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文檔簡介
1、復(fù)習(xí)大綱1. 鋁背場的作用: 減少少數(shù)載流子在背面復(fù)合的概率; 作為背面的金屬電極; 提高電池的開路電壓; 提高太陽電池的收集效率; 降低電池的反向飽和暗電流和背表面復(fù) 合速率;制作良好的歐姆接觸。2. 簡述晶體硅的制備工藝過程? 答:晶體硅太陽電池的制備工藝: p 型硅片 -清洗制絨 -擴散制結(jié)(p-n結(jié))-去周邊層-去PSG (磷硅玻璃)-鍍減反射膜-印刷電 極-高溫?zé)Y(jié) -檢測-分選 -入庫包裝。3. 太陽能的利用形式:光化學(xué)轉(zhuǎn)化、太陽能光熱轉(zhuǎn)化和太陽能光 電轉(zhuǎn)化。4. 太陽能電池理論效率最高為 75% 。5. 太陽常數(shù):是指大氣層外垂直于太線的平面上,單位時間、單位面積所接受的太陽能輻
2、射。 也就是說, 在日地平均距離的條件 下,在地球大氣上界,垂直于光線 1 Cm沖勺面積上,在1分所接 受的太陽能輻射能量;為(1 3 6 7 +|7)W/m。6. 太陽能能量轉(zhuǎn)換方式主要分為光化學(xué)轉(zhuǎn)化、太陽能光熱轉(zhuǎn)化和太陽能光電轉(zhuǎn)化三種方式。7. P-N結(jié)的形成原理。答:P型和N型半導(dǎo)體都呈電中性;P型半導(dǎo)體的多子是空穴;N型半導(dǎo)體的多子是電子;當(dāng)P型半導(dǎo)體與N型半導(dǎo)體連接在一起時,由于PN結(jié)中不同區(qū)域的載流子分布存在濃度梯度,P型半導(dǎo)體材料中過剩的空穴 通過擴散作用流動至N型半導(dǎo)體材料;同理,N型半導(dǎo)體材料中過剩的電子通過擴散作用流動至P型半導(dǎo)體材料。電子或空穴離開雜質(zhì)原子后,該固定在晶格
3、的雜質(zhì)原子被電離,因此在結(jié)區(qū)周圍建立起了一個電場,以阻止電子或空穴的上述擴散流動, 該電 場所在的區(qū)域及耗盡區(qū)或者空間電荷區(qū),故而稱為PN結(jié)。如圖所示:在交界面,由于擴散運動,經(jīng)過復(fù)合 ,出現(xiàn)空間電荷區(qū)。8. P-N結(jié)半導(dǎo)體光生伏特效應(yīng)的原理。答:在半導(dǎo)體被光照射、產(chǎn)生光傳導(dǎo)現(xiàn)象時,如果由光產(chǎn)生的載流子在不同位置具有不均一性,或者由于PN結(jié)產(chǎn)生了部載流子的話,就因擴散或者漂移效應(yīng)而引起電子和空穴密度分布不平 衡,從而產(chǎn)生電力, 這一現(xiàn)象稱為光生伏特效應(yīng) ( photovoltaic effect ) .9. 太陽能電池的主要參數(shù)是短路電流、 開路電壓、 填充因子和光 電轉(zhuǎn)換效率。10. 太陽能
4、電池的寄生電阻是指串聯(lián)電阻 Rs 和并聯(lián)電阻 Rsh;(1)串聯(lián)電阻 Rs 主要包括半導(dǎo)體部的體電阻、電極用的金屬 與半導(dǎo)體表面層之間的接觸電阻、 電極用的金屬本身的電阻和器 件部及外部線路互相連接的引線接觸電阻;并聯(lián)電阻 Rsh 主要包括來自非理想的 PN 結(jié)和 PN 結(jié)附近的雜 質(zhì),會引起 PN 結(jié)部分短路, 特別是太陽能電池的邊緣部分漏電 現(xiàn)象,會使 Rsh 值減小。11. 簡述制絨的定義、目的、原理、作用以及工藝流程; 答:1.制絨的定義: 制絨是利用硅的各向異性腐蝕的特性在表面 刻出類似于金字塔 (單晶硅 sc-si) 或者是蜂窩狀 (多晶硅 mc-si) 的結(jié)構(gòu)。? 2. 目的:為
