pecvd班組的維護流程

1、9h6Olr>gRuA$tfMW2MW W.fiqrwIrw H*«d MH»0O9-219«a匚Mn川3WbW CMiiiQinrulaiEion 時WshK CoQilIng 心kt&iii&i »制片itMW1MW 瞞怕i,Mran HmA MH MMS-SI MBMW-P0W»r 加皿 MX 4»KH(HLLBNCDioci*BMC-Cabk的 維 護 流 程禺情I" Cubing Aifp: Tube&i 曲MWV* FwdthnunR»wsr SuppryNtX4QlMO1

2、1»LL1維護準備11提前準備維護工具石英管的準備8-15根單晶需15根,2根備用多晶需9根,1根備用2】石英管的挑選注意：口徑的大小兩端口徑不要有裂痕 整根不能有裂痕 碰痕.無細微裂紋和氣泡3】一對軸套的卡孔注意能與扭力扳手吻合,需要時要用電鉆處理卡孔鋁杯罩外部4】面綠"O'圈面注意不能有大的劃痕O'圈的選用一注意形狀不變形不扭曲;二"O圈用酒精清洗,觀察“ O圈是否有裂痕 毛刺,尤具綠"O'圈.5】梅花圈分薄和厚型,選用注意形狀厚度大小 其作用是支撐銅導管,調節(jié)安裝石英管的長度注意兩者的吻合,孔位的適是和銅導管配位使用,在維護

3、撤除石英管時,需要拔出銅制天線組裝的一端圖【下】【下】細分圖帶有環(huán)形封口的鋁制罩帽quartz tube1)圖：將石英管擠壓進準備好的鋁質罩帽2) 將銅質導管插入并定位于聚四氟乙烯梅花圈的中央位置(梅花圈對于保證銅質內導管在石英管內的中央位置是 十分必要的)圖：完整的石英管的剖面圖3) 將卡口鎖定裝置滑入石英管圖：準備好的微波傳送系統(tǒng)4) 將石英管的另一端推入準備好的另一個鋁制的罩帽中,同時將銅質內導管插入并定位于另外一個聚四氟乙烯梅 花圈的中央位置圖2:完整的微波傳送系統(tǒng)拆卸石英管的過程:1.先將微波連接器一端的銅質天線向外拔出80mm后即可挪開該天線見右圖圖：在工作位置和維護位置配有銅質天

4、線的小型微波發(fā)射頭2 .用大力鉗將石英管掐碎,碎斷距離大約15CM 一手掌的距 離,注意別傷到銅導管碎斷的距離便于拆卸石英管.【注 意別讓碎玻璃傷到手】3 .軸套的松緊,順時針是上緊,逆時針方向為松懈工藝反響倉倉壁上的微波發(fā)射頭法蘭接口（1） 4.法蘭：石英管連接處,注意觀察外部面的平整度,不得有任何劃痕.拆卸掉石英管時,需要用麻有酒精的無 塵布進行阻擋或用墊板進行隔離2使用真空吸塵器清洗一側的外表法蘭盤并用 麻有酒精的無 塵布封外表注意！卡口鎖定連接器和法蘭盤之間的尺寸咬合公差只有0.10.2mm如果顆粒從卡口鎖定架或橫向工藝特氣罩上脫落將會導致擦傷和損傷卡口鎖定裝置和法蘭盤現(xiàn)舉用下鍍膜的工藝腔室為例：沉積罩或特氣梢的熟悉圖：關閉的氨氣吹淋噴頭孔左圖局部關閉的硅烷氣體吹淋噴頭孔右圖3使用金屬線刷或砂紙清洗嚴重污染的不能拆卸的部件,使 用真空吸塵器去除過程中產生的灰塵.4檢查氣體吹淋口所有的氣孔1mmt徑是否通暢,如果有 堵塞,使用1mm的鉆孔機或針頭刺透氣孔,從外向內用壓 縮氣體將氣體吹淋頭孔內部的灰塵吹出.腔室上裝石英管示意圖：圖1:完整的等離子體發(fā)射源左圖和沒有橫向沉積罩的等離子體發(fā)射源右圖圖2：設備維護位置時的卡口鎖定機械裝置圖3:卡口鎖定機械裝置