廢水系統(tǒng)規(guī)劃及基本設(shè)計(jì)作業(yè)指引

1、Waste Water Treatment System Planand Basic Design Guide廢水處理系統(tǒng)規(guī)劃及基本設(shè)計(jì)指引技術(shù)手冊(cè)SPECIFICATIONESM-002FOR 1 OF 98DATE 82108210.b部門文件文件夾設(shè)計(jì)規(guī)范GL-DG-ENV-W503廢水處理.docUNDERGROUND PIPINGREV. 0目 錄1.0系統(tǒng)簡(jiǎn)介 32.0設(shè)計(jì)準(zhǔn)則 183.0 設(shè)計(jì)應(yīng)注意事項(xiàng) 294.0 應(yīng)研讀之法規(guī)-標(biāo)準(zhǔn)、書籍或數(shù)據(jù) 425.0 ABC科技股份有限公司范例 591.0系統(tǒng)簡(jiǎn)介1.1名詞釋義1. 混凝(Coagulation)由于微粒表面電荷中和后，利

2、用粒子與粒子間彼此微弱的vander walls吸引力所造成的凝集作用。此種力量非常薄弱，容易受到機(jī)械力的破壞，因此混凝作用時(shí)，常加入助凝劑 (如polymer)利用膠羽使粒子與粒子結(jié)合成較大的凝集體。常用之混凝劑有硫酸鋁(明礬)，多元氯化鋁(PAC)，硫酸亞鐵 (綠礬)。2. 膠凝(Flocculation)在兩個(gè)或多個(gè)微粒間，利用高分子聚和物 (polymer)來(lái)做架橋作用，使微粒聚集成較大凝集體而增加沉降速度。3. 沉淀(Sedimentation)水質(zhì)經(jīng)凝結(jié)及凝聚作用后形成較大的凝集體，在沉淀池內(nèi)使有足夠的沉降時(shí)間與沉降速度使凝集體沉積池底。污泥脫水(Sludge Dewatering

3、)污泥脫水之目的在于減少污泥體積，使污泥易于搬運(yùn)及廢棄。一般污泥脫水可分為自然脫水與機(jī)械脫水。自然脫水乃利用干燥砂床將污泥披撒其上，藉重力把水份過(guò)濾掉在經(jīng)由蒸氣干燥達(dá)到脫水目的。4. PH值代表水值酸堿程度的一指標(biāo)，pH=7為中性；Ph<7為酸性；Ph>7為堿性。5. BOD 5 (Biochemical Oxygen Demand)五日生化需氧量用以表示廢水及表面水有機(jī)污染物的重要參數(shù)。主要是測(cè)量水中被微生物用來(lái)分解有機(jī)物所耗的溶解氧量。6. COD(Chemical Oxygen Demand)化學(xué)需氧量COD試驗(yàn)是用測(cè)量廢水及天然水中有機(jī)物能被氧化之氧當(dāng)量。一般來(lái)說(shuō)，廢水之C

4、OD較BOD高，因?yàn)槟鼙换瘜W(xué)氧化的化合物較被生物氧化的化合物為多，又COD與BOD間存有某種關(guān)系且COD約3小時(shí)即可測(cè)出，因此，通常用COD值來(lái)當(dāng)做處理廢水之依據(jù)。7. S.S. (Suspended Solid)懸浮固定體指懸浮于水中之物質(zhì)，其范圍有自細(xì)小的膠狀粒子至粗大的固定物，為污水水質(zhì)之重要指標(biāo)。8. F (Fluoride)氟離子高濃度的氟化物對(duì)河川中生物具有毒性，因此對(duì)放流水質(zhì)之氟離子含量有其規(guī)定限值。1.2廢水來(lái)源及水質(zhì)水量之分析以電子廠廢水來(lái)源及特性來(lái)看，大致可分為： 1. 一般酸堿廢水包括Wet Bench排水含HCL、HNO3、H2SO4、H3PO4、CH3COOH、NH4

5、OH、H2O2etc。特性為pH變動(dòng)大，水中緩沖(buffer)少，此類廢水量一般為最大宗。2. 有機(jī)廢水此類廢水通常在TFT-LCD或PDP制程產(chǎn)生，其COD濃度平均1800 mg/L，變化范圍一般在10004500 mg/L。一般需生物處理法去除。3. 含氟廢水主要為晶圓廠蝕刻制程經(jīng)清洗產(chǎn)生之廢水，一般可分為低濃度(F-：200 mg/L) 高濃度(57%)。需特別注意濃度高于10% 之氫氟酸，應(yīng)視為化學(xué)品廢液納入化學(xué)系統(tǒng)之廢液收集系統(tǒng)。4. CMP研磨廢水化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)制程為12晶圓制造的必備制程，其廢水含有大量奈米級(jí) (小于100mm)的顆粒(其成份可能含有Cu、W、Ti、Ce

6、 等重金屬及不可知的商業(yè)機(jī)密有機(jī)成份)，一般研磨液可分為氧化膜及金屬膜兩大類。5. 重金屬?gòu)U水一般晶圓廠及TFT-LCD廠較少有重金屬?gòu)U水產(chǎn)生，但對(duì)PDP制程，其它電子組件，如：MLCC、CHIP-R或電鍍制程者，就必需處理金屬?gòu)U水，另外，如：砷化鎵制程有含砷廢水，而銅制程CMP廢水則含Cu離子需去除。6. BG晶背研磨廢水BG廢水為晶圓制程過(guò)程晶背研磨之清洗廢水，含有大量SiO2顆粒，其粒徑 小于0.5m。7. 其他廢水純水再生廢水：MMF、ACF 反洗水主要污染成份為SS，離子交換樹脂再生廢水主要污染特性為pH值，其他如RO、EDI、UF濃縮水一般均可回收利用。廢氣洗滌塔排放水：主要含SS

7、及依其廢氣性質(zhì)而定之酸堿廢水。冷卻水塔旁濾系統(tǒng)反洗水：主要含SS。生活污水：一般為BOD=230mg/L，COD=460mg/L，SS=230mg/L為設(shè)計(jì)基準(zhǔn)。1.3 各股廢水之處理方法1. 一般酸堿廢水處理一般將全廠廢水經(jīng)前處理后或具酸堿廢水性質(zhì)者，均納入此系統(tǒng)，集中后以酸堿藥劑中和至符合放流水標(biāo)準(zhǔn)(或園區(qū)/工業(yè)區(qū)納管標(biāo)準(zhǔn))后排放。一般設(shè)計(jì)時(shí)，需考慮兩段式中和處理，其原因?yàn)殡娮訌S酸堿廢水一般緩沖物質(zhì)(BUFFER)少，故pH調(diào)整不易，在設(shè)計(jì)時(shí)甚至有人建議應(yīng)采三段式中和設(shè)計(jì)。如圖一所示：為兩段式中和處理系統(tǒng)2. 有機(jī)廢水處理電子廠有機(jī)廢水其主要特點(diǎn)是BOD5/CODcr值，屬生化性不好的廢水

