ESD管理手冊S20.202014

1、ESD管理手冊(恒信靜電參考文件)文件編號：Hesion ESD R01文件版本：A頁數(shù)： 18 / 12發(fā)布日期：版本變更記錄版本變更內(nèi)容描述批準(zhǔn)人批準(zhǔn)日期A初版發(fā)行（恒信靜電中心培訓(xùn)專用） 目 錄1 目的2 適用范圍3 名詞解釋4 功能權(quán)責(zé)5 生產(chǎn)流程6 管理要求6.1 基本原理6.2 修正6.3 靜電敏感件6.4 ESD培訓(xùn)6.5 產(chǎn)品認(rèn)可6.6 符合性驗證6.7 接地6.8 人員接地6.9 EPA6.9.1 區(qū)域界定6.9.2 人員管控6.9.3 絕緣體管控6.9.4 孤立導(dǎo)體管控6.10 包裝6.11 標(biāo)記7 持續(xù)改進(jìn)8 相關(guān)程序文件及記錄表單9 參考文件1目的公司按照ANSI/ES

2、D S20.20和IEC 61340-5-1標(biāo)準(zhǔn)實施靜電防護(hù)管理，其目的在于：1) 減少靜電對產(chǎn)品的損害，提高產(chǎn)品品質(zhì)，提高客戶滿意度。2) 明確靜電防護(hù)措施和實施要求，為公司各部門和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的防靜電建立統(tǒng)一規(guī)則。3) 建立規(guī)范要求供應(yīng)商和其他協(xié)作/服務(wù)公司提供滿足期望的產(chǎn)品或服務(wù)。4) 通過二方、三方稽核，獲得客戶/機(jī)構(gòu)認(rèn)可，持續(xù)改進(jìn)提高靜電防護(hù)水平。2適用范圍本ESD管理手冊適用于公司所有靜電放電敏感元器件的生產(chǎn)過程，也適用于外協(xié)廠方、供應(yīng)商和合作方等與靜電敏感件相關(guān)各方，同時也適用于公司產(chǎn)品的最終用戶的靜電放電防護(hù)控制。本ESD管理手冊適用于靜電放電敏感度大于等于人體模型(HBM)100

3、伏和帶電器件模型(CDM)200伏以及孤立導(dǎo)體(Insulated conductor)35伏的電氣或電子零件、裝置和設(shè)備等的制造、維修、組裝、安裝、包裝、標(biāo)簽，服務(wù)、測試、檢驗或其它處理活動。若今后處理的靜電放電敏感元器件的敏感電壓值低于三種模型中任何一種，應(yīng)立即重新評估控制薦，修正控制措施和要求限值，變更本ESD管理手冊后繼續(xù)實施。3名詞解釋本ESD管理手冊中使用的名詞參考ANSI/ESD ADV1.0-2014，為使用人員理加容易理解和實施，結(jié)合公司慣用語，對手冊中常用的名詞作出解釋。AC equipment ground，交流設(shè)備接地：交流設(shè)備電源線中地線的接地。Auxiliary G

4、round，輔助接地：單獨使用交流設(shè)備接地以外的接地，包括專設(shè)的弱電接地，靜電接地。Compliance verification，符合性驗證：測試表明性能沒有超過初始選擇的限值，即指監(jiān)測、稽查、點檢。Conductive material (resistance)，導(dǎo)體材料（電阻）：表面電阻或體積電阻小于1*10E4歐姆的材料，即指導(dǎo)靜電材料。Dissipative materials，耗散材料：表面電阻或體積電阻大于等于1*10E4歐姆且小于1*10E11歐姆的材料，即指消散性靜電材料。Electrostatic discharge (ESD)，靜電放電：高靜電場快速自發(fā)的靜電電荷轉(zhuǎn)移，也

5、指防靜電。Electrostatic discharge (ESD) protective workstation，ESD保護(hù)工作站：一個處理靜電放電敏感器件的工作區(qū)域，配備必要的防護(hù)材料和設(shè)備來限制靜電放電對靜電敏感器件的損害。Electrostatic discharge sensitivity (ESDS)，靜電放電敏感性：靜電放電導(dǎo)致器件失效。Electrostatic discharge susceptible (ESDS) item，靜電放電敏感器件：有靜電放電敏感級別的的電子電氣零件、裝置、元件、組件或設(shè)備。Electrostatic field，靜電場：一個因存在電荷而有引力或

