半導(dǎo)體PN結(jié)的物理特性與弱電流測(cè)量實(shí)驗(yàn)

1、半導(dǎo)體 PN 結(jié)的物理特性及弱電流測(cè)量實(shí)驗(yàn)實(shí)驗(yàn)?zāi)康摹? ?在室溫時(shí)，測(cè)量 PN 結(jié)電流與電壓關(guān)系，證明此關(guān)系符合指數(shù)分布規(guī)律 。2 ?在不同溫度條件下，測(cè)量玻爾茲曼常數(shù)。3 ?學(xué)習(xí)用運(yùn)算放大器組成電流 -電壓變換器測(cè)量弱電流。4 ?測(cè)量 PN 結(jié)電壓與溫度的關(guān)系，求出該 PN 結(jié)溫度傳感器的靈敏度。5.計(jì)算在 0K 溫度時(shí)，半導(dǎo)體硅材料的近似禁帶寬度。實(shí)驗(yàn)原理】1 . PN 結(jié)伏安特性及玻爾茲曼常數(shù)測(cè)量由半導(dǎo)體物理學(xué)可知， PN 結(jié)的正向電流 -電壓關(guān)系滿足：1=1。e)p(eU /kT) -1 丨(I)式中I是通過(guò)PN結(jié)的正向電流，Io是反向飽和電流，在溫度恒定是為常數(shù)， T是熱力學(xué)溫度，e

2、是電子的電荷 量, U為PN結(jié)正向壓降。由于在常溫(300K)時(shí)，kT/e0.026 V ,而PN結(jié)正向壓 降約為十分之幾伏，那么exp(eU / kT) >>1 , (1)式括號(hào)內(nèi) 1項(xiàng)完全可以忽略，于是有：I =I0exo(eU/kT)(2)也即PN結(jié)正向電流隨正向電壓按指數(shù)規(guī)律變化。假設(shè)測(cè)得PN結(jié)I-U關(guān)系值，那么利用式可以求出e/ kT o在測(cè)得溫度 T 后，就可以得到 e/k 常數(shù)，把電子電量作為值代入 , 即可求得玻爾茲 曼常數(shù) k。在實(shí)際測(cè)量中，二極管的正向I-U關(guān)系雖然能較好滿足指數(shù)關(guān)系，但求得的常數(shù)k往往偏小。這是因?yàn)橥ㄟ^(guò)二極管電流不只是擴(kuò)散電流，還有其它電流。一

3、般它包括三個(gè)局部：1)擴(kuò)散電流，.專業(yè) . 專注它嚴(yán)格遵循 式；2)耗盡層符合電流，它正比于 exp(eU / 2kT) ； 3)外表電流，它是由硅和二氧 化硅界面中雜質(zhì)引起 的，其值正比于exp(eU /mkT)，一般m >2。因此，為了驗(yàn)證 式及求出準(zhǔn) 確的e/k常數(shù)，不宜采用硅二極管，而采 用硅三極管接成共基極線路 ，因?yàn)榇藭r(shí)集電極與基極短接，集電極電流中僅僅是擴(kuò)散電流復(fù)合電流主要在基極出現(xiàn)，測(cè)量集電極電流時(shí) ，將不包括它。本實(shí)驗(yàn)中選取性能良好的硅三極管(TIP31型)，實(shí)驗(yàn)中又處于較低的正向偏置，這樣外表電流影1所示。1.5V所以此時(shí)集電極電流與結(jié)屯壓將滿足式。實(shí)驗(yàn)線路如圖1M

4、riTLTIP31ech1+15VLF31響也完全町以忽略beeb-15V12 3 4圖1 PN結(jié)擴(kuò)散電源與結(jié)電壓關(guān)系測(cè)量線路圖2. 弱電流測(cè)量過(guò)去實(shí)驗(yàn)中l(wèi)OA-IO41 A量級(jí)弱電流采用光點(diǎn)反射式檢流計(jì)測(cè)量該儀器靈敏度較高約10 °A/分度，但有許多缺乏之處，如十分怕震，掛絲易斷；使用時(shí)稍有不慎，光 標(biāo)。使用和維修極不方便。近年來(lái)，集成電瞬間過(guò)載引起引絲疲勞變形產(chǎn)生不回零點(diǎn)及指示差變大路與數(shù)字化顯示技術(shù)越來(lái)越普及。高輸入阻抗運(yùn)算放大器性能優(yōu)良，價(jià)格低廉，用它組成電流-電壓變換器測(cè)量弱電流信號(hào)，具有輸入阻抗低，電流靈敏度高。溫漂小、線性好、設(shè)計(jì)制作簡(jiǎn)單、結(jié)構(gòu)牢靠等優(yōu)點(diǎn)，因而被廣泛應(yīng)用

