鍍膜機(jī)常見故障及分析解決預(yù)防措施

1、鍍膜機(jī)常見故障及分析解決預(yù)防措施常見故障，問題及解決方法下表對一些鍍膜時(shí)常見的故障、真空度問題、及掉膜和膜質(zhì)問題做了一些簡單分析，并給予解決方案及預(yù)防措施故障占八、故障現(xiàn)象故障原因解決及預(yù)防措施備注1.1.開槍有咼壓，1.燈絲保險(xiǎn)燒斷1.檢查燈絲保險(xiǎn)，燒斷則更換立即無束流2.燈絲燒斷2.保險(xiǎn)正常則檢查燈絲更換槍關(guān)高1.高3.南光槍槍體右邊引體.壓壓和線碰到槍體底坐3.調(diào)整引線與槍體底坐的間束流距.在抽氣前檢查槍體.1.2.開咼壓顯示跳1.束流控制調(diào)在手動(dòng)，1.電位器歸零.在預(yù)熔完后應(yīng)立即動(dòng)幅度大，并有束電位器未歸零將燈絲電位器歸零關(guān)高流跳動(dòng)2.槍體短路2.將連接燈絲變壓器的高壓引壓3.高壓電極

2、保護(hù)罩或線取下（注意引線不能碰到機(jī)屏蔽碰到咼壓引線造器應(yīng)懸空）開咼壓，正常則槍成短路體或咼壓電極保護(hù)罩或屏蔽短4.電柜故障路造成3.放氣檢查電極保護(hù)罩或屏蔽4.檢修電柜1.3.開槍無高壓，1.高壓保護(hù)不到位（偏1.檢查相應(yīng)的高壓保護(hù)無束流轉(zhuǎn).真空.柜門）2.檢修高壓控制電路2.高壓電路出問題14鍍膜時(shí)高壓會(huì)下跌1. 真空繼電器燒壞2. 高壓電路出問題1. 更換真空繼電器2. 檢修高壓電路常見4號(hào)機(jī)1.5.鍍膜時(shí)燈絲突1.BT138可控硅被 擊1.更換 BT138常見4然很亮（束流達(dá)到穿2.檢查槍體號(hào)機(jī)滿格）2.槍體短路1.6有咼壓，有燈1.柵極片短路1.整理槍體絲電流，無光斑2.掃描出問題或掃

3、描2.檢修掃描，正確連接掃描線線接反了1.7.束流上不去，1.燈絲位置不正或變1.重新安裝或更換燈絲.為了達(dá)不到以前的水平形更好的對燈絲定形及延長燈絲（同樣功率達(dá)不到2.燈絲被氧化使用壽命，在更換新燈絲后應(yīng)以前的速率）3.連接槍體的各接頭對燈絲進(jìn)行預(yù)熱處理松動(dòng)2.更換燈絲.為防止燈絲氧化4.坩堝轉(zhuǎn)速太快在放氣前應(yīng)注意檢查關(guān)閉燈絲5.材料被污染電源開關(guān)6.晶片被擋住3.擰緊各連接處.4.調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速5.取出被污染的材料或更換新材料6.調(diào)整晶片擋板位置.抽氣應(yīng)檢17.電柜出問題查晶片是否被擋7.檢修電柜1.8.阻蒸電流調(diào)不1.蒸發(fā)舟燒斷或松掉1.更換蒸發(fā)舟或擰緊螺釘.為上去造成接觸不良了防止接觸不

4、良，各電極和壓2.空氣開關(guān)跳閘塊應(yīng)清洗干凈.更換在蒸發(fā)舟3.調(diào)節(jié)電流的電位器時(shí)應(yīng)將銅壓塊取下砂干凈再安壞了裝蒸發(fā)舟4.銅電極與真空室底2.打開空氣開關(guān)板下的引線接觸不良3.更換電位器4.清潔磨平接觸不良的地方并擰緊螺釘1.9.速率不穩(wěn)定1.晶片失效1.選擇好的晶片，1.2槍的速率2.料面不好要匹配3.功率設(shè)置不合理2.料要加平整，養(yǎng)成停坩堝的4.控制參數(shù)PID設(shè)置好習(xí)慣不合理3.預(yù)熔功率及最大功率設(shè)置合5.燈絲接觸不好或老理（最大功率為略大于蒸發(fā)時(shí)化所需功率）6.高壓打火4.設(shè)置合理的PID參數(shù)5.緊固或更換燈絲6.解決打火現(xiàn)象1.10.高壓打火1. 槍體污染，雜物掉入 槍體2. 各接線處未擰

