊裝載。然后出現(xiàn)以下窗口2021/7/2349第一選項(xiàng)為:運(yùn)行寬度的自動(dòng)轉(zhuǎn)換。點(diǎn)擊后程序切換,軌道自動(dòng)調(diào)整,機(jī)器自動(dòng)開始印刷。第二選項(xiàng)為:僅載入和調(diào)整軌道。點(diǎn)擊后程序切換,軌道自動(dòng)調(diào)整。第三選項(xiàng)為:僅載入。點(diǎn)擊后程序切換。注意:在選擇第一、二選項(xiàng)時(shí),軌道會(huì)根據(jù)程序設(shè)定值自動(dòng)調(diào)整,選擇前必須清除工作臺(tái)上的工裝。 2021/7/23502.程序編輯2.1基板處理2021/7/23512021/7/23522021/7/23532.3印刷頭行程數(shù):刮刀刮板次數(shù)。換

21、產(chǎn)后,為避免第一拼板的印刷出現(xiàn)少錫,可調(diào)整為2。刮刀壓力設(shè)置范圍:8-11kgs。印刷速度調(diào)整范圍:80-120mm/ses。參數(shù)設(shè)置需根據(jù)印刷品質(zhì)調(diào)整。2021/7/23542.4擦拭器啟用擦拭器處必須打勾情景模式設(shè)置:一般采用三種模式a.關(guān)于基板:真空擦+干擦,設(shè)置合適頻率b.關(guān)于基板:濕擦+真空擦+干擦,頻率設(shè)置為a的倍數(shù)c.關(guān)于待機(jī):濕擦+真空擦+干擦,頻率設(shè)置5分鐘2021/7/23552.5添加器已啟用處必須打勾頻率設(shè)置:BOT面50,TOP面252021/7/23562.6影像啟用對(duì)準(zhǔn)處必須打勾裝載基板后,點(diǎn)擊添加進(jìn)行MARK點(diǎn)的制作。制作過程參照指導(dǎo)書高級(jí)選項(xiàng):閉環(huán)對(duì)準(zhǔn)打勾,尋找全部

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