6、斥力的空間。Electric field shielding materials，靜電屏蔽材料：表面電阻或體積電阻小于1*10E3歐姆的材料。ESD protected area (EPA) ，靜電放電防護(hù)區(qū)：定義的一個區(qū)域，為控制靜電級別配備必要的防護(hù)材料、工具和設(shè)備來最大限度地減少損害ESD敏感器件。即指靜電保護(hù)區(qū)，防靜電區(qū)域。Groundable point，可接地點：指定或假設(shè)防靜電物品或設(shè)備上適當(dāng)?shù)慕拥匚恢?。Insulative materials，絕緣材料：表面電阻或體積電阻大等于1*10E11歐姆的材料。Isolated conductor，孤立導(dǎo)體：一個未接地的導(dǎo)體。Point

7、-to-point resistance，點對點電阻：表面兩電極之間的電阻。Resistance to ground，點對地電阻：表面一個電極和地之間的電阻。Sleeve-to-sleeve resistance，袖對袖電阻：一件展開的工作服兩個袖口之間的電阻。Surface resistance，使用規(guī)定結(jié)構(gòu)的兩個電極接觸一個材料的表面，直流電壓與電流的比值。Unprotected area (UPA) ，非防護(hù)區(qū)：EPA的外面的區(qū)域。即指非EPA，非防靜電區(qū)，靜電保護(hù)區(qū)。Volume resistance，體積電阻：使用規(guī)定結(jié)構(gòu)的兩個電極分別接觸一個材料的兩對面，直流電壓與電流的比值。4.

8、 功能權(quán)責(zé)3.1 ESD小組組織架構(gòu)(如圖)3.2 權(quán)責(zé)說明3.2.1 ESD工作組組長由公司任命。負(fù)責(zé)協(xié)調(diào)ESD工作組內(nèi)各成員的工作以及協(xié)調(diào)其他相關(guān)部門支持ESD管理體系的良好運行，持續(xù)驗證和改進(jìn)使其滿足體系的適宜性、充分性和有效性。3.2.2 ESD工作組副組長由公司ESD工程師擔(dān)任，負(fù)責(zé)協(xié)助組長協(xié)調(diào)小組工作，監(jiān)查ESD管理體系運行情況，通過日常驗證和年度內(nèi)審等方法持續(xù)發(fā)現(xiàn)ESD管理體系運行的問題，提供糾正措施持續(xù)保障ESD管理體系運行符合公司需求。5. 生產(chǎn)流程及EPA區(qū)域（如圖）6. 管理要求6.1 基本原理A. EPA內(nèi)所有導(dǎo)體(包括人體)應(yīng)該接地。如果特殊情況不能接地，應(yīng)將所有導(dǎo)體

9、（包括人體）相連來建立了一個等電位平衡，只要系統(tǒng)中所有物體都處在同一個電位上，就可以在高出地電位“零伏特”時仍然可以維持靜電保護(hù)。B. EPA內(nèi)必要的非導(dǎo)體（處理過程需要的絕緣體）因為不能通過接地方式進(jìn)行放電，采用電離化中和是為這些非導(dǎo)體（例如電路板材料以及器件的封裝）消除靜電最佳方式，應(yīng)該對必要的非導(dǎo)體可能產(chǎn)生靜電放電危害做出評估來保證實施措施的合理性（見本手冊EPA絕緣體管控章節(jié)）。C. 在靜電保護(hù)區(qū)內(nèi)周轉(zhuǎn)靜電放電敏感件時，使用低帶電并耗散靜電的材料；在靜電保護(hù)區(qū)外運送靜電放電敏感件時，應(yīng)使用低帶電且耗散靜電的防護(hù)材料密封起來，推薦使用低帶電且靜電場屏蔽的材料。6.2 修正（例舉）修正聲明

10、1：公司ESD管理手冊不包含依據(jù)ANSI/ESD S20.20標(biāo)準(zhǔn)的人員接地章節(jié)。基本原理：已建立全自動化裝配過程，人員與ESDS器件不可能有交互。修正聲明2：公司防靜電工作臺測量方法中“地”修正為“地面”，上限值仍然符合ESD S20.20符合性驗證限值要求?；驹恚悍漓o電工作臺接地電阻按TR53-01-15測試阻值為臺墊阻值+接地扣阻值+接地線阻值+接地系統(tǒng)阻值；修正后工作臺接地電阻為臺墊阻值+接地扣阻值+接地線阻值+接地系統(tǒng)阻值+地面阻值，比TR53-01-15測試方法增加了地面的的阻值，測量值應(yīng)大于TR53-01-15測試方法的測量值，此值若符合S20.20限值要求，則TR53-01