5、于物理測(cè)量中Rf圖2電流一電壓變換器LF356是一個(gè)咼輸入阻抗集成運(yùn)算放大器，用它組成電流-電壓變換器弱電流放大器,如圖2所示。其中虛線框內(nèi)電阻 乙為電流-電壓變換器等效輸入阻抗。由圖2，運(yùn)算放大器的輸入電壓 U。為：Uo=-K U,即圖4中電阻Rf ?匚時(shí)的電壓增式3中Ui為輸入電壓，Ko為運(yùn)算放大器的開(kāi)環(huán)電壓增益益，Rf稱反應(yīng)電阻。因?yàn)槔硐脒\(yùn)算放大器的輸入阻抗幾一？，所以信號(hào)源輸入電流只流經(jīng)反應(yīng)網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成的通路。因而有:Is =(Ui -Uo)/Rr 二 Ui(1 Ko)/Rf由4式可得電流-電壓變換器等效輸入阻抗乙為乙=Ui/|s =Rf /1 K。 : Rf /K。由式和4式可得電流-電

6、壓變換器輸入電流| z輸出電壓U。之間得關(guān)系式，即(5)丄丄-Uo(1 1/K o)/Rf =-Uo/RfLF356由式只要測(cè)得輸出電壓 U。和Rf值，即可求得I s值。以高輸入阻抗集成運(yùn)算放大器為例來(lái)討論 乙和Is值的大小。對(duì)LF356運(yùn)放的開(kāi)環(huán)增益Ko =2 10 ,輸入阻抗* =10 1。假設(shè)取Rf為1.00 M1，那么由式 可得：Zr-1.00 106門(mén)/12 105=5門(mén)假設(shè)選用四位半量程 200mV 數(shù)字電壓表，它最后一位變化為 0.01 mV ，那么用上述電流 -電壓變換器 能顯示最小電流值 為：lsmin =0.01 10/1 106=1 10J1A由此說(shuō)明，用集成運(yùn)算放大器組

7、成電流-電壓變換器測(cè)量弱電流，具有輸入阻抗小、靈敏度高的優(yōu)點(diǎn)。3.PN結(jié)的結(jié)電壓Ube與熱力學(xué)溫度T 關(guān)系測(cè)量。當(dāng) PN 結(jié)通過(guò)恒定小電流通常電流1=10002，由半導(dǎo)體理論可得 Ube與T近似關(guān)系：Ube = ST U go 5式中S- 2.3mV/ C為PN結(jié)溫度傳感器靈敏度。由U go可求出溫度0K時(shí)半導(dǎo)體材料的近似禁帶寬度Ego = qU go。硅材料的Ego約為1.20eV。實(shí)驗(yàn)儀器】1. 直流電源、數(shù)字電壓表、溫控儀組合裝置包括土 15V直流電源、0 1.5V及3.0V直流電源、三位半數(shù)字電壓表、四位半數(shù)字電壓表、溫控儀。2. TIP31型三極管帶三根引線1個(gè),3DG三極管1個(gè)。3

8、. 干井銅質(zhì)恒溫器 含加熱器及小電風(fēng)扇各 1 個(gè)。4. 配件： LF356 運(yùn)算放大器各 2 塊， TIP31 型三極管 1 只，引線 9 根；用戶自配： ZX21 型電阻箱 1 只實(shí)驗(yàn)過(guò)程】1. Ic-Ube關(guān)系測(cè)定，并進(jìn)行曲線擬合求經(jīng)驗(yàn)公式，計(jì)算玻爾茲曼常數(shù)。U be二Ui 1實(shí)驗(yàn)線路如圖 1 所示。圖中 U 1為三位半數(shù)字電壓表， U 2為四位半數(shù)字電壓表， TIP31 型為帶散 熱板的功率三極管，調(diào)節(jié)電壓的分壓器為多圈電位器 ，為保持 PN 結(jié)與周?chē)h(huán)境一致，把 TIP31 型 三極管浸沒(méi)在盛有變壓器油干井槽中，變壓器油溫度用鉑電阻進(jìn)行測(cè)量 。2 在室溫情況下，測(cè)量三極管發(fā)射極與基極之