5、了在硅片上獲得絨面結(jié)構(gòu),利用陷光原理,增 加光透性,減少光的反射,提高 ISC; 增加光的吸收率,去 除損傷層,增加PN結(jié)面積(PN結(jié)厚,VOC增加,Eg寬)。? 3. 原理:陷光原理。? 4. 絨面的作用: 減少了太的反射; 增加太在硅片部 的有效運動長度,就是增加了被吸收的機會。5. 工藝流程:( 1)即先采用較高濃度的堿( NaoH or KoH )在 高溫條件下對單晶硅片進行短時間 “粗拋 ”以去除硅片在線切割 過程中形成的切割損傷。(2)漂洗(去離子水、超聲波)(3)再用低濃度的堿( NaoH or KoH )和異丙醇( IPA :其作 用是降低硅片表面力, 較少氣泡在硅片表面的粘附
6、, 是硅片的金 字塔更加均勻一致)的混合溶液對 (100)晶面的方向的單晶硅片 較長時間的各向異性腐蝕, 這樣可以在硅片表面形成類 “金字塔 ” 狀的絨面, 有效地增強了硅片表面對入射光的吸收, 從而提高光 生電流密度 Jsc。(4)HF 清洗(5)HCL 清洗12. 簡述堿制絨、酸制絨的原理;答:1 堿性制絨原理:? 1. 適用圍:單晶硅 SC-Si ;? 2. 組份: NaoH or KoH;? 3. 反應(yīng)式: 2NaoH+H2o+Si=Na2Sio3+2H2 or 2KoH+H2o+Si=K2Sio3+2H2.酸性制絨原理:? 2. 組份: HNO3 or HF? 1. 適用圍:多晶硅3
7、.Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2OSiO2+4HF=SiF4+2H2OSiF4+2HF=H2SiF613. 簡述表面織構(gòu)化;? 答:晶體硅在進行切片時,是硅片表面留下一層 10-20um 的損傷層,而在太陽電池制備時首先要利用化學(xué)腐蝕去除 損傷層,然后制備表面絨面機構(gòu),若選擇擇優(yōu)化學(xué)腐蝕劑 就可以在硅片表面形成倒金字塔結(jié)構(gòu),稱為絨面結(jié)構(gòu),又 稱表面織構(gòu)化。14. PN 結(jié)的十一種叫法,分別是電子 -空穴結(jié)、復(fù)合層 | 區(qū)、阻 擋層、結(jié)電容、高阻區(qū)、耗盡層| 區(qū)、空間電荷層 | 區(qū)、勢壘電場、 | 自電場區(qū)。15. Rsh 叫部并聯(lián)電阻,分流電阻,泄露電阻,旁漏電阻16. 三氯氧磷
8、擴散的原理:P0CL3高溫下,分解成 PCL5 PCL5進一步分解成P2O5并放出CL2, P2O5淀積在硅片表面與硅反應(yīng)生成 SI02 和磷原子,并在表面形成一層磷硅玻璃,然后磷原子再向硅中擴散,形成 N型。17. 絲網(wǎng)印刷的工藝三步驟:背Ag,背Al,正Ago18. 磷擴散的工藝: 氣態(tài)磷擴散、 固態(tài)磷擴散和液態(tài)磷擴散等形式。19. 減反射膜的基本原理: 利用光在減反射膜上、 下表面反射所產(chǎn)生的光程差, 使得兩束反射光干涉想消, 從而減弱反射, 增加 透射。20. 減反射層薄膜材料要求:透光性好對光吸收系數(shù)良好的耐化學(xué)腐蝕性良好的硅片粘結(jié)性良好的導(dǎo)電性能21在實際晶體硅太陽電池工藝中,常用
9、的減反射層材料有TiO2、SnO2 SiO2、SiNx、ITO (納米銦錫金屬氧化物 )和MgF2 等,其厚度一般在 60-100nm 左右。22. 常用的減反射膜制備方法: 化學(xué)氣相沉積 ( CVD) 等離 子化學(xué)氣相沉積(PECVD噴涂熱解濺射蒸發(fā)23. 硅材料的禁帶寬度 Eg=1.12ev 間接帶隙材料鍺材料的禁帶寬度 Eg=0.67ev 間接帶隙材料磷化銦材料的禁帶寬度Eg=1.35ev 直接帶隙材料砷化鎵材料的禁帶寬度Eg=1.43ev 直接帶隙材料銻化鎘材料的禁帶寬度Eg=1.45ev 直接帶隙材料硫化鎘材料的禁帶寬度Eg=2.4ev 直接帶隙材料銅銦鎵錫材料的禁帶寬度 Eg=1.
