ESD控制管理辦法

1、1.目的1.1減少或消除靜電放電對電子產(chǎn)品的損傷，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，滿足客戶需求。1.2通過建立統(tǒng)一的、切實可行的標準來規(guī)范各生產(chǎn)車間、不同產(chǎn)品，供應商和外協(xié)之間的1.3通過建立有效的、高質(zhì)量的管理和稽查程序，用于保證本標準的有效實施。2.范圍2.1本規(guī)范保護經(jīng)靜電防護的全過程，適用于本公司靜電放電防護控制方案的設計、使用、管理、維護和檢驗，也 適用于本公司供應商、外協(xié)廠方和合作方等于敏感件相關各方，同時也適用于公司產(chǎn)品的最終用戶的靜電放電 防護控制2.2本規(guī)范內(nèi)容包括制造、處理、組裝、安裝、測試、檢驗、包裝等在處理電子零件、半成品、成品中，對靜電放 電損害的敏感度超過或等于人體模式10

2、0V、帶電器件模型200V及孤立導體35V的情況。對今后處理的靜電敏感元器件的敏感電壓低于上述三種任何模式中的任何一種時，必須在本規(guī)范要求的基礎上重新評估，增加相關 的特殊防護要求。組織結(jié)構和職責ESD組織：執(zhí)行全員參與的原則，總負責人為技術部負責人，負責ESDI理體系的運行，協(xié)調(diào)ESD工作組內(nèi)各成員的工作，持續(xù)改進ESD運行體系使其滿足適宜性，充分性和有效性；工藝技術室：主要負責ESD管理制度的制定、ESD防護的規(guī)劃、審批和發(fā)布ESD技術標準與相關操作規(guī)范；組 織攻關解決ESD疑難和重大問題、重要問題裁決處理，保障產(chǎn)品質(zhì)量。品質(zhì)部：主要負責部門ESD執(zhí)行情況的檢查，定期開展ESD的稽核工作。

3、管理部：負責公司所有員工的培訓管理工作。各部門：各部門的負責人為ESD本區(qū)域第一責任人，協(xié)助對本系統(tǒng)的ESD規(guī)范實施、ESD培訓、宣傳、稽查工作，對本區(qū)域內(nèi)ESD防護措施的落實負責。架構圖：ESD行為。3.3.13.23.33.43.53.64.名詞解釋ESD靜電釋放EPA:靜電敏感區(qū)；UP A:非靜電敏感區(qū)；ESSD:靜電敏感元件;5.靜電防護區(qū)域及標示5.1我司的防靜電工作區(qū)：6 EP/基本的ESD空制措施6.1基本要求:3）產(chǎn)品物料對環(huán)境溫濕度有特殊要求時，應根據(jù)物料的特性需求和實際條件采取相應的局部環(huán)境保證措施。分為一級EPA二級EPA以及非防靜電區(qū)域:一級EPA區(qū)域:二級EPA區(qū)域:

4、SMT,燒錄房，敏感元件倉；成型組、老化房、AI、MI生產(chǎn)線內(nèi)的返修區(qū)及、修工位等所有區(qū)域。庫房和在線庫。實驗室、樣板房。IQC、FQCUPA區(qū)域：辦公室、電工房等不接觸靜電敏感器件及產(chǎn)品的區(qū)域;5.3不同區(qū)域的標識：5.3.1局部靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限應該用黃黑相間的斜條紋來標識,線條寬度為510CM這兩種斜條紋是專門用來標識靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限的，不可作為其它標識用。5.3.2從靜電敏感區(qū)域的入口處開始，在明顯處應貼上靜電敏感區(qū)的警示標志，該標志應符合GJB1649的規(guī)定。如示例圖A,具體的標示，見附件。5.3.3防靜電臺面、器材上應有防靜電標志,標志應置于明顯且不易受到磨損的地方。如示例圖