5、緊3. 聚四氟套管太臟4. 槍體陽極，柵極變形5. 高壓電極太臟6. 屏敝不佳或未屏敝7. 光斑位置不合理，掃描狀態(tài)不好8.2槍高壓干擾9. 材料污染有雜物10. 咼壓打仕10KV11. 預(yù)熔不夠充分12. 功率設(shè)置不合理1. 整理槍體，在吹槍體時(shí)應(yīng)用 吸塵器邊吸使吹出的雜物吸走 不被落在槍體里2. 擰緊各連接處，使其接觸良好3. 清洗或更換套管，應(yīng)定時(shí)清洗4. 調(diào)整或更換陽極，柵極片5. 更換高壓電極6. 調(diào)整屏蔽或加裝屏蔽7. 調(diào)整好光斑，檢查掃描8. 蒸鍍1槍時(shí)應(yīng)關(guān)閉2槍高壓9. 將被污染的材料去除或更換 新材料10. 將咼壓調(diào)在正確的檔位（中 檔8KV .在觸摸屏上操作時(shí)（如 調(diào)整坩堝

6、轉(zhuǎn)速時(shí)）應(yīng)注意是否 誤碰到咼壓調(diào)節(jié)檔位11. 預(yù)熔時(shí)間及加的束流應(yīng)合理（束流最后應(yīng)加到接近鍍第一套時(shí)所需束流坩鍋轉(zhuǎn)一到兩圈）12. 設(shè)置合理的功率,預(yù)熔功率不應(yīng)太大，最大功率應(yīng)與速率 相匹配，注意在第一套時(shí)速率 較小時(shí)功率的設(shè)置22.掃2.1.光斑不能調(diào)整1.掃描引線或線圈短1.檢查引線及線圈,引線間不描和路能碰在一起，抽氣前應(yīng)檢查引光斑2.整流橋擊穿線是否互相觸碰和松動(dòng)3.引線或線圈斷路2.更換整流橋4.遙控盒上的連線松3.檢查引線及線圈脫或電位器壞了4.接好連線或更換電位器2.2光斑及掃描狀1.燈絲變形1.更換燈絲態(tài)不好2.極靴位置不正2.調(diào)整極靴位置.在拆下清洗3.掃描頻率不合適時(shí)要做好

7、記號(hào)避免安裝時(shí)位置4.短路條多或少了，位不止置不好3.調(diào)整合適頻率，頻差和密度5.咼壓檔位不對4.調(diào)整短路條的位置及數(shù)量6.掃描連接線有誤5.調(diào)整正確的高壓檔位6.正確連接掃描線，維修時(shí)應(yīng)做好記號(hào)3.坩3.1坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)不靈1.坩堝周邊間隙太小1.調(diào)整坩堝周邊的間隙堝和或不轉(zhuǎn)2.坩堝間隙有材料（卡2.清理間隙中的材料.注意料工轉(zhuǎn)料）不要加得太高，預(yù)熔時(shí)數(shù)量不3.軸承銹死要加得太快，防止材料飛濺掉4.減速器出問題入間隙里使坩堝卡住或轉(zhuǎn)得不5.電機(jī)出問題順暢6.防污底板頂?shù)桔釄?.清洗或更換軸承.在打掃真（2槍）空室及洗機(jī)時(shí)應(yīng)將坩堝下面的7.連接鍵脫落料渣清除，防止料渣太多影響軸承的性能4.檢查減速器

8、5.維修或更換電機(jī)6.調(diào)整好大門底板的位置（稍高于坩堝）,關(guān)門時(shí)感到異常（如較平時(shí)緊）應(yīng)檢查底板及防污板的位置7.重新安裝好鍵3.2工轉(zhuǎn)噪音大,1.電機(jī)軸承壞了1.更換電機(jī)軸承光動(dòng)大2.大軸承干磨性能下2.清洗或更換大軸承降3.將電機(jī)與減速箱連接好3.電機(jī)與減速箱連接4.更換齒輪不好4傳動(dòng)齒輪磨損3.3工轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)不了1.電機(jī)損壞1.更換電機(jī)2.電機(jī)與傳動(dòng)部分的2.重裝或更換鍵鍵脫落或磨損3.更換齒輪3.傳動(dòng)的齒輪磨損4.更換或維修單向器（2樓）4.單向器壞了5.檢修電路5.電路出問題34工轉(zhuǎn)電壓調(diào)不 上,電壓顯示指針 跳動(dòng)大1. 調(diào)節(jié)電位器損壞2. 控制器出問題3. 工轉(zhuǎn)傳動(dòng)不穩(wěn)4. 碳刷接觸不良

