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文檔簡介

1、半導(dǎo)體物理學(xué)課程規(guī)范(講授)一、課程概況課程號BX0925327課程名稱半導(dǎo)體物理學(xué)課程英文名稱Semiconductor Physics總學(xué)時數(shù)/周數(shù)48/4學(xué)分4講授學(xué)時48實驗學(xué)時實習(xí)周數(shù)開課單位理學(xué)院適用專業(yè)應(yīng)用物理專業(yè)課程類別專業(yè)核心課修讀方式必修先修課程高等數(shù)學(xué)、固體物理考核方式根據(jù)課程內(nèi)容與培養(yǎng)目標(biāo)由課程組(授課教師)確定,包括考核方式、成績構(gòu)成比例、平時成績的確定等。閉卷考核、筆試80%,平時成績(包括課上表現(xiàn)、出勤率、作業(yè)完成情況)20%教材及主要教學(xué)參考書半導(dǎo)體物理學(xué) 劉恩科,朱秉升,羅普生編著,電子工業(yè)出版社 2011主要參考書:半導(dǎo)體物理學(xué)學(xué)習(xí)輔導(dǎo)與典型題解 田敬民編,

2、 電子工業(yè)出版社2006半導(dǎo)體物理簡明教程 陳志明,雷天民,馬劍平編,高等教育出版社2003半導(dǎo)體物理年季振國,浙江大學(xué)出版社2005課程簡介半導(dǎo)體物理學(xué)是研究半導(dǎo)體材料的結(jié)構(gòu)、電學(xué)、光學(xué)等諸多特性的學(xué)科。該課程主要內(nèi)容有半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)、半導(dǎo)體中雜質(zhì)和缺陷能級、半導(dǎo)體中載流子的統(tǒng)計分布、半導(dǎo)體的導(dǎo)電性、非平衡載流子、pn結(jié)、金屬和半導(dǎo)體的接觸、半導(dǎo)體表面與MIS結(jié)構(gòu)、異質(zhì)結(jié)等。能力培養(yǎng)任務(wù)該課程要通過各個教學(xué)環(huán)節(jié)逐步培養(yǎng)學(xué)生的抽象思維能力、邏輯推理能力、空間想象能力、數(shù)學(xué)運(yùn)算能力、綜合解題能力、實踐能力以及創(chuàng)新能力。二、課程知識、能力體系半導(dǎo)體物理學(xué)課程知識(能力)體系序號知識單元描述知識

3、點(diǎn)對應(yīng)能力學(xué)時要求1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)半導(dǎo)體中電子狀態(tài)綜合分析能力4熟悉能帶理論抽象思維能力2掌握回旋共振抽象思維能力2了解2半導(dǎo)體中的雜質(zhì)和缺陷能級施主雜質(zhì),受主雜質(zhì)綜合分析能力4掌握深能級、淺能級雜質(zhì)、缺陷、位錯邏輯推理能力2掌握3半導(dǎo)體中載流子的統(tǒng)計分布費(fèi)米分布函數(shù)、玻耳茲曼分布函數(shù)綜合計算能力6掌握費(fèi)米能級綜合解題能力2掌握載流子濃度綜合解題能力2熟悉4半導(dǎo)體的導(dǎo)電性散射機(jī)構(gòu)的機(jī)理、遷移率抽象思維能力2熟悉電導(dǎo)率、電阻率與雜質(zhì)濃度及溫度的關(guān)系綜合分析能力2掌握5非平衡載流子非平衡載流子的產(chǎn)生、復(fù)合、擴(kuò)散等運(yùn)動規(guī)律綜合分析能力4熟悉電流密度方程和連續(xù)性方程邏輯推理能力2掌握6pn結(jié)pn結(jié)

4、的物理特性以及能帶圖,pn結(jié)的擊穿機(jī)制和隧道效應(yīng)邏輯推理能力4掌握pn結(jié)接觸電勢差,pn結(jié)的電流電壓綜合分析能力2掌握7金屬和半導(dǎo)體的接觸金屬半導(dǎo)體接觸能帶圖圖解能力4熟悉金屬半導(dǎo)體接觸的電流傳輸理論的幾種模型邏輯推理能力2掌握歐姆接觸和整流接觸綜合分析能力2掌握三、教學(xué)內(nèi)容及基本要求理論教學(xué)部分(按章節(jié)順序填寫)學(xué)時:8學(xué)時章第一章 半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)(8學(xué)時)教學(xué)目的和要求通過學(xué)習(xí)本章應(yīng)了解半導(dǎo)體中的電子狀態(tài),能帶理論;明確回旋共振實驗的目的、意義和原理,進(jìn)而了解主要半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)。重點(diǎn)和難點(diǎn)重點(diǎn):半導(dǎo)體中的電子運(yùn)動;有效質(zhì)量;空穴概念難點(diǎn):能帶論的定性描述和理解;半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)“