5、B:黃黒相間的斜條.J圖斗EPA內(nèi)的環(huán)境、作業(yè)、設施均需要按照6.2 EPA環(huán)境溫濕度控制要求：1） 一級EPA環(huán)境要求：溫度：2030C;相對濕度（RH）:2） 二級EPA環(huán)境要求：溫度：1033C;相對濕度（RH）:ESD防護要求設計,ESD設計需能重復保護元件及產(chǎn)品免受ESD損傷。40-75%30-75%靜電敏感E域弩示標Ain MiHih4）EPA內(nèi)應配備溫度計和濕度計，并按照環(huán)境溫濕度控制要求，填寫記錄表。要求每班次上班之前作一次記 錄。當相對濕度超出規(guī)定的范圍時，必須通知相關人員采取適當?shù)募訚窕虺闈翊胧缤孛鎳姙⑦m量水（符合安全要求）、使用加濕器或抽濕機等。6.3防靜電接地系統(tǒng)

6、：6.3.1接地是靜電瀉放的關鍵措施，EPA內(nèi)必須有獨立可靠的防靜電接地系統(tǒng)，工作中產(chǎn)生的的靜電才能安全有效地瀉放，避免靜電的累積。防靜電接地必須有一個安全可靠的防靜電接地體，所有人體、工作臺、臺墊、工具等 以并聯(lián)的方式接入防靜電接地體。6.3.2防靜電地線的設置：防靜電地線專供靜電工程器具和人體泄漏靜電電荷使用, 得與防雷地線共用。防靜電地線有兩種敷設方法：方法1:優(yōu)選方式。在遠離防雷地線和建筑物20m以上的潮濕地面上， 選用不少于3根截面積大于100平方的鍍鋅鋼接地棒，一字型間距5米，使用降阻劑深埋2M以上，再用不小于100平方的扁鋼將三點焊接在一起，（截面不小于16mm的銅芯軟線）單獨引

7、入室內(nèi)，使用不小于6 mm的銅芯軟線連接到車間生產(chǎn)線公共接地點，然后設備、人員、設施使用不小于1.25平方的銅芯軟線接入。防靜電區(qū)域內(nèi)的臺面、設備、儀器、工具及相關人員的防靜電接地從公共接地點引入（如圖1）防靜電專用地線公共接地點防靜電工作區(qū)圖1采用ESD防靜電接地示意圖1）防靜電區(qū)域可以設置單點或多點的公共接地點，公共接地點之間為并聯(lián)結(jié)構，公共接地點到末端接地點采 用黃綠色，導線直徑不得低于2.5mm;2）落地的專用設備、測試儀器在使用電氣保護接地后沒有必要進行防靜電接地，電氣保護地與設備、儀器外 殼必須進行可靠連接。3）嚴禁使用防靜電接地線作為設備保護接地線。方法2:備選方案（電氣保護地）

8、。采用三相五線制供電系統(tǒng)中的電氣保護地線為防靜電地線，引入電源零線 的同時，單獨引出大地地線作防靜電接地線，工程上稱為“一點引出電阻隔離”。電源主變電箱引出的電氣保護地線通過接地地樁與大地連接，電氣保護地線到大地的保護接地電阻應小于4Qo在防靜電地不具備的、 或特殊場合公共接地點的接地方式可以采用設備保護地，參考圖1） 采用電氣保護地與公共接地點連接時，公共接地點與電氣保護地（控制箱中）之間的阻抗小于1.0 Q;2） 人體腕帶、臺墊、防靜電器具等串連1MQ的電阻接入公共接地點（軟接地），設備、儀器、AC工具等直接 接入電它不得接在電源零線上,也不防靜電接地極工作臺面防靜電崗位徙備用（_2。氣保

