控制軟件操作擴散爐帶機械手

1、DS-300A擴散爐控制軟件操作一、系統(tǒng)設置1. 畫面2. 各部分功能2.01 溫控方式設置2.01.01 根據溫控表類型，若是山武的溫控表，則選擇“SDC串級控制”；若是RKC HA900的溫控表，則選擇“HA900串級控制”。安裝機器時設定 2.01.02 若勾選【啟用工藝運行升降溫斜率跟蹤】，則在勾選此項之后的時間內，可生成溫度隨時間向設定溫度變化的曲線2.01.03 因擴散爐正常使用時所使用的溫度在8001050 oC，則在“最大溫度設置”中設置1100。安裝機器時設定2.02 流量設置12.02.01 【大氮流量計初始化】 將大氮流量計信號初始化。在和流量計連接均正常的時候，點擊此按

2、鈕，則無論是哪個流量計，均將此流量計的通訊地址初始化為大氮流量計。流量計通訊紊亂時使用 【小氮流量計初始化】 參照上述【大氮流量計初始化】。流量計通訊紊亂時使用 【小氧流量計初始化】 參照上述【大氮流量計初始化】。流量計通訊紊亂時使用 注意事項 2.02.04.01 在N（N=3）個流量計的電源線和通訊線均未斷開的情況下，錯誤點擊某個流量計（M流量計）初始化按鈕，則將此N個流量計均初始化為M流量計.02 點擊工控機上的流量計初始化按鈕時只能有其對應的流量計的通訊線接上。當流量計通訊紊亂時，需要將流量計初始化時，先將所有的流量計斷電，并將通訊線斷開，然后將所有流量計上電，待流量計預熱完成（依次亮

3、燈：紅-黃-紅-黃），然后將某個流量計的通訊線接上，點擊工控機上對應的流量計初始化，接著拆掉此流量計的通訊線，接另外一個流量計的通訊線，并點擊其對應的流量計初始化按鈕，依次類推。當各個流量計分別初始化通訊正常后再將所有流量計的通訊線接上。2.03 舟位置設置 2.03.01 【舟平移起點】 設置推舟的平移原點位置。當推舟處于平移原點位置時，爐口傳感器不能檢測到有舟（即PLC的X31始終顯示有信號輸入）。設置“0”。調軟著陸時設定 2.03.02 【舟平移終點】 在漿上有石英舟的情況下，當漿進入爐管，且電極頭能與石英舟的電極孔接觸良好（電極頭插入電極孔最長距離）時，推舟距離平移原點的位置。設置在

4、“2060”左右（當漿的安裝位置和平移原點位置不同時有偏差）。調軟著陸時設定 2.03.03 【舟上升位置】 在漿上有石英舟，且漿能正常進入爐管時，此時推舟距離上下原點的位置。設置在“25”左右（在定位和安裝爐管時不能確保所有機器一致，因此會存在偏差）。調軟著陸時設定 2.03.04 【舟下降位置】 設置推舟的上下原點位置。設置“0”“0.2”。 調軟著陸時設定 【實際舟后位置判斷】 在所設置位置上下偏差30mm的范圍，如果爐口傳感器沒有檢測到漿上有舟，則認為漿上舟狀態(tài)有誤，禁止繼續(xù)運動（出片出漿和進片進漿時，認為有拖舟狀況） 2.03.06 【復位平移原點】 點擊此按鈕，則推舟以300的速度

5、從靠近爐口向工控機方向運行，當到達原點光電開關時，停止運動 2.03.07 【復位上下原點】 點擊此按鈕，則推舟以50的速度從上往下運行，當到達下限位光電開關時，停止運動 2.03.05 注意事項 2.03.05.01 調軟著陸時，可以將平移馬達和推舟斷開，手動將石英舟推入爐管，并同時調節(jié)平移行程。 2.03.05.02 【復位平移原點】和【復位上下原點】時，若原點光電開關損壞，則推舟會一直運行，因此，必須將機械限位的限位塊安裝好。禁止推舟撞到機械限位時電機繼續(xù)長時間運轉，因為長時間運行會導致損壞電機2.04 報警設置 2.04.01 【流量偏差報警】 設定百分比數值N，和流量延時報警配合起作