8、。生化處理由于技術(shù)成熟、運(yùn)行成本較低、操作管理簡(jiǎn)單，已成為目前有機(jī)廢水處理的技術(shù)核心。其中最早采用是傳統(tǒng)活性污泥法，但隨著在實(shí)際生產(chǎn)上的廣泛應(yīng)用和技術(shù)上的不斷革新改進(jìn)，特別是近幾十年來(lái)，在對(duì)其生物反應(yīng)和凈化機(jī)制進(jìn)行深入研究、探討的基礎(chǔ)上，活性污泥法在生物學(xué)、反應(yīng)動(dòng)力學(xué)的理論方面以及在制程方面都得到了長(zhǎng)足的發(fā)展。人們開發(fā)了一系列生化處理新方法，例如：吸附一生物氧化法(AB法)；厭氧/好氧活性污泥法(A/O法)；厭氧/缺氧/好氧活性污泥法(A2/O法)；氧化渠法；批次式活性污泥法(SBR法)及其變形(MSBR、CAST、UNITANK等)。近來(lái)又推出了兩種新的污水處理技術(shù)，其一是BIOPUR法(曝

9、氣生物濾池)，其二是MBR法(薄膜生物反應(yīng)器)。有機(jī)廢水設(shè)計(jì)時(shí)，一般考慮COD濃度去除率，由于放流水標(biāo)準(zhǔn)COD訂為100mg/L，因此如何搭配不同處理單元即成為設(shè)計(jì)重點(diǎn)。一般常見的處理流程如下：沉淀水解酸化接觸氧化溶解空氣上浮過(guò)濾消毒可將COD由1000 mg/L降至100 mg/L以下，若進(jìn)口濃度更高，則可考慮在末段加一組活性碳。若進(jìn)口COD濃度低至200300 mg/L，則可以僅考慮接觸氧化處理，如圖二所示：3. 含氟廢水處理氫氟酸廢水可分為高濃度含氟廢水及低濃度含氟廢水，由制程排出分別收集于貯槽。當(dāng)?shù)蜐舛群鷱U水貯槽液位達(dá)設(shè)定高液位時(shí)，由液位控制傳達(dá)訊號(hào)啟動(dòng)泵浦，定量輸送貯槽內(nèi)之低濃度含

10、氟廢水至貯槽與高濃度含氟廢水混合。高濃度含氟廢水經(jīng)收集至貯槽與低濃度含氟廢水混合，當(dāng)液位達(dá)設(shè)定高液位時(shí)由液位控制傳達(dá)訊號(hào)啟動(dòng)泵浦，定量輸送貯槽內(nèi)之廢水至反應(yīng)槽，石灰亦同時(shí)定量輸至反應(yīng)槽，反應(yīng)槽內(nèi)經(jīng)pH控制偵測(cè)槽內(nèi)廢水之pH值小于11時(shí)，即輸出訊號(hào)輸送堿液至反應(yīng)槽調(diào)節(jié)pH值，經(jīng)反應(yīng)形成CaF2白色混濁狀之微細(xì)顆粒，降低廢水之游離氟離子濃度使小于15PPM。經(jīng)反應(yīng)之白色混濁狀之廢水，溢流至凝集槽與凝集劑反應(yīng)，促使CaF2之微細(xì)顆粒形成較大顆粒帶正電之水合離子。經(jīng)凝集槽反應(yīng)之處理水流入膠凝槽與膠凝劑混合，促使處理水之懸浮顆粒結(jié)合，形成更大之顆粒。經(jīng)膠凝槽反應(yīng)之處理廢水流入沉淀槽進(jìn)行固液分離之過(guò)程，經(jīng)

11、一段時(shí)間后底部之污泥排入污泥貯地。而上澄液則經(jīng)由管線排入調(diào)整池做后續(xù)處理。排入污泥貯池之污泥經(jīng)液位控制啟動(dòng)泵浦輸送污泥至污泥脫水機(jī)，濾除液則回流至貯槽A再行處理，污泥則定期運(yùn)棄。圖三為含氟廢水處理系統(tǒng)流程：廢水處理系統(tǒng)規(guī)劃及基本120 OF 120DATE 設(shè)計(jì)指引REV. 04. CMP/BG廢水處理國(guó)內(nèi)外目前已被研究或發(fā)展使用之CMP廢水處理技術(shù)可分為兩大類：以化學(xué)加藥混凝做前處理伴隨重力沉淀、加壓浮上或薄膜過(guò)濾等處理程序。不加任何化學(xué)藥品直接以超過(guò)濾(UF)、電膠凝/電透析(EC/ED)或外加電場(chǎng)微過(guò)濾處理程序。茲分述如下：(1)化學(xué)加藥混凝做前處理，伴隨后段處理單元設(shè)備：化學(xué)加藥混凝及

12、膠羽作用是一種既有效又普遍的化學(xué)處理程序，包括借著帶相反電荷之無(wú)機(jī)及有機(jī)物質(zhì)表面電性中和及離子的中和作用，以使去穩(wěn)定化的溶解或懸浮固體物質(zhì)形成膠羽，并借著后段處理單元來(lái)移除CMP廢水中所含之懸符微顆粒、重金屬及一些有機(jī)物質(zhì)。以下分別就后段處理單元設(shè)備之研究發(fā)展列舉說(shuō)明：(A) 重力沉降(GRAVITY SETTING)：重力沉淀是一種簡(jiǎn)單且成熟的處理技術(shù)，但占地面積大，除了需要大空間的凝集沉淀槽及濃縮槽外，也需要配合調(diào)整槽及砂濾槽來(lái)使用，初期投資成本包括控制系統(tǒng)、管路及水槽結(jié)構(gòu)等費(fèi)用太高，且系統(tǒng)操作不穩(wěn)定。(B) 溶氣加壓浮選(DISSOLVED AIR FLOTATION)：CMP研磨廢液內(nèi)