9、護地線（硬接地）。3）電氣保護地線應該按照動力配電安全管理制度定期進行檢測維護，每半年至少檢測一次地線配置系統(tǒng)電 阻值，要求電氣保護地線到大地的接地電阻小于4 Qo圖2米用ESD防靜電接地示意圖6.3.3 EPA內(nèi)硬件設施的接地要求:1）EPA內(nèi)所有儀器、AC工具、金屬體及等必須連接到公共接地點上，人體腕帶、防靜電臺墊、防靜電地墊、導體和靜電耗散的材料防靜電器具等需要串接1MQ電阻（或等效串接1MQ的電阻）后連接到公共接地配置系統(tǒng)上。接地線連接點應該采用螺釘、焊接、雙線交繞的緊固連接方式，保證連接點連接可靠、接觸電阻小。LNPE12131工作臺6設備/儀器/工具11防靜電地板2防靜電臺墊7防靜

10、電地墊12落地設備/儀器3臺墊接地扣8地墊接地扣13防靜電地（建筑廠房外）4腕帶插孔9防靜電工作椅14電氣保護接地（建筑廠房外）5防靜電器具10接地線A、B、C、D、E為串接或等效串接1M歐姆電阻圖3典型的EPA接地系統(tǒng)圖10公共接地點O O O O Q Q Q Q O O I I1010公共接地點.O O O O O O O O O O10131113專用防靜電線2）防靜電工作臺的接地采用公共接地點方式，工作臺上及其周邊的儀器、測試架、工具（如電批、烙鐵） 靜電器具、臺墊、臺面、地墊、腕帶插口等都連接到公共接地點。工作臺的公共接地點應方便連接，工作臺的移 動時保證接地系統(tǒng)變化最小。防靜電工作

11、區(qū)應在合適的位置提供接地端子或香蕉插孔，以便于操作者腕帶的接地。3） 靜電耗散型工作表面到公共接地線的接地電阻應該保持在1 X 106QR1.0 X 109Q（不依賴于相對濕度）。4）防靜電工作區(qū)第一次安裝和移位后，接地電阻應該重新測試，并保證在規(guī)格之內(nèi)。5）為了防止靜電敏感器件與工作區(qū)內(nèi)的設備接地導體外殼或大面積的金屬（如工作臺邊緣）偶然接觸，這些位 置必須覆蓋靜電耗散材料或通過其他方法隔離。6） 所有靜電敏感器件、單板在加電測試之前都必須保證接地良好，禁止在產(chǎn)品測試過程中帶電插拔單板和器件。 腕帶的接地線應該直接接香蕉插孔，而不應該通過任何其他設施，如工衣，工作表面等接地。7）串聯(lián)接地是不

12、可接受的一種接地方法。8）由于安全原因，EPA內(nèi)裸露的大面積金屬平面、導體部件都必須直接接地（硬接地）6.4設備接地要求所有連接電源主線的設備、儀器、工具等，都必須可靠連接電源系統(tǒng)安全地線。單相電源插頭插座必須使用具 有接地芯的三芯插頭插座，保證儀器工具、設備的外殼都要可靠接地。6.5 EPA內(nèi)人員的靜電防護要求：6.5.16.5.36.5.2帽、鞋方可進入；鞋，但需佩帶防靜電帽，穿公司統(tǒng)一配發(fā)的廠衣和防塵拖鞋;存放和運輸中所使用的直接包裝層必須是防靜電的。直接包裝層指和器件直接接觸的材料，例如IC包裝管、芯片托盤、卷帶、防靜電泡沫、防靜電膠袋、屏蔽袋、吸塑盒等；防靜電包裝材料可以有效利用供應

13、商的器件來料的防靜電包裝材料（如IC管、IC托盤等），這些防靜電包裝材料都可以用于靜電敏感器件、組件的直接包裝或間接包裝。6.6.1.2防靜電包裝材料的防靜電性能要求EPA內(nèi)所使用的直接包裝材料應該是靜電耗散材料，59表面電阻Rs：1.0 X 10Rs1.0 X 10體積電阻Rv：1.0 X 105Rv1.0 X 109摩擦靜電壓Vf:Vf 100V或在2秒內(nèi)下降到 屏蔽袋的屏蔽泄漏電壓：小于6.6.1.3防靜電包裝材料必須符合以下一般要求：1）包裝及周轉(zhuǎn)用的防靜電箱統(tǒng)一使用黑色防靜電材料。2）防靜電PE薄膜袋、泡罩袋、EPE板、海綿、泡罩帶的材料顏色應采用防靜電的通用警示顏色，即粉紅色或黑色