10、04ev 直接帶隙材料 銅銦鎵硫材料的禁帶寬度 Eg=1.50ev 直接帶隙材料24 硅材料有多種晶體形式,包括單晶硅、多晶硅和非晶硅25.單晶硅熔煉方法包括區(qū)熔單晶硅FZ和直拉單晶硅CZ。26. 單晶硅片的一般制作流程:高純多晶硅原料熔化f種晶f縮頸f放肩f等徑f收尾f圓柱狀單晶硅f切斷、滾圓、切片、化學(xué)清洗f單晶硅片。27. 遷移率是指載流子在單位電場作用下的平均漂移速度, 即載 流子在電場作用下運動速度的量度,運動的越快,遷移率越大; 運動得慢,遷移率下。28. 硅共價鍵的鍵角是109 2829. 各種硅材料的優(yōu)缺點對比:直拉單晶硅: 優(yōu)點:電池效率高,工藝穩(wěn)定成熟; 缺點:成本相對較高
11、。薄膜非晶硅: 優(yōu)點:制作成本低 缺點:光電轉(zhuǎn)換率低,存在光致衰減行 為,穩(wěn)定性較差。鑄造多晶硅 優(yōu)點:成本相對較低,光電轉(zhuǎn)換效率較高 缺點:高密度的位錯、微缺陷和晶界,影響光電轉(zhuǎn)換效率。薄膜多晶硅: 優(yōu)點:潛在低成本,相對高效率 缺點:光電轉(zhuǎn)換效率低30. 金屬硅MG 95%-99% 太陽能級硅 SG 4N-6N 電子 級硅 EG 6N-11N3 1 .常見化學(xué)氣相沉積:LPCVD MOCVD RTCVD PCVD HWCVDPECVD APCVD32. 高純多晶硅的制備方法:三氯氫硅氫還原法 硅烷熱分解法 四氯化硅還原法33. 區(qū)熔單晶硅的制備過程:首先以高純多晶硅作為原料,制成棒狀,并將
12、多晶硅棒垂直固定;在多晶硅棒的下端放置具有一定 晶向的單晶硅,作為單晶生長的籽晶,其晶向一般為或(100);然后在真空或氬氣等惰性氣體保護下, 利用高頻感應(yīng)線 圈加熱多晶硅棒,使多晶硅棒的部分區(qū)域形成熔區(qū),并依靠熔區(qū) 的表面力保持多晶硅棒的平衡和晶體生長的順利進行。34. 區(qū)熔單晶硅中的碳和氧的濃度都低于紅外光譜的探測極限,分別為 1X 1016cm-3 和 5 x 1016cm-3。35. 直拉單晶硅的制備工藝一般工作流程:多晶硅的裝料-熔化 f種晶f縮頸f放肩f收尾36. 簡述分凝現(xiàn)象、分凝系數(shù);(1 )分凝現(xiàn)象:在結(jié)晶過程,濃度小的元素(作為雜質(zhì))在濃度高的元素晶體及熔體中的濃度是不同的
13、,稱為分凝現(xiàn)象。37.單晶硅的電阻率p與摻雜濃度 cs的關(guān)系式:分凝系數(shù):“分凝系數(shù)”=(雜質(zhì)在固相中的溶解度)/(雜質(zhì)在液相中的溶解度)38. 大規(guī)模集成電路用單晶硅加工工藝流程:切斷(割斷)f滾圓f磨定位標(biāo)志f切片f倒角f研磨f腐蝕f熱處理f背面損 傷f拋光f清洗f檢驗f包裝39. 太陽電池用單晶硅加工工藝流程:切斷(割斷)f滾圓(切方塊)f切片f化學(xué)腐蝕40. 線切割的優(yōu)缺點:優(yōu)點: 效率高-每次切片250塊以上(1臺線切割機的產(chǎn)量=35臺圓 切割機的產(chǎn)量); 耗材少-線切割的直徑只有180卩m; 切割應(yīng)力小,切割后表面損傷小。缺點: 硅片的平整度差; 設(shè)備相對昂貴,維修困難41.廠機械
