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1、可靠性工程關(guān)于電子設(shè)備靜電放電(ESD)防護(hù)的設(shè)計(jì)原則 0 引言 靜電是物體表面的靜止電荷。物體在接觸、摩擦、分離、電解等過(guò)程中,發(fā)生電子或離子的轉(zhuǎn)移,正電荷和負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡,就形成了靜電。當(dāng)物體表面的靜電場(chǎng)梯度達(dá)到一定的程度,正電荷和負(fù)電荷發(fā)生中和,就出現(xiàn)了靜電放電(ESD)。靜電放電可以出現(xiàn)在兩個(gè)物體之間,也可由物體表面經(jīng)電荷直接向空氣放電。l 靜電放電的危害 靜電作為一種普遍物理現(xiàn)象,近十多年來(lái)伴隨著集成電路的飛速發(fā)展和高分子材料的廣泛應(yīng)用,靜電的作用力、放電
2、和感應(yīng)現(xiàn)象引起的危害十分嚴(yán)重,美國(guó)統(tǒng)計(jì),美國(guó)電子行業(yè)部門(mén)每年因靜電危害造成損失高達(dá)100億美元,英國(guó)電子產(chǎn)品每年因靜電造成的損失為20億英鎊,日本電子元器件的不合格品中不少于45的危害是因?yàn)殪o電放電(ESD)造成的。 問(wèn)題嚴(yán)重性還在于很多人對(duì)靜電危害的認(rèn)識(shí)不足和防靜電知識(shí)的無(wú)知,常把一些因ESD造成的設(shè)備性能下降或故障,誤認(rèn)為是元器件早期老化失效。所造成的誤區(qū)有以下幾點(diǎn)。 (1)首先由于許多人對(duì)靜電的產(chǎn)生不太了解,因?yàn)閘2kV以下的靜電放電感覺(jué)不到的,但卻能使器件因電擊而受到損傷。(須知一般MOS電路和場(chǎng)效應(yīng)管擊穿電壓約為
3、300V)所以說(shuō)靜電的損傷是在人們不知不覺(jué)的過(guò)程中發(fā)生的。 (2)器件的失效分析比較困難,因?yàn)殪o電的損傷與其他瞬變過(guò)程的過(guò)電壓造成的器件損傷有時(shí)是很難區(qū)分開(kāi)來(lái)。 (3)有的器件在受靜電損傷以后,并不是不能用,而是特性有所下降,人們并不是當(dāng)時(shí)就能發(fā)現(xiàn),但已經(jīng)造成了潛在的失效隱患,在將來(lái)某種特定的條件下,最終會(huì)導(dǎo)致器件失效,如器件氧化層出現(xiàn)一個(gè)孔,設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間工作后,金屬化電遷移引起短路燒毀,從而導(dǎo)致設(shè)備故障。這種類(lèi)型的靜電損傷,將會(huì)大大的縮短元器件的使用壽命。 (4)有人錯(cuò)誤地認(rèn)為現(xiàn)在的集成
4、電路,如MOS電路,不少的生產(chǎn)廠家在設(shè)計(jì)上已采用了抗靜電的保護(hù)電路,認(rèn)為防靜電并不一定需要。但是,人們?cè)谏a(chǎn)活動(dòng)中,工作人員穿的化纖衣服,各種塑料制品包裝,上述材料的滑動(dòng)、摩擦、或分離,特別是在空氣干燥的季節(jié)里,將會(huì)產(chǎn)生60015000V的靜電電壓,如果濕度為20以下時(shí),靜電電壓可高達(dá)30kV。即使有保護(hù)對(duì)于靜電放電的敏感器件也是非常危險(xiǎn)的。靜電主要是對(duì)半導(dǎo)體器件產(chǎn)生損傷,其失效模式如表1所列。 有人認(rèn)為靜電僅對(duì)MOS類(lèi)電路損傷,但不盡然,當(dāng)靜電電壓高到某一限度時(shí),對(duì)有些半導(dǎo)體器件也產(chǎn)生損傷。 某廠在使用高頻三級(jí)管3DGI
5、42時(shí)發(fā)現(xiàn)了一個(gè)獨(dú)特的現(xiàn)象,當(dāng)工作人員在上班開(kāi)始工作,拿第一支管子測(cè)試時(shí),常常發(fā)現(xiàn)是壞的,失效模式為發(fā)射結(jié)擊穿,以后就全是好的,這種現(xiàn)象每天重復(fù)出現(xiàn)。經(jīng)研究認(rèn)為,這種失效是由靜電引起的。當(dāng)工作人員進(jìn)入車(chē)間或?qū)嶒?yàn)室時(shí),因在地板上走動(dòng)時(shí)產(chǎn)生靜電,加上自身衣服之間摩擦也會(huì)產(chǎn)生靜電,所以當(dāng)?shù)谝淮文霉茏訒r(shí),在接觸管子的瞬間靜電釋放,因而使管子損壞。于是,規(guī)定凡是第一次測(cè)試時(shí),要先摸一摸地線,釋放靜電之后,再去拿管子,這個(gè)問(wèn)題因此而得以解決。 這個(gè)例子也說(shuō)明,籠統(tǒng)地認(rèn)為雙極晶體管不是靜電第三器件是錯(cuò)誤的,特別是對(duì)于具有潛結(jié)構(gòu)的高頻或超高頻晶體管,必須考慮防靜電問(wèn)題。2