13、含高濃度之懸浮固體物，以柱型浮選槽能有效地選分離研磨漿料，當(dāng)加入補(bǔ)集劑油酸鈉時(shí)其效果更顯著，配合控制溶氣壓力、溶氣飽和時(shí)間及加入適當(dāng)藥劑來(lái)回收研磨漿料固粒，并達(dá)到與廢水分離的目的。(C) 薄膜微過(guò)濾系統(tǒng) (MEMBRANE MICROFILTRATION)：目前廣泛使用于CMP廢水處理之薄膜過(guò)濾系統(tǒng)皆以平行流或掃流式(CROSS-FLOW FILTRATION)薄膜微過(guò)濾為主流。包括動(dòng)態(tài)過(guò)濾膜(DYNAMIC LAYER)及陶瓷膜(CERAMIC TUBE FILTER)。平流式薄膜過(guò)濾系統(tǒng)操作壓力約在2575PSIG之間，流通量范圍在10150GFD之間，這些系統(tǒng)被使用于處理CMP廢水系統(tǒng)設(shè)

14、備供貨商包括EPOC FILTRATION、PALL CORP及U.S. FILTER等。(D) 一次通過(guò)低壓薄膜組合系統(tǒng)(SINGLE-PASS MEMBRANE ARRAY SYSTEM)：MICROBAR公司最近發(fā)展一種新的處理技術(shù)，采用一次通過(guò)(SINGLE-PASS)多段薄膜組合排列(MEMBRANE ARRAY)之低壓微過(guò)濾系統(tǒng)。這種ENCHEM系統(tǒng)使用流通過(guò)可達(dá)到200GFD，在低壓下操作(410PSI)并可處理高流量達(dá)5,000gal/min，與平流式微過(guò)濾系統(tǒng)不同的是并沒(méi)有循環(huán)過(guò)濾而是采用一次通過(guò)過(guò)濾方式。(2)直接使用超過(guò)濾或電膠凝處理方式：若不加任何化學(xué)藥品來(lái)混凝膠羽化C

15、MP廢水中之溶解或懸浮微粒，或只加入少量PH調(diào)整劑來(lái)做為前處理加藥時(shí)，目前已被使用或被研發(fā)之處理系統(tǒng)有：超過(guò)濾(UF)、電膠凝/電透析(EC/ED)或外加電場(chǎng)微濾系統(tǒng)等。(A) 薄膜超過(guò)濾系統(tǒng)(MEMBRANE ULTRAFILTRATION)：PALL公司采用超過(guò)濾技術(shù) (MICROZA ULTRAFILTRAION MODULES) 模塊，其特性為雙層薄膜，中空纖維狀，是一種分子量去除大小(MWCO)為10,000 DALTONS之有機(jī)膜。(B) 電混凝/電透析技術(shù)(ELECTRO COAGULATION/ ELECTRODE CANTATION)：METTESON等以電解方式增加水中的離

16、子，利用電混凝有效去除水中的超威顆粒RAGHAVAN等則以電混凝/電透析(EC/ED)技術(shù)來(lái)處理半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械研磨廢液。(C)另外BG廢水性質(zhì)與CMP廢水類似，一般可合并處理。圖4-1為傳統(tǒng)化學(xué)加藥處理程序，后段并入氟系廢水處理，僅處理至放流水標(biāo)準(zhǔn)。圖4-2為直接使用薄膜超過(guò)系統(tǒng)處理，后段并加入ACF及IX(離子交換樹脂)及UV消毒達(dá)到回收水等級(jí)。5. 其他特殊廢水處理電子廠制程種類繁多，因此常有特殊廢水需處理，茲歸納如下：(1) 含砷廢水：在砷化鎵制造廠中會(huì)有含砷廢水需處理，傳統(tǒng)使用鈣鹽、鐵鹽做化學(xué)混凝沉淀處理，但會(huì)產(chǎn)生大量污泥，新的處理方法可以氨鹽加鎂鹽搭配薄膜過(guò)濾處理。(2) 重金屬?gòu)U水

17、：一般重金屬?gòu)U水可以傳統(tǒng)化學(xué)混凝沉淀處理，但近年來(lái)電凝浮除法亦正在發(fā)展，如考慮造價(jià)則傳統(tǒng)化學(xué)混凝沉淀法稍占優(yōu)勢(shì)，但若考慮用地面積則電凝浮除法用地需求較少。另外重金屬?gòu)U水中若有鉻Cr6+存在，則需先經(jīng)亞硫酸鹽還原或Cr3+再加入NaOH使形成Cr(OH)3納入化學(xué)混凝單元處理。(3) 氨廢水：一般電子廠廢水中含氨量不高情形下，可并入一般酸堿廢水處理，但若量大，則需先進(jìn)行氧化反應(yīng)使NH4+氧化成NO2-或NO3-，再納入有機(jī)廢水之厭氧反應(yīng)及好氧反應(yīng)以達(dá)成脫氧之目的。如圖5所示為氨廢水處理系統(tǒng)流程(4) 污泥處理一般電子廠所產(chǎn)生之污泥大都為化學(xué)污泥，選用板式過(guò)濾機(jī)，其動(dòng)作原理如下：(A) 污泥泵將沉

18、淀池底之污泥泵至污泥槽儲(chǔ)存至設(shè)定好之高液位后送出一液位信號(hào)通知脫水機(jī)作動(dòng)。(B) 污泥注入泵啟動(dòng)時(shí)，由吸口端注入POLYMER使污泥易于擠壓成餅。(C) 7KAIR用以使脫水機(jī)中心孔道內(nèi)殘留之污泥吹回污泥槽。(D) 污泥擠壓后之過(guò)濾水則經(jīng)由調(diào)節(jié)池中和處理后放流。(E) 視濾布之污染狀況實(shí)施自動(dòng)沖洗步驟。污泥脫水機(jī)作動(dòng)流程示意圖(HF 后段處理流程圖)2.0設(shè)計(jì)準(zhǔn)則2.1設(shè)計(jì)處理水量依據(jù)設(shè)計(jì)指引GL-DG-ENV-W501全廠水平衡圖規(guī)劃作業(yè)指引之廢水量并考慮廢水處理系統(tǒng)操作時(shí)間(8HR、16HR或24HR)，訂出廢水處理量。一般在調(diào)勻池前(含)單元，以尖峰小時(shí)廢水量設(shè)計(jì)，調(diào)勻池以后單元?jiǎng)t以平均

