真空獲得俘獲真空泵學(xué)習(xí)教案

1、會(huì)計(jì)學(xué)1真空獲得真空獲得(hud)俘獲真空泵俘獲真空泵第一頁(yè)，共45頁(yè)。n效率：有效表面吸附特種氣體第1頁(yè)/共45頁(yè)第二頁(yè)，共45頁(yè)。n800 square meters “effective area” per cc.第2頁(yè)/共45頁(yè)第三頁(yè)，共45頁(yè)。第3頁(yè)/共45頁(yè)第四頁(yè)，共45頁(yè)。第4頁(yè)/共45頁(yè)第五頁(yè)，共45頁(yè)。第5頁(yè)/共45頁(yè)第六頁(yè)，共45頁(yè)。大低于氖和氦分壓可被吸附的氣體(qt)量和殘余氣體(qt)壓強(qiáng)關(guān)系第6頁(yè)/共45頁(yè)第七頁(yè)，共45頁(yè)。二氧化碳特別有效大氣抽除以后的平衡(pnghng)壓強(qiáng)第7頁(yè)/共45頁(yè)第八頁(yè)，共45頁(yè)。第8頁(yè)/共45頁(yè)第九頁(yè)，共45頁(yè)。第9頁(yè)/共45頁(yè)第十頁(yè)

2、，共45頁(yè)。n通常用在UHV系統(tǒng)中第10頁(yè)/共45頁(yè)第十一頁(yè)，共45頁(yè)。第11頁(yè)/共45頁(yè)第十二頁(yè)，共45頁(yè)。n液Hen極限壓強(qiáng)最低、抽速最大第12頁(yè)/共45頁(yè)第十三頁(yè)，共45頁(yè)。第13頁(yè)/共45頁(yè)第十四頁(yè)，共45頁(yè)。第14頁(yè)/共45頁(yè)第十五頁(yè)，共45頁(yè)。能為力nLHe成本限制了其使用，但是溫度最低的冷劑 300元/L第15頁(yè)/共45頁(yè)第十六頁(yè)，共45頁(yè)。第16頁(yè)/共45頁(yè)第十七頁(yè)，共45頁(yè)。n注意保護(hù)第二注意保護(hù)第二級(jí)冷表面級(jí)冷表面n遠(yuǎn)離容易飽和遠(yuǎn)離容易飽和氣體氣體n遠(yuǎn)離熱負(fù)載遠(yuǎn)離熱負(fù)載n無(wú)油無(wú)油第17頁(yè)/共45頁(yè)第十八頁(yè)，共45頁(yè)。第18頁(yè)/共45頁(yè)第十九頁(yè)，共45頁(yè)。n取決于吸附與脫附的

3、平衡第19頁(yè)/共45頁(yè)第二十頁(yè)，共45頁(yè)。第20頁(yè)/共45頁(yè)第二十一頁(yè)，共45頁(yè)。氣體吸氣表面入射率 逃逸率凈抽速單位水蒸汽 1級(jí)表面15015L/sec.cm2N22級(jí)表面上11.98.93L/sec.cm2H22級(jí)表面內(nèi)部45396L/sec.cm2第21頁(yè)/共45頁(yè)第二十二頁(yè)，共45頁(yè)。第22頁(yè)/共45頁(yè)第二十三頁(yè)，共45頁(yè)。nnHe壓縮機(jī)第23頁(yè)/共45頁(yè)第二十四頁(yè)，共45頁(yè)。n壓縮機(jī)壓縮機(jī)第24頁(yè)/共45頁(yè)第二十五頁(yè)，共45頁(yè)。低溫泵中等尺寸(ch cun)與氣體反應(yīng)貯存氣體渦輪分子泵尺寸小與氣體不反應(yīng)抽除氣體Typically in each applicationsTypical

4、ly in film deposition applications第25頁(yè)/共45頁(yè)第二十六頁(yè)，共45頁(yè)。第26頁(yè)/共45頁(yè)第二十七頁(yè)，共45頁(yè)。第27頁(yè)/共45頁(yè)第二十八頁(yè)，共45頁(yè)。n第28頁(yè)/共45頁(yè)第二十九頁(yè)，共45頁(yè)。n常見(jiàn)收氣金屬nMg, Ca, Ba, Al, La系金屬n主要用Ba或Ba合金（不會(huì)氧化中毒，也不會(huì)重新釋氣）第29頁(yè)/共45頁(yè)第三十頁(yè)，共45頁(yè)。n鈦第30頁(yè)/共45頁(yè)第三十一頁(yè)，共45頁(yè)。第31頁(yè)/共45頁(yè)第三十二頁(yè)，共45頁(yè)。第32頁(yè)/共45頁(yè)第三十三頁(yè)，共45頁(yè)。AeAee 第33頁(yè)/共45頁(yè)第三十四頁(yè)，共45頁(yè)。能吸附離子的表面：清潔的，冷的負(fù)電表面電子源（W熱陰極）加速(ji s)電子的陽(yáng)極第34頁(yè)/共45頁(yè)第三十五頁(yè)，共45頁(yè)。第35頁(yè)/共45頁(yè)第三十六頁(yè)，共45頁(yè)。n10-5Pan泵體，電極烘烤除氣n離子泵工作第36頁(yè)/共45頁(yè)第三十七頁(yè)，共45頁(yè)。nn收氣劑對(duì)離子作用遠(yuǎn)大于對(duì)分子作用n新鮮粒狀表面，增強(qiáng)氣體分子向內(nèi)能徙動(dòng)第37頁(yè)/共45頁(yè)第三十八頁(yè)，共45頁(yè)。第38頁(yè)/共45頁(yè)第三十九頁(yè)，共45頁(yè)。第39頁(yè)/共45頁(yè)第四十頁(yè)，共45頁(yè)。第40頁(yè)/共45頁(yè)第四十一頁(yè)，共45頁(yè)。第41頁(yè)/共45頁(yè)第四十二頁(yè)，共45頁(yè)。n濺射孔