5、三基”分析基本知識:半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)基本理論:半導(dǎo)體材料的能帶理論基本方法:分析法解決能帶問題教學(xué)內(nèi)容與學(xué)時分配1.1 半導(dǎo)體的晶格結(jié)構(gòu)和結(jié)合性質(zhì) 2學(xué)時 1.2 半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶 1學(xué)時1.3 半導(dǎo)體中電子運(yùn)動 1學(xué)時1.4 本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu) 空穴 1學(xué)時1.5 回旋共振 1學(xué)時1.6 硅和鍺的能帶結(jié)構(gòu) 1學(xué)時1.7 III-V族化合物半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu) 1學(xué)時教學(xué)方法與教學(xué)手段教學(xué)方法:講授法教學(xué)手段:板書、PPT本章思考題習(xí)題1-1,1-2主要參考資料1.半導(dǎo)體物理學(xué)學(xué)習(xí)輔導(dǎo)與典型題解 田敬民編,電子工業(yè)出版社 20062.半導(dǎo)體物理簡明教程 陳志明,雷天民,馬劍平編,高等教

6、育出版社20033.半導(dǎo)體物理年季振國,浙江大學(xué)出版社2005備注理論教學(xué)部分(按章節(jié)順序填寫)學(xué)時:8學(xué)時章第二章 半導(dǎo)體中的雜質(zhì)和缺陷能級(6學(xué)時)教學(xué)目的和要求通過學(xué)習(xí)本章應(yīng)了解不同雜質(zhì)再半導(dǎo)體禁帶中引入能級的特點(diǎn)及其性質(zhì)和作用,由其分清淺雜質(zhì)能級(施主和受主)和深能級雜質(zhì)的性質(zhì)和作用;了解缺陷、位錯能級的特點(diǎn)和作用。重點(diǎn)和難點(diǎn)重點(diǎn):雜質(zhì)類型;施主雜質(zhì),施主能級,受主雜質(zhì),受主能級等概念;淺能級雜質(zhì),深能級雜質(zhì);雜質(zhì)補(bǔ)償作用難點(diǎn):雜質(zhì)能級;雜質(zhì)電離的過程個基本定理及三個守恒定律“三基”分析基本知識:摻雜,雜質(zhì)能級基本理論:能帶理論基本方法:,圖解法分析能帶教學(xué)內(nèi)容與學(xué)時分配2.1 硅、鍺

7、晶體中的雜質(zhì)能級 2學(xué)時 2.2 III-V族化合物中的雜質(zhì)能 2學(xué)時2.3 氮化鎵、氮化鋁、碳化硅中的雜質(zhì)能級 1學(xué)時2.4 缺陷、位錯能級 1學(xué)時教學(xué)方法與教學(xué)手段教學(xué)方法:講授法、課堂討論法教學(xué)手段:糾正錯誤法本章思考題習(xí)題1、3、7、10、11題主要參考資料半導(dǎo)體物理學(xué)學(xué)習(xí)輔導(dǎo)與典型題解 田敬民編, 電子工業(yè)出版社2006半導(dǎo)體物理簡明教程 陳志明,雷天民,馬劍平編,高等教育出版社2003半導(dǎo)體物理年季振國,浙江大學(xué)出版社2005備注理論教學(xué)部分(按章節(jié)順序填寫)學(xué)時:6學(xué)時章第三章 半導(dǎo)體中載流子的統(tǒng)計分布(10學(xué)時)教學(xué)目的和要求通過學(xué)習(xí)本章應(yīng)掌握狀態(tài)密度、費(fèi)米分布函數(shù)、玻耳茲曼分

