太陽能實(shí)驗(yàn)室設(shè)備配置

1、一、太陽能實(shí)驗(yàn)室具體建設(shè)方案2.1、太陽能光伏電池片生產(chǎn)線清洗制絨甩干擴(kuò)散刻蝕去磷硅玻璃清洗甩干PECVD絲網(wǎng)印刷高溫?zé)Y(jié)檢測分選名稱（廠家、型號(hào)）技術(shù)指標(biāo)圖片數(shù)量單價(jià)合計(jì)用途制絨清洗機(jī)可處理硅片尺寸：max156*156；化學(xué)藥液加熱：室溫100±3；清潔方式：超聲清洗和溢流清洗。1手動(dòng)清洗、手動(dòng)配液，硅片表面制絨，多晶包含冷凍機(jī)甩干機(jī)可處理硅片直徑：150；旋轉(zhuǎn)速度：3002400r/min；氮?dú)夂娓伞?甩干硅片表面的水珠擴(kuò)散爐可配工藝管外徑：28英寸；可配工藝管數(shù)量：14管/臺(tái)；恒溫區(qū)長度及精度：3001250mm   8001300±0.5；工作

2、溫度范圍：4001300；用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。1P 擴(kuò)散和氧化工藝刻蝕機(jī)額定放片量: 200-500 片/批；適用加工硅片尺寸：125mmX125mm;156mmX156mm；反應(yīng)室限真空：1pa;自動(dòng)調(diào)節(jié)真空壓力。1硅片周邊刻蝕去磷硅玻璃清洗機(jī)用于IC生產(chǎn)及半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝。該設(shè)備可有效去除晶片表面的有機(jī)物顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性?？捎糜谕瓿蓴U(kuò)散前、光刻后、CMP后及氧化前等工藝的清洗工作。1清洗硅片表面石

3、英管清洗機(jī)對(duì)石英管吸收層進(jìn)行腐蝕清洗，并且通過石英管的旋轉(zhuǎn)作用，使石英管腐蝕層均勻， 通過在水槽中的清洗，使石英管表層污物清洗干凈。酸洗排液注純水溢流注水水洗排液1清洗擴(kuò)散爐的石英管PECVD每管最大裝片量：320片/舟（125*125）   52片/舟（156*156）；工藝指標(biāo)：片內(nèi)±3%，片間±3%，批間±3%；控制：全進(jìn)口自動(dòng)壓力閉環(huán)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，精準(zhǔn)控制反應(yīng)真空；40KHz AE高頻電源；工藝舟軟著陸；全數(shù)字式控制，完善安全的過程控制保護(hù)。用于淀積氮化硅減反射鈍化膜絲網(wǎng)印刷機(jī)定位方式：視覺定位+光柵定位；印刷面積：Max.210×

4、;210（mm）； 網(wǎng)框尺寸：356.4×356.4×25.4（mm）；500×500×25（mm）（可選）；工作臺(tái)重復(fù)定位精度：0.005mm；印刷速度：0-350m。用于太陽能電池片的正、負(fù)電極及電場的印刷高溫?zé)Y(jié)爐太陽能電池（1200*600 *3.2mm板）在生產(chǎn)線中進(jìn)行連續(xù)退火（燒結(jié)、固化）的大尺寸腔體專用設(shè)備。該類設(shè)備還可用于半導(dǎo)體器件的固化、燒結(jié)等應(yīng)用。長期使用溫度：900±5；網(wǎng)帶寬度：400mm。用于太陽能電池正反兩面金屬噴鍍的烘干以及燒結(jié)檢測分選機(jī)光譜范圍：符合IEC60904-9要求（A級(jí)）；輻照強(qiáng)度：100mW/ cm（

5、調(diào)節(jié)范圍70120mW/cm）；輻照不均勻度：±2%；輻照不穩(wěn)定度：±2%；電性能測試誤差：±1%；單次閃光時(shí)間：10ms；有效測試面積：200mm×200mm。測試太陽能電池片的電性能參數(shù)光學(xué)顯微鏡放大倍數(shù)：7×-45×；觀察頭：雙目頭，雙目瞳距55mm-75mm；目鏡：WF10×，視場直徑：20mm；物鏡：連續(xù)變倍：0.7×-4.5×；變倍比：6.5:1；工作距離：97mm；光源：上下照明，12V10W鹵素?zé)?。少子壽命測試儀少子壽命測試范圍 :1s-6000s； 可測低阻硅料下限： 0.1.cm, 可

6、擴(kuò)展到 0.01.cm； 激光波長： 1.07m； 激光在單晶硅中的貫穿深度： 500m； 工作頻率： 30MHz； 低輸出阻抗，輸出功率 1W； 電源：220V 50Hz 功耗50W。四探針測試儀1) 測量范圍：電阻率：10的-4次方10的5 次方-cm方塊電阻：10的-4次方 10的5 次方/電阻：10的-4次方 10的5 次方2) 可測半導(dǎo)體材料尺寸直徑：5mm-130mm長度：400mm如果使用手持探針，尺寸范圍可以延伸3) 測量方法：軸向、斷面均可PN 結(jié)測試儀HTC溫控器控溫范圍，室溫至85；控溫精度0.1.電子天平秤盤尺寸：85 mm；校準(zhǔn)方式：全自動(dòng)內(nèi)校（時(shí)間、溫度觸發(fā)）；顯示

7、：5.7”彩色觸摸屏；接口：2個(gè)USB接口，RS232串口，以太網(wǎng)合計(jì):萬元2.2、太陽能光伏組件生產(chǎn)線名稱（廠家、型號(hào)）技術(shù)指標(biāo)圖片數(shù)量單價(jià)合計(jì)用途串焊設(shè)備加熱平板溫度均勻，整個(gè)平板溫度差小于±2；溫度控制精度±1，溫度設(shè)定范圍20-90；電池片定位精度±0.1mm，電池片串焊間隔均勻，外觀美觀；電源電壓220V，加熱功率單焊40W，串焊270W。層壓機(jī)工作方式靈活，多重模式自由選擇；標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)控制模式：PLC自動(dòng)處理，觸摸屏實(shí)現(xiàn)操作及數(shù)據(jù)顯示；集各種PID運(yùn)算于一體。精確度高，抗干擾性強(qiáng)；開蓋方式：多充氣控背開式。修邊、裝框硅片尺寸：156*156,125*125,103*103；設(shè)備外形尺寸：