膜厚測量儀CMI900X-ray操作指引

1、深 圳 市 旭 升 發(fā) 機(jī) 電 設(shè) 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660X-ray測厚儀器操作指引一、 開 機(jī)打開測試主機(jī)、電腦、顯示器，打印機(jī)電源（無須順序）二、 進(jìn)入程式待電腦啟動(dòng)完成后在windows桌面雙擊SmartLink FP圖標(biāo)會出現(xiàn)輸入密碼的對話框，此時(shí)輸入合適密碼。三、 升 壓待機(jī)器完成初始化（即Z軸走臺上下移動(dòng)一周，直至走臺聲音停止），圖像下方的灰色GO鍵轉(zhuǎn)換成綠色時(shí)表示升壓工作完成（電壓升至45.0KV，電流升至0.8mA測量電流，然后自動(dòng)降為0.2mA待機(jī)電流）。四、 預(yù) 熱關(guān)機(jī)超過3個(gè)小時(shí)開機(jī)必做。點(diǎn)擊“波數(shù)”

2、，將波譜校準(zhǔn)片“Spect cal”放入儀器，將Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，設(shè)定測量時(shí)間為6S重復(fù)測量次數(shù)為3050次, 點(diǎn)擊Go鍵，等待自動(dòng)連續(xù)測量完成。五、 波譜校準(zhǔn)不關(guān)機(jī)狀態(tài)下每日必做一次或每次關(guān)機(jī)3小時(shí)以上再次重開機(jī)必做，目的讓儀器進(jìn)行自我補(bǔ)償調(diào)整。首先點(diǎn)擊任務(wù)欄中的“波譜校準(zhǔn)”然后將波譜校準(zhǔn)片“Spect cal”放入儀器，將Cu-Ag合金部分移至十字線中間，鐳射聚焦，測量（點(diǎn)擊Go鍵）。待儀器自動(dòng)完成每一步，紅色STOP鍵會轉(zhuǎn)變成綠色GO鍵后，將純Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，測量（點(diǎn)擊Go鍵），完成后出現(xiàn)“波譜校準(zhǔn)成功！”字樣的對話框時(shí)，點(diǎn)擊“確定”即可。若不成功，檢查

3、是否做錯(cuò)，或中途是否停止過，或有無移動(dòng)過波譜片，此時(shí)需要重新完整再做一次波譜校準(zhǔn)。六、 測 量回到測量界面，點(diǎn)擊上方“測量123”，依據(jù)不同的測試樣品選擇影像下方的“應(yīng)用檔案(App)”，點(diǎn)擊右方的黃色文件夾（即打開檔案夾），選擇對應(yīng)鍍層的合適檔案，開啟檔案，放入待測試樣品，將樣品測試點(diǎn)移至十字線中間，鐳射聚焦，點(diǎn)擊GO鍵開始測量，測量完成后可在右上方的顯示框中直接看到結(jié)果。七、 打 印點(diǎn)擊上方任務(wù)欄的“統(tǒng)計(jì)”下拉菜單中的“列印”選項(xiàng)，選擇列印“所有的”或“單一數(shù)據(jù)”，離開后點(diǎn)擊“確定”打印即可。八、 關(guān) 機(jī)先拿出樣品臺中的樣品，然后退出SmartLink FP程序（即點(diǎn)擊右上角“退出”或，回

4、答“確定”,待降壓后自動(dòng)退出），然后關(guān)閉顯示器， 主機(jī)，打印機(jī)等。全部操作完成。- 1 -深 圳 市 旭 升 發(fā) 機(jī) 電 設(shè) 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660深 圳 市 旭 升 發(fā) 機(jī) 電 設(shè) 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660新建校準(zhǔn)檔案指引一、 進(jìn)入校準(zhǔn)模式點(diǎn)擊任務(wù)欄中的“FP校準(zhǔn)”圖標(biāo)。二、 創(chuàng)建新檔案，下面以Au/Ni/Cu為例：在校準(zhǔn)模式下點(diǎn)擊任務(wù)欄中左上方的新建“”圖標(biāo)，此時(shí)出現(xiàn)元素周期表。a：點(diǎn)擊元素周期表中的“Au”，按住鼠標(biāo)左鍵不放拖“Au”至右上方元素欄

5、中的最上層。b：點(diǎn)擊“Ni”拖至第二層。c：點(diǎn)擊“Cu”拖至第三層。d：點(diǎn)擊下方“離開”，此時(shí)右下方出現(xiàn)參數(shù)功能選擇區(qū)。 設(shè)定參數(shù)：a: 點(diǎn)擊“參數(shù)”，修改“測量時(shí)間( 例如60或90 秒 )”，“厚度單位( 例如微英寸 )”，“準(zhǔn)確度( 例如2 位小數(shù)點(diǎn)位數(shù) )”等。b: 點(diǎn)擊“標(biāo)準(zhǔn)片”，輸入Au薄片的厚度( 例如Au 4.0 UIN )和Ni薄片的度 ( Ni150.0UIN ), 此時(shí)注意輸入的數(shù)值一定要對應(yīng)a項(xiàng)中的單位不可混淆。測量標(biāo)準(zhǔn)片:a: 點(diǎn)擊右上方的“Au極高 ”，放入Au極高標(biāo)準(zhǔn)片，聚焦，測量。b: 點(diǎn)擊右上方的“NI極高 ”，放入Ni極高標(biāo)準(zhǔn)片，聚焦，測量。c: 點(diǎn)擊右上方

