外層CCD平行曝光機(jī)作業(yè)指引

1、WORK INSTRUCTION文件編號(hào):VITEK-WI-PE-021版 本 號(hào):A文件名稱：外層CCD平行曝光機(jī)作業(yè)指引修 訂 號(hào):01頁 碼:第 6 頁 共 6 頁文件修訂履歷修 訂修訂內(nèi)容簡(jiǎn)述編 制 人生 效 日 期1第一次編寫謝春林2010.11.23 審 批 欄受 控 印 章 欄編 制 人：審 核 人：批 準(zhǔn) 人：分派一欄表(用“”注明分發(fā)部門）及會(huì)簽欄：分 發(fā)部 門會(huì) 簽分 發(fā)部 門會(huì) 簽人力資源部計(jì) 劃 部工 程 部物 控 部品 質(zhì) 部工 藝 部生 產(chǎn) 部鉆 孔干 菲 林電 鍍綠 油鑼 房測(cè) 試F Q C包 裝總 經(jīng) 辦1.0 目的用于指導(dǎo)CAM 人員對(duì)CCD平行曝光機(jī)菲林的板

2、邊設(shè)計(jì)，以確保CAM設(shè)計(jì)出來的菲林能被生產(chǎn)使用并能滿足客戶品質(zhì)的要求。2.0 范圍適用公司所有板件GERBER資料的處理。3.0定義（無）4.0 職責(zé)4.1工程部：CAM處理員根據(jù)此規(guī)范設(shè)計(jì)板邊定位孔及對(duì)位孔，確保生產(chǎn)能夠正常使用平行曝光機(jī)曝光。4.2 生產(chǎn)部：根據(jù)此規(guī)范檢查工程設(shè)計(jì)的菲林能否正常使用。保證生產(chǎn)的品質(zhì)跟效率能夠滿足客戶及公司的要求。5.0 內(nèi)容 5.0.1 CCD自動(dòng)平行機(jī)曝光機(jī)工具制作：5.0.1.1 CCD自動(dòng)平行機(jī)的制程能力：5.0.1.1.1 基板尺寸：最?。?05X305MM；最大：546X622MM。5.0.1.1.2 板厚尺寸：0.1-3.2mm；5.0.1.1.

3、3 平行曝光機(jī)使用菲林尺寸：609x660mm 。5.0.1.2 CCD自動(dòng)平行機(jī)的鉆帶制作： 5.0.1.2.1 CCD自動(dòng)平行機(jī)必須增加兩個(gè)定位孔及四個(gè)對(duì)位孔，孔徑大小均為3.2mm；兩個(gè)定位孔到PANL邊的距離一致；四個(gè)對(duì)位孔間須上下對(duì)齊（對(duì)位孔可以在50MM范圍內(nèi)平行移動(dòng)，但是必須保證移動(dòng)后對(duì)應(yīng)一側(cè)的對(duì)位孔也要移動(dòng)）。5.0.1.2.2 兩個(gè)定位孔中心點(diǎn)與成型線之間距離至少為8mm,距PNL邊距離至少為4mm；4個(gè)對(duì)位孔中心點(diǎn)與PNL邊之間距離分別為至少4mm。這就要求長(zhǎng)邊留邊需12MM，短邊留邊需7MM。當(dāng)因留邊與板材利用率相沖突很大時(shí)（一般10%）需提出跟經(jīng)理確認(rèn)按普通曝光做板還是

4、平行曝光。5.0.1.2.3 兩個(gè)定位孔加在長(zhǎng)邊，定位孔之間距離為255mm（一側(cè)孔中心到PNL中心為125MM,另外一側(cè)孔中心到PNL中心間距為130MM），且與工作邊距離相等，加在PNL板中心位置。5.0.1.2.4 CCD平行曝光機(jī)工具孔（3.20MM）的制作方法見下圖。 單位：MM對(duì)位孔4個(gè)3.2 此為PNL外型8成型線一般情況下定位孔放置長(zhǎng)邊定位孔2-3.20 240MM 43.0 4 5.0.1.2.5 一般情況下設(shè)計(jì)定位孔在長(zhǎng)邊，但是當(dāng)開料局限只能是在短邊保留12MM時(shí)，定位孔可以設(shè)計(jì)在短邊，但是必須保證長(zhǎng)邊的拼板尺寸530MM，否則會(huì)因曝光機(jī)工作臺(tái)面寬度不夠而無法曝光。5.0.