11、-15測試方法的測量值應(yīng)符合S20.20限值要求。實測數(shù)據(jù)：（可以通過較大量的實測數(shù)據(jù)和結(jié)論來論證上面的結(jié)論）6.3 靜電敏感件公司使用的微電子線路，分立半導(dǎo)體，厚膜、薄膜電阻，混合器件，印刷電路板及壓電晶體等等都是靜電敏感件，敏感特性由供應(yīng)商根據(jù)IQC/SQE要求提供（需提供HBM、CDM、MM ( Isolated conductor )三類模型的敏感電壓值），IQC/SQE負(fù)責(zé)根據(jù)公司生產(chǎn)的產(chǎn)品動態(tài)列明ESD敏感件清單，當(dāng)發(fā)現(xiàn)敏感度小于適用范圍（人體模型(HBM)100伏和帶電器件模型(CDM)200伏以及孤立導(dǎo)體(Insulated conductor)35伏）電壓時，應(yīng)立即通知ESD

12、小組負(fù)責(zé)人，由ESD小組組織評估采取額外的控制要素及調(diào)整要求限值。6.4 ESD培訓(xùn)ESD培訓(xùn)工作依據(jù)公司質(zhì)量管理體系的培訓(xùn)管理程序文件執(zhí)行。6.4.1 培訓(xùn)內(nèi)容6.5.1.1基礎(chǔ)知識，講解靜電危害和公司靜電防護(hù)要求。6.6.1.2 防護(hù)用品，講解人體防護(hù)用品防靜電服、帽、鞋、腳筋帶、手腕帶、手套、指套的正確使用。6.4.1.3 操作規(guī)范，講解EPA內(nèi)防護(hù)設(shè)施設(shè)備及工具的使用和注意事項，EPA內(nèi)行為規(guī)范，處理 ESD敏感件的操作規(guī)范。6.4.1.4 檢驗要求和方法，講解靜電防護(hù)用品的檢測要求，檢驗方法，儀器使用要求等。6.4.2 培訓(xùn)計劃6.4.2.1 初次培訓(xùn)，所有新員工在入廠時必須接受人力

13、資源部統(tǒng)一組織的視頻教學(xué)和講師課堂形式的培訓(xùn)，培訓(xùn)內(nèi)容包括ESD基礎(chǔ)知識、防護(hù)用品、操作規(guī)范的培訓(xùn)，培訓(xùn)后隨堂進(jìn)行ESD考試，80分為合格，合格者方允許到EPA上崗。初次培訓(xùn)及考核記錄統(tǒng)一交由人事部門按質(zhì)量管理體系的記錄管理程序歸檔保存。6.4.2.2 崗前培訓(xùn)，新員工在EPA上崗后獨自操作前，由產(chǎn)線小組長負(fù)責(zé)安排崗前培訓(xùn)，加強(qiáng)ESD防護(hù)意識，小組長負(fù)責(zé)人員培訓(xùn)評價，合格者方允許獨自操作。評價記錄由各部門按質(zhì)量管理體系的記錄管理程序歸檔保存。6.4.2.2 周期培訓(xùn)，所有接觸敏感件的在職人員每年必須接受至少1次各部門組織的ESD培訓(xùn)，采用視頻教學(xué)和講師課堂的方式，培訓(xùn)內(nèi)容包括基礎(chǔ)知識、防護(hù)用品

14、、操作規(guī)范以及ESD新技術(shù)，新規(guī)范等的介紹，培訓(xùn)后隨堂進(jìn)行ESD考試，80分為合格，合格者方允許繼續(xù)到EPA上崗。培訓(xùn)及考核記錄各部門按質(zhì)量管理體系的記錄管理程序歸檔保存。6.4.2.3 檢驗人員培訓(xùn)，所有ESD檢驗人員除了參加初次培訓(xùn)和周期培訓(xùn)外，每年必須完成1次防靜電物品檢驗要求和方法培訓(xùn)，采用講師課堂或內(nèi)部研討的方式。采取實操評價方式進(jìn)行考核，評價合格者方允許獨自檢驗，培訓(xùn)及考核記錄各部門按質(zhì)量管理體系的記錄管理程序歸檔保存。6.4.2.4 設(shè)備維修調(diào)試、清潔保養(yǎng)人員等非生產(chǎn)操作人員不接觸敏感件，但進(jìn)入EPA前要求做適當(dāng)培訓(xùn)EPA注意事項，不做記錄和考核。6.4.2.4 所有培訓(xùn)和考核記