6、靜電放電的定義 靜電放電(ESDElectro Static Discharge)不同靜電電位的物體相互靠近或直接接觸引起的電荷轉(zhuǎn)移。也就是說(shuō),靜電放電耦合到電子設(shè)備主要有兩種方式:直接傳導(dǎo)和空間耦合,耦合又分為電場(chǎng)耦合和磁場(chǎng)耦合。21 靜電放電的特點(diǎn) 靜電放電是高電位、強(qiáng)電場(chǎng)、瞬時(shí)大電流的過(guò)程。 靜電放電會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的電磁輻射形成電磁脈沖(EMP)。22 靜電放電的類(lèi)型 (1)電暈放電 電暈放電是一種高電位、小電流、空氣被局部電離的放電過(guò)程。
7、; (2)刷形放電 刷形放電是一種發(fā)生在導(dǎo)體與帶電絕緣體之間,放電通道成分散的樹(shù)權(quán)形形狀的放電過(guò)程。 (3)火花放電火花放電是一個(gè)瞬變的過(guò)程,放電時(shí)兩放電體之間的空氣被擊穿,形成“快如閃電”的火花通道,靜電能量瞬時(shí)集中釋放。3 ESD防護(hù)設(shè)計(jì) 耦合到電子設(shè)備有三種方式: (1)直接傳導(dǎo); (2)電容耦合(電場(chǎng)耦合); (3)電感耦合(磁場(chǎng)耦合)。 電子設(shè)備的
8、ESD防護(hù)主要應(yīng)針對(duì)這幾種耦合方式采取措施,可總結(jié)為下列24字方針: 靜電屏蔽,濾波去耦,絕緣隔離,接地泄放,良好搭接,瞬態(tài)抑制。31 設(shè)備的ESD防護(hù)設(shè)計(jì)原則 對(duì)于設(shè)備級(jí)的ESD防護(hù)設(shè)計(jì),其重點(diǎn)應(yīng)放在為靜電放電設(shè)置一條通暢的泄放通道。主要應(yīng)做好以下幾點(diǎn)。 (1)機(jī)箱金屬之間要實(shí)現(xiàn)良好的搭接,搭接處要采用面接觸,避免點(diǎn)接觸,搭接的直流電阻不大于5m,整體搭接結(jié)構(gòu)中任意兩導(dǎo)電點(diǎn)間的直流電阻不大于25m。相互搭接的金屬之間的化學(xué)位差不大于05V,超過(guò)時(shí)可以選擇一種過(guò)度金屬(或鍍層),以降低原
9、來(lái)兩種金屬的接觸腐蝕。 (2)接觸的鍵盤(pán)、控制面板、手動(dòng)控制器、鑰匙鎖等金屬部件,應(yīng)直接通過(guò)機(jī)架接地。如果不能接地,則其與電路走線的絕緣距離至少應(yīng)滿(mǎn)足以下要求:空氣間隙5mm,爬電距離6mm。 (3)在機(jī)架接地點(diǎn)匯接或在外部接地網(wǎng)上匯接,形成良好的靜電泄放通路。 (4)小型低速(頻率小于10MHz)設(shè)備可以采用工作地浮地(或工作地單點(diǎn)接金屬外殼)、金屬外殼單點(diǎn)接地,使靜電通過(guò)機(jī)殼泄放到地而對(duì)內(nèi)部電路無(wú)影響。 (5)小型高速(頻率大于10MHz)設(shè)備的工
10、作地應(yīng)與其金屬機(jī)殼實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)接地,且金屬外殼單點(diǎn)接大地。 (6)機(jī)架設(shè)備的接地點(diǎn)與外部接地樁之間要保證可靠的電氣連接,連接銅線截面的外周長(zhǎng)不小于20mm。 (7)必須盡量減少結(jié)構(gòu)的電氣不連續(xù)性,以便控制經(jīng)底板和機(jī)殼進(jìn)出的輻射。提高縫隙屏蔽效能的結(jié)構(gòu)措施包括增加縫隙深度,減少縫隙長(zhǎng)度,在接合面上加入導(dǎo)電襯墊,在接縫處涂上導(dǎo)電涂料,縮短螺釘間距等。32 縫隙影響與措施 (1)在底板和機(jī)殼的每一條縫和不連續(xù)處要盡可能好地搭接。最壞的電搭接對(duì)殼體的屏蔽效能起決定性作用。
11、160; (2)保證接縫處金屬對(duì)金屬的接觸,嚴(yán)禁接縫處有油漆或氧化層等絕緣物,以防電磁能的泄漏和輻射。 (3)在不加導(dǎo)電襯墊時(shí),螺釘間距一般應(yīng)小于最高工作頻率的l波長(zhǎng),至少不大于120波長(zhǎng)。 (4)用螺釘或鉚接進(jìn)行搭接時(shí),應(yīng)首先在縫的中部搭接好,然后逐漸向兩端延伸,以防金屬表面的彎曲。 (5)保證禁固方法有足夠的壓力,以便在有變形應(yīng)力、沖擊、振動(dòng)時(shí)保持表面接觸。 (6)在接縫不平整的地方,或在可移動(dòng)的面板等處,必須使用導(dǎo)電襯墊或指形彈簧材料。 (7)選擇高導(dǎo)電率和彈性好的襯墊,選擇襯墊時(shí)要考慮接合處所使用的頻率。 (8)選擇硬韌材料做成的襯墊,以免劃破金屬上的任何表面。 (9)保證同襯墊配合的金屬表面沒(méi)有非導(dǎo)電保護(hù)層。 (10)當(dāng)需要活動(dòng)接觸時(shí),使用指形壓簧(而不用網(wǎng)狀襯墊),并要注意保持彈性指簧的壓力。 (11)導(dǎo)電橡膠襯墊用在鋁金屬表面時(shí),要注意電化腐蝕作用。純銀填料的橡膠或線形襯墊將出現(xiàn)最嚴(yán)重的電
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