9、間電壓U1和相應(yīng)電壓U2。在常溫下U1的值約從0.3V至0.42V范圍每隔0.01V測(cè)一點(diǎn)數(shù)據(jù)，約測(cè)10多數(shù)據(jù)點(diǎn)，至U 2值到達(dá)飽和時(shí)匕值變化較小 或根本不變，結(jié)束測(cè)量。在記數(shù)據(jù)開(kāi)始和記數(shù)據(jù)結(jié)束都要同時(shí)記錄變壓器油的溫度-，取溫度平均值丁。3改變干井恒溫器溫度，待 PN結(jié)與油溫濕度一致時(shí)，重復(fù)測(cè)量 Ui和U2的關(guān)系數(shù)據(jù)，并與室溫測(cè) 得的結(jié)果進(jìn)行比 較。4曲線擬合求經(jīng)驗(yàn)公式： 運(yùn)用最小二乘法，將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分別代入線性回歸、指數(shù)回歸、乘幕回歸這三種常用的根本函數(shù) 它們是物理學(xué)中最常用的根本函數(shù)，然后求出衡量各回歸程序好壞的標(biāo)準(zhǔn)差:。對(duì)已測(cè)得的 Ui和U2各對(duì)數(shù)據(jù)，以Ui為自變量，U 2作因變量，分別

10、代入:1 線性函數(shù)UAaU i b ； 2乘幕函數(shù)U2二aU； 3指數(shù)函數(shù)U 2 = a e p bU J。求出各函數(shù)相應(yīng)的a和b值，得出三種函數(shù)式，究竟哪一種函數(shù)符合物理規(guī)律必須用標(biāo)準(zhǔn)差來(lái)檢驗(yàn)。方法是：把實(shí)驗(yàn)測(cè)得的各個(gè)自變量Ui分別代入三個(gè)根本函數(shù)，得到相應(yīng)因變量的預(yù)期值U2*,并由此求出各函數(shù)擬合的標(biāo)準(zhǔn)差值，最后比擬哪一種根本函數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)差最小，說(shuō)明該函數(shù)擬合得最好計(jì)算e/k常數(shù)，將電子的電量作為標(biāo)準(zhǔn)差代入，求出玻爾茲曼常數(shù)并與公認(rèn)值進(jìn)行比擬2.Ube -T關(guān)系測(cè)定，求PN結(jié)溫度傳感器靈敏度S,計(jì)算硅材料OK時(shí)近似禁帶寬度Ego值。Ri n-l Ir2RtR43Vn6=疋6 -U；2/n式中

11、n為測(cè)量數(shù)據(jù)個(gè)數(shù)，Uj為實(shí)驗(yàn)測(cè)得的因變量,Ui為將自變量代入根本函數(shù)的因變量預(yù)期1實(shí)驗(yàn)線路如圖3所示，測(cè)溫電路如圖4所示。其中數(shù)字電壓表 V2通過(guò)雙刀雙向開(kāi)關(guān)，既作測(cè)溫電橋指零用，又作監(jiān)測(cè)PN結(jié)電流，保持電流I =100 JA用。2 通過(guò)調(diào)節(jié)圖3電路中電源電壓，使上電阻兩端電壓保持不變 ，即電流I =100"A。同時(shí)用電橋 測(cè)量鉑電阻RT的電 阻值，通過(guò)查鉑電阻值與溫度關(guān)系表 ，可得恒溫器的實(shí)際濕度。從室溫開(kāi)始每 隔5 C 10 C測(cè)一點(diǎn)U be值即V1 與溫度C 關(guān)系，求得U be -T關(guān)系。至少測(cè)6點(diǎn)以上數(shù)據(jù)3用最小二乘法對(duì)Ube -T關(guān)系進(jìn)行直線擬合，求出PN結(jié)測(cè)溫靈敏度S及近

12、似求得溫度為0K時(shí)硅材料禁帶寬度Eg。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)I1. Ic -U be關(guān)系測(cè)定，曲線擬合求經(jīng)驗(yàn)公式，計(jì)算玻爾茲曼常數(shù)。注：本實(shí)驗(yàn)比擬簡(jiǎn)單，為了得到更好的結(jié)果，因而測(cè)量了兩次。第一次測(cè)量結(jié)果】室溫下：才=17.0 C ,去=17.1 C,亍=17.05 CU1/V0.3000.3100.3200.3300.3400.3500.3600.3700.3800.3900.4000.410U2/V0.1030.1580.2300.3450.5160.7801.1551.7402.6003.9005.6808.700U1/V0.4160.4200.430U2/V11.00011.51211.513注：當(dāng)U