14、損傷層、碎晶層位錯網(wǎng)絡(luò)區(qū)r彈性應(yīng)變區(qū)、42. 腐蝕效果的主要影響因素: 腐蝕液的類型 腐蝕液的配比 腐蝕溫度 是否攪拌 硅片放置的方式43. 直拉單晶硅中雜質(zhì)有哪些,來源、存在形式以及如何控制, 如何解決?答:雜質(zhì):主要雜質(zhì):碳,氧;其他雜質(zhì):H、 N ; 金屬雜質(zhì):Cu,Co,Ni,M n,Fe,M n,Cr,Z n,Ti來源:O:晶體生長過程中石英干鍋的污染:C:多晶硅原料; 晶體生長爐的剩余氣體 石英坩堝與石墨加熱件的反應(yīng)H:是在器件加工過程中引入的, 主要用來鈍化金屬雜質(zhì)和缺陷。N:是在晶體生長階段加入的雜質(zhì),對控制微缺陷和增加機械強 度有益。金屬雜質(zhì):硅片滾圓、切片、倒角、磨片等制備
15、過程中,直接 與金屬工具接觸; 在硅片清洗或濕化學(xué)拋光過程中,使用不夠純的化學(xué)試劑; 在工藝過程中,使用不銹鋼等金屬設(shè)備。存在形式:O:氧可以與空位結(jié)合,形成微缺陷; 氧以團簇形成氧團簇,具有電學(xué)性能; 形成氧沉淀,引入誘生缺陷。 B-O復(fù)合體。C:間隙態(tài)金屬雜質(zhì):間隙態(tài)、替位態(tài)、復(fù)合體存在。控制:0:采取精細的工藝和外加磁場加以控制。直拉單晶硅中的金屬雜質(zhì)的控制和去除方法:1. 減少加工中的污染 2. 化學(xué)腐蝕去除表面金屬; 3. 吸雜技術(shù) : 背面吸雜和吸雜44. 簡述吸雜,氧團簇,蒸氣壓,1. 團簇是由幾個乃至上千個原子、 分子或離子通過物理或化學(xué)結(jié) 合力組成的相對穩(wěn)定的微觀或亞微觀聚集
16、體, 其物理和化學(xué)性質(zhì) 隨所含的原子數(shù)目而變化。2. * “吸雜”: 吸雜是利用氧在熱處理時沉淀的性質(zhì), 在晶體部產(chǎn) 生大量的氧沉淀, 同時形成位錯和層錯等缺陷, 以吸引金屬雜質(zhì) 沉淀。3. 在一定外界條件下,液體中的液態(tài)分子會蒸發(fā)為氣態(tài)分子, 同時氣態(tài)分子也會撞擊液面回歸到液態(tài)。 這是單組分系統(tǒng)分發(fā)生 的兩相變化, 一定時間后, 即可達到一個平衡。 氣態(tài)分子含量達 到最大值, 這些氣體分子對頁面產(chǎn)生的壓強稱為飽和蒸氣壓, 簡 稱為蒸氣壓45. 影響直拉單晶硅中的氧濃度的因素: 答:熔硅中的熱對流;熔硅與石英坩堝的接觸面積; 晶體生長時的機械強制對流; SiO自熔硅表面的蒸發(fā); 氧與晶體中點缺
17、陷的作用。46. 在熔點附近的晶體硅中,氧的飽和固溶度約為2.75 X1018cm-3;直拉單晶硅中間隙氧的間隙圍是 (5-20 ) X 1017cm-3 圍.47. 影響單晶硅中氧沉淀形成、結(jié)構(gòu)、分布和狀態(tài)的因素: 初始氧濃度 熱處理的溫度 熱處理的時間 碳、氮及其他雜質(zhì)原子的濃度、 原始晶體硅的生長條件、 熱處 理氣氛、次序等。48. 直拉單晶硅在高溫形成氧沉淀時有三個階段: 氧沉淀少量形成,表現(xiàn)出一個孕育期; 氧沉淀快速增加; 氧沉淀增加緩慢,接近飽和。49直拉單晶硅中O C的分布情況;答:O頭高尾低;C:頭低尾高。50. 簡述熱施主及危害和措施;答:熱施主及危害:當(dāng)直拉單晶硅在 300