6、的“CU極高 ”，放入Cu極高標(biāo)準(zhǔn)片, 聚焦，測量。d: 點(diǎn)擊“Au4.00/150.00/Cu inf( 例子 )，按要求先將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在下方，然后放在 Cu極高 標(biāo)準(zhǔn)片上，對齊位置，放入模具，輕輕放進(jìn)樣品臺，鐳射聚焦，測量。a: 點(diǎn)擊任務(wù)欄中的“保存”圖標(biāo)，以合適文件名命名存檔。- 2 -深 圳 市 旭 升 發(fā) 機(jī) 電 設(shè) 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660深 圳 市 旭 升 發(fā) 機(jī) 電 設(shè) 備 有 限 公 司

7、TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660三、 轉(zhuǎn)換應(yīng)用檔案指引（一般建立新檔案后需要進(jìn)行此步驟，更新舊檔案則不需要）a、進(jìn)入設(shè)立程式點(diǎn)擊任務(wù)欄右上方的的應(yīng)用圖標(biāo)“應(yīng)用”，進(jìn)入設(shè)立應(yīng)用檔案模式。b、選校準(zhǔn)檔案點(diǎn)擊下方“選擇校準(zhǔn)檔案”，出現(xiàn)全部校準(zhǔn)檔案文件，選定要設(shè)立的檔案。 c、設(shè)定參數(shù)點(diǎn)擊“參數(shù)”，修改“測量時(shí)間( 例如15 S )”，“厚度單位( 例如微英寸 )”，“準(zhǔn)確度( 例如2 位小數(shù)點(diǎn)位數(shù) )”。d、固定格式打印報(bào)告的關(guān)聯(lián)點(diǎn)擊“打印”，若有編輯打印報(bào)告，可點(diǎn)擊“選擇報(bào)告”，選定合適的固定格式報(bào)告 。e、存檔點(diǎn)擊“保存”，輸入合適文件名存檔。f、操作完

8、成，可測量樣品。點(diǎn)擊任務(wù)欄中上方的 “測量123” 圖標(biāo)，進(jìn)入測量模式，然后選擇影像下方的“應(yīng)用”，即可放入樣品測試。更新校準(zhǔn)檔案指引一、 什么時(shí)候需要更新校準(zhǔn)檔案？以Au(4.0)/Ni(150.0)/Cu檔案為例，假如我們在影像下方的“應(yīng)用”檔案里面調(diào)出Au/Ni/Cu檔案測量樣品結(jié)果感覺與理想值厚度出入較大時(shí)，我們可以從影像下方的“校準(zhǔn)”檔案里面調(diào)出Au/Ni/Cu檔案，然后按將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在下方，然后放在 Cu極高 標(biāo)準(zhǔn)片上，對齊位置，放入模具，輕輕放進(jìn)樣品臺，鐳射聚焦

9、，測量?？礈y量結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)品實(shí)際結(jié)果偏差是否在允許誤差范圍內(nèi)，若在誤差允許范圍內(nèi)，則證明檔案準(zhǔn)確。若不在誤差允許范圍內(nèi)，則需要更新該校準(zhǔn)檔案。二、 如何更新校準(zhǔn)檔案- 3 -深 圳 市 旭 升 發(fā) 機(jī) 電 設(shè) 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660深 圳 市 旭 升 發(fā) 機(jī) 電 設(shè) 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660點(diǎn)擊上方任務(wù)欄中的“FP校準(zhǔn)”圖標(biāo)，點(diǎn)擊任務(wù)欄中“打開”圖標(biāo)此時(shí)出現(xiàn)“FP校準(zhǔn)”檔案全部文件。 選則檔案：a: 點(diǎn)擊需要更新的檔案名。b: 點(diǎn)擊“打開”。（以Au/ N

10、i/Cu為例）a: 點(diǎn)擊右上方的“Au極高 ”，放入Au極高標(biāo)準(zhǔn)片，調(diào)焦，測量。 b: 點(diǎn)擊右上方的“NI極高 ”，放入Ni極高標(biāo)準(zhǔn)片，調(diào)焦，測量。 c: 點(diǎn)擊右上方的“CU極高 ”，放入Cu極高標(biāo)準(zhǔn)片, 調(diào)焦，測量。 d: 點(diǎn)擊“Au4.00/150.00/Cu inf( 例子 )，按要求先將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在中間，然后放在 Cu極高 標(biāo)準(zhǔn)片上，對齊位置，放入模具，輕輕放進(jìn)樣品臺，鐳射聚焦，測量。存 檔:a: 等待測量完成最后一項(xiàng)，GO鍵變綠后，點(diǎn)擊“保存”存檔。 （更新校準(zhǔn)檔案時(shí)不需要設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)片參數(shù)等等，只需要按步驟測完每一項(xiàng)，并且準(zhǔn)確放入對應(yīng)厚度的標(biāo)準(zhǔn)片）三、更新完成a: 檢查檔案是否更新成功疊加的標(biāo)準(zhǔn)片繼續(xù)放在樣品臺內(nèi)不用拿出來，再次從影像下方的“校準(zhǔn)”檔案里面調(diào)出Au/Ni/Cu檔案，鐳射聚焦，測量標(biāo)準(zhǔn)片?？礈y量結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)品實(shí)際結(jié)果