19、小時(shí)廢水量設(shè)計(jì)。2.2設(shè)計(jì)處理水質(zhì)進(jìn)流水質(zhì)依各系統(tǒng)提供數(shù)據(jù)推估訂出，放流水水質(zhì)依排放承受水體區(qū)分為：(1) 放流水標(biāo)準(zhǔn)(詳附件)(2) 農(nóng)田水利灌溉大排標(biāo)準(zhǔn)(詳附件)(3) 工業(yè)區(qū)污水廠納管標(biāo)準(zhǔn)(詳附件)其嚴(yán)格度(2)>(1)>(3)。2.3功能計(jì)算及質(zhì)量平衡計(jì)算功能計(jì)算及質(zhì)量平衡計(jì)算之目的在確認(rèn)并得出廢水處理流程中各單元的重要參數(shù)并確認(rèn)功能可達(dá)成。各單元如何設(shè)計(jì)可依4.0教科書所列。范例：(廢水處理計(jì)算書)(1)各股廢水水量分析：LS = 3000 l/time，time/10day6臺(tái)/Floor x 2 Floor假設(shè)每5天排6臺(tái)為最大量則5天內(nèi)排18m3CS = 循環(huán)水量1

20、400l/min每套廢水排放量，以循環(huán)水水量之0.3%計(jì)1400 x 0.3% = 4.2 l/min3套 4.2l/min X 3 = 12.6 l/min = 0.756 m3/h (Max)C/T = 1.14 m3/hr (數(shù)據(jù)源：空調(diào)系統(tǒng))DI System : 1. MMF 20CMD 20min約每12日一次2. A.C 5CMD 20min約每12日一次3. Softner 10CM/Cycle1hr約每12日一次制程廢水： 1. Parts clean50 gpm 11.4 m3/hr2. Wafer clean30 gpm 6.82 m3/hrDI System : 1.

21、R.O 濃縮水 120gpm x 0.22 x 60 x 3.785 = 6 m3/hr空調(diào)冷凝水 = 2025 m3/day (數(shù)據(jù)源：空調(diào)系統(tǒng))(2)已知各股廢水水質(zhì)：LS = 2000 ppm (砷系) as 2000mg/L Na2HasO4(3)為使含砷廢水之含砷濃度勿過(guò)高，擬將放流水導(dǎo)入稀釋。(TK-101)高濃度含砷廢水設(shè)計(jì)18m3，以平均5天量打至含砷廢水調(diào)勻池(tk-102)收集池。設(shè)計(jì)TK-102停留時(shí)間4hr(0.15+1.896) X 4 = 8.2 m3 choose 10m3設(shè)計(jì)處理量放大安全系數(shù)2 X 2.05 m3/h=4.1 m3/h，choose 5 m3/

22、h(4)TK-301 一般廢水調(diào)勻槽Max DI 尖峰小時(shí)37.5m3/h（其中7.5 m3/h至回收水槽）砷系處理水5 m3/h制程廢水11.4 m3/h (parts clean)，Wafer clean 6.82 m3/h至回收水槽尖峰廢水量30+5+11.4×0.5+1.14+0.756=42.6m3/hTK-301 以V=30m3作buffer容量，尖峰小時(shí)停留時(shí)間為42 min后段設(shè)計(jì)處理量取40m3/h設(shè)計(jì)處理流程詳1266-w-F01(A)含砷廢水高濃度含砷廢水2000mg/L (as Na2HAsO4)(a)經(jīng)TK-101以3.6 m3/day加至TK-102含砷廢

23、水調(diào)勻池choose Q=300l/hr，H=6m P-101A/B以每2hr加量加1hr量。(b)經(jīng)TK-102收集后，與放流水混合，Na2HAsO4稀釋濃度0.3×2000/2/2.046=147 mg/L設(shè)計(jì)處理量5m3/hTK-103，停留時(shí)間10min，有效容量：0.8m3TK-104，停留時(shí)間20min，有效容量：1.67m3TK-105，停留時(shí)間20min，有效容量：1.67m3(c)加藥量計(jì)算TK-103 NaOH (45%) 加藥量PH7 12.75m3/h x 10-1.3 mole/l = q x 103cm3/l x q = 15.2 l/h 0.25l/mi

24、nTK-104 Ca(OH)2與FeCl3加藥量反應(yīng)式3 Na2HAsO4+3H2O+2 FeCl3óFe(OH)3(s) +Fe(H2ASO4)3(s) + 6NaCl (1)M(分子量)Na2HAsO4=186 (采AWWA出版之Water Quality and Treatmentpg.623所列之方法)M(分子量)FeCl3=162.5Stoichmetric FeCl3量砷、鐵比需在20倍，使去除率達(dá)98.3%，使As出流水<3mg/L86mg/L x 20 = 1720 mg/L 1720 g/m3則(20%)FeCl3 1720 g/m3 x 5m/h/0.2/1

25、.34/1000 = 32.1 l/hCa(OH)2/FeCl3= 0.8故(1%)Ca(OH)2 0.8/720g/m3 x 5m3/h/0.01/1/1000=688 l/hPolymer/FeCl3 = 1/50(0.1%) Polymer /720x 1/50/5/0.001/1/1000 = 172 l/h每日加藥量計(jì)算，每日(0.15+0.756+1.14) x 24 = 49.1 CMD加藥時(shí)間 49.1/5 = 9.82 h每日Ca(OH)2(1%)688 x 9.82 = 6.8 m3每日FeCl3(20%)32.1 x 9.82 = 0.315 m3每日Polymer(0.

26、1%)172 x 9.82 = 1.7 m3(d)污泥量計(jì)算：假設(shè)SS = 100mg/L根據(jù)水式生成Fe (H2AsO4)3 = Fe(OH)3 = Ca(OH)2 = 1376 mg/LPolymer = 34.4 mg/LTotal Dry S.S = 100 +126.2 + 1036 + 1376 + 34.4 = 2673 mg/L2673 mg/L x 5m3/h x 9.82 h = 131.2 kg/day污泥貯槽2%污泥停留時(shí)間12hr，V=3.3m3 choose 5 m3，(使脫水機(jī)運(yùn)作有彈性)污泥脫水(含水率)，采板框式，75%泥餅量(B)一般廢水由前水量分析得知，設(shè)

27、計(jì)處理量40 m3/h(配合尖峰DI再生水量決定)注：若parts clean實(shí)際用水為1/3，則日處理量為170 m3TK-302，停留時(shí)間10min，有效容量=6.7 m3TK-303，停留時(shí)間10min，有效容量=6.7 m3(a)酸堿加藥量計(jì)算考慮若進(jìn)水(Max)pH達(dá)13時(shí)，pH由137時(shí)，第一段HCl(32%)加藥量40x10-1 =q x 103 x Q = 409 L/H 6.82 lpm第二段加藥量，pH10740x10-4 =q x 103 x Q = 0.409 L/H 6.82 cc/min若考慮DI再生時(shí)，pH(Max)由17第一段Na(OH)(45%)加藥量40x1

