激光干涉儀在平面度檢測中的應用_鐘賴

1、收稿日期:2014-08-22;修訂日期:2015-09-15摘要:對巖石平板的平面度進行測量,采用激光干涉和電子水平儀為檢測工具,用矩形法和對角線法分別測量平面度,通過對兩種不同測量工具測量平面度的分析,比較兩種工具優(yōu)勢特點,為平面度檢測提供測量依據(jù)。實驗表明,采用雙頻激光干涉儀測量平面度,具有直觀、高精度的測量優(yōu)勢。關鍵詞:激光干涉儀;平面度;電子水平儀;高精度中圖分類號:TH7文獻標識碼:A文章編號:1009-9492(201510-0123-02Appliance of the Laser Interferometer in Flatness TestingZHONG Lai ,SI

2、Wei-zheng ,GUO Wen-bo(Guangzhou Institute of Measurement and Testing ,Guangzhou510030,China Abstract:The advantage of the laser and electronic level which are used to measure flatness of plane with rectangle method and diagonalmethod is compared and analyzed.The result shows that the laser has the a

3、dvantages of high precision,intuitive on flatness measurement.Key words:laser interferometer ;flatness ;electronic level ;high precision激光干涉儀在平面度檢測中的應用鐘賴,司衛(wèi)征,郭文波(廣州計量檢測技術研究院,廣東廣州510030DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2015.10.0310引言在幾何量測量中,平面度誤差是形位誤差項目之一,其測量與評定對有平面度公差要求的工件的合格性判定和加工精度均有著重要意義。平面度誤差是包容實際平面或

4、實際平面任何一個指定范圍,且距離為最小的兩個理想平行平面之間的區(qū)域1。本文介紹用相同測量原理的激光干涉儀和電子水平儀,測量同一工件的平面度,采用最小二乘法計算測量結果,對工件平面度進行對比分析,從而為獲得平面度的最佳測量結果提供依據(jù)。1測量原理和方法介紹平面度誤差是指被測實際表面對其理想平面的變動量。常用測量方法有:激光干涉儀,電子水平儀,自準直儀,平晶法,打表法等。大中尺寸平面度測量常采用自準直儀、激光干涉儀、電子水平儀;小尺寸平面度測量常用平晶法測量。本文采用角度測量的相對測量方法,利用激光干涉儀和電子水平儀分別測量直線運動過程中的小角度2-3,以最小二乘法計算測量結果,間接得出被測平面的

5、平面度誤差。平面度誤差的最小二乘法評定方法:以實際被測表面的最小二乘平面作為評定基準面,以平行于最小二乘平面,且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。最小二乘平面是使實際被測表面上各點與基準平面的距離的平方和為最小的平面。評定關鍵在于測量取樣點數(shù)據(jù)擬合出最小而成平面。很多文獻采用最小二乘法4-5,如果以誤差曲面z =z (x ,y 為研究對象,用均方差誤差最小作為度量標準,設規(guī)范化最小二乘平面方程為:z =Ax +By +C ,其中A 、B 、C 為待求系數(shù)。均方誤差Q =y1y Mx 1x N(z (x ,y -Ax -By -C 2d x d y 為最小。其中z (x ,y 為

6、分區(qū)域小三角形平面。當(x ,y ij ,ij =(x ,y |x i +1-x i x y +1-x j +x i x x i +1,y j y y i +1時,z (x ,y 由公式(1 來確定:|x y z (x ,y 1x i y j z i ,j 1x i +1y j z i ,j +11x i +1y j +1z i +1,j +11=0(1當(x ,y ij ,ij =(x ,y |x i x x i +1-x i x y +1-x j +x i ,y j y y i +1時,z (x ,y 由下式來確定:|x y z (x ,y 1x i y j z i ,j 1x i y j

7、 +1z i ,j +11x i +1y j +1z i +1,j +11=0(2那么:Q =j -1M -1i -1N -1i(z (x ,y -Ax -By -C 2d x d y +ij(z (x ,y -Ax -By -C 2d x d y 令Q A =Q B =QC=0,即可求出A 、B 、C 。從而得到基準平面z =Ax +By +C 。實驗是將激光采集到數(shù)據(jù)和水平儀采集到數(shù)據(jù)分別利用上述原理計算后進行比對。2測量方法應用與結果將調好水平且表面擦拭干凈的待檢巖石平板(600mm 400mm 放另一塊平板上,激光干涉儀的激光頭放置在實驗室一塊00級巖石平板(1000mm1600mm

8、上,如圖1。按照平板對角線法和矩形法檢測的要求,分別調整光路且使光強滿格,進行檢測并記錄數(shù)據(jù)。然后用電子水平儀,按對角線法進行檢測,并記錄數(shù)據(jù)。通過激光干涉儀檢測,用最小二乘法計算,對角線法測得平板平面度為6.1m ,如圖2;矩形法測得平板平面度為6.0m ,如圖3。利用分度值為0.001mm/m 電子水平儀,按照節(jié)距法進行測量平面度。測量時利用橋板,選用合理的跨距,采用對角線25點測量法和矩形測量法進行測量。最后,用最小二乘法計算采集的數(shù)據(jù),對角線法測得平板平面度為6.4m ,矩形法測得平板平面度為6.2m 。3結論通過在相同工作環(huán)境,同一個檢測對象,同樣的計算公式下,對不同的檢測工具和檢測

9、方法進行比較,結果表明:(1同一個檢測工具,不同的檢測方法,數(shù)據(jù)結果幾乎一樣;(2不同的檢測工具,相同的檢測方法,結果稍有差別,而激光干涉儀基準是光波,數(shù)據(jù)可實時仿真,因此精度更高,更直觀,但總體上數(shù)據(jù)基本一致;(3檢測中型尺寸平板平面度,二種工具等效。參考文獻:1GB/T1958-2004.11.產(chǎn)品幾何量技術規(guī)范(GPS 形狀和位置公差檢測規(guī)定S .2司衛(wèi)征,何夢佳,林建榮.激光干涉儀在10米測長機導軌直線度檢測中的應用J .計量與測試技術,2010,37(6:40-41.3INTERNATIONAL STANDARD ,ISO230-1.Test codefor machine tools-Part 1:Geometric accuracy of machines operating under no-load or quasi-static conditions S .4黃富貴.平面度誤差