可靠性是IGZO 實(shí)用化的最大課題

1、【IDW】可靠性是氧化物TFT實(shí)用化面臨的最大課題2013/12/12        顯示器相關(guān)國(guó)際會(huì)議“20th International Display Workshops（IDW'13）”（2013年12月46日，札幌會(huì)議中心）共迎來(lái)了約1150位與會(huì)者。人數(shù)雖然略少于與“Asia Display”在京都聯(lián)合舉辦、為期4天的上屆IDW（2012年），但考慮到此次的地點(diǎn)設(shè)在北海道，而且會(huì)期僅為3天，本屆會(huì)議可以說(shuō)取得了圓滿(mǎn)成功。 表1：在“AMD（Active Matrix Displays）”會(huì)議上

2、發(fā)表的論文紅字是與氧化物TFT相關(guān)的論文，綠底色是與提高氧化物TFT可靠性相關(guān)的論文，黃底色框是以應(yīng)用于柔性顯示器為目標(biāo)的論文。另外，IGZO是InGaZnO的縮寫(xiě)。 （點(diǎn)擊放大）       表1匯總了在“AMD（Active Matrix Displays）”會(huì)議上發(fā)表的論文的概要。雖說(shuō)話(huà)題的中心仍是氧化物，但今年還特別設(shè)置了副標(biāo)題為“Special Topics on Interest on Oxide TFT”的四場(chǎng)分會(huì)。七場(chǎng)分會(huì)中，四場(chǎng)的主題都是關(guān)于氧化物TFT的課題，其中兩場(chǎng)與提高可靠性有關(guān)（表中綠框）。也就是說(shuō)

3、，會(huì)議的安排反映出了業(yè)內(nèi)的共識(shí)：確?？煽啃允茄趸颰FT實(shí)用化的首要課題。        按照國(guó)家和地區(qū)來(lái)統(tǒng)計(jì)這30篇論文的第一作者，結(jié)果如下： ·日本11篇 ·臺(tái)灣地區(qū)6篇 ·韓國(guó)5篇 ·中國(guó)大陸地區(qū)3篇 ·歐洲地區(qū)3篇 ·美國(guó)2篇        其中，韓國(guó)的論文數(shù)量不及從前，中國(guó)大陸和臺(tái)灣地區(qū)的論文數(shù)量則有所增加。

4、就在幾年前，中國(guó)大陸和臺(tái)灣地區(qū)的論文數(shù)量還比韓國(guó)落后了好幾年。但從2013年的論文數(shù)量來(lái)看，其實(shí)力穩(wěn)步增長(zhǎng)，研發(fā)水平也在不斷攀升。特別是大陸地區(qū)，論文數(shù)量在今后估計(jì)還將持續(xù)增加。 關(guān)于氧化物TFT的論文引人注目        提高氧化物TFT可靠性的分會(huì)上共有8篇論文，韓國(guó)占據(jù)了其中4篇。由此可見(jiàn)，無(wú)論是對(duì)量產(chǎn)猶豫不決的三星，還是已經(jīng)開(kāi)始少量量產(chǎn)有機(jī)EL電視、但遲遲未能拿出業(yè)務(wù)擴(kuò)大戰(zhàn)略的LG，確保氧化物TFT的可靠性都是首要課題。三星顯示器建議為確?？煽啃允褂肬V退火工藝（論文序號(hào)：AMD4-2）。LG顯

5、示器也認(rèn)為，通過(guò)優(yōu)化退火條件，可以確?？煽啃詽M(mǎn)足要求（論文序號(hào)：AMD5-4L）。        但氧化物TFT的優(yōu)勢(shì)在于“只需部分改造非晶硅（a-Si）TFT的生產(chǎn)線(xiàn)即可投產(chǎn)”，這一點(diǎn)受到了很高的期待，倘若“需要退火工藝”，在成本競(jìng)爭(zhēng)力方面，難免會(huì)大幅落后于a-Si。因此，希望研究人員能實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破、用盡可能簡(jiǎn)單的工藝確保足夠的可靠性。        深圳市華星光電技術(shù)有限公司使用IGZO TFT試制了32英寸UHD(4K)液晶電視（

6、論文序號(hào)：AMD4-4）。布線(xiàn)使用銅線(xiàn)，一開(kāi)始便將目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)了高清電視。中國(guó)企業(yè)如今也達(dá)到了能夠試制出這種先進(jìn)面板的水平。        柔性顯示器雖然另行開(kāi)設(shè)了研討會(huì)，但AMD中也不乏涉及柔性的論文（表中黃底色）?！把趸?柔性”的組合儼然正在成為一種趨勢(shì)。        友達(dá)光電此次的表現(xiàn)十分突出，共發(fā)表了三篇關(guān)于氧化物TFT的論文，分別是使用氧化物TFT背板、通過(guò)分涂蒸鍍方式試制的65英寸有機(jī)EL電視（論文序號(hào)：AMD2-1），22

7、0下在塑料基板上形成的IGZO TFT（論文序號(hào)：AMD2-3），采用涂布工藝制成的IGZO TFT（論文序號(hào)：AMD5-2）。還有一篇論文是關(guān)于512ppi窄邊框低溫多晶硅（LTPS）TFT液晶面板（論文序號(hào)：6-4L）。 柔性和觸摸相關(guān)研討會(huì)盛況空前        除了AMD，在其他研討會(huì)上，與柔性和觸摸面板相關(guān)的內(nèi)容也比比皆是。村田制作所發(fā)布了使用高透明度壓電薄膜的傳感器器件（論文序號(hào)：INP1-2）。該薄膜能夠檢測(cè)出彎曲和扭曲，通過(guò)結(jié)合已有的靜電容量式傳感器，有望催生出嶄新的應(yīng)用。如果嵌入柔性顯示器中，或許可以實(shí)現(xiàn)許多有趣的操作。比如，安裝在“Wii Fit”（任天堂的游戲軟件）的可穿戴輸入系統(tǒng)中，就能讓全家人玩得盡興，而且，如果能通過(guò)握拍的方式來(lái)區(qū)分抽擊和旋轉(zhuǎn)球，網(wǎng)球游戲或許還能更加真實(shí)。        展板會(huì)議上還有不少關(guān)于三維（3D）顯示器和觸摸面板的論文，令筆者大飽眼福。筆者心中不禁感慨：尚未投入實(shí)用的技術(shù)萌芽竟然如此之多。對(duì)于關(guān)系到用戶(hù)接口的技術(shù)，在展板會(huì)議上發(fā)表或許更加簡(jiǎn)明易懂。