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Process工藝 The boat will be covered with more SiN every run 每次運行工藝都會在舟上又鍍上更多的SiN。 150 process runs should not be exceeded 石墨舟每次不應該超過150次進行清洗。 Uniformity will significantly worsen if overused 如果過度使用可以明顯看到均勻性變差。 © centrotherm photovoltaics AG Thema der Präsentation | Unterkapitel | Referent | File: ctpv_0907.pot 11 Summary概要 石墨舟的維護及準備對一個好的 ARC鍍膜是非常重要的。 由于舟的維護不到位引起的一些常見問題: 不均勻性 (片對片 清洗較差 被損壞的石墨板或者螺紋桿 不均勻性 (片內(nèi) 插腳磨損 插腳位置及放置 硅片邊緣色差 不適當?shù)念A處理工藝 操作及裝載問題/導致舟在工藝中損壞 舟沒有正確裝配。 © centrotherm photovoltaics AG Thema der Präsentation | Unterkapitel | Refe

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