9、5. 電壓表有冋題1. 更換電位器2. 檢修控制器3. 維修傳動(dòng)部分4. 整理碳刷接觸面或更換5. 維修或更換電壓表4.閥4.1.閥門打不開1.氣壓不夠1.調(diào)高氣壓到適當(dāng)位置門2.控制閥門的氣動(dòng)閥2.維修或更換氣動(dòng)閥有問題3.檢查與其互鎖的閥門.應(yīng)注3.閥門間互鎖意閥門指示燈顯示關(guān)閉但實(shí)際閥門并未關(guān)閉的現(xiàn)象42閥門打開后會(huì)1.氣壓不夠1.調(diào)高氣壓到合適位置自動(dòng)關(guān)閉2.氣動(dòng)閥閥芯內(nèi)的橡2.更換閥芯或氣動(dòng)閥皮松脫4.3.放氣取膜,放1.高閥沒關(guān)到位1.檢查高閥沒關(guān)到位的原因，氣閥打不開2.放氣閥的氣動(dòng)閥有不能強(qiáng)行手動(dòng)關(guān)閉問題2.更換或維修氣動(dòng)閥5.真5.1.在鍍膜過程中1.高閥,預(yù)閥等閥門自1.檢

10、查氣壓是否正常，正常則空度真空度突然下跌動(dòng)關(guān)閉是相應(yīng)的閥門問題，一般為氣2.擴(kuò)散泵斷相或跳閘動(dòng)閥的閥芯松脫3.坩堝卡料強(qiáng)行轉(zhuǎn)動(dòng)2.合上閘刀，斷相表現(xiàn)為三相造成漏氣指示燈有一或兩個(gè)燈不亮,更換電爐盤3.維修坩堝,當(dāng)卡料時(shí)不能強(qiáng)行轉(zhuǎn)坩5.2 低真空突然抽1.機(jī)械泵摻氣閥沒關(guān)1.關(guān)閉摻氣閥不動(dòng)2.真空室門壓到東西2.檢查大門密封.關(guān)門抽氣時(shí)3.并路閥（旁通閥）,截應(yīng)檢查大門是否壓到東西或密止閥自動(dòng)關(guān)閉封圈上有雜物4.機(jī)械泵出問題3.檢查相應(yīng)的閥門及控制閥門5.羅茨泵出問題的氣動(dòng)閥和氣壓6.管道漏氣4.維修機(jī)械泵7.機(jī)械泵上的機(jī)放閥5.維修羅茨泵漏氣6.維修管道8.真空室漏氣7. 更換或維修機(jī)放閥8.

11、 按5.4步驟檢漏5.3抽氣慢1.真空室太臟，沒換防1.更換防污板或清洗真空室污板2.清洗擴(kuò)散泵（大約一年洗一2.擴(kuò)散泵太久沒洗次）3.擴(kuò)散泵出氣口擋油3.調(diào)整擋油板板被吸起4.給機(jī)械泵摻氣或換油4.機(jī)械泵沒摻氣5.調(diào)節(jié)真空表基準(zhǔn)或更換真空5.真空測量表基準(zhǔn)不表準(zhǔn)6.檢修機(jī)械泵，羅茨泵6.機(jī)械泵,羅茨泵有冋 題47.真空室暴露在大氣7.盡量減少敞大氣時(shí)間，玻片時(shí)間過長或玻片未烘應(yīng)完全烘干干8.按5.4步驟檢漏8.漏氣54真空度低1.真空表測量不準(zhǔn)1.更換真空表2.真空規(guī)管測量口被2.關(guān)閉咼閥，若此時(shí)真空室真百葉窗擋住空度比較穩(wěn)定，則放氣調(diào)整百3.真空室大門沒關(guān)好葉窗的位置4.真空泵出問題3.用

