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文檔簡介

1、濺射薄膜壓力傳感器濺射薄膜壓力芯體濺射薄膜壓力芯體利用離子束濺射薄膜技術(shù)結(jié)合先進的微電子工藝技術(shù)制造而成的不銹鋼彈性膜片。離子束濺射在合金材料上，在膜片上制作了組成惠斯登電橋的合金薄膜應(yīng)變電阻，膜片變形使電阻的幾何尺寸和阻值發(fā)生改變，電橋輸出相應(yīng)電信號。薄膜應(yīng)變電阻與彈性體“融”為一體，組成全金屬型敏感元件，無任何粘貼劑和緊固件，可長期在-40125工作溫度下穩(wěn)定工作。濺射薄膜壓力芯體（合金薄膜壓力傳感器PPM-216A）具有準(zhǔn)確度高，工作溫度范圍寬，溫漂小，高穩(wěn)定，高可靠，抗振動，抗沖擊，抗輻射的工作特性。濺射薄膜壓力芯體因使用微束脈沖亞弧焊和激光焊，具有防水、防潮功能，在各種惡劣的環(huán)境下能

2、長期穩(wěn)定的工作。濺射薄膜壓力芯體廣泛應(yīng)用于航空、航天、交通、水利、電力、工程機械、汽車制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、醫(yī)療設(shè)備、食品加工等多種自控和測量行業(yè)。主要技術(shù)參數(shù)：ü 被測介質(zhì)：氣體，液體及蒸氣；ü 壓力類型：表壓、絕壓、差壓可選；ü 量程：0120Mpa間任意可選；ü 供電電源：515VDC；ü 輸出：1.21.8mv/V；ü 綜合精度：±0.1%FS、±0.2%FS、±0.5%FS；ü 非線性：0.060.1%FS；ü 遲滯：0.020.05%FS；ü 重復(fù)性

3、：0.030.06%FS；ü 零點溫漂：±0.01%FS/；ü 靈敏度溫漂：±0.02%FS/；ü 輸出阻抗：1.53K；ü 絕緣電阻：1000M/100VDC；ü 工作溫度：4085125150可選；ü 過載能力：150%FS；ü 電氣連接：高溫引出線；ü 壓力連接：M10×1雙“O”圈密封或用戶指定；ü 接液材料：膜片：17-4PH過程連接件1Cr18Ni9Ti；ü 相對濕度：095%RH；ü 密封等級：IP65。濺射式壓力傳感器采用耐腐蝕不銹鋼制作成彈性體鋼杯，將壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變。利用離子束濺射技術(shù)在彈性膜片上分別淀積多層薄膜，采用干法刻蝕技術(shù)將NiCr膜刻蝕成電阻橋。流體壓力P1 （P2為大氣或真空）作用在彈性膜片上使膜片產(chǎn)生變形 ,電阻產(chǎn)生相應(yīng)的變化, 電橋輸出與壓力成比例的電信號。主要技術(shù)特點ü 薄膜技術(shù)代替粘貼傳感器中的粘貼工藝, 消除了膠的影響，無蠕變、不老化。ü 耐蝕不銹鋼與被測量介質(zhì)直接接觸，無須灌充油隔離。ü 彈性體和應(yīng)變電阻材料都是

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