13、 1 =0.420時(shí)，U2已經(jīng)到達(dá)飽和，故這里我們測(cè)了5=0.416時(shí)的結(jié)果，而舍去U 1=0.420時(shí)的結(jié)果因?yàn)樗赡懿粶?zhǔn)確以U1為自變量，U2為因變量，分別進(jìn)行線性函數(shù)、乘幕函數(shù)和指數(shù)函數(shù)的擬合Results線性函數(shù)：>'=1.8393, U2 =80.315 -26.05Line<r a.DA?l Folyl : f<?)-軒啊 *Goodnass fit:S£E 37.22Coii £ficitnts iiritb 96輛 couifiiitDC't luoini >1 80= 31(45 9L 1W. 7Hr q 口 az:

14、0. 7545AdjutttdRffif :L339p2 = T&C5 (-37.01. -15.ValidakicinA-DFE*CoeffValidMicmA.RMSEAdj眼旳0.75450.71221JB393Table 直！ f FitAFit name * D?taValidAtiarL,.Fit type polylQ untitled . UZ w. U137.2151tn幕乘函數(shù)：6 =0.0788 , "1.24八1八 JU115.9"Resutts-Fit name 叫 DataFit typeuGdludtl.Lodtl J 右卯 叫 inf

15、 (x) bCAtfficLtnU With 日器 ctnfiJtnc-t be*6. =1.24I*D7 (B.a6?Kfi? 1 (IS.SSE(ft)14 &GdtkdhuiEfi of fi t15.16 29)S5I : D.Q 関蕭R-EqUHTE : 0. 9&95戀 EL O.D7B7 JU1Table erf FitsrMSE iFit name- a lD#tg a unAiwi - 帆 0 陶 |ua vt. yifit typeIpowtrlSSEjo.o八eaR-squireOFE|o.咖，111Adj R-Sq0i9995_指數(shù)函數(shù)：由matlab擬

16、合的結(jié)果可知 指數(shù)回歸擬和的最好，也就說(shuō)明PN結(jié)擴(kuò)散電流-電壓關(guān)系遵循指數(shù)分布規(guī)律以下計(jì)算玻爾茲曼常數(shù)：由表2數(shù)據(jù)得ek=bT=40.26那么273.15 17.05 =1.168 10 4CK j-19偵2 10=1.372 10八 3J/K1.168 10此結(jié)果與公認(rèn)值k = 1.381 10 23J/K較為一致相對(duì)誤差為 1.372 xlOAJ /K -1.38V<10A 3J/ K1.381WJ/K = °.00007 %恒溫下：v - 25.0CJ1/V0.3000.3100.3200.3300.3400.3500.3600.3700.3800.3900.3950.4

17、00U2/V0.2620.3900.5700.8341.2481.8612.7784.0156.0048.78010.8/12511.630U1/V0.410U2/V11.632出于同樣的考慮，我們舍去最后兩組數(shù)據(jù)Results線性函數(shù):=1.6166,U 2 =101.5U 1 -32.06LinearF 胡lyl :f (x) =+ p2Coeffici tut 5 tri th 5* c anfi d?nc? hoi pl = 101.Sp2 =-32. IM (-4*1. STj -IE?£fit0.S217Ailjust edl R-square : 0. 801FMSE:

18、 1.61I(65.137.SSE:空?認(rèn)Table of FitsFit name * DaAaFit typ-eS5ER-squareDFEAdj R-sq1RMSEa CoeffVai id ation. Vai id ation.Valid atkafiu.3 untitledU2 曲 U1polylI23.519 &|d 般 17I0.S0191.6166lz_II_IU幕乘函數(shù)？?右=0.0839 , U2 =8.487 漢 10 上 U ； °62Results10CflnErL! uailfcl PoTtrl :3理jc) = Es/bCdflf-fiei a

19、nte (wi tJi 054 cDiifiddnc& l&ai i = E 43l#tW (a 273?*06?】t -14 ?2 (14 23 - Is.%AQ-odn?33 - af fit :SSE: 0. 0632SR-squii q 0. 9995QAdjustd d R-ncquura : C>. 9995HHSE: Q. 0A38 &U1Table of FitsFrl narr>e &DataFit typeSSER-squareOFEAdj R-sqRMSE# CocWValidation.,Validation.?Validtf