15、錄、評價記錄根據(jù)ESD小組驗證周期（1年）提交到ESD工作組副組長完成年度體系運行驗證（內(nèi)審）。6.5 產(chǎn)品認(rèn)可6.5.1 產(chǎn)品認(rèn)可方法6.5.1.1由供應(yīng)商提供資質(zhì)認(rèn)可的第三方測試報告，測試報告需符合產(chǎn)品認(rèn)可測試要求（下表），采購部按質(zhì)量管理體系的記錄管理程序保存測試報告并接收產(chǎn)品。或者：6.5.1.2 由供應(yīng)商提供自測報告，IPQC負(fù)責(zé)按產(chǎn)品認(rèn)可測試要求（下表）進(jìn)行來料抽樣檢驗，合格則接收產(chǎn)品，IPQC負(fù)責(zé)按質(zhì)量管理體系的記錄管理程序保存自測報告和來料檢驗記錄?；蛘撸?.5.1.3 供應(yīng)商不能提供符合要求的測試報告，應(yīng)按公司要求提供適量樣品，由公司IPQC按溫濕度環(huán)境控制的最低濕度環(huán)境，按

16、產(chǎn)品認(rèn)可測試要求（下表）對樣品進(jìn)行測試并按質(zhì)量管理體系的記錄管理程序保存來料檢驗記錄，合格則接收產(chǎn)品。6.5.1.4 本手冊實施前已安裝或使用的防靜電物品按符合性驗證方法進(jìn)行產(chǎn)品認(rèn)可復(fù)評，由各檢驗部門按質(zhì)量管理體系的記錄管理程序負(fù)責(zé)保存記錄，合格則接收產(chǎn)品，不合格者不得繼續(xù)使用，按質(zhì)量管理體系的不合格品管理程序處理。6.5.1.5 所有測試報告和測試記錄根據(jù)ESD小組驗證周期（1年）提交到ESD工作組副組長完成年度體系運行驗證（內(nèi)審）。6.5.2產(chǎn)品認(rèn)可測試要求項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表防靜電服/帽ANSI/ESD STM2.1Rs-s<1x1011Rp-p<1

17、x1011新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表防靜電鞋ANSI/ESD STM9.1Rp-g<1.0x109新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表腳筋帶ESD SP9.2Rp-g<1x109新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表防靜電手套/手指套ANSI-ESD SP15.1Rp-p<1x1011新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表防靜電地面ANSI/ESD STM7.1Rp-p<1x109Rp-g<1x109新購新安裝100%IPQCESD 組員來料檢驗記錄表點檢記錄表防靜電工作臺防靜電貨架移動設(shè)備(推車)ANSI/ESD S4.1Rp-p<1x109Rp-g

18、<1x109新購新安裝100%IPQCESD 組員來料檢驗記錄表點檢記錄表防靜電工作椅ANSI/ESD STM12.1Rp-g<1x109新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表手腕帶接地連接件（非監(jiān)測）ANSI/ESD S6.1R<2新安裝5-10%ESD 組員點檢記錄表監(jiān)測報警器產(chǎn)品說明書是否正常新安裝5-10%ESD 組員點檢記錄表烙鐵ANSI/ESD S13.1Rt-g<2尖端電壓< 20 mV尖端泄漏電流<10mA新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表離子風(fēng)扇ANSI/ESD STM3.1-35V<Voffset<35V衰減時間<10S

19、新購100%IPQC來料檢驗記錄表靜電毛刷等工具ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書Rp-p<1x109新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表包裝材料周轉(zhuǎn)用品ESD S541Rp-p<1x1011Rp-g<1x1011新購5-10%IQC來料檢驗記錄表防靜電手腕帶ANSI/ESD S1.1R內(nèi)<1x 105R外>1x 1070.8×106<R腕帶線<1.2×106新購5-10%IQC來料檢驗記錄表6.6 符合性驗證6.6.1符合性驗證方法6.6.1.1符合性驗證按質(zhì)量管理體系的監(jiān)視和測量管理程序和符合性驗證測試要求定期進(jìn)行測試并記錄，由測試人員所在部