18、-500 C熱處理時,會 產(chǎn)生與氧相關(guān)的施主效應(yīng),此時 n 型晶體硅的電阻率下降, p 型晶體硅的電阻率上升。 施主效應(yīng)嚴(yán)重時, 甚至能使 p 型晶體硅轉(zhuǎn) 化為 n 型晶體硅,這種與氧相關(guān)的施主被稱為 “ 熱施主 ”。措施:熱施主可以在 300-500 C圍生成,而450C是最有效的 熱施主生成溫度。一旦生成熱施主,可以在 550C以上的短時間 熱處理中予以消除,通常利用的熱施主消除溫度為 650 Co51. 影響熱施主的因素:溫度和初始氧濃度;措施:碳、氮會抑 制熱施主的生成,而氫會促進它的形成。52. 含氧的直拉單晶硅在 550-580 C熱處理時,還會生成新的與 氧有相關(guān)的施主,被稱為
19、“新施主 ”,53 根據(jù)氧沉淀的形成情況,熱處理的溫度一般分為: 低溫(600-800 C)熱處理 中溫(850-1050 C)熱處理 高溫(1100-1250 C)熱處理54. 氧沉淀形成熱處理溫度一般可分為低溫、 中溫和高溫三個熱 處理溫度段,分別敘述三個溫度段中氧沉淀形態(tài)的主要形態(tài)。答:低溫(600-800C):棒狀,又稱針狀或帶狀; 中溫(850-1050C ):片狀沉淀; 高溫(1100-1250C):多面體沉淀。55.氧熱施主的產(chǎn)生溫度區(qū)間和最佳產(chǎn)生溫度?消除氧熱施主的方 法.答: 300-500C 溫度區(qū)間 ; 最佳產(chǎn)生溫度 : 450C消除氧熱施主的方法:一旦生成熱施主,可以在
20、550C以上的短時間熱處理中予以消除,通常利用的熱施主消除溫度為650C。55. 簡述紅外技術(shù)測量晶體硅中間隙氧濃度方法的具體步驟。 答: 要利用紅外技術(shù)測量晶體硅中總的氧濃度,通常采用的技術(shù) 是將晶體在1300C以上短時間熱處理,然后快速降溫,使復(fù)合 體、氧沉淀重新溶解到硅基體中, 以間隙氧的形態(tài)存在, 在加以 測試。需利用參比樣品來和檢測的樣品具有相同的載流子濃度和 樣品厚度進行對比。56. 晶體硅中的效率衰減效應(yīng)主要是由晶體中哪種復(fù)合體引 起?并說明在晶體硅中如何消除這種復(fù)合體產(chǎn)生的衰減效應(yīng)? 列舉幾種避免該復(fù)合體產(chǎn)生的新技術(shù)新想法。答:1.硼氧復(fù)合體2 硼氧復(fù)合體的缺陷可以經(jīng)低溫(20
21、0C左 右)熱處理予以消除 .3. 避免該復(fù)合體產(chǎn)生的新技術(shù)新想法 : 利用低氧單晶硅如區(qū)熔單晶硅或磁控直拉單晶硅 ( MCZ); 利用 n型單晶硅;利用稼代替硼摻雜制備 p型單晶硅.57. 簡述利用光電導(dǎo)衰減法測量硅的少數(shù)載流子的原理。答: 無光照射時樣品中高頻電流: i=Imsinwt(w- 高頻源角頻率 ) 當(dāng)樣品受到光照射時, 樣品受光照射時, 樣品受光激發(fā), 產(chǎn)生非 平衡載流子,電導(dǎo)率增加,樣品的電阻減小59.引入位錯的主要途徑? 答: 直拉單晶硅中位錯引入的主要途徑 : 在晶體硅生長時, 由于籽晶的熱沖擊, 會在晶體中引入原生位 錯; 在晶體滾圓、 切片等加工工藝中, 由于硅片表面