12、酒精注射大門密封看真空5.管道漏氣度變化，如有變化則放氣整理6.動(dòng)密封如坩堝,工真空室門密封轉(zhuǎn),觀察窗，擋板等密4.維修或更換真空泵圭寸漏氣5.維修管道7.洗機(jī)或維修時(shí)動(dòng)過6.更換或重裝動(dòng)密封的部件或附近有松動(dòng)快速連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)看真空度是否8.堵頭沒裝好有較大的變化，有則是該轉(zhuǎn)動(dòng)9.通了水的如坩堝,工部動(dòng)密封有問題轉(zhuǎn),探頭等地方有漏點(diǎn)7.檢查動(dòng)過的部件及附近 ，確10.高閥，低閥氣缸漏認(rèn)后緊固氣8.用酒精注射堵頭，若真空度11.金屬焊縫漏有變化則緊固或重裝該堵頭9.通過用高壓氣來沖水管看真空度是否有變化，有則檢查水路10.通過開關(guān)高閥，低閥或用酒精注射閥門確認(rèn)后更換閥體或密封圈11.用酒精注射各焊縫

13、來確認(rèn)是否有漏,有則補(bǔ)焊焊縫6.掉6.1.掉膜1.真空室或玻片潮濕1.烘烤玻片及防污板的時(shí)間要膜問（更換防污板后）適當(dāng)題2.玻片沒洗干凈2.用干凈的布清洗好玻片，清3.更換新玻片，玻片上洗時(shí)應(yīng)認(rèn)真仔細(xì)有油污3.先用洗潔精清洗干凈玻片，4.真空度低再用清水將玻片沖洗干凈5.打火嚴(yán)重，造成膜厚4.檢漏不均勻引起應(yīng)力大5.解決打火現(xiàn)象6.真空室有油污6.清洗真空室7.蒸發(fā)速率過高7.降低速率到合適位置8. 脫膜劑鍍得過多9. 擴(kuò)散泵返油造成高閥蓋及冷井處有油污8. 減少脫膜劑的厚度9. 擦洗高閥蓋及冷井.給擴(kuò)散泵加熱時(shí)間不能少于90分鐘.62周一掉膜嚴(yán)重1.洗機(jī)時(shí)產(chǎn)生的一些1.用酒精仔細(xì)擦干凈真空室

14、且膜質(zhì)不好粉塵在抽氣時(shí)飛到玻2.延長轟擊時(shí)間，防污板應(yīng)徹片上底烘干后才裝入真空室2.洗機(jī)時(shí)的潮氣及防污板的潮氣未干7.膜7.1.膜質(zhì)發(fā)黑不亮1.U5材料鍍少了（有1.適當(dāng)增加U5厚度質(zhì)澤時(shí)有銀灰色）2.調(diào)節(jié)光斑和掃描頻率2.2槍光斑能量太散3.適當(dāng)減少U3厚度（掃描頻率有冋題）4.將2槍坩堝位置移到適當(dāng)位3.U3材料鍍多了（膜置質(zhì)稀爛）5.更換新料4.2槍坩堝位置不合6.檢查真空度適5.U5材料太舊或氧化6.真空度低72膜發(fā)銀1. U5材料鍍多了2. 跳程序或假速率造 成U5材料沒鍍上或鍍 少3. U3材料蒸發(fā)過快造成U5沒鍍上或鍍少1. 適當(dāng)減少U5厚度2. 發(fā)現(xiàn)時(shí)應(yīng)適當(dāng)加鍍一些 U5, 在

15、鍍2.6層時(shí)應(yīng)特別注意有無 此現(xiàn)象3. 鍍U3材料時(shí)速率不要過高, 鍍完U3材料時(shí)應(yīng)稍微停頓5秒 再鍍U57.3.膜質(zhì)發(fā)硬,打卷1. 玻片太臟2. 玻片表面光潔度差3. U3材料鍍的過少1. 仔細(xì)清洗玻片，玻片放入真 空室經(jīng)抽氣未使用應(yīng)更換或清 洗后才能使用.應(yīng)打掃完真空 室衛(wèi)生后再裝玻片，減少污染2. 更換好的玻片3. 適當(dāng)增加U3厚度8.膜厚控制儀8.1.晶片失效1. 晶片使用壽命已到2. 晶片壓簧損壞3. 連接探頭的各接觸 點(diǎn)接觸不良4. 探頭冷卻水過小或 水溫過咼5. 探頭擋板碰到工1. 更換好的晶片.在用超聲波 清洗晶片時(shí)應(yīng)注意打晶片的時(shí) 間及方法，延長晶片的使用壽 命2. 更換晶片