6、用。當要求的流量和流量計檢測到的實際流量的差值超過設定的N，則會出現報警。設置“5”。 2.04.02 【源量使用次數報警】 設定數值N，自動累積的磷源使用次數達到設定值N時，在 的黃燈報警中出現【源瓶工藝過次數（提示）】報警。每次工藝結束，則系統(tǒng)自動將石英管使用次數和磷源使用次數自動加“1” 2.04.03 【爐管使用次數報警】 參照【源量使用次數報警】 2.04.04 【平衡壓力偏差】 檢測到的爐管內的壓力和所設定的壓力之間的偏差值不能超過設定的此數值 2.04.05 注意事項 2.04.05.01 當流量偏差報警設置“0”時，默認為關閉“流量偏差報警”，此時，無論要求的流量和流量計檢測到

7、的實際流量偏差多大，均無流量偏差報警2.05 舟初始運動 2.05.01 【舟到平移起點】 使推舟運動到設定的平移原點數值位置處 2.05.02 【舟到平移終點】 參照上述【舟到平移起點】 2.05.03 【舟到上下上位】 參照上述【舟到平移起點】 2.05.04 【舟到上下下位】 參照上述【舟到平移起點】 2.05.05 注意事項 2.05.05.01 使用“舟初始運動”中的操作時，當編碼器計數值到達各個設定數值，無論推舟有沒有到光電開關檢測到的位置，推舟運行均結束2.06 流量設置 2.06.01 【大氮量程】 設置N2流量計的量程。檢查氣源柜處N2流量計上標注的量程，設置的數值和標注的數

8、值一致。安裝機器時設定 2.06.02 【小氮量程】 參照【大氮量程】 2.06.03 【大氧量程】 參照【大氮量程】 2.06.04 【小氧量程】 參照【大氮量程】2.06.05 【恢復流量計流速單位+設置軟啟動】 2.06.05 【小氮流量積累清零并重新開始累積】 注意事項 2.06.06.01 設置的各個流量計的量程和實際流量計上標注的量程必須一致，否則會出現流量計流量計量不準確的情況 2.07 機械手選擇 當勾選【允許脫離上下舟機械手】時，控制軟件可作為單獨系統(tǒng)運行（相當于不帶機械手的擴散爐，此時需要槳上舟檢測光電開關均檢測到槳上有舟）。使用此功能的情況多為：當機械手故障，需要做工藝時

9、，手動將石英舟放置于槳上 2.08按鈕2.08.01 【管理員登陸設置】 用于修改密碼2.08.02 【管理員鎖】 將屏幕鎖定，除運行工藝按鈕（Run Select），其余動作均禁止2.08.03 【舟狀態(tài)確認】 更改當前石英舟在漿上和爐管內的狀態(tài)2.08.04 【手動彈起按鈕】 當某個按鈕按下后不彈起時可用2.08.06 【系統(tǒng)設置保存】 保存數據2.08.07 注意事項 2.08.07.01 更改當前石英舟狀態(tài)（管內是否有舟、漿上是否有舟）時，必須打開爐門確認爐管內是否有舟 2.08.07.02 若一段時間不使用機器，禁止將石英舟放入爐管2.08.07.03 長時間未使用的爐管，在使用之前

10、，必須打開爐門，確認爐管內是否有石英舟2.08.07.04 在 中更改了參數之后，必須點【系統(tǒng)設置保存】，否則，更改的參數不起作用二、手動控制1. 畫面2. 各部分功能 2.01 手動設置2.01.01 【溫度設置】 工控機上的5個溫度設定和5個溫控表以及爐體的5個溫區(qū)是一一對應的（即左手機和右手機在工控機上的5個溫度是相反的）2.01.02 【閥門與流量設置】 控制各個氣動閥的打開與關閉，和 畫面中的【閥門設置】對應 2.01.02.01 【大氮】 勾選此處，則打開【大氮】氣動閥。在其下方輸入流量，并點擊【單項輸出】，則可以打開大氮流量計 2.01.02.02 【擴散氮】 參照上述【大氮】

11、2.01.02.03 【清洗氮】 當向爐管內輸入【擴散氮】的同時有相同流量的【清洗氮】送入 2.01.02.04 【大氧】 參照上述【大氮】 2.01.02.05 【小氧】 參照上述【大氮】 2.01.02.06 【吹掃】 勾選此處，則向爐管內送入N2，吹掃管道 2.01.02.07 【開爐門】 打開爐門。勾選此處，PLC的輸出端Y10有信號輸出到爐門平移開電磁閥，當爐門平移開到位（即PLC的輸入端X11有信號輸入），PLC的輸出端Y12有信號輸出到爐門轉動開電磁閥 2.01.02.08 【關爐門】 參照上述【開爐門】 2.01.02.09 【平衡氮】 選擇是否打開“氮氣補氣閥”。勾選此處，當

