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1、1整理ppt硅片過(guò)程檢驗(yàn)培訓(xùn)硅片過(guò)程檢驗(yàn)培訓(xùn)2整理ppt目錄: 1.引言 2.電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) 3.過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)3整理ppt 硅片檢驗(yàn)主要分為三類(lèi): 1.硅片來(lái)料檢驗(yàn) 2.電池片生產(chǎn)過(guò)程檢驗(yàn) 3.電池片出貨檢驗(yàn)引言引言4整理ppt 硅片來(lái)料檢驗(yàn)設(shè)備:引言引言5整理ppt 硅片來(lái)料檢驗(yàn)設(shè)備:引言引言6整理ppt 硅片來(lái)料檢驗(yàn)?zāi)康模?保證進(jìn)貨的原材料滿足規(guī)定的要求,防止不合格品流入生產(chǎn)流程造成不必要的損失。(確保合格的產(chǎn)品提供給生產(chǎn)部門(mén))引言引言7整理ppt 硅片來(lái)料檢驗(yàn)主要項(xiàng)目: 1.電學(xué)部分: 厚度/電阻率測(cè)試 少子壽命測(cè)試引言引言8整理ppt2.光學(xué)部分: 幾何尺寸 垂直性 硅片破裂

2、(包括崩邊、裂痕、V型缺口) 表面臟污 空洞和隱裂引言引言9整理ppt相關(guān)硅片實(shí)例:引言引言10整理ppt 電池片生產(chǎn)過(guò)程檢驗(yàn)?zāi)康模?防止過(guò)程中出現(xiàn)批次性問(wèn)題,避免不合格品流入下道工序。保證電池片生產(chǎn)工藝過(guò)程、操作過(guò)程均滿足規(guī)范要求,保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性及規(guī)范性,保證產(chǎn)品效率及成品率。引言引言11整理ppt 電池片生產(chǎn)主要過(guò)程介紹: 引言引言12整理ppt 電池片生產(chǎn)過(guò)程檢驗(yàn)主要相關(guān)設(shè)備:引言引言13整理ppt主要分為以下幾個(gè)控制點(diǎn):1.前期準(zhǔn)備工作檢查2.制絨清洗后;3.擴(kuò)散后;4.等離子刻蝕后;5.去磷硅玻璃清洗后;6.PECVD后;7.絲網(wǎng)燒結(jié)后;8.電池片性能測(cè)試分檔后。電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)

3、電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)14整理ppt 前期準(zhǔn)備工作檢查:前期準(zhǔn)備工作檢查: 設(shè)備開(kāi)機(jī)檢查,填寫(xiě)巡檢記錄單; 工藝參數(shù)監(jiān)控:設(shè)備各參數(shù)達(dá)到工藝要求后進(jìn)行生產(chǎn)。電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)15整理ppt 各工序關(guān)鍵工藝參數(shù):各工序關(guān)鍵工藝參數(shù): 制絨清洗:NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液濃度,溶液溫度等。 擴(kuò)散:擴(kuò)散溫度,氣體流量等。 等離子刻蝕:射頻功率,氣體流量等。電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)16整理ppt 去磷硅玻璃:HF溶液濃度等。 PECVD:氣體流量,微波源功率,沉積壓力,工藝溫度等。 絲網(wǎng)燒結(jié):印刷壓力,印刷速度,印刷網(wǎng)板間距,印刷方式,燒結(jié)各加熱區(qū)溫度等。電池片過(guò)

4、程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)17整理ppt 制絨清洗后:制絨清洗后: 制絨后硅片外觀:硅片表面制絨均勻,無(wú)點(diǎn)狀亮點(diǎn) 硅片稱(chēng)重:清洗前后重量差在0.60.7g電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)18整理ppt 擴(kuò)散后:擴(kuò)散后: 方塊電阻:測(cè)量范圍在405/ 方阻均勻性:均勻性誤差不大于5%電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)19整理ppt 等離子刻蝕后:等離子刻蝕后: 邊緣電阻測(cè)量:測(cè)量范圍在3010k 刻蝕痕跡(目測(cè))電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)20整理ppt 去磷硅玻璃清洗后:去磷硅玻璃清洗后: 電池片外觀:擴(kuò)散面無(wú)明顯發(fā)暗 擴(kuò)散面疏水性(目測(cè))電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)2

5、1整理ppt PECVD后:后: 工藝后外觀檢測(cè):硅片鍍膜面呈均勻藍(lán)色(目測(cè)) 氮化硅膜的厚度、反射率、折射率 片內(nèi)均勻性、片間均勻性、批間均勻性:不大于5%電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)22整理ppt 絲網(wǎng)燒結(jié)后:絲網(wǎng)燒結(jié)后: 印刷重量:正銀為0.10 g 0.02 g; 背銀為0.12 g 0.02 g; 背鋁為0.8 g 0.2 g; 電池片外觀:滿足成品電池片外觀分選標(biāo)準(zhǔn)要求。電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)23整理ppt 電池片性能測(cè)試分檔后:電池片性能測(cè)試分檔后: 標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn) 碎片記錄電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)電池片過(guò)程檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)24整理ppt一、目的:防止制程中出現(xiàn)批次性問(wèn)題,