28、0-1 =q x 103 x q = 242 l/h 4 lpm第二段Na(OH)(45%)加藥量，pH4740x10-4 =q x 103 x Q = 0.242 L/H 4 cc/minTK-304放流水檢知池停留時(shí)間15min有效容積V=40 x = 10m32.4P&I D 制作質(zhì)量平衡及功能計(jì)算完成后，廢水處理流程確定，為使廢水系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)正常，必須依據(jù)控制程序需求，決定必要的儀器以及管閥回路。一般基本設(shè)計(jì)僅須于P&I D上標(biāo)示儀表符號(hào)即可，控制層回路可省略，輔以控制程序說(shuō)明，在發(fā)展細(xì)部設(shè)計(jì)圖時(shí)再加入，另一方面管路編號(hào)、尺寸、材質(zhì)亦應(yīng)標(biāo)示清楚。完整之P&I D如圖

29、6-1及6-2所示2.5規(guī)格訂定規(guī)格訂定包括機(jī)械設(shè)備、儀表、控制系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)及土木(如需要)，如下：(1)機(jī)械設(shè)備：槽體-數(shù)量、尺寸、材質(zhì)、厚度、有效容積，其它特殊需求(如：加BUFFEPLATE，頂蓋.等)泵浦-數(shù)量、容量、型式、揚(yáng)程、材質(zhì)、使用電源、其他配件攪拌機(jī)-數(shù)量、型式、材質(zhì)、使用電源、其他配件脫水機(jī)-數(shù)量、型式、處理量及污泥餅含水率、設(shè)計(jì)及制造要求鼓風(fēng)機(jī)-數(shù)量、型式、容量、使用電源、其他配件特定設(shè)備-刮泥機(jī)、DAF、高分子泡藥設(shè)備、消毒設(shè)備等詳廠商型錄(2)電氣設(shè)備：配電盤或馬達(dá)動(dòng)力中心-依EPC項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)制作之低壓盤規(guī)范或既有規(guī)范(詳SAMPLE)?；驹O(shè)計(jì)時(shí)間需完成動(dòng)力需求表，

30、電力單線圖如有制作需要，需跨專長(zhǎng)請(qǐng)電氣組支持。其他如電纜、導(dǎo)線管、導(dǎo)線槽、接地系統(tǒng)等，需依EPC項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)要求或依CNS(大陸為GB)標(biāo)準(zhǔn)。(3)儀控設(shè)備常用儀表規(guī)定：液位計(jì)、液位開關(guān)、流量計(jì)、pH檢測(cè)/傳信器、壓力差開關(guān)。特殊儀表：ORP計(jì)、溶氧計(jì)、COD分析儀、BOD分析儀、SS分析儀、油膜檢知儀、F-分析儀，相關(guān)要求詳廠商型錄?？刂葡到y(tǒng)一般均采用可程控器(PLC)，通常要求CPU 2組互為備用(REDUNDANCY)，PLC廠牌一般配含EPC項(xiàng)目要求，如：中央監(jiān)控系統(tǒng)采PLC架構(gòu)，則PLC需提供ETHERNET PROTOROL，但如采DCS架構(gòu)，則應(yīng)提供AI/O、DI/O點(diǎn)數(shù)給中央監(jiān)控系

31、統(tǒng)設(shè)計(jì)2.6規(guī)范及工程標(biāo)單制作依據(jù)前述設(shè)計(jì)結(jié)果制作采購(gòu)規(guī)范及工程標(biāo)單，考慮以PACKAGE一包或多包方式(E&C設(shè)備、機(jī)械配管安裝(代料)，儀電配電安裝(代料)制作適合的規(guī)范，同時(shí)，應(yīng)完成初步LAYOUT圖(注：可以不正式ISSUE)，LAYOUT制作應(yīng)考慮處理單元流動(dòng)性，必要時(shí)繪制水力高程圖，并考慮人流、物流動(dòng)線規(guī)劃，操作平臺(tái)配合操作高度設(shè)置，另外如為配合用地空間，可考慮立體設(shè)計(jì)，將部份小型槽體架高，以創(chuàng)造空間，但相對(duì)需考慮鋼構(gòu)設(shè)計(jì)，工程造價(jià)將提高。工程接口是規(guī)范要求重點(diǎn)，詳GL-DG-PR-X518設(shè)計(jì)接口及整合指引、GL-DG-PR-X519施工接口及整合指引。規(guī)范除要求工程技術(shù)

32、外，另外有關(guān)保固/保證、測(cè)試、承商需提供之文件圖面及責(zé)任義務(wù)均應(yīng)明確規(guī)定。相關(guān)要求詳GL-DG-PR-X505采購(gòu)規(guī)范作成要領(lǐng)指引。3.0設(shè)計(jì)應(yīng)注意事項(xiàng)3.1對(duì)于排水配管考慮要項(xiàng)及維護(hù)管理基本注意事項(xiàng)如下：(1) 制程各藥液槽溢流及排水配管，依其分類直接配管排入貯槽內(nèi)。(2) 灑落地面的廢水依其類別分開收集，故須考慮能區(qū)分排液作業(yè)廠的配置。(3) 排水管路及配管不得妨害作業(yè)通路，配管應(yīng)按裝于配管專用溝內(nèi)。(4) 排液系統(tǒng)中，每一種配管應(yīng)貼顏色標(biāo)簽，以方便涂裝，配置變更及追加工程或修補(bǔ)作業(yè)。(5) 采用自然流下排放廢水時(shí)，配管中應(yīng)避免造成空氣室，必要時(shí)應(yīng)于配管途中設(shè)置空氣泄放口。(6) 長(zhǎng)配管可

33、利用中間軟管或伸縮管等，防止地震或沖擊破損。(7) 長(zhǎng)配管或預(yù)測(cè)配管內(nèi)可能沉積堆積物時(shí)，為求配管的容量清理及更換方便起見，應(yīng)于配管中設(shè)置突緣(或稱法蘭)、雙接頭或單點(diǎn)接續(xù)器。(8) 配管材料一般以硬質(zhì)PVC管居多，但仍須視排液特性(種類、溫度等)、流量及配管方式選定之。(9) 配管之口徑應(yīng)較必要之口徑大一些為佳。(10) 平時(shí)排水與更新廢液使用同一之配管，而以閥切換分別排至個(gè)別貯槽，可能因操作疏失造成事故應(yīng)予注意。(11) 制作程序或藥品變更時(shí)，應(yīng)檢查廢水之區(qū)分及配管路線，必要時(shí)應(yīng)予修正。(12) 配管修補(bǔ)時(shí)，應(yīng)特別檢查是否泄漏。3.22 各股廢水及廢液經(jīng)由排水溝及配管送入各個(gè)貯槽內(nèi)，一般貯槽