20、門保存測試記錄。6.6.1.2測試儀器根據(jù)ESD TR 53-01-15測試設(shè)備結(jié)合產(chǎn)品認(rèn)可測試相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求采購，并應(yīng)按質(zhì)量管理體系的測量儀器校驗管理程序校準(zhǔn)檢定，以保證測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。6.6.1.3符合性驗證不符合者按質(zhì)量管理體系的不合格品管理程序處理。6.6.1.4 所有測試記錄根據(jù)ESD小組驗證周期（1年）提交到ESD工作組副組長完成年度體系運行驗證（內(nèi)審）。6.6.2符合性驗證測試要求項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表防靜電鞋ESD TR 53鞋章節(jié)Rp-g<3.5x107每日100%ESD 組員綜合測試儀點檢防靜電手腕帶ESD TR 53腕帶章節(jié)Rp-g<3

21、.5×107每日100%ESD 組員綜合測試儀點檢監(jiān)視報警器產(chǎn)品說明書是否正常3個月100%ESD 組員點檢記錄表手腕帶接地連接件（非監(jiān)測）ESD TR 53接地系統(tǒng)章節(jié)R<21個月100%ESD 組員點檢記錄表烙鐵ESD TR 53焊接烙鐵章節(jié)Rt-g<101個月100%ESD 組員點檢記錄表包裝材料ESD TR 53包裝章節(jié)Rp-g<1x10113個月5%ESD 組員點檢記錄表靜電毛刷等工具ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書Rp-g<1x1096個月5%ESD 組員點檢記錄表離子風(fēng)風(fēng)扇ESD TR 53離子化設(shè)備章節(jié)-35V<Voffset<35V衰減時間&

22、lt;10S1個月100%ESD 組員點檢記錄表防靜電服/帽ESD TR 53服裝章節(jié)Rp-p<1x10116個月5%ESD 組員點檢記錄表防靜電地面ESD TR 53地面章節(jié)Rp-g<1x1083個月100%ESD 組員點檢記錄表防靜電工作臺防靜電貨架防靜電臺墊ESD TR 53工作表面章節(jié)Rp-g<1x1093個月100%ESD 組員點檢記錄表移動設(shè)備(推車、貨架)ESD TR 53移動設(shè)備章節(jié)Rp-g<1x1091個月100%ESD 組員點檢記錄表防靜電工作椅ESD TR 53座椅章節(jié)Rp-g<1x1093個月100%ESD 組員點檢記錄表注：公司防靜電工作

23、臺測量方法中“地”修正為“地面”。 6.7接地6.7.1接地方法 6.7.1.1根據(jù)基本原理A，公司采用設(shè)備接地導(dǎo)體方式將所有導(dǎo)體連接到靜電接地。 6.7.1.2接地系統(tǒng)采用并連接地方式將設(shè)備接地和靜電接地在近地端等電位聯(lián)結(jié)。 6.7.1.3 靜電接地采用樹狀連接結(jié)構(gòu)，避免串聯(lián)，杜絕在遠(yuǎn)地端與設(shè)備接地短接。 6.7.2接地系統(tǒng)測試要求項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表接地體ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書<101年100%ESD 組員點檢記錄表接地線ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書<1新安裝1年100%ESD 組員點檢記錄表設(shè)備接地電阻ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書<1新安裝1年100%ESD 組

24、員點檢記錄表6.8人員接地6.8.1人員接地方法6.8.1.1所有坐著操作的員工采用防靜電手腕帶通過接地線、手腕帶接地連接件（非監(jiān)測）或手腕帶監(jiān)視報警器接地。6.8.1.2所有站立操作的員工采用鞋/地面系統(tǒng)接地。6.8.1.3部分站立操作工位同時采用手腕帶系統(tǒng)和鞋/地面系統(tǒng)接地的雙重接地方式。6.8.1.4鞋/地面系統(tǒng)按下表產(chǎn)品認(rèn)可要求進(jìn)行人體行走電壓測試和系統(tǒng)電阻測試，同時測得地面和人體/鞋系統(tǒng)電阻作為符合性驗證限值要求（6.6.2符合性驗證測試要求-要求限值），需要調(diào)節(jié)符合性驗證限值要求時應(yīng)再次進(jìn)行此產(chǎn)品認(rèn)可要求的人體行走電壓測試和系統(tǒng)電阻測試取得新的地面和人體/鞋系統(tǒng)電阻做為符合性驗證限

