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精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上 電子級鹽酸資料 一、用途及現(xiàn)狀 目前,我國高純電子級化學(xué)品大多依賴進口,隨著國內(nèi)電子行業(yè)向著高集成化、高均勻性及高完整性的飛速的發(fā)展,對廣泛用于單晶硅氣相拋光和外延機座腐蝕的電子級鹽酸的要求也越來越高。除了純度到達99.999%以上,還要求鹽酸的HCl、H2O和金屬離子等有機雜質(zhì)的含量越來越低。電子級鹽酸在我們生活的各個領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用,如醫(yī)藥、化工、半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路等行業(yè)。電子級鹽酸主要用于外延生長前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕,清洗鈉離子。另外高純鹽酸還用于金屬表面化學(xué)處理,激光用混合氣、膠
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