常用雙面拋光機的結(jié)構(gòu)設(shè)計_第1頁
常用雙面拋光機的結(jié)構(gòu)設(shè)計_第2頁
常用雙面拋光機的結(jié)構(gòu)設(shè)計_第3頁
常用雙面拋光機的結(jié)構(gòu)設(shè)計_第4頁
常用雙面拋光機的結(jié)構(gòu)設(shè)計_第5頁
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文檔簡介

1、1.新型雙面拋光機傳動結(jié)構(gòu)設(shè)計為實現(xiàn)新型雙面拋光機各部分運動，可以采用所示結(jié)構(gòu)。上拋光盤 7 旋轉(zhuǎn)或固定，下拋光盤3 由電機 17 通過皮帶、齒輪機構(gòu) 18、軸套 23、下底板 3 帶動作旋轉(zhuǎn)運動;控制裝置控制內(nèi)外運行裝置作等距離圓平動及公轉(zhuǎn)運動，各工件載體由內(nèi)外運行裝置帶動作相同運動?？刂蒲b置分為先占為王”了。我鋪好地鋪后，沒有馬上洗澡。我們都在臥室坐著玩各自的的2 部分，第 1 部分控制外運行裝置作圓平動(擺動)，伺服電機 19 通過齒輪傳動機構(gòu) 20 馭動齒輪 21.各外運動裝置 22 與各齒輪 21 固連，帶動多個外運動裝 ff 的轉(zhuǎn)盤運轉(zhuǎn).使裝在轉(zhuǎn)盤上的外偏心臂同向同速旋轉(zhuǎn);伺服電機

2、 13 通過齒輪傳動機構(gòu) 12 軸套 24 及齒輪 25 驅(qū)動齒輪 6.各內(nèi)運動裝置與各齒輪 6 固連.帶動多個內(nèi)運動裝置的轉(zhuǎn)盤運轉(zhuǎn).使裝在轉(zhuǎn)盤上的內(nèi)偏心臂同向同速旋轉(zhuǎn)先占為王”了。我鋪好地鋪后，沒有馬上洗澡。我們都在臥室坐著玩各自的的(或擺動)。2.新型雙面拋光機運動分析各載體運動相同，以單個載體的運動進行分析。坐標系下，若偏心臂以恒定角速度。勻速轉(zhuǎn)動， xoy 是固定坐標系.其原點位于內(nèi)外轉(zhuǎn)盤中心線的中點o.x,o,y為原點位于載體中心o’的動坐標系，隨載體一起作平動.動坐標系 xoy先占為王”了。我鋪好地鋪后，沒有馬上洗澡。我們都在臥室坐著玩各自的的內(nèi)一坐標為(x,y)的定點在靜坐標系.xoy 內(nèi)對應的點為(x,y).則有（公式略）3.結(jié)語該新型雙面拋光機具有圓平動(或擺動)方式下恒速變向拋光的優(yōu)點.且能把拋光壓力均勻壓在載體內(nèi)的工件上，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊。具有較為理想的拋光軌跡形態(tài)以及恰當?shù)膾伖鈾C的先占為王”了。我鋪好地鋪后，沒有馬上洗澡。我們都在臥室坐著玩各自的的拋光軌跡密度分布，可以有效減少工件的畸變、減小拋光盤的磨損變形、減少拋光盤修整次數(shù)。提高工件的加工效率和加工精度.降低工件表面的粗糙度，為硅晶片獲得納米級加工

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