34、的設(shè)計(jì)型式可分為地上、地下、埋入及地下雙重貯槽四種，如圖7所示。各型式貯槽之構(gòu)造、材質(zhì)依所收集之廢水或廢液之發(fā)生源及污染特性來(lái)考慮，其特征及維護(hù)管理匯整如表3.1所示。在一些規(guī)定嚴(yán)格的晶圓廠會(huì)指定要求使用地下雙重貯藏設(shè)計(jì)。圖7 廢水貯槽型式表3.1貯槽管理及維護(hù)種類特征管理維護(hù)地上貯槽廢水發(fā)生源在第二層樓時(shí)可用。材質(zhì)采用鋼板襯里、FRP或PE槽日常檢查外部狀況。定期檢查(例如6個(gè)月1次)內(nèi)部狀況一有腐蝕狀況即予修補(bǔ)或更換新槽地下貯槽構(gòu)造簡(jiǎn)單。多數(shù)以鋼筋混凝土襯耐酸或耐堿材料定期實(shí)施內(nèi)部檢查注意及早修補(bǔ)。視狀況入槽內(nèi)以PVC片修補(bǔ)內(nèi)側(cè)埋入貯槽構(gòu)造、施工簡(jiǎn)單。材質(zhì)為鋼板襯里或FRP槽埋入地下定期實(shí)

35、施內(nèi)部檢查注意及早修補(bǔ)。視狀況入槽內(nèi)以PVC片修補(bǔ)內(nèi)側(cè)地下雙重貯槽安全性高、管理修補(bǔ)簡(jiǎn)單。放入鋼筋混凝土槽，其內(nèi)側(cè)槽使用鋼板襯里、FRP或PE槽最容易管理，檢查簡(jiǎn)單，但定期檢查仍屬需要注意及早修補(bǔ)。視狀況入槽內(nèi)以PVC片修補(bǔ)內(nèi)側(cè)3.3有關(guān)調(diào)勻槽之設(shè)計(jì)原則及操作維護(hù)管理項(xiàng)目說(shuō)明如下：(1) 設(shè)計(jì)容量：1030%最大日廢水量，視工廠之制程操作狀況而定。(2) 有效水深：2.55m。(3) 出水高度(FREE BOARD)：0.30.5m。(4) 池型：正方型或矩型。(5) 材料：鋼筋混凝土為原則，但少數(shù)業(yè)主要求地下雙重貯槽設(shè)計(jì)。(6) 流量控制方法調(diào)勻池將水質(zhì)、水量均勻調(diào)整后，以穩(wěn)定之流量進(jìn)入后續(xù)

36、處理設(shè)施，流量控制穩(wěn)定，后續(xù)處理設(shè)備才得以發(fā)揮功能。一般有下列三種流量控制方法：(A) 泵定量抽送方法(圖8A)泵定量抽送方法，必須設(shè)置流量測(cè)定及控制閥。若未設(shè)置，會(huì)因調(diào)勻池水位之變化導(dǎo)致?lián)P水量發(fā)生變化。(B) 泵輸送管上設(shè)分叉管之方法(圖8B)本法為于泵之輸送管上設(shè)分叉管，則調(diào)勻槽之廢水，經(jīng)泵抽取流經(jīng)設(shè)定一定開口度之固定閥，超過(guò)部份之流量則仍回流至調(diào)勻槽，以調(diào)節(jié)流量之方法。惟本法在閥之裝置部份常有發(fā)生阻塞的問(wèn)題。(C) 分水計(jì)量槽分水之方法(圖8C)本法為藉泵從調(diào)勻池?fù)P升之廢水送人設(shè)有三角堰或矩型堰之分水計(jì)量槽，而使一定之廢水自堰溢流入后續(xù)處理設(shè)施之方法。為使溢流量保持定量，必須維持計(jì)劃槽內(nèi)

37、固定水位，需設(shè)置將超量廢水回流入調(diào)勻槽之堰。如采用地下雙重貯槽，泵浦設(shè)置應(yīng)采用干井配置，如地下貯槽一般采水可采用沈水式泵浦，酸堿廢水則須選用自吸式泵浦。圖8各流量調(diào)整方式(7) 曝氣攪拌設(shè)備調(diào)勻槽視需要應(yīng)設(shè)置攪拌設(shè)備以使廢水水質(zhì)均勻化，可采用曝氣式攪拌設(shè)備，將空氣打入水中借著空氣之?dāng)嚢枳饔茫沟盟|(zhì)均勻，調(diào)勻槽曝氣式攪拌設(shè)備之動(dòng)力約為0.0040.008kw/m3廢水。3.4廢水進(jìn)行PH調(diào)整處理時(shí)，所要的加藥量事實(shí)上極難控制，尤其在間歇排放廢水，且廢水流量變化大時(shí)，加入之中和劑量亦要隨著變化。因此，需有自動(dòng)調(diào)節(jié)加藥量之控制裝置。而于廢水調(diào)整PH時(shí)，由于以下的原因其過(guò)程是相當(dāng)復(fù)雜：(1) PH值

38、與濃度及加藥量間之關(guān)系是高度非線性的，尤其當(dāng)接近中和點(diǎn)(PH=7.0)。(2) 進(jìn)流水之PH變化可快至每分鐘一個(gè)PH單位。(3) 在幾分鐘內(nèi)，廢水量即可能加倍。(4) 極少量之藥品與極大量之廢水，需在極短時(shí)間內(nèi)完全混合。.3.5為避免攪拌混合不均，藥液注入管口應(yīng)設(shè)置于廢水流入端，且將注入管口設(shè)置于較反應(yīng)槽水面為高之位置。注藥管配例示如圖9及圖10，圖中墨黑部份為注藥硫停止操作后，藥液繼續(xù)流出之量，以及加藥泵啟動(dòng)后，為填滿已排空之藥管，延遲時(shí)間加長(zhǎng)。圖9正確之加藥方法圖10不當(dāng)之加藥方法3.6各種混凝劑對(duì)處理水水質(zhì)之影響混凝劑分子量混凝劑加1mg/L時(shí)處理水水質(zhì)變化混凝劑1mg/L所需要堿劑堿度