6、避免不合格品流入下道工序。二、范圍:適用于產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程有關(guān)的工序。過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)25整理ppt三、職責(zé): 品控員負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的監(jiān)控,對(duì)生產(chǎn)工序的巡查,將遇到的問(wèn)題反饋給PQC工程師。 PQC工程師負(fù)責(zé)品控員監(jiān)督、巡檢統(tǒng)計(jì)表的匯總報(bào)告,以及協(xié)調(diào)生產(chǎn)部,工藝部和設(shè)備部解決相關(guān)問(wèn)題。過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)26整理ppt四、工作內(nèi)容四、工作內(nèi)容: 品控員在每班開(kāi)始生產(chǎn)前完成對(duì)各種測(cè)試設(shè)備的校準(zhǔn)工作,并填寫(xiě)測(cè)試設(shè)備校準(zhǔn)記錄單。 品控員每隔一小時(shí)檢查各工序使用作業(yè)指導(dǎo)書(shū)是否正確,操作員是否按照要求進(jìn)行操作,并填寫(xiě)巡檢記錄單。如發(fā)現(xiàn)問(wèn)題需立即告知帶班班長(zhǎng)及PQC工程師,

7、不允許擅自處理。過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)27整理ppt 品控員每隔一小時(shí)檢查產(chǎn)品流轉(zhuǎn)情況,并填寫(xiě)巡檢記錄單。如發(fā)現(xiàn)問(wèn)題需立即告知帶班班長(zhǎng)及PQC工程師,不允許擅自處理。 品控員每隔一小時(shí)檢查各工序使用的設(shè)備和工裝是否符合作業(yè)指導(dǎo)書(shū)和設(shè)備操作規(guī)程,并填寫(xiě)巡檢記錄單。如發(fā)現(xiàn)問(wèn)題需立即告知帶班班長(zhǎng)及PQC工程師,不允許擅自處理。過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)28整理ppt 生產(chǎn)過(guò)程中有狀態(tài)變更(包括工藝、設(shè)備和操作人員等)后,品控員需對(duì)調(diào)整后的前3批產(chǎn)品質(zhì)量進(jìn)行跟蹤,并填寫(xiě)巡檢記錄單。 對(duì)于生產(chǎn)過(guò)程中不合格的原材料的處理,要填寫(xiě)原材料異常反饋單,對(duì)不合格原材料的使用情況進(jìn)行處理并向

8、技術(shù)質(zhì)量部主管反饋。過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)29整理ppt 品控員若發(fā)現(xiàn)制造產(chǎn)品過(guò)程略有偏離正常狀態(tài),尚未造成質(zhì)量問(wèn)題時(shí),應(yīng)立即口頭通知生產(chǎn)部帶班班長(zhǎng)和PQC工程師,必要時(shí)通知生產(chǎn)部門(mén)經(jīng)理進(jìn)行改善,并跟蹤改善結(jié)果,若三次改善無(wú)效,則填寫(xiě)質(zhì)量信息反饋單經(jīng)技術(shù)質(zhì)量部及相關(guān)部門(mén)確認(rèn)后,按確認(rèn)結(jié)果進(jìn)行處理。過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)30整理ppt 對(duì)于現(xiàn)場(chǎng)中出現(xiàn)的質(zhì)量問(wèn)題,品控員立即告知PQC工程師及帶班班長(zhǎng),帶班班長(zhǎng)要立即停產(chǎn)。QC與生產(chǎn)、工藝人員(必要時(shí)請(qǐng)研發(fā)人員協(xié)助)共同對(duì)事故原因進(jìn)行分析,要立即發(fā)放糾正與預(yù)防措施單,找出發(fā)生質(zhì)量問(wèn)題的真正原因,制定糾正預(yù)防措施。并同時(shí)用電話或郵件通知技術(shù)質(zhì)量部主管和生產(chǎn)部主管。發(fā)現(xiàn)重大異常立即向技術(shù)質(zhì)量部經(jīng)理和制造部經(jīng)理報(bào)告。確認(rèn)是否造成質(zhì)量事故,如造成質(zhì)量事故,根據(jù)質(zhì)量事故的管理規(guī)定執(zhí)行。過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)31整理ppt 品控員每隔一小時(shí)需對(duì)各生產(chǎn)工序的成品監(jiān)控點(diǎn)進(jìn)行抽檢,并填寫(xiě)相關(guān)巡檢記錄單。過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)過(guò)程檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)

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