22、存在機械損傷 層,也會引入位錯, 在隨后的熱加工過程中, 也可能延伸進入硅 片體; 是熱應(yīng)力引入位錯, 這是由于在硅片的熱加工過程中, 由于硅 片中心部位和邊緣溫度的不均勻分布,有可能導(dǎo)致位錯的產(chǎn)生。58. 晶體硅中位錯對太陽電池的影響主要是哪幾個方面?答: 載流子濃度、少數(shù)載流子壽命、載流子的遷移率、 p-n 結(jié)的 影響59. 簡述硅電池片制作工藝,說明每步的目的,原理,控制因素 及提高太陽能電池效率的途徑?答:制作工藝: p 型硅片 -清洗制絨 -擴散制結(jié)( p-n 結(jié)) -去周邊 層-去PSG (磷硅玻璃)-鍍減反射膜-印刷電極-高溫?zé)Y(jié)-檢測- 分選 -入庫包裝。1. 目的: 清洗制絨
23、:為了在硅片上獲得絨面結(jié)構(gòu),利用陷光原理, 增加光透性,減少光的反射,提高 ISC; 增加光的吸收率, 去除損傷層,增加PN結(jié)面積(PN結(jié)厚,VOC增加,Eg寬)。 擴散制結(jié) ( p-n 結(jié)) : 在 P 型硅表面, 通過擴散 P 原子構(gòu)成p-n 結(jié)。 去周邊層:清除擴散制結(jié)形成的 N 型周邊層。 去PSG(磷硅玻璃):清除擴散制結(jié)過程表面的 PSG層。 鍍減反射膜:減少電池表面太的反射。 印刷電極:形成良好的電極接觸。 高溫?zé)Y(jié):干燥硅片上的漿料,燃盡漿料的有機組分,使 漿料和硅片形成良好的歐姆接觸。2. 原理: 清洗制絨:? 堿制絨原理: 2NaoH+H2o+Si=Na2Sio3+2H2
24、or 2KoH+H2o+Si=K2Sio3+2H2? 酸性制絨原理: Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2OSiO2+4HF=SiF4+2H2OSiF4+2HF=H2SiF6 擴散制結(jié)(p-n結(jié)):若氧氣充足:5POCI3= P2O5+3PCI5? 在有氧氣的存在時, POCl3 熱分解的反應(yīng)式為: 4 POCI3+3O2=2P2O5+CI3P2O5+5Si=5SiO2+4P 去周邊層:等離子體刻蝕的基本原理:1在低壓下,反應(yīng)氣體在射頻功率的激發(fā)下, 產(chǎn)生電離并形成等離子體, 等離子體是由 帶電的電子和離子組成, 反應(yīng)腔體中的氣體在電子的撞擊下, 除 了轉(zhuǎn)變成離子外, 還能吸收能量并形
25、成大量的活性基團, 其電離 反應(yīng)式一般為:A2-A+A +E(A2-電離氣體A-化學(xué)性質(zhì)很活潑的 自由基A-為正離子E-電子2自由基和被刻蝕材料之間的化學(xué)反 應(yīng)對材料產(chǎn)生腐蝕作用 3 反應(yīng)生成揮發(fā)性極強的氣體脫離被刻 蝕物質(zhì)表面,并被真空系統(tǒng)抽出腔體。 減反射膜的基本原理: 利用光在減反射膜上、下表面反射所 產(chǎn)生的光程差, 使得兩束反射光干涉想消, 從而減弱反射, 增加 透射。 印刷電極: 利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透漿料, 非圖文部分網(wǎng)孔不 透漿料的基本原理進行印刷。高溫?zé)Y(jié):銀漿,銀鋁漿,鋁漿印刷過的硅片,經(jīng)過烘干使 有機溶劑完全揮發(fā),膜層收縮成為固狀物緊密物黏附在硅片上, 此時金屬電極材料層和