14、。6.6.2周轉(zhuǎn)材料的使用：、防防靜電手腕的使用：一級EPA和二級EPA內(nèi)人員作業(yè)時，固定位置工作人員必須佩帶有繩防靜電手腕； 禁止使用無繩防靜電手腕， 工作需要高頻率移動的人員， 可以使用防靜電手套和指套代替有繩防靜電手環(huán)；防靜電衣、帽、鞋的使用；一級EPA區(qū)域內(nèi)人員，必須穿著防靜電衣、二級EPA區(qū)域內(nèi)的人員，可不穿防靜電衣、6.6防靜電材料的使用661包裝材料的使用：661.1靜電敏感器件、組件、產(chǎn)品在生產(chǎn)制造、要求其防靜電性能指標滿足:Q;Q;100V以下；30V。6.6.2.1用于EPA內(nèi)、EPA和EP/之間周轉(zhuǎn)運輸?shù)墓ぞ弑仨毷欠漓o電的。其防靜電性能應滿足：表面電阻Rs：1.0 X 1

15、05Rs1.0 X 109Q；體積電阻Rv：1.0 X 105QW Rv1.0 X 109Q；摩擦靜電壓Vf:Vf 100V;常用的周轉(zhuǎn)工具有：周轉(zhuǎn)箱、防靜電器件盒、防靜電成形泡沫盒等。662.2周轉(zhuǎn)車底部必須連接一根金屬鏈條保持周轉(zhuǎn)車金屬架和地面的連接。周轉(zhuǎn)車必須至少有兩個輪子是防靜電的，在此基礎上再增加接地鏈，缺一不可。使用防靜電周轉(zhuǎn)車和周轉(zhuǎn)箱較長時間存放單板（如存放于庫房）時， 應采用防靜電屏蔽袋罩住周轉(zhuǎn)車、采用屏蔽袋或周轉(zhuǎn)箱蓋板蓋住周轉(zhuǎn)箱箱口，以保證其防靜電效果并防灰塵。6.6.36.6.3.1要求：103QW Rs 1.0 X 105Q;6.6.3.2三米至少有一個接地點，并使用重錘

16、定期測量防靜電臺面離接地點最遠端的對地系統(tǒng)電阻是否滿足要求；6.6.4防靜電工具的使用：作業(yè)過程中接觸到靜電敏感元件或產(chǎn)品工具均需使用防靜電材料，如清潔單板和產(chǎn)品的毛刷必須使用防靜電毛刷，材料的表面電阻滿足1.0 X 1O4QW R1.0 X 1011Q,摩擦電壓小于100V或靜電電壓耗散到100V以下的時間小于2秒、禁止使用普通塑料毛刷。6.6.5靜電產(chǎn)生材料的控制原則上不允許靜電產(chǎn)生材料進入EPA區(qū)域，因?qū)嶋H需求必須進入EPA勺靜電產(chǎn)生材料需要進行適當?shù)目刂疲o電風險減至最小。所有不必須的普通塑料材料和雜物（食品袋、飲料杯、塑料架子、報紙等）不允許帶入 并嚴禁這些材料接觸ESSD必須進入E