39、減少硫酸鹽增加由氫碳酸放出CO2由碳酸放出CO2Na2O3Ca(OH)2NaOH硫酸鋁6660.450.450.40.20.470.330.36硫酸鐵4000.750.750.660.330.80.560.6硫酸亞鐵2780.360.360.320.160.380.280.29加氯硫酸亞鐵5630.80.530.70.350.850.590.64硫酸鉀鋁9480.320.420.280.140.340.230.25硫酸銨鋁9080.330.440.290.150.350.240.263.7助凝劑之種類及其應(yīng)用藥品劑量范圍(mg/L)PH備注陰離子聚合物25沒(méi)有改變膠體混凝或與金屬一起助凝，應(yīng)避

40、免惰性化合物的形成。陽(yáng)離子與某些非離子聚合物0.251.0沒(méi)有改變做為助凝劑，加速混凝沉淀并加強(qiáng)膠羽的緊密性以利過(guò)濾，如污泥脫水之調(diào)理。3.8沉淀槽一般為鋼筋混凝土或鋼板所構(gòu)成，需具良好水密性，若為鋼板則應(yīng)注意防蝕處理，置于地面上者，必需檢討其水壓對(duì)混凝土或鋼板之強(qiáng)度，而置于地下者則必須檢討土壓之強(qiáng)度。3.9沉淀槽之種類及操作注意事項(xiàng)方式形狀及集泥方式注意事項(xiàng)特征概略圖向上流式沉淀槽長(zhǎng)方式沉淀槽一般附有長(zhǎng)方形污泥刮泥機(jī)1.短流造成污泥揚(yáng)起凝聚力強(qiáng)的排水，一般使用于活性污泥處理圓形、正方形沉淀槽漏斗型，附污泥刮泥機(jī)1.短流造成污泥揚(yáng)起2.漏斗壁之傾斜角60°以上。漏斗型者處理量以100

41、m3/d為限凝聚力強(qiáng)的排水，一般使用于活性污泥處理水平流式沉淀槽長(zhǎng)方形沉淀槽，一般機(jī)械式污泥刮泥機(jī)1.槽過(guò)寬易發(fā)生偏流，長(zhǎng)寬比宜3：15：12底部坡度以1/100 2/100為宜.大小規(guī)格皆適用圓形、正方形沉淀槽漏斗型，附污泥刮泥機(jī)1.流入裝置與溢流堰之距離若太近，處理效率降低，直徑及深度比為6：112：1為宜2.底部坡度以5/10010/100為宜中規(guī)模以上處理場(chǎng)使用3.10沉淀槽重要設(shè)計(jì)參數(shù)A. 沉淀部?jī)?nèi)之流速一般水平流式沉淀池之流速，以不大于沉淀速度之912倍為宜，亦即應(yīng)在0.30.4m/min左右。B. 沉淀時(shí)間(停留時(shí)間)沉淀時(shí)間依粒子之沉淀速度決定之原則上可依粒子沉降試驗(yàn)所得數(shù)據(jù)剩

42、以安全率決定之。沉淀槽實(shí)際沉淀時(shí)間可以有效容積/處理水量求之。一般沉淀時(shí)間依粒子的性質(zhì)采用26小時(shí)，雖沉淀時(shí)間長(zhǎng)去除率高，但腐敗性的廢水若太長(zhǎng)則常因腐敗而水質(zhì)發(fā)生惡化。C. 水深有效水深一般為2.54m，小規(guī)模處理設(shè)施有較淺者。D. 水面積負(fù)荷(溢流率)沉淀槽之表面積依下式?jīng)Q定之。沉淀槽表面積=水面積負(fù)荷為沉淀槽之單位表面積單位時(shí)間處理之水量，以m3/m2*d表示之。為沉淀槽內(nèi)處理水之上升速度之近似值，水面積負(fù)荷20m3/m2*d系表示處理水之平均上升速度為20m/d之意，其值可依下式?jīng)Q定之。水面積負(fù)荷=通常為達(dá)到固液分離的安定，水面積負(fù)荷應(yīng)較粒子之沉降速度小為宜。一般有機(jī)廢水處理之面積負(fù)荷，

43、初沉槽以2050m3/m2*d，最終沉淀槽之2030m3/m2*d為宜。3.11過(guò)濾設(shè)備之分類3.12過(guò)濾設(shè)備裝置時(shí)應(yīng)注意事項(xiàng)如下：1.過(guò)濾水質(zhì)過(guò)濾設(shè)施就是利用物理性的截留作用，將廢水中的不溶性懸浮固形物予以截留去除。而溶解性物質(zhì)則無(wú)法藉過(guò)濾方式去除之。采用過(guò)濾程序時(shí)，將過(guò)濾前水質(zhì)SS維持在50mg/L以下，以免固體物過(guò)多造成反洗頻率太快，則不符合經(jīng)濟(jì)及操作。2.過(guò)濾速度V=式中，V：過(guò)濾速度Q：過(guò)濾流量S：過(guò)濾面積過(guò)濾速度受進(jìn)流水水質(zhì)及濾層之粒子捕捉量影響，若過(guò)濾速度過(guò)大，則出流SS提高，過(guò)濾持續(xù)時(shí)間(濾程)縮短，因此在設(shè)定過(guò)濾速度時(shí)，必須先考慮進(jìn)流水SS濃度、過(guò)濾持續(xù)時(shí)間及濾層的構(gòu)造等。一

44、般廢水處理過(guò)濾速度采平均水量150200m3/day為宜，最大水量則以300400m3/day為范圍。3.損失水頭于濾層中通過(guò)水流，由于濾層內(nèi)之阻力，會(huì)產(chǎn)生流入端與流出端之壓力差稱為損失水頭或過(guò)濾阻力。損失水頭依過(guò)濾之時(shí)間，粒子之捕捉量的增加而增大，當(dāng)其達(dá)一定損失水頭時(shí)，過(guò)濾層就必須進(jìn)行反沖洗，俟損失水頭降低后，再行過(guò)濾之。若此一操作不適當(dāng)，則損失水頭將增大，被濾層捕捉的粒子，將因?yàn)V料無(wú)法阻留而流出，過(guò)濾水呈混濁。4.濾層于濾層應(yīng)注意事項(xiàng)包括濾層的構(gòu)造、濾料之性質(zhì)、濾層厚度等。一般過(guò)濾塔槽之下部為集水裝置，其上置支持濾層的礫石層，再其次為濾層。為防止濾層在短時(shí)間內(nèi)阻塞，致濾程太短，濾料之種類多