12、爐管內壓力低于設置壓力時，打開“氮氣補氣閥”，向爐管內送入氮氣，使爐管內壓力達到設定壓力；當爐管內壓力高于設置壓力時，關閉“氮氣補氣閥”，使抽風將檢測到的爐管內的壓力抽至設定值2.01.03 上下電機設置 【速度】 設置推舟上下運行的速度，可設置50（即0.5mm/s） 2.01.03.02 【UD位置】 設置推舟上下運行的位置 2.01.03.03 【電機停止】 手動停止推舟上下運行的動作 2.01.03.04 【上下運行】 手動開始推舟上下運行的動作2.01.04 舟大架移動 2.01.04.01 【速度】 設置推舟平移運行的速度，可設置2800（即28mm/s），若推舟運行穩(wěn)定（無明顯抖

13、動），可以適量的將速度增加 2.01.04.02 【舟位置】 設置推舟平移運行的位置 2.01.04.03 【平移停止】 手動停止推舟平移運行的動作 2.01.04.04 【平移運行】 手動開始推舟平移運行的動作 2.02 手動檢測2.02.01 【管內溫度檢測】 通過內偶檢測石英管管內5個溫區(qū)的溫度。2.02.02 【管壁溫度檢測】 通過爐體上的外偶檢測靠近石英管管壁的5個溫區(qū)的溫度。2.02.03 【溫度控制選擇】 【外控】：依靠外熱電偶控制溫度；【內控】：依靠內熱電偶控制溫度2.02.04 【大氮】 顯示從大氮流量計流過的氣體流量，通過大氮流量計檢測2.02.04 【擴散氮】 參照上述【

14、大氮】2.02.05 【清洗氮】 和【擴散氮】流量顯示同步，當有擴散氮流量輸入時，也有相等流量的【清洗氮】輸入。【擴散氮】和【清洗氮】通過同一個流量計輸出流量2.02.06 【大氧】 參照上述【大氮】2.02.07 【小氧】 參照上述【大氮】 【平衡壓力】 依靠“壓力傳感器”檢測到的爐管內的壓力2.02.09 【凈化風機】 同一臺機器，勾選任何爐管的“凈化風機”，均可啟動凈化風機2.02.10 【請求上舟】 送入“上舟”信號到機械手PLC，機械手自動將石英舟放置于槳上。勾選此處的條件：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關處，2個槳上舟檢測光電開關均未檢測到槳上有舟。機械手執(zhí)行從片臺取舟放到槳

15、上動作的條件：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關處，2個槳上舟檢測光電開關均未檢測到槳上有石英舟，片臺上有“待工藝舟”（系統(tǒng)自動邏輯識別的未做工藝的石英舟），機械手2軸和3軸均處于原點位置，機械手抓手上光電開關均未檢測到有舟2.02.11 【請求下舟】 送入“下舟”信號到機械手PLC，機械手自動將槳上的石英舟取下，放置于片臺。勾選此處的條件：推舟處于“后限位”光電開關處，2個槳上舟檢測光電開關均檢測到槳上有舟。機械手執(zhí)行從槳上取舟放到片臺上動作的條件：推舟處于“后限位”光電開關處，2個槳上舟檢測光電開關均檢測到槳上有石英舟，片臺上“無舟”（片臺左右檢測開關均未檢測到有舟：機械手PLC的輸入

16、端X46和X47均無信號輸入），機械手2軸和3軸均處于原點位置，機械手抓手上光電開關均未檢測到有舟2.05 紅燈報警2.06.01 【平移驅動器數據錯誤】 2.06.02 【漿上舟狀態(tài)異?！?當前舟狀態(tài)和推舟所處位置不合適。出現此報警時，三色燈上有紅燈和蜂鳴器，控制軟件上有“紅燈”和“”提示。可能原因：1、推舟處于上限位，但編碼器計數為“0”，舟狀態(tài)顯示“漿上有舟”（為按下“急?！卑粹o所致：因按下“急?！卑粹o后，上下編碼器和平移編碼器的計數值均清零），此時，可先在 畫面的【舟狀態(tài)確認】中更改當前舟狀態(tài)，為“管內無舟、漿上無舟”，然后點擊【復位上下原點】，再將推舟運行到上限位，最后重新確認石英舟