8、布函數(shù)的物理意義和半導(dǎo)體中載流子統(tǒng)計分布的規(guī)律,能順利導(dǎo)出有關(guān)重要基本公式,準(zhǔn)確計算在各種不同雜質(zhì)濃度和溫下的費(fèi)米能級位置和載流子濃度,從而對半導(dǎo)體性質(zhì)有更深入的理解。重點(diǎn)和難點(diǎn)重點(diǎn):波矢空間的量子態(tài)的分布;半導(dǎo)體導(dǎo)帶底,價帶頂附近的狀態(tài)密度計算;費(fèi)米分布函數(shù)和玻耳茲曼分布函數(shù)及其物理意義;本征半導(dǎo)體,雜質(zhì)半導(dǎo)體載流子濃度的計算難點(diǎn):半導(dǎo)體導(dǎo)帶底,價帶頂附近的狀態(tài)密度計算;費(fèi)米能級和載流子的統(tǒng)計分布;雜質(zhì)半導(dǎo)體載流子濃度的計算“三基”分析基本知識:費(fèi)米分布函數(shù),載流子濃度基本理論: 載流子統(tǒng)計分布規(guī)律基本方法:載流子濃度的計算教學(xué)內(nèi)容與學(xué)時分配3.1 狀態(tài)密度 2學(xué)時 3.2 費(fèi)米能級和載流子

9、的統(tǒng)計分布 2學(xué)時3.3 本征半導(dǎo)體的載流子濃度 2學(xué)時3.4 雜質(zhì)半導(dǎo)體的載流子濃度 2學(xué)時3.5 一般情況下的載流子統(tǒng)計分布 1學(xué)時3.6 簡并半導(dǎo)體 1學(xué)時教學(xué)方法與教學(xué)手段教學(xué)方法:講授法與引導(dǎo)法教學(xué)手段:板書和PPT結(jié)合本章思考題1、3、7、10、11主要參考資料1.半導(dǎo)體物理學(xué)學(xué)習(xí)輔導(dǎo)與典型題解 田敬民編, 電子工業(yè)出版社20062.半導(dǎo)體物理簡明教程 陳志明,雷天民,馬劍平編,高等教育出版社20033.半導(dǎo)體物理年季振國,浙江大學(xué)出版社2005備注理論教學(xué)部分(按章節(jié)順序填寫)學(xué)時:10學(xué)時章第四章 半導(dǎo)體的導(dǎo)電性(4學(xué)時)教學(xué)目的和要求通過學(xué)習(xí)本章內(nèi)容,應(yīng)了解幾種主要散射機(jī)構(gòu)的

10、機(jī)理、散射幾率與雜質(zhì)濃度及溫度的關(guān)系,從而明確遷移率、電導(dǎo)率、電阻率與雜質(zhì)濃度及溫度的關(guān)系。簡單了解半導(dǎo)體在強(qiáng)電場下的效應(yīng)及耿氏效應(yīng)。重點(diǎn)和難點(diǎn)重點(diǎn):電導(dǎo)率、遷移率概念及相互關(guān)系;遷移率、電阻率隨溫度和雜質(zhì)濃度的變化規(guī)律;強(qiáng)電場效應(yīng)難點(diǎn):載流子的散射機(jī)構(gòu);電導(dǎo)率與遷移率的關(guān)系;強(qiáng)電場效應(yīng);熱載流子“三基”分析基本知識:散射,遷移基本理論:遷移率、電導(dǎo)率、電阻率與雜質(zhì)濃度及溫度的關(guān)系基本方法:通過分析法明晰基本過程教學(xué)內(nèi)容與學(xué)時分配4.1 載流子的漂移運(yùn)動和遷移率 1學(xué)時 4.2 載流子的散射 1學(xué)時4.3 遷移率與雜質(zhì)濃度和溫度的關(guān)系 1學(xué)時4.4 電阻率及其與雜質(zhì)濃度和溫度的關(guān)系 1學(xué)時教學(xué)

11、方法與教學(xué)手段教學(xué)方法:講授法 引導(dǎo)法討論法教學(xué)手段:板書法 本章思考題1、2、3、4、5、6、7、14主要參考資料1.半導(dǎo)體物理學(xué)學(xué)習(xí)輔導(dǎo)與典型題解 田敬民編, 電子工業(yè)出版社20062.半導(dǎo)體物理簡明教程 陳志明,雷天民,馬劍平編,高等教育出版社20033.半導(dǎo)體物理年季振國,浙江大學(xué)出版社2005備注理論教學(xué)部分(按章節(jié)順序填寫)學(xué)時:4學(xué)時章第五章 非平衡載流子(6學(xué)時)教學(xué)目的和要求通過學(xué)習(xí)本章應(yīng)掌握非平衡載流子的產(chǎn)生、復(fù)合、擴(kuò)散等運(yùn)動規(guī)律,掌握電流密度方程和連續(xù)性方程的應(yīng)用。重點(diǎn)和難點(diǎn)重點(diǎn):非平衡載流子的產(chǎn)生、復(fù)合;非平衡載流子壽命;載流子的擴(kuò)散和漂移運(yùn)動;連續(xù)性方程運(yùn)用難點(diǎn):復(fù)合