45、采復(fù)數(shù)層2層或3層，盡可能使各層皆可發(fā)揮捕捉粒子的功能，并增長(zhǎng)過(guò)濾持續(xù)時(shí)間。通常濾料的組合為無(wú)煙煤+砂(2層過(guò)濾)或無(wú)煙煤+砂+柘榴石(3層過(guò)濾)，但向上流式者，則采用均勻系數(shù)較大的石英砂做為單層的濾層。5.濾層支持層濾層支持層主要是防止濾料之流出，以礫石(粒徑250mm)分四層(厚度2050cm)鋪設(shè)之。又本支持層之設(shè)置以能使反沖洗水及空氣于反沖洗時(shí)能均勻分散為宜。6.集水裝置集水裝置的主要功能為收集過(guò)濾水與均勻入流之反沖洗水，使過(guò)濾及反沖洗之損失水頭均勻，集水設(shè)備之型式有下列各種：韋氏型：于濾床上設(shè)置支撐，而于其上置混凝土塊形成品字型。(a) 多孔液型：于濾床上設(shè)置多孔隔板，以區(qū)隔出一集水

46、區(qū)間(b) 濾器型：于濾床上的支持板面或集水管路上設(shè)置過(guò)濾頭或?yàn)V球者。(c) 多孔管型：濾床上設(shè)置多孔的干管及支管者。7.反沖洗過(guò)濾達(dá)到一定的損失水頭時(shí)或經(jīng)過(guò)一段時(shí)間，過(guò)濾濾層發(fā)生阻塞現(xiàn)象時(shí)，必須以水及空氣進(jìn)行濾層反沖洗，以恢復(fù)過(guò)濾能力。反沖洗次數(shù)以可考慮捕捉之粒子的腐敗，以每日一次為宜，反沖洗除可以差壓設(shè)定成定時(shí)自動(dòng)控制操作外，亦宜設(shè)有手動(dòng)操作方式。3.13氫氟酸廢水處理系統(tǒng)材質(zhì)選用NO項(xiàng)目材質(zhì)之選定A氫氟酸貯槽可抗氫氟酸之FRP層B氫氟酸輸送泵接液部份采用抗氫氟酸材質(zhì)之POLYPROPYLENEC氫氟酸偵測(cè)計(jì)采用TEFLON之材質(zhì)，偵測(cè)計(jì)可自動(dòng)清洗D酸堿偵測(cè)計(jì)采用可自動(dòng)清洗式E氫氟酸輸送管

47、線采用POLYPROPYLENE材質(zhì)注：若為高濃度氫氟酸必須使用Telflon材質(zhì)。3.14高酸高堿廢水材質(zhì)選用廢水之性質(zhì)其PH值往往低于2及高于12，另含有較微量之氫氟酸，故對(duì)于材質(zhì)之選定除了抗高酸性及高堿性外，對(duì)于較微量之氫氟酸亦需考慮。NO項(xiàng)目材質(zhì)之選定A廢水貯存槽采用可抗氫氟酸之FRP層及溶劑B廢水傳送泵接液部份采用抗氫氟酸材質(zhì)之POLYPROPYLENEC氫氟酸偵測(cè)計(jì)采用TEFLON之材質(zhì)，偵測(cè)計(jì)可自動(dòng)清洗D酸堿偵測(cè)計(jì)采用可自動(dòng)清洗式E管線輸送系統(tǒng)采用PVC材質(zhì)3.15化學(xué)藥液材質(zhì)選用使用之化學(xué)藥劑如有硫酸(50%)、氫氧化鈉(45%)、硫酸亞鐵(30%)及POLYMER(0.2%)

48、，其貯存及傳送之材質(zhì)如下所述：NO項(xiàng)目化學(xué)藥廠材質(zhì)A貯槽硫酸FRP氫氧化鈉FRP硫酸亞鐵FRPPOLYMERPP or FRPB傳送泵硫酸接液材質(zhì)PVC+CE+FKM氫氧化鈉接液材質(zhì)PVC+HC+EPDM硫酸亞鐵接液材質(zhì)PVC+HC+EPDMPOLYMER接液材質(zhì)PVC+SUS304+SUS304C管線系統(tǒng)均采用PVC材質(zhì)或PP材質(zhì)3.16廢水放流流量計(jì)依法規(guī)應(yīng)設(shè)置，若放流管采重力管設(shè)計(jì)則應(yīng)采用堰式或巴歇爾式流量計(jì)，以超音波液位計(jì)量測(cè)水位變化再換算或流量訊號(hào)回傳。4.0應(yīng)研讀之法規(guī)-標(biāo)準(zhǔn)、書籍或數(shù)據(jù)水污染防制法及其施行細(xì)則事業(yè)水污染防治措施管理辦法放流水標(biāo)準(zhǔn)下水道工程學(xué)，歐陽(yáng)橋暉水及廢水處理化

49、學(xué)，楊萬(wàn)發(fā)Waste Water Engineering Treatment, Disposal, Reuse by Metealf & Eddy半導(dǎo)體制造業(yè)污防治技術(shù)，經(jīng)濟(jì)部工業(yè)局廠商型錄5.0附件放流水標(biāo)準(zhǔn)農(nóng)田水利灌溉大排標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)區(qū)污水廠納管標(biāo)準(zhǔn)采購(gòu)規(guī)范農(nóng)田水利灌溉大排標(biāo)準(zhǔn)第三條：科學(xué)工業(yè)園區(qū)管理局部性以下簡(jiǎn)稱管理局)參酌園區(qū)污水處理場(chǎng)操作功能訂定園區(qū)污水下水道可容納排入之下水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)如左：一、水溫：35度(攝氏，于污水排放口)二、生化需氧量：400毫克公升三、化學(xué)需氧量：500毫克公升四、懸浮固體：350毫克公升五、氫離子濃度指數(shù)510毫克公升六陰離子界面活性劑10.0毫克公升七、油脂：(正已烷抽出物：10毫克公升八、酚類：1.0毫克公升九、銀：0.5毫克公升十、砷：0.5毫克公升十一、鎘：0.03毫克公升十二、六價(jià)鉻：0.5毫克公升十三、銅：3.0毫克公升十四、溶解性鐵：10.0毫克公升十五、總汞：0.005毫克公升十六、鎳：1.0毫克公升十七、鉛：1.0毫克公升十八、硒：0.5毫克公升