17、狀態(tài)“漿上有舟、管內無舟”；2、推舟處于下限位，舟狀態(tài)顯示“漿上有舟”（在漿上有舟的情況下手動操作推舟運行到下限位所致），此時，可先在 畫面的【舟狀態(tài)確認】中更改當前舟狀態(tài)，為“管內無舟、漿上無舟”，然后將推舟運行到上限位，再重新確認舟狀態(tài)“漿上有舟、管內無舟”。更換PLC后，需要先將推舟復位上下原點！3 【溫控儀連接障礙】 溫控儀和工控機之間的通訊斷開?？赡茉颍?、溫控儀和工控機之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落）；2、溫控儀參數設置錯誤（可參照說明檢查溫控儀參數設置）；3、溫控儀損壞（可另換一個溫控儀） 【平移馬達連接障礙】 平移馬達和工控機之間的通訊斷開。可能原因：1、平移馬達和工

18、控機之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落）；2、推舟遮光板擋住平移的極限開關導致平移馬達斷電；3、按下了“急停”按鈕（此時會同時出現【急停報警】） 【超溫/斷偶】 檢測到的溫度超過設定的溫度（此時停止加熱）。熱偶和溫控表之間斷開（此時溫控表上顯示為數值“00000”閃爍） 【馬達缺相報警】 【PLC連接障礙】 PLC和工控機之間的通訊斷開?？赡茉颍?、PLC和工控機之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落或者松動）；2、檢查PLC是否已經打開（即PLC的指撥開關是否指向“RUN”而不是“STOP”）；3、工控機上USB轉RS232所顯示的COM口是否正確（應為COM5） 【上下馬達連接障礙】

19、 上下馬達和工控機之間的通訊斷開?？赡茉颍?、上下馬達和PLC之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落或者松動）；2、PLC和工控機之間的通訊斷開（此種情況會出現【PLC連接障礙】報警、【漿上舟狀態(tài)異常】報警） 【急停報警】 按下了“急?！卑粹o。（此種情況會出現【平移馬達連接障礙】報警，平移編碼器計數值和上下編碼器計數值均清零） 【流量偏差報警】 流量計檢測到的從流量計流過的氣體流量和設置的氣體流量兩個之差超過 畫面中【流量偏差報警】所設置的百分比?？赡茉颍?、外圍送至機器的氣體總量減少；2、流量計（或者單向閥）堵塞2.06.11 【流量計連接障礙】 流量計和工控機之間的通訊斷開。可能原因：

20、1、流量計和工控機之間的通訊線斷開（可檢查是否有插頭脫落或者松動）；2、流量計通訊地址錯誤（不止一個流量計通訊線連接好的情況下錯誤點擊某個流量計初始化，或者流量計和所點擊的流量計初始化不一致） 【CDA低壓力報警】 CDA（壓縮空氣）壓力不夠?？赡茉颍?、外圍送至機器的壓縮空氣不夠；2、檢測壓縮空氣的“數字流量開關”參數設置錯誤；3、某處氣管脫落 數字流量開關參數設置：長按SET，設置PA，Sor，HyS，no，2.5，Man 按SET，設置P-1為330，H為004 【源量低報警】 2.06.17 【爐門異常報警】 當前爐門狀態(tài)和石英舟狀態(tài)沖突。推舟未處于平移原點位置時，爐門需處于打開狀態(tài)

21、2.06 黃燈報警2.06.01 【源瓶工藝過次數（提示）】 系統(tǒng)自加（每次做完工藝，磷源使用次數在原有基礎上增加“1”）的磷源使用次數超過 畫面中【源量使用次數報警】所設置的數值2.06.02 【石英管過次數（提示）】 參照上述【源瓶工藝過次數（提示）】 【進出片進漿-門未打開】 到爐管內放舟（或到爐管內取舟），在規(guī)定時間內，系統(tǒng)未檢測到爐門打開?？赡茉颍?、推舟位置不正確（不在平移原點、進舟時不在上下上位、出舟時不在上下下位），禁止打開爐門；2、爐口傳感光電開關檢測有誤（有信號送至PLC的輸入端X31），禁止打開爐門；3、爐門打開到位檢測開關檢測有誤（X11或X13） 【進片出漿-起始位