12、理論;愛因斯坦關(guān)系;連續(xù)性方程的應(yīng)用“三基”分析基本知識:載流子的產(chǎn)生于復(fù)合基本理論:電流密度方程和連續(xù)性方程基本方法:分析法教學(xué)內(nèi)容與學(xué)時分配5.1 非平衡載流子的注入與復(fù)合 1學(xué)時 5.2 非平衡載流子的壽命 1學(xué)時5.3 準(zhǔn)費(fèi)米能級 1學(xué)時5.4 復(fù)合理論 1學(xué)時5.5 陷阱效應(yīng) 1學(xué)時5.6 載流子的擴(kuò)散運(yùn)動 1學(xué)時教學(xué)方法與教學(xué)手段教學(xué)方法:講授法教學(xué)手段:板書和PPT結(jié)合本章思考題習(xí)題1、5、6、7主要參考資料1.半導(dǎo)體物理學(xué)學(xué)習(xí)輔導(dǎo)與典型題解 田敬民編, 電子工業(yè)出版社20062.半導(dǎo)體物理簡明教程 陳志明,雷天民,馬劍平編,高等教育出版社20033.半導(dǎo)體物理年季振國,浙江大學(xué)

13、出版社2005備注理論教學(xué)部分(按章節(jié)順序填寫)學(xué)時:6學(xué)時章第六章 pn結(jié)(6學(xué)時)教學(xué)目的和要求通過學(xué)習(xí)本章應(yīng)了解pn結(jié)的物理特性以及能帶圖,掌握pn結(jié)接觸電勢差的計算,理解pn結(jié)的電流電壓、pn結(jié)電容的意義和計算,了解pn結(jié)的擊穿機(jī)制和隧道效應(yīng)重點(diǎn)和難點(diǎn)重點(diǎn):空間電荷區(qū)、pn結(jié)接觸電勢差、載流子分布、電流電壓特性、結(jié)電容、擊穿機(jī)制、隧道效應(yīng)難點(diǎn):電流電壓特性、結(jié)電容“三基”分析基本知識:pn結(jié)基本理論:pn結(jié)的物理特性以及能帶圖基本方法:圖解法處理pn結(jié)及能帶圖教學(xué)內(nèi)容與學(xué)時分配6.1 pn結(jié)及其能帶圖 2學(xué)時 6.2 pn結(jié)電流電壓特性 1學(xué)時6.3 pn結(jié)電容 1學(xué)時6.4 pn結(jié)擊

14、穿 1學(xué)時6.5p結(jié)隧道效應(yīng) 1學(xué)時教學(xué)方法與教學(xué)手段教學(xué)方法:講授法,討論法教學(xué)手段:實驗法本章思考題習(xí)題1、2題主要參考資料1.半導(dǎo)體物理學(xué)學(xué)習(xí)輔導(dǎo)與典型題解 田敬民編, 電子工業(yè)出版社20062.半導(dǎo)體物理簡明教程 陳志明,雷天民,馬劍平編,高等教育出版社20033.半導(dǎo)體物理年季振國,浙江大學(xué)出版社2005備注理論教學(xué)部分(按章節(jié)順序填寫)學(xué)時:6學(xué)時章第七章 金屬和半導(dǎo)體的接觸(8學(xué)時)教學(xué)目的和要求通過本章學(xué)習(xí)應(yīng)深入了解理想和實際的金屬半導(dǎo)體接觸能帶圖,并了解金屬半導(dǎo)體接觸的電流傳輸理論的幾種模型的建立、應(yīng)用和推導(dǎo),且掌握實現(xiàn)良好歐姆接觸和整流接觸的原理和方法。重點(diǎn)和難點(diǎn)重點(diǎn):金屬和半導(dǎo)體接觸的能帶彎曲過程分析及簡圖畫法。難點(diǎn):金屬和半導(dǎo)體接觸的能帶彎曲過程分析,熱電子發(fā)射理論“三基”分析基本知識:金屬半導(dǎo)體接觸:基本理論:金屬半導(dǎo)體接觸的電流傳輸理論基本方法:能帶理論教學(xué)內(nèi)容與學(xué)時分配7.1 金屬半導(dǎo)體接觸及其能級圖 3學(xué)時 7.2 金屬半導(dǎo)體接觸整流理論 3學(xué)時7.3 少

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