26、硅片接觸在一起,即燒結(jié)。3控制因素: 清洗制絨: T, V, C, t(Sc-si) T, t(Poly-si) 擴散制結(jié)(p-n結(jié)):T, C, t 去周邊層: C 去PSG (磷硅玻璃):T, t,C 減反射膜的基本原理: T, t,C, 密度 印刷電極: T, t 高溫?zé)Y(jié): T, t4. 提高太陽能電池效率的途徑 要使太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率提高, 必須提高開路電壓、 短路電 流、填充因子; 要獲得較高的短路電流 Isc ,太陽能電池有源材料和太陽能電 池結(jié)構(gòu)應(yīng)在紫外光、 可見光和近紅外光的光譜圍上, 有較高、 較 寬和較平坦的光譜響應(yīng),內(nèi)量子效率應(yīng)接近于1; 要獲得較高的開路電壓 Voc
27、,太陽能電池部必須正向暗電流 10 較低而并聯(lián)電阻 Rsh 較高; 要獲得較高的填充因子 FF,太陽能電池必須正向暗電流 10較 低,理想因子“ n”接近于1,串聯(lián)電阻Rs必須較低(1C m沖勺 太陽能電池面積應(yīng)該使 Rs1 歐),而并聯(lián)電阻 Rsh 必須較高( 10 的四次方歐 Cm) 入射光的有效利用, 通過減反射膜減少表面反射, 表面材料進 行刻蝕,進行光封裝; 采用聚光系統(tǒng),增加光的輻照度,即聚光太陽能電池; 利用新型的太陽能電池結(jié)構(gòu) 光生載流子收集效率的改善,背電場、超晶格的利用; 光生成載流子復(fù)合損失的減少,光生活性層的膜質(zhì)改善, 結(jié)界面的復(fù)合抑制; 直接電阻(串聯(lián)電阻)損失的減少
28、,透明電極的低電阻化,集電極的最佳化; 電壓因子損失的減少。背電場漂移型光電效率的利用。60. 簡述單晶硅與多晶硅的制作工藝流程,談?wù)劯髯缘挠绊懸蛩?與改進措施?答:1.單晶硅:多晶硅的裝料f熔化f種晶f縮頸f放肩f收尾;多晶硅:2影響因素:單晶硅:溫度、濃度、時間、位置 多晶硅:溫度、濃度、時間、位置3. 改進措施:對于單晶硅而言,采用新型直拉單晶硅的生長技 術(shù);對于多晶硅而言,采用電磁感應(yīng)冷坩堝連續(xù)拉晶法。63簡述硅錠的切片過程,切片過程中存在哪些影響因素,如何 減小掉片風(fēng)險?答:硅錠的切片過程:切斷(割斷)-滾圓f磨定位標(biāo)志f切片 -倒角-研磨-腐蝕-熱處理-背面損傷-拋光-清洗-檢驗