25、值要求。項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表鞋/地面系統(tǒng)（同時滿足）ANSI/ESD STM97.1Rp-g<1x109新安裝100%ESD 組員點檢記錄表ANSI/ESD STM97.2峰值電壓<100V6.9 EPA6.9.1區(qū)域界定6.9.1.1設(shè)定EPA準(zhǔn)則為所有處理沒有防靜電保護(hù)覆蓋或包裝的ESDS器件的區(qū)域均應(yīng)設(shè)置為EPA，處理包含所有靜電放電敏感元器件的生產(chǎn)過程。區(qū)域設(shè)定包括工廠一樓倉庫電子料區(qū)域，一樓進(jìn)料檢驗電子料檢驗區(qū)域，一樓包裝車間，二樓生產(chǎn)車間，二樓維修室，但生產(chǎn)車間內(nèi)辦公區(qū)域，更衣室，休息室，茶水間，衛(wèi)生間，非ESD物料存放區(qū)域等設(shè)為UPA(非EP

26、A)，具體見公司車間平面圖（區(qū)域隨生產(chǎn)可能變更，以EPA界定線為準(zhǔn)）。6.9.1.2 EPA車間入口懸掛、張貼或放置警告標(biāo)識牌，位置及大小應(yīng)該保證在距離EPA 5米時清晰可見。6.9.1.3 車間內(nèi)EPA使用地膠標(biāo)識，標(biāo)識中字的正方向前方為EPA，反方向為UPA。邊界應(yīng)連續(xù)，與墻體、欄桿、設(shè)備阻隔等組合為封閉區(qū)域，任何人員可出入的位置都能識別出EPA內(nèi)或外。（警告牌和地膠標(biāo)識見標(biāo)記章節(jié)。）6.9.2 人員管控6.9.2.1完成6.4要求的ESD培訓(xùn)的人員允許進(jìn)入EPA工作。6.9.2.2未完成培訓(xùn)的人員及外來人員（包括參觀人員、非本車間聯(lián)系工作人員、臨時施工人員等）需要進(jìn)入EPA時，按公司訪客

27、制度安排完成培訓(xùn)的人員全程陪同，陪同人員負(fù)責(zé)監(jiān)督和指導(dǎo)未完成培訓(xùn)人員的行為。6.9.2.3所有要進(jìn)入EPA的人員應(yīng)正確穿戴防靜電鞋、防靜電服和帽，通過入口綜合測試儀測試PASS后才允許進(jìn)入。6.9.2.2 所有坐著操作的員工必須正確佩戴手腕帶，通過入口綜合測試儀測試PASS后才允許進(jìn)入EPA，在操作前應(yīng)將手腕帶接地線香蕉插頭插入接地連接件或手腕帶監(jiān)視報警器，打開報警器開關(guān)顯示OK方可操作。6.9.3絕緣體管控6.9.3.1員工不得攜帶私人物品進(jìn)入EPA內(nèi)，必要的私人物品應(yīng)登記并且存放在公司規(guī)定的位置。6.9.3.2根據(jù)生產(chǎn)情況，由班組長每日稽查EPA內(nèi)絕緣體，ESD小組每月稽查EPA內(nèi)絕緣體，

28、識別為非必要的絕緣體應(yīng)立即從EPA內(nèi)移走。6.9.3.3識別為必要的絕緣體時，應(yīng)按ESD TR53絕緣材料測試章節(jié)測量出其靜電場強(qiáng)后，根據(jù)距離和靜電場強(qiáng)進(jìn)行管控。6.9.3.3.1當(dāng)必要的絕緣體靜電場強(qiáng)超過2000伏/英寸時，優(yōu)先采用距離控制法，即通過劃分區(qū)域和定位讓絕緣體離操作ESDS器件的區(qū)域超過30厘米，如果不能采用距離控制法則增加離子風(fēng)扇采用離子中和方式。6.9.3.3.2當(dāng)必要的絕緣體靜電場強(qiáng)超過125伏/英寸時，優(yōu)先采用距離控制法，即通過劃分區(qū)域和定位讓絕緣體離操作ESDS器件的區(qū)域超過2.5厘米，如果不能采用距離控制法則增加離子風(fēng)扇采用離子中和方式。6.9.4孤立導(dǎo)體管控6.9.