22、置未到】 將石英舟放到爐管內，在規(guī)定時間內，未檢測到推舟到達平移原點（處于上下下位）?？赡茉颍嚎赡茉颍?、進片步（一般為工藝第二步）的時間設置短（可設置300左右）；2、進片步（一般為工藝第二步）中平移速度設置?。稍O置2800+）；3、推舟導軌上有雜質，加大推舟運行中的阻力，影響平移速度；4、平移馬達程序錯誤；5、光電檢測開關損壞 【出片進漿-終點位置未到】 到爐管內取出石英舟，在規(guī)定時間內，未檢測到推舟到達平移終點（處于上下下位）?？赡茉颍?、出片步（一般為工藝最后一步）的時間設置短（可設置300左右）；2、出片步（一般為工藝最后一步）中平移速度設置小（可設置2800+）；3、推舟導

23、軌上有雜質，加大推舟運行中的阻力，影響平移速度；4、平移馬達程序錯誤；5、光電檢測開關損壞；6、在推舟到達平移終點前，導軌上的限位塊卡死推舟 【進片進漿-起始位置未到】 到爐管內放石英舟，在規(guī)定時間內，未在原點檢測到推舟（處于上下上位）。 可能原因：1、將石英舟放到漿上時，放置位置不準確，對推舟有一個輕微的推力，將推舟推離原點；2、光電開關損壞 【進出片出漿-門未關閉】 到爐管內放舟（或到爐管內取舟），在規(guī)定時間內，未檢測到爐門關閉到位。可能原因：1、推舟位置不正確（不在平移原點、進舟時不在上下下位、出舟時不在上下上位），禁止關閉爐門；2、爐口傳感光電開關檢測有誤（有信號送至PLC的輸入端X3

24、1），禁止關閉爐門；3、爐門關閉到位檢測開關檢測有誤（X12或X14） 【出片出漿-起始位置未到】 到管內取石英舟，在規(guī)定時間內，未檢測到推舟到達平移原點（處于上下上位）?？赡茉颍簠⒄铡具M片出漿-起始位置未到】 【進片進漿-終點位置未到】 將石英舟放到爐管內，在規(guī)定時間內，未檢測到推舟到達平移終點（處于上下上位）。可能原因：參照【出片進漿-終點位置未到】 【出片進漿-起始位置未到】 到爐管內取石英舟，在規(guī)定時間內，未在原點檢測到推舟（處于上下下位）。 可能原因：參照【進片進漿-起始位置未到】 【時間到-動作未完成等待】 在規(guī)定時間內，系統(tǒng)檢測到未完成某個動作時出現（伴隨需要檢測動作執(zhí)行的黃燈

25、報警出現）。3爐管壓力整定 3.01 設置質量流量計參數（見附錄B） 3.02 打開爐門，調節(jié)Pb值到顯示為500 3.02 關閉爐門，根據工藝壓力要求設置壓力（例如520） 3.03 觀察爐管內壓力變化，調節(jié)排廢手動閥門，到檢測到的爐管內的壓力值和設定值相同4機械手調試5軟著陸調試 4.01 輸入步進驅動器（上下）程序（見附錄D） 4.02 斷開推舟和平移電機之間的連接，將平移和上下運行的機械限位的限位塊松開 4.03 依靠機械手，將同一臺機器的數根槳處于同一條直線上（其偏差不超過2mm）。使推舟處于下限位時，手動將槳推入爐管，需要槳和爐管處于平行位置。如下圖所示：5mm石英管SiC槳 4.

26、04 將推舟升至“上限位”（當槳上有石英舟時可以如下圖所示情況進入爐管，定此時為“上限位”光電開關的位置，此時 畫面的【上下動作檢測】中的【位置】所顯示數值為 畫面中【舟上升位置】的數值），手動將石英舟放到槳上，將石英舟推入爐管。 10mm石英管石英擋板石英舟托SiC槳4.05 將推舟推至“前限位”光電開關處，使推舟運行至上述（4.04）“下限位”光電開關處 4.06 觀察石英舟是否平穩(wěn)的放置，且石英舟在爐管內處于水平位置。若石英舟傾斜放置于爐管內，或未平穩(wěn)將石英舟放置，則需要再次進行調節(jié) 4.07 手動將槳退出爐管，觀察是否有擦腳（槳和石英舟的腳有摩擦）或刮舟（槳和石英舟底部有摩擦）現象 4

27、.08 將推舟和平移點擊連接，在“工控機”的 畫面中操作槳進入爐管內取舟：在 畫面的【舟大架移動】中的【速度】設置600，在 畫面中設置【舟平移終點】為2100，然后在 畫面的【舟大架移動】中的【舟位置】設置2100（對于已運行的機器，若 畫面中已設置【舟平移終點】為 M ，則 畫面的【舟大架移動】中的【舟位置】也設置為 M ） 4.09 點擊 畫面的【舟大架移動】中的【平移運行】，當推舟運動到上述（4.06）“前限位”光電開關處時，推舟會停止運動，觀察此時 畫面的【舟大架動作檢測】中的【位置】顯示數值N，將此時的N值“+ 2”作為 畫面的【舟平移終點】的數值 4.10 在 畫面的【上下電機設