17、PA勺靜電產(chǎn)生材料必須保證不得和ESS歿觸，如果因操作原因需要和觸（如塑料面板和PCB勺裝配等），則需要使用防靜電材料進行局部高靜電部分的隔離或屏蔽處理，同時使用離子 風機消除靜電產(chǎn)生材料產(chǎn)生的靜電。A4紙張由于應用的普遍性，而且其產(chǎn)生和積聚的靜電能量很低，一般認為紙張屬于低靜電風險材料，可以允許在EP肋使用（僅限于普通紙張，粘膠紙和塑膜紙等除外）7、ESDK統(tǒng)點檢及稽核要求：7.1每日自查程序：1）2）3）4）5）6）1米以上，工作區(qū)內(nèi)必須存在的一些靜電源（例如：非防靜電的產(chǎn)品材料和工具、塑料制品等）遠離 和敏感單板30厘米以上。7）確認工作臺上的清潔用品、溶劑、膠紙等工具材料已被確認可以使

18、用。8）確認工作區(qū)域的工作臺和設備安全、可靠接地，尤其對那些經(jīng)常移動的設備要特別注意。在EPAT作區(qū)工作的員工每天工作開始時必須完成上述ESDI檢工作。如果以上的任意步驟沒有遵守，不能操作沒有防護的ESC敏感器件。部門主管和ESDg域負責人有責任監(jiān)督員工每日ESDI查的執(zhí)行情況，如果人員沒有及時糾正，部門（區(qū)域）ESD責任人要采取措施讓其糾正。情節(jié)嚴重的，可以考慮相應的處罰。7.2定期點檢程序7.2.1每一個部門（區(qū)域）有責任定期完成規(guī)定的ESD點檢項目。防靜電臺面的使用接觸到靜電敏感器件、產(chǎn)品的臺面、運輸平面等，需使用防靜電膠皮進行防護；其防靜電性能需滿足下述表面電阻Rs：1.0 X 106

19、Rs1.0 X 109Q;底層表面電阻：表面體積電阻Rv：1.0 X 105QW Rv1.0 X 108Q;摩擦靜電壓Vf:Vf 100V;防靜電臺面的接地：每個獨立的防靜電臺面均需要連接地線，當獨立的防靜電臺面過大時，原則上長度每使EPAESSD接上崗前測試防靜電手腕，并做記錄。上崗前測試電烙鐵的接地，并做記錄。 檢查工作區(qū)所有ESD敏感器件、單板都放置在防靜電周轉(zhuǎn)工具或包裝中。 確定工作區(qū)內(nèi)、防靜電周轉(zhuǎn)工具和包裝中沒有不允許的或未經(jīng)處理的物品。 確認工作臺臺墊為防靜電臺墊，工具為防靜電工具。保證明顯而嚴重的靜電源（例如：非防靜電塑料袋、非防靜電泡沫、普通塑料制品等）遠離防靜電工作區(qū)ESD敏

20、感器件7.2.2主要的靜電系統(tǒng)點檢標準及頻次（此處未包含，但點檢表內(nèi)要求點檢的內(nèi)容，同樣遵照執(zhí)行）：1） 靜電地線接地電阻和設備電氣保護地線接地指接地體與大地之間的接觸電阻W4Q,要求季度至少檢查一次；2） 靜電地線主線導通性檢查，指靜電主線末端到接地體的電阻W10Q，要求季度至少檢查一次；3）各靜電支線對主線導通性檢查，指各靜電支線末端到靜電主線的電阻W10Q，要求每月度至少檢查一次；4）靜電防護臺面表面電阻測試，表面電阻Rs: 1.0 X 106Rs W 1.0 X 109Q,要求每月度至少檢查一次；5）設備的接地線導通性，指設備外殼和設備的地線接地點間電阻W10Q;要求每月至少檢查一次；