29、4.1 EPA內(nèi)所有導(dǎo)體都應(yīng)盡可能采取接地措施，避免孤立的導(dǎo)體出現(xiàn)。6.9.4.2 ESD小組每月稽查EPA內(nèi)孤立導(dǎo)體，新投入使用的工具、設(shè)備需通過ESD小組識別是否為孤立導(dǎo)體。6.9.4.3識別為孤立導(dǎo)體但生產(chǎn)過程中不會有可能接觸ESDS器件的風(fēng)險允許使用。6.9.4.4識別為生產(chǎn)過程中可能會接觸ESDS器件的風(fēng)險的孤立導(dǎo)體，應(yīng)使用靜電電壓測試儀（高阻接觸式或非接觸式）測量ESDS器件和孤立導(dǎo)體兩者的靜電壓，若兩者之間電勢差小于35伏允許使用。6.9.4.5若ESDS器件和孤立導(dǎo)體兩者之間電勢差大于等于35V時，優(yōu)先采用改造接地的方法，若不可接地，則應(yīng)增加離子風(fēng)扇采用離子中和方式。6.10包

30、裝6.10.1若客戶有包裝要求，則依據(jù)客戶要求在EPA內(nèi)外使用客戶指定的包裝材料和包裝方式。6.11.2若客戶無包裝要求，ESDS器件的一次包裝應(yīng)根據(jù)6.1基本原理C使用包裝材料和包裝方式。6.11.3包裝材料使用導(dǎo)電型或耗散型防靜電材料，應(yīng)滿足6.5產(chǎn)品認(rèn)可和6.6符合性驗證要求。6.11標(biāo)記6.11.1若客戶對ESDS器件、系統(tǒng)或包裝（袋、盒、箱）指定標(biāo)記要求時依據(jù)客戶要求使用標(biāo)記。6.11.2若客戶對ESDS器件、系統(tǒng)或包裝無指定標(biāo)記要求時根據(jù)公司要求使用下列標(biāo)記。6.11.2.1 ESD工作站可以處理ESDS器件，標(biāo)記為圖示1。6.11.2.2 防靜電物品（防靜電臺墊、防靜電椅、防靜電

31、周轉(zhuǎn)用品、防靜電貨架、防靜電車等）通過產(chǎn)品認(rèn)可或符合性驗證，標(biāo)記為圖示2，禁止與非防靜電物品混用。6.11.2.3 防靜電物品驗證不合格應(yīng)按ESD TR53故障排除處理，不能排除的應(yīng)立即標(biāo)記為異常狀態(tài)（原合格標(biāo)記圖示2上增加紅色膠區(qū)別），不得用于處理ESDS物品。6.11.2.3 ESDS器件、組件或產(chǎn)品根據(jù)生產(chǎn)環(huán)境需要送出EPA時，應(yīng)按6.10要求包裝，在最外層包裝材料上應(yīng)使用標(biāo)記為圖示3. 圖示1（ESD保護(hù)） 圖示2（ESD驗證合格） 圖示3（ESDS器件警告）6.11.3 EPA標(biāo)記6.11.3.1 整個車間為EPA，以門為入口則在門口易見位置使用圖示4標(biāo)記。6.11.3.2 車間內(nèi)部

32、分為EPA或EPA內(nèi)有UPA時，使用EPA地膠標(biāo)記如圖示5。 圖示4（EPA入口） 圖示5（EPA地膠）7 持續(xù)改進(jìn)1.1 ESD小組應(yīng)組織定期/不定期稽核。1.2 稽核過程發(fā)現(xiàn)的不符合情況及潛在問題應(yīng)總結(jié)分析，應(yīng)按不符合、糾正預(yù)防與持續(xù)改進(jìn)程序制定適宜措施保證ESD管理體系的良好運行。8 相關(guān)程序文件及記錄表單ESD敏感件清單文件管理程序記錄管理程序培訓(xùn)管理程序監(jiān)視和測量管理程序測量儀器校驗管理程序ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書不合格品管理程序不符合、糾正預(yù)防與持續(xù)改進(jìn)程序9 參考文件除非特別指明，以下文獻(xiàn)的最新版本，修正或校正，作為本標(biāo)準(zhǔn)的部分特別補充。ESD ADV1.0, ESD Associations Glossary of Terms 術(shù)語AN