5、1.2.6 我們?cè)诩佣ㄎ豢缀蛯?duì)位孔時(shí)，必須保證孔到PANEL邊的距離（一般孔中心到PANEL邊為4MM），防止在開料磨板后，鉆孔鉆成破孔。破孔的話可能會(huì)造成定位孔松動(dòng)，精度達(dá)不到要求；也會(huì)導(dǎo)致平行曝光機(jī)無法自動(dòng)尋找完整的對(duì)位孔去對(duì)位，影響對(duì)位的精度。 5.0.1.3 CCD自動(dòng)平行機(jī)的菲林制作： 5.0.1.3.1 兩面線路定位孔處應(yīng)加一個(gè)內(nèi)環(huán)寬為8.0MM的圓環(huán)，以鉆孔為中心做同心圓環(huán)； 5.0.1.3.2 兩面線路的對(duì)位PAD寬為6*6MM，其中C/S面中心為實(shí)心PAD（靶點(diǎn)為1.0）；S/S面中心為圓環(huán)（靶環(huán)內(nèi)徑為1.4，外徑為2.0）； 5.0.1.3.3 菲林上必須注明A到B的距離(

6、X軸)；B到C的距離；C到D的距離，保證生產(chǎn)線在找對(duì)位PAD時(shí)通過輸入這三個(gè)數(shù)據(jù)便能夠找到相應(yīng)的對(duì)位點(diǎn)，提高生產(chǎn)制作的效率。 5.0.3.3.4 當(dāng)板邊留邊不夠7MM時(shí)，對(duì)位PAD可能會(huì)進(jìn)單元內(nèi)，這時(shí)可以相應(yīng)地削掉一部分PAD，保證此PAD不會(huì)進(jìn)單元內(nèi)。但是必須保證削PAD后的中心圓點(diǎn)/圓環(huán)是完整的，否則用曝光機(jī)對(duì)位時(shí)產(chǎn)生大的偏差。 5.0.3.3.5 CCD平行曝光機(jī)菲林的制作見下圖： 此為PNL外型BCCCC C A D 8MM圓環(huán) A成型線此4個(gè)對(duì)位PAD跟鉆孔可以在50MM范圍內(nèi)平移 （此為兩面線路重合后的顯示圖）靶環(huán)內(nèi)徑為1.5外徑為2.0靶點(diǎn)為1.0 6*66*6A圖 B圖A圖為C

7、/S面圖標(biāo) B圖為S/S面圖標(biāo)5.1.1.6 CCD自動(dòng)平行機(jī)生產(chǎn)界定：5.0.1.4 注意事項(xiàng)：5.0.1.4.1外層CCD對(duì)位孔（間距255mm，且與工作邊距離相等）只能增加在PNL板的中心位置，一般情況下不能移動(dòng)定位孔。5.0.1.4.2 長(zhǎng)邊若留邊大于12MM，則GENESIS跑邊程序會(huì)自動(dòng)加大定位孔到單元圖形的距離（如：留邊13MM，跑邊程序就會(huì)保證定位孔中心到PANL邊4MM,孔中心到單元圖形則為9MM）；相反，若是12MM長(zhǎng)邊留邊，程序會(huì)保證定位孔到單元邊8MM。但是必須保證孔到PANL的距離，防止破孔。所以一般最小留邊應(yīng)11.5MM。5.0.1.4.3 對(duì)于某些特殊情況，如PANEL短邊（兩邊）只能留到10MM，達(dá)不到最小12MM要求時(shí)，我們可以手工調(diào)整PANEL邊大?。醇佣ㄎ豢椎腜ANEL邊留12MM，未加定位孔的PANEL邊留8MM），以匹配平行曝光機(jī)的使用。具體請(qǐng)見下圖（圖一為正常開