21、6）烙鐵的接地線導通性，指烙鐵頭和硬接地接地點電阻W20 Q;要求每天至少檢查一次；7）靜電手環(huán)檢查，既靜電手環(huán)接觸片到連接點的電阻1MQ 20%要求每天至少檢查一次；8）環(huán)境溫濕度檢查，要求每天至少檢查一次；9）防靜電衣、帽、10）靜電電壓監(jiān)測一次；7.2.3對于靜電支線、7.3定期稽核程序7.3.1質(zhì)量管理部門在每月下旬要對公司ESD體系及其執(zhí)行情況進行綜合評審，評審內(nèi)容必須包括ES文件體系、日常ESD己錄、資源配給、ESD執(zhí)行情況檢查等，檢查完畢編制不符合項記錄與改進表進行記錄。7.3.2責任部門和相應區(qū)域接口人要針對評審發(fā)現(xiàn)的問題點，提出整改措施，并組織整改。對明顯的問題，例如 接地線

22、斷開或未接好、不合適的靜電源、操作錯誤等，應該立即更正。對于不能馬上整改的缺陷，需要制定合理 計劃、獲得部門領導同意以及考慮整改的時間，同時要采取臨時處理措施。在這種情況下，臨時的措施要保證把 對ESD敏感器件的危害源移走，同時計劃永久性的整改措施。7.3.3評審發(fā)現(xiàn)的問題點的整改措施，由評審小組按照完成日期組織驗收，直至關閉問題點。8、人員的培訓與管理8.1培訓要求：每個部門都應對進入ESD控制區(qū)或者接觸ESD敏感器件、單板的人員進行ES控制方面知識的培訓。培訓的對象應包括新進公司的員工、轉(zhuǎn)崗、工程師以及管理者。對于轉(zhuǎn)崗和工種變更的員工，應該根據(jù)工作的要 求及時進行ESD培訓。8.2入職培訓

23、：是針對新員工和其他沒有進行過ESD培訓的員工進行的初級培訓，新員工的ESD入職培訓由管理部 統(tǒng)一組織，其他臨時人員、轉(zhuǎn)崗人員的ESD入職培訓由各需求部門組織。在沒有經(jīng)過短期ESDH導性培訓的員工不能接觸敏感器件和單板，接受引導培訓的員工培訓期間通過ESC認證，認證合格才能上崗。8.3再培訓：由于工種變化或者轉(zhuǎn)到新的部門，如從非EPA專移到EPA從二級EPA專移到一級EPA從辦公室崗位轉(zhuǎn)到產(chǎn)品一線崗位等，需要進行適應新環(huán)境ES控制要求的再培訓。EPA內(nèi)的工作人員、接觸ES喊感器件的操作人員和管理人員經(jīng)過ES以證的有效資格為一年，一年后必須進行重新培訓認證。由于新的部門成立或者部門工作性 質(zhì)的變

24、動，需要進行適應新的工作要求的ESD再培訓。8.4提高培訓：提高培訓是針對ESDt作骨干人員組織的靜電防護技術的高級培訓，適用于ESDb組成員、區(qū)域ESD責任人、各部門ESDC作優(yōu)秀人員和ESC責任人的預備人選等。提高培訓由公司ES負責人根據(jù)需要不定期舉行。提高培訓的內(nèi)容主要是ES標準的學習討論、ES噺技術的學習，ESD案例學習和疑難問題討論等。8.5認證要求：無論是接觸敏感器件的操作人員還是管理者都應該經(jīng)過ESD考核認證，沒有經(jīng)過ESC認證和引導培訓、以及認證期限已滿或認證被取消的人員不能操作ESD敏感器件。ESC認證要求包括：1）要求員工參加ESDt訓，在培訓中要對靜電的產(chǎn)生、靜電源、個人接地、防靜電工作臺、防靜電包裝、標簽、ESD操作規(guī)范、以及部門的ESDI查體系進行學習。2）參加培訓的人員要能演示ESD操作的正確的步驟，熟練崗位3）培訓老師要組織考試（課堂筆試）。入職培訓和再培訓要求考試成績達到70分才算合格（滿分為100分）,具有上崗資格； 提高培訓要求考試成績達至j 80分才算合格，否則應進行重新培訓或降低培訓資格。鞋要求每季度至少檢查一次；:一級EPA區(qū)域靜電電壓控制小于100V,二級EPA區(qū)域靜電電