LYQS精選A精選CP晶圓檢驗標準

1、文件編號：制定單位：品經(jīng)部修訂履歷生效日期版次修訂人修訂內(nèi)容2016-8-202016-10-20A0A1黃良漢王濤首版發(fā)行1.追加第4條標準內(nèi)容：針對XW勺產(chǎn)品邊緣2016-12-22畢明明晶圓外4圈區(qū)域（不完整DIE不算一i圈）的PA性色，不做管控，做允收判定2.變更公司LOGO增加HD護層不良、線路不良管控要求文件名稱CP晶圓檢驗標準A21 .目的為CP外觀檢驗提供依據(jù)。2 .適用范圍本公司內(nèi)晶圓的檢驗。3 .職責品經(jīng)部：負責檢驗標準之制定及修改，并依本標準對產(chǎn)品進行抽檢其他部門：依本標準對晶圓產(chǎn)品進行品質(zhì)判定。4.標準內(nèi)容檢驗項目檢驗標準參考圖形污染不可移動的異物不得存在PAD上。晶粒

2、上不允許肩水珠和油污及光阻殘留。品背不可有目視可見污染，如果存在高低差（即凹凸/、平）且無法去除時，拒收護層/、良除PADFF窗外，所有護層不可有破損護層上有龜裂-拒收光阻剝落或顯影不良造成圖形異?；虺尸F(xiàn)鋸齒狀.HD如右圖護層不良，檢驗不管控NGOKHD如右圖線路不良，檢驗不管控OK氧化/鋁腐蝕/焊變PADM化、腐蝕或變黃色、咖啡色、黑褐色或有七彩色；針對XW勺產(chǎn)品邊緣晶圓外4圈區(qū)域（不完整DIE不算一圈）的PA四色，不做管控，做允收判定。在50倍的目鏡，鋁路/、可發(fā)生氧化，鋁變色腐蝕,焊變。顯微值T觀察pad上有荷葉狀或蝴蝶狀圖案，觀察其顏色偏黃或偏灰且邊界明顯，線路表面不允許后。針痕小良針

3、痕和因針痕造成的鋁屑都不允許超出PAD勺邊框。針痕/、應該造成PALM側(cè)產(chǎn)生裂痕，破損或變形，需確保邊框的完好。A,PAD十痕數(shù)目：1)普通產(chǎn)品03次2) 01時品：CPK2次，CP2c3次3) CP3c4次B,在50倍的目鏡PAD上之探針痕露底材的面積：1)普通產(chǎn)品不得大于針痕的1/52)OTP產(chǎn)品不得大于針痕的1/4G所啟產(chǎn)品專t痕面積01/4PAD面積1,針痕偏移突出焊墊橋接鋁路或鄰近焊墊，拒收；2,當WAFERSPADW雙框現(xiàn)象時，針痕扎偏不口覆盍到PAD#圍線。圖一為拒收；圖二可允收，但需改善。圖一圖二00ZAD舌壓傷鋁路上刮/壓傷有以下兩種情況：A）造成鋁路或焊墊間短路及橋接一拒收

4、B）有曝露底部氧化層拒收C）刮壓傷造成鋁路路間隙減少1/2或鋁路寬度（線寬）減少1/2一拒收背面刮痕：背面呈白色條狀，為背面刮痕，不能傷及電性和露底層，可接受，但需在流程卡及檢驗報表上記錄。刮痕呈黑色條形狀（裂痕），拒受。PAD上刮/壓傷不得位于中央焊線區(qū)，總面積不得大于20%圖略padFF窗不良1、PADFF窗位移橋接鄰近焊墊，開窗面積未超過1/4者允收，造成橋接拒收（如圖一：PAD已向左邊偏移）2、PAD±護層開窗不良而蓋住PAD0積1/4以上者一拒收（且不得位于中央焊線區(qū)）3、因開窗蝕刻錯位，使其超過PAD#圍上的N、P擴散線-拒收4、開窗不足：開窗囿枳<PAD3/4-拒

5、收>PAD3/4-接收JBl冬PAD不良PAD損超過原來面積的10%CV加積不良1、護層CVDK積不良造成之麻點或紋路，麻點或紋路密度足以影響底層判定者一拒收2、二次蝕刻不完全者造成晶粒上稀疏之斑點和紋路異常一允收INKQSAW1699列型號發(fā)現(xiàn)有麻點都需要反饋客尸, 其他型號產(chǎn)品按照右圖標準判定，后續(xù)如果發(fā)現(xiàn) 有與標準圖片不一致的無法抉擇判定的可與客 戶溝通后添加到標準中。1、INK大小訂為約46個PADSize之間或按Die 的大小管控標準（最小要肉眼可見）A、R G 2、2.0mm以下標準為 350 pm± 100 pm2.0-4.0mm2 標準為 400 仙 m

6、7; 150 仙 m4.0mnm標準為400仙m± 150仙mINK高度在20仙m以下目視有異常時請測量。以上麻點不可接受20叩以下INK中空區(qū)域不可超過INK包圍面積的50%墨跡1)2)墨跡（點）覆蓋于晶粒表面上呈分散狀，不可崩散殘留在良品晶粒上超過1個PADH積（以總濺墨點合計，不含PADK域）。晶粒表面上之墨點（跡），且有規(guī)則之外形，類似圓型或橢圓型狀總面積大于1/4PAD面積一拒收（不含PAD區(qū)域）。墨跡殘留在PADFF窗區(qū)域內(nèi)不可超過PADFF窗區(qū)域的25%!不得位于中央焊線區(qū)。氣泡/突起物PA/口鋁路上不得有氣泡和突起物?？斩矗ㄆ茡p）1,線路空洞（破損）2,空洞（破損）1/2線寬，拒收3,空洞（破損）1/2線寬，接收4,PAD&洞（破損）5,空洞（破損）1/10PAD面積，拒收6,空