29、f包裝。切片過程中存在的影響因素:線速、力、桌面移動速度、砂漿粘 度、溫度和研磨特性、線徑、碳化硅數(shù)目、密度。減小掉片風(fēng)險的措施:64. 直拉單晶硅電池中氧雜質(zhì)會有哪些影響,如何控制、如何解決?答:直拉單晶硅電池中氧雜質(zhì)影響:會形成缺陷:控制:采取精細的工藝和外加磁場加以控制。解決:對于熱施主可以在 550C以上的短時間熱處理中予以消除,通常利用的熱施主消除溫度為 650 Co對B-O,硼氧復(fù)合體的缺陷可以經(jīng)低溫(200 C左右)熱處理予 以消除。65. 鑄造多晶硅的優(yōu)點與缺點?答:體生長簡便,易于大尺寸生長。缺點:是含有晶界、高密度的位錯、微缺陷和相對較高的雜質(zhì)濃 度,其晶體的質(zhì)量明顯低于單
30、晶硅,從而降低了太陽電池的光 電轉(zhuǎn)換效率。66. 鑄造多晶硅的主要制備工藝?答:澆鑄法;直熔法。67簡述澆鑄法的工作原理和基本原理?答:工作原理:在制備多晶硅時,首先將多晶硅的原料在預(yù)熔坩 堝熔化,然后硅熔體逐步流入到下部的凝固坩堝,通過控制凝固坩堝的加熱設(shè)備,使得凝固坩堝的底部溫度最低, 從而硅熔體在 凝固坩堝底部開始逐漸結(jié)晶。結(jié)晶時始終控制固液界面的溫度梯 度,保證固液界面自底部向上部逐漸平行上升,最終達到所有的熔體結(jié)晶?;驹恚?在一個坩堝將硅原料溶化, 然后澆鑄在另一個經(jīng)過預(yù) 熱的坩堝冷卻, 通過控制冷卻速率, 采用定向凝固技術(shù)制備大晶 粒的鑄造多晶硅。68.簡述直熔法的工作原理和基
31、本原理?答:工作原理: 硅原材料首先在坩堝中熔化, 坩堝周圍的加熱器 保持坩堝上部溫度的同時, 自坩堝的底部開始逐漸降溫, 從而使 坩堝底部的熔體首先結(jié)晶。 同樣的, 通過保持固液界面在同一水 平面并逐漸上升。 使得整個熔體結(jié)晶為晶錠。 在這種制備方法中, 硅原材料的熔化和結(jié)晶都在同一個坩堝中進行。基本原理: 直接熔融定向凝固法,簡稱直熔法,又稱布里奇曼 法,即在坩堝直接將多晶硅溶化, 然后通過坩堝底部的熱交換等 方式,使得熔體冷卻,采用定向凝固技術(shù)制造多晶硅,所以,也 有人稱這種方法為熱交換法( Heat Exchange Method , HEM )。 69. 鑄造多晶硅的原材料是如何選擇
32、的? 答:選用半導(dǎo)體級的高純多晶硅和微電子工業(yè)用單晶硅生產(chǎn)的剩 余料(質(zhì)量相對較差的高純硅、 單晶硅棒的頭尾料、 單晶硅生長 完成后剩余在石英坩堝中的硅底料)為最好。70.簡述直熔法制備鑄造多晶硅的具體工藝?答:.裝料f加熱f化料f晶體生長f退火f冷卻。71. 鑄造多晶硅中需要解決的主要問題 盡量均勻的固液界面溫度;盡量小的熱應(yīng)力;盡量大的晶粒; 盡可能少的來自于坩堝的污染。72 在鑄造多晶硅中,防止溫度梯度的方法鑄造多晶硅在生長時, 生長系統(tǒng)必須很好的隔熱, 以便保持熔 區(qū)溫度的均勻性,沒有較大的溫度梯度出現(xiàn)。保證在晶體部分凝固、熔體體積減小后,溫度沒有變化。73. 鑄造多晶硅中有哪些雜質(zhì),雜質(zhì)的來源、存在形式?答:雜質(zhì):主要雜質(zhì) 0和C其它雜質(zhì) N 和 H金屬雜質(zhì) Cu、 Fe、 Cr、 Zn、 Ag、 B、 Co 等。來源: 0:一是來
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