16、壓簧.在取壓簧時(shí) 應(yīng)輕拿輕放3. 整理各連接處4. 調(diào)大探頭冷卻水流量或開啟 冷凍機(jī)降水溫,水溫小于28度5. 調(diào)在探頭擋板與工轉(zhuǎn)的距離82開始鍍膜控制儀無工作1. 程序清零2. 沒選擇到鍍膜程1. 重新設(shè)置程序.在操作膜厚 控制儀時(shí)動(dòng)作不應(yīng)過快，控制 儀要有良好的接地2. 選擇好鍍膜程序.在調(diào)程序 時(shí)應(yīng)注意光標(biāo)是否在對應(yīng)的鍍 膜程序上8.3.手動(dòng)遙控盒不1.連接控制儀的接頭1.接好接頭受控沒接好2.焊好接線.在用遙控時(shí)應(yīng)注2.遙控盒上的按鍵的意連線不要用力過大拉扯連線接線脫焊9.其9.1.開槍鍍膜時(shí)發(fā)1.晶片被擋住1.放氣整理.關(guān)門抽氣時(shí)應(yīng)檢他現(xiàn)膜厚儀上沒速率2.槍擋板未打開查晶片是否被擋顯

17、示3.高壓沒開2.修理擋板3.打開咼壓64.束流控制調(diào)在手動(dòng)4.將束流控制調(diào)的自動(dòng)9.2.槍擋板打不開1.氣壓不夠1.調(diào)高氣壓到合適位置2.控制擋板的氣動(dòng)閥2.維修或更換氣動(dòng)閥壞了3.重新裝上鍵或螺釘3.氣缸與擋板軸的連接鍵或螺釘脫落些基礎(chǔ)知識(shí)及注意事項(xiàng)和應(yīng)急措施1膜厚控制儀控制參數(shù)Soak powerl-預(yù)熔功率1約為蒸發(fā)功率的半Soak power2-預(yù)熔功率2也稱預(yù)蒸鍍功率略小于最大功率Maxpower -最大功率Dep Rate -蒸發(fā)速率Fi nal Thk -膜厚（波長）Soak time-預(yù)熔時(shí)間Rise time -功率上升時(shí)間Den sity -材料密度檢測膜厚原理通過改變探

18、頭上晶片的頻率（由于膜的蒸發(fā)改變了其重量，所以其震動(dòng)頻率發(fā)生變 化）來計(jì)算膜厚，而探頭所處的位置和工具因數(shù)的設(shè)置都影響到測試精度，探頭的位置和測試膜厚的關(guān)系如?。海?）.探頭高了，測試得到的厚度 實(shí)際得到的膜厚（玻片上厚度）（2）.探頭低了，測試得到的厚度 實(shí)際得到的膜厚（玻片上厚度）（3）.工具因數(shù)調(diào)高,相當(dāng)于探頭位置降低,所以膜厚要增加2. 膜和材料間的關(guān)系2.1. U5吸收雜光，影響膜質(zhì)和亮度.鍍的過多，膜會(huì)發(fā)銀；鍍的過少，膜發(fā)黑，不亮澤，有銀色； 沒鍍上,則為銀白2.2. U3 脫膜劑，影響膜質(zhì).鍍的過多,膜質(zhì)稀爛,易脫落;鍍的過少,膜會(huì)打卷,發(fā)硬2.3.SiO2 決定顏色2.4.U6

19、 基層,影響膜的鮮艷度和亮度3. 均勻性3.1. 徑向均勻性：同一玻片上部與下部的不均勻，與光斑的調(diào)節(jié)、材料的料面、坩堝轉(zhuǎn)速和 轉(zhuǎn)向、玻片的曲率有關(guān)3.2. 重復(fù)均勻性：同一鍋膜的每一套間的不均勻，與真空度的高低、操作者看顏色有關(guān)3.3. 整體均勻性：同一套膜四塊玻片上的均勻性，與光斑的穩(wěn)定性、工轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速和蒸發(fā)速率的匹配、真空度的高低、徑向均勻性有關(guān)4. 燈絲問題4.1. 放氣時(shí)要記住關(guān)燈絲電源,以免氧化燈絲4.2. 初次使用或更換新燈絲，應(yīng)進(jìn)行燈絲預(yù)熱定型處理，以防燈絲加熱過快變形.預(yù)熱時(shí),高 壓關(guān)閉,直接加熱燈絲,緩慢加燈絲電流，由幾安培加至15A時(shí),維持3-5分鐘4.3. 燈絲安裝a. 燈絲不宜太高或太低：太高會(huì)造成光斑不可調(diào)，容易打爛柵極和陽極片；太低會(huì)造成 光斑能量太散，不易蒸發(fā)b. 柵極片應(yīng)略低于陽極片c. 各個(gè)壓塊、引線的接觸面應(yīng)清