20、tiom.?S untitled 杯U2 vs. U1pawerlO.K330.曬5g0.99S50.0839211指數(shù)函數(shù)：=0.0346, U2 =2.072 10'e 39"?Gtn-er nl nad,el EzplfCj) o£?xp(li*x)Coeffici Enti witlii 歸電 cm£i Ituce b? a ? g. Q7? -Qg (1.728i-M, 彳 1J=39. 15 (38. 'Z 捕.譽(yù)go AiLts5 a fit:ResultsSSE 0 OW76R-squnr? 0 9999-Table RsRMSE

21、; 0. 03457JIzit name 僉DarH 中Fft typeSSER-squareDFEAdj R-sqRMSE#C?ffVatidaAQH-,. ValidationL.r VDl>difltiQn t3 untill#d . U2 ws. U1expllo.oiae0.99MA0-9999A由matlab擬合的結(jié)果可知 指數(shù)回歸擬和的最好，也就說(shuō)明PN結(jié)擴(kuò)散電流-電壓關(guān)系遵循指數(shù)分布規(guī)律以下計(jì)算玻爾茲曼常數(shù)：由表2數(shù)據(jù)得ek=bT =39.15273.15 25.0 =1.167 10 4CK j602 忙=1.373 J/Kke/k =1.167 10此結(jié)果與公認(rèn)值k

22、= 1.381 10 23J/K較為一致相對(duì)誤差為 1.373 X10'3J/ K -1.38V<10A 3J/K1.381 O3/K =°.00006 %第二次測(cè)量結(jié)果】室溫下：可=18.8 ; C,二 2 =18.9 ; C,二-18.85CU1/V0.3000.3100.3200.3300.3400.3500.3600.3700.3800.3900.4000.410U2/V0.1320.1920.2920.4290.6430.9681.4422.1013.1144.6566.82510.340U1/V0.4120.4200.430U2/V11.16011.4851

23、1.486注：當(dāng)U 1=0.420時(shí)，U2已經(jīng)到達(dá)飽和，故這里我們測(cè)了5 =0.412時(shí)的結(jié)果，而舍去U 1=0.420時(shí)的結(jié)果因?yàn)樗赡懿粶?zhǔn)確。以U1為自變量，U2為因變量，分別進(jìn)行線性函數(shù)、乘幕函數(shù)和指數(shù)函數(shù)的擬合線性函數(shù)：、=1.9131 , U2 =89.87U 1 -29.05辰藝LI It ISLine 02" Bodtl Falyl: ftl) pl* *CdGifficit-iLti (jith 95k ccnfidtnct bat pl -69 tt7 (57121-29.C6(-40. flh - 1?Gd?dtn?$ af fitSSI:孫.游滬冊(cè)asr? 0

24、:理3JuJjasttd ffuq.iiiT't : 0. TM闊邑：1.913U1Table of Fitszit name * DataFit typeS5ER-squareD 圧Adj R-sqRMSE# CoeffValid ation.u. Valid ation.u. Validaticm.9 untitledlU2i vs. Ui|poW140A611|o.77&a |n0.朽閒J2-J11RMUHI幕乘函數(shù)：>'=0.0883 ,U2 =1.115 10AU15,59Gdiifr bl sdidil f bFArlftx) bCaifeffiei

25、c-ji.es. (vLtk ffi11! canfi l?nc : 4 hat a =1.115t- ?071(.038e*(>6. 1匕云la. a? (I?15 95召40 昴*甫？ if fitSSI: 0.QK77K-fl-qutrt 0 99553bAdjosEtd ft-sAiKrt: 0. 99A5PMSE : -0.5393U1Table of FitsFit name * dataFit typeSEER-squareDFEAdj R-sqRMSE* CoeffValidabcn u. Validabon u? Validation.9 untitled J'

26、UZ vs. U1pcwerla.PB582的曲u _0,卿 5aassi _1丄指數(shù)函數(shù)：=0.0333 ,U2 =8.292 10"e 398n1Tflblt of FitsFmu山Giiut tl 工肩"£xp：ftl) - e*Kp(b*x) 匚 otffici tnts (>ith 95人1 t - S. 2KMT b =39.54.canfi dtnct bocCJ CWJg, s (35.40. 22?ao>£n.?EE af fitSSE: 0. 01A1.7 R-squara0. 9993Kdjva te-d. Bi -s-