28、置】中的【速度】設置50，【UD位置】設置為上述（4.05）所定數值，點擊 畫面的【上下電機設置】中的【上下運行】，推舟運行到“上限位”光電開關處時推舟會停止運動 4.11 將 畫面的【舟大架移動】中的【舟位置】設置“0”，點擊 畫面的【舟大架移動】中的【平移運行】，當推舟運行到平移原點（“后限位”光電開關處）時，停止平移運動。至此，手動取舟完成（手動放舟為4.09 4.10 4.11 4.12的逆動作） 4.12 注意事項4.12.01 當推舟運行到“前限位”光電開關處時，在 畫面的【舟大架檢測】中的【位置】顯示數值為 X ，在 畫面中的【舟平移位置】數值為 Y ，若Y X 5時，系統(tǒng)不會自

29、動從“平移運行”狀態(tài)轉為“平移停止”狀態(tài)，若在工藝進舟/出舟時，系統(tǒng)不會繼續(xù)下一步動作4.12.02 上下運行參照上述（），其中Y X 0.5時，系統(tǒng)不會自動從“上下運行”狀態(tài)轉換為“電機停止”狀態(tài)5爐管升溫 5.01 檢查熱偶是否放好且熱偶線接好 5.02 檢查溫控儀參數設置是否正確（具體參數見附錄A） 5.03 在工控機上設置溫度，檢查設置的五個溫度和五塊溫控表上顯示的溫度是否一一對應5.04 檢查爐體上L型鋁塊上的螺絲是否擰緊 5.05 檢查接觸器是否完好：在“工控機”旁邊的“加熱關”燈亮時，測量接觸器輸出端是否有電壓，無電壓為正常5.06 在斷開爐體加熱熔斷器（100A熔斷器）的情況下

30、，按下“加熱開”，觀察是否無誤（即無跳閘等異常情況），并檢查接觸器輸出的3相電無缺相現象且電壓穩(wěn)定（兩兩之間電壓均為交流380V，同時可檢查是否有某相線和零線接錯）。因此時處于強電狀態(tài)作業(yè)，因此，必須注意安全、小心操作！ 5.07 按下“加熱關”，將爐體加熱熔斷器接好 5.08 在“工控機”上設置五塊溫控表的溫度（200oC），按下“加熱開”，用鉗流表測量加熱導線上的電流，調節(jié)觸發(fā)板上的電容，當電流達到5060A時即可 5.09 將5塊溫控表自整定（操作見附錄A） 5.10 檢查5個溫區(qū)和5塊溫控儀是否一一對應。檢驗方法：觀察溫控表上用于指示電流的發(fā)光二極管亮燈情況（常亮則表示此通道的加熱導線

31、中一直有電流，閃爍則表示此通道的加熱導線中有斷斷續(xù)續(xù)的電流），在“工控機”上將某塊溫控表溫度 + 100，觀察與其對應的觸發(fā)板通道的電流指示燈是否顯示常亮 5.11 在“工控機”上將5塊溫控儀的溫度均設置為450oC（因正常做工藝時溫度為450oC左右） 5.12 再次將5塊溫控表自整定 5.13 自整定完成后，爐管升溫則完畢三、工藝編輯1. 畫面2. 各部分功能 2.01 【使用倍行距】 改變工藝編輯畫面中顯示的工藝各步的行距大小。第一次打開控制軟件，默認行距為“01”，可更改為“02”或“03” 2.02 【選擇工藝曲線】 選擇當前顯示的工藝曲線數據2.02.01 【操作人員代號】 工藝曲

32、線數據所在位置。輸入為“007*”，其中，前3位必須為“007”，后3位可以為任何字母和數字的組合2.02.02 【工藝號】 同一個工藝曲線名稱中，可以有25條不同的工藝曲線數據 2.03 【插入步】 在當前工藝曲線數據中，增加某一步 2.04 【刪除步】 在當前工藝曲線數據中，刪除某一步 2.05 【工藝復制】 將某一條工藝曲線數據復制到另一條工藝曲線數據 2.06 【不保存返回】 若工藝曲線數據中更改的數據錯誤，在未點擊【數據保存】前，點【不保存返回】，可使工藝曲線數據還原到更改前的狀態(tài) 2.07 【數據保存】 將當前工藝數據保存 2.08 注意事項：對于正在運行的工藝，參數只可更改當前步

33、之后各步的參數四、事件記錄1 畫面用于觀察對于系統(tǒng)各部分執(zhí)行了哪些操作和系統(tǒng)中哪個部分出現問題2【斷點信息記錄】 工藝運行中途停止時，自動記憶此時狀態(tài)3【機械手狀態(tài)信息】3.01 【放片完成】 機械手執(zhí)行將小車或暫存區(qū)上的“待工藝舟”（即系統(tǒng)自動邏輯識別的未做過工藝的石英舟）自動放置于槳上的動作（需要機械手完整的執(zhí)行：從小車或暫存區(qū)取“待工藝舟”，放置于槳上，其間無手動依靠觸摸屏操作機械手運行），動作完成后，自動勾選【放片完成】。機械手未自動將石英舟放置于槳上，則無【放片完成】信號，此時，若未勾選 畫面中的【允許脫離自動上下舟機械手】，則無法運行工藝3.02 【取片完成】 機械手執(zhí)行將石英舟自

34、動從槳上放置于小車或暫存區(qū)上的動作（需要機械手完整的執(zhí)行：從槳上將石英舟放置于小車或暫存區(qū)上，其間無手動依靠觸摸屏操作機械手運行），動作完成后，自動勾選【取片完成】。機械手未自動將石英舟放置于小車或暫存區(qū)上，則無【取片完成】信號，此時，若為工藝結束后的機械手自動取舟，則工藝不會自動結束（即工控機上的“Stop Recipe”狀態(tài)不會自動切換至“Select Run”狀態(tài)）3.03 【通信正?！?機械手PLC和管體PLC通訊狀況3.04 【石英舟前檢測】 依靠槳上舟檢測光電開關檢測到的槳上石英舟狀態(tài)（靠近爐口，管體PLC的輸入端X31）3.05 【石英舟后檢測】 依靠槳上舟檢測光電開關檢測到的槳

35、上石英舟狀態(tài)（靠近爐口，管體PLC的輸入端X32）3.06 【槳上有舟正?！?推舟所處位置和槳上舟檢測光電開關檢測到的石英舟狀態(tài)一致：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關處，槳上舟檢測光電開關均檢測到有石英舟或均未檢測到槳上有石英舟；推舟處于“后限位”和“下限位”光電開關處，槳上舟檢測光電開關均未檢測到槳上有石英舟3.07 【槳上有舟異?！?推舟所處位置和槳上舟檢測光電開關檢測到的石英舟狀態(tài)存在邏輯錯誤：推舟處于“后限位”和“上限位”光電開關處，槳上舟檢測光電開關只有一個檢測到有舟；推舟處于“后限位”和距離“下限位”光電開關18mm以內處，槳上舟檢測至少有一個檢測到槳上有石英舟五、系統(tǒng)圖況1

36、、 畫面 用于觀察整個系統(tǒng)狀態(tài)。2、 畫面介紹2120191817161514131211109876 54321【1】 顯示溫度狀況。溫度檢測值（通過熱偶檢測）顯示在第一行，溫度設置值顯示在第二行，溫度目標值（在做工藝時顯示）顯示在第三行【2】 冷卻水的進出手動閥【3】 推舟平移運行設定值（紅色）和推舟平移運行檢測值（白色）【4】 推舟上下運行設定值（紅色）和推舟上下運行檢測值（白色）【5】 管體。中間的數值是系統(tǒng)自動累加的石英管使用次數（每次工藝結束，則數值在原有基礎上自動增加“1”），其后的“重置”按鈕，則在將石英管清洗安裝好后點擊【7】 擴散氮氣動閥（左邊）和清洗氮氣動閥（右邊）?！?