27、q.usre : 0JMSE : 0. DJ326it name *ChrfsFit typeSSER-?quarcDFEAdj R-sqRMSE#CotfFfValidotianM- Validfftian. VdlidatioriLuntitled iU |U2 vs. U1|exp1|0.0122|a曲汕111IO.Q33S|2PN結(jié)擴(kuò)散電流-電壓關(guān)系遵循指數(shù)分布規(guī)律以下計(jì)算玻爾茲由matlab擬合的結(jié)果可知 指數(shù)回歸擬和的最好，也就說(shuō)明曼常數(shù)由表2數(shù)據(jù)得ek二bT此結(jié)果與公認(rèn)值 k =1.381=39.84273.15 18.85 =1.163 10 410A 3J/K相當(dāng)一致相對(duì)誤差

28、為1.377FO7/K -1.38V<10A 3J/ K=0.00003%1.602 10 J9"e/k= 1.377 10 3J/K1.163 101.381F0 J /K恒溫下：v -27.4CU1/V0.3000.3100.3200.3300.3400.3500.3600.3700.3800.3900.3910.400U2/V0.3400.4950.7421.1111.5842.3613.4585.1357.56011.11011.54011.631Lint at b.e>i1 A1 Folylf (x) " pl*x * 垃Caftffie-i turf

29、 (utk 殆電d-friic* ba-iPl.=120.1 (SO.57. 1 閤.P2 -ST S (A51尿-25Kt name DataFit typeSSER-5quareDAEAdj R-sqRMSE處 CoeffValidation. ? Validation. ? Validadon. uS untitledU2 vs, U1Ipolyl27,935Q.e4 ( nOU291.7&1SU1/V0.410U2/V11.631出于同樣的考慮，我們舍去最后兩組數(shù)據(jù)線性函數(shù)：、.=1.7618 , U2=120.15 -37.8fh'SSE. 2*. 94R址ntr電0

30、針JldjiLEttdi RE(|u?rfe0. S3Z23RMSE : 1. "?2Table of FitsGdiifr bl sdidtl f bFArl£ tx) bCaifeffieic-nEs. (vLtk55canfi l?nc 4 hdt a =E.05 空憂(5.61b -理 34 (14.03. 14 黑R?urts幕乘函數(shù):d =0.0754 ,U2=8.085X10U 14.34召40 昴*甫？ ?f fitSSI: 0.05119A-fl-qutrt 0 卻的：AdjosEtd ft-sAiKrt: 0. 99S7PMSE :07542Table

31、of Fitszit name * dataFit typeSEER-squareDFEAdj R-sqRMSEH CoeffValidabcn u. Validabon u? Validation.S untitled ,nju2 vs, UHpcwerlO.a512.a的撲、0.W9?|00754一丨7一丄I6 38 71U1指數(shù)函數(shù) :抵=0.0143 , U2 =3.086 況 10 eGdiur" aid-dtl Expl :由表2數(shù)據(jù)得ek二bT=38.71273.15 27.4 =1.163 10 4CK je = 1.602 心 09 e/k 1.163 10 4=

32、1.377此結(jié)果與公認(rèn)值 k =1.381 10八3J/K相當(dāng)一致1.377"O J/K -1.38八10 J / K相對(duì)誤差為 云1.38 仆 10 J /K=0.00003%2?電流I =100%時(shí)，Ube-T關(guān)系測(cè)定，求PN結(jié)溫度傳感器的靈敏度 S，計(jì)算0K時(shí)硅材料的近 似禁帶寬度Eg表3 Ube -T關(guān)系測(cè)定RT/C日/CT/KUbe/Vf(i) a*exptb*x)Cafeffie : ! tuts. (.?i th 95A canfi dined bos n =3.OSfic-OG (2.901e-06. 2 3?. II (3?.38"莊召的曲詒卵if fit

33、SSI : 0. 0D1S31F-fl-qUU 1*' 1Jldjustt-ii R£ qu4bi*>t :1JWSE: 0.01427U1Table of Fits?Fit name * DataFit typeSEER-squareDiFEAdj R-sqIRM5E# CoeffValidation.AValidation.Validation.B untried .? |u2 vs. U1o.ooia1.0000?1.00000,0143-2由matlab擬合的結(jié)果可知 指數(shù)回歸擬和的最好，也就說(shuō)明PN結(jié)擴(kuò)散電流-電壓關(guān)系遵循指數(shù)分布規(guī)律以下計(jì)算玻爾茲曼常數(shù)：107.719.25292.450.623109.523.75296.950.611111.2