37、】 大氮氣動閥?！?】 氮氣補氣閥?！?0】 小氧氣動閥?！?1】 爐管壓力?！?2】 小氮流量計【13】 大氮流量計【14】 小氧流量計【15】 爐門開氣動閥（左邊）和爐門關氣動閥（右邊）【16】 小氮手動閥【17】 大氮手動閥【18】 小氧手動閥【19】 壓縮空氣手動閥【20】 保護氮。當系統(tǒng)斷電時，自動打開，向爐管內輸入N2【21】 系統(tǒng)計時?！静降褂嫊r】：當前運行工藝的當前步的剩余運行時間，不可更改；【步設定時】：當前運行工藝的當前步的總時間，不可更改；【總倒計時】：當前運行工藝總剩余運行時間，通過更改 畫面中“步時間”更改；【總設定時】：當前運行工藝總時間，通過更改 畫面中“步時間”

38、更改；【已運行時】：從工藝運行起，當前工藝已運行總時間，不可更改六、溫控圖況 用于觀察溫控表和工控機之間的通訊狀態(tài)和溫控表檢測到的溫度變化七、曲線圖況 用于觀察溫度變化曲線狀況八、歷史曲線用于查找已運行工藝所記錄的數據九、附錄附錄A：溫控儀參數設置 A-1 RKC FB400溫控表 A-1-1 按R/S，從“RUN”改為“STOP”（新溫控表的出廠設置為“STOP”） A-1-2 按“SET”和“”，進入“F00”，到F21的Inp設置3（熱電偶種類），PGSH設置1500，PGSL設置0；到F33的AO設置1，AHS設置1500，ASL設置0；到F41的ESI改為5 A-1-3 將“STOP

39、”改為“RUN” A-1-4 按“SET”+“MODE”，按“SET”，到Pb（當拉恒溫有溫度偏差時修改），到Add1修改為“1 /（2）/（3）/（4）/（5）”，到bpsi設置9.6，到biti設置8E1（山武），到int1設置5。注意：若bpsi設置19.2，則biti需要設置8O1（brooks） A-1-5 按“SET”2s以上，設置報警溫度 A-1-6 按“SET”，可設置溫度 A-1-7 按“SET”2s，再按“SET”，將“ATU”設置1（自整定，可自動生成一組PID值） A-2 RKC CH402溫控表 A-2-1 同時按“SET”和“”3s以上，進入“Cod”，按“SET”

40、，到SL1設置0001（J型熱偶）或設置1000（S型熱偶），SL2設置0（單位為oC），SL3設置000（通道1選擇），SL6設置0101（逆動作輸出） A-2-2 按“SET”+“R/S”，Add設置1 /（2）/（3）/（4）/（5），bps設置3，biT設置1，InT設置5 A-2-3 按“SET”2s，設置報警溫度 A-2-4 按“SET”，可設置溫度 A-2-5 按“SET”2s，再按“SET”，將“ATU”設置1（自整定，可自動生成一組PID值） A-3 RKC HA900溫控表 A-3-1 A/M：自動/手動切換；R/L：遠程/本地切換；R/S：運行/停止切換；CH1：內熱電偶

41、；CH2：外熱電偶 A-3-2 按“SET”3s以上，設置報警溫度EV3 A-3-3 人工設置CH1通道的PID參數，參數設置見下表：RKC廠商自整定的PID參數表1（爐尾）表2表3表4表5（爐口）P10.30.50.50.50.411210201011表1（爐尾）表2表3表4表5（爐口）P132125I170240240240240D11560606060 A-3-4 按“SET”+“MODE”， 到Pb（當拉恒溫時有溫度偏差時修改），Add1設置1 /（2）/（3）/（4）/（5），LCK（密碼設置），bps1設置19.2，biT1設置8O1，inT1設置5，1d

42、F設置5，2dF設置5 A-3-5 按“R/S”，將“RUN”改為“STOP” A-3-6 同時按“SET”+“MODE”3s以上，到F10的Spch設置0，dE設置6，dEuT設置100；F11的Fn1設置3，Fn2設置1，Fn3設置1；F21的inp設置3（S型熱電偶），UnIT設置0（溫度單位oC），PGdP設置1（小數點以下1位），PGSL設置0（輸入刻度下限值），PGSH設置1500（輸入刻度上限值）；F22設置參照上述F21；F30的LoGC設置5（輸出邏輯），OUT4對應EV3（報警溫度），ALC1設置01111，RLC2設置00011；F43的ES3設置5（EV3的最大報警值，外熱電偶斷偶/超溫報警），EVA3設置1（輸入1事件報警，內熱電偶斷偶/超溫報警OUT1）；F50的Pd設置0（熱啟動），CAM設置2（輸入2的用途），級聯控制CAr設置1（級聯比率），CAb設置000（通道CH2附加偏置）F51的OS設置1（逆動作）F60的CmpS1設置0（RKC通訊協(xié)議），CmpS2設置0 A-3-7 按“SET”，設置SV1和SV2的溫度 A-3-8 切換本地控制，升溫時即將CH2自整定 A-3-9 CH2自整定完成后，切換遠程控