德國(guó)蔡司鎢燈絲掃描電鏡EVOMA10技術(shù)說(shuō)明

1、德國(guó)蔡司鴇燈絲掃描電鏡技術(shù)文件儀器型號(hào)：EVOMA10北京歐波同光學(xué)技術(shù)有限公司2017年09月07日一、聚焦CARLZEISS.3二、產(chǎn)品概述4.三、技術(shù)參數(shù)5.四、計(jì)劃進(jìn)度及培訓(xùn).7.五、環(huán)境要求8.六、質(zhì)保及其他服務(wù)9聚焦CARLZEISSCambridgeInstruments世界可見(jiàn)光及電子光學(xué)的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)一德國(guó)蔡司公司始創(chuàng)于1846年。其電子光學(xué)前身為L(zhǎng)EO(里奧),更早叫Cambridge(劍橋)和Zeiss。積掃描電鏡領(lǐng)域50年及透射電鏡領(lǐng)域60多年的經(jīng)驗(yàn)，ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個(gè)第一：第一臺(tái)靜電式透射電鏡(1949)第一臺(tái)商業(yè)化掃描電鏡(1965)第一臺(tái)數(shù)字化掃描

2、電鏡(1985)第一臺(tái)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(1990)第一臺(tái)帶有成像濾波器的透射電鏡(1992)第一臺(tái)具有Koehler照明的200kV場(chǎng)發(fā)射透射電鏡(2003)第一臺(tái)具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的場(chǎng)發(fā)射透射電鏡(2003)CARLZEISS其前瞻性至臻完美的設(shè)計(jì)融合歐洲至上制造工藝造就了該品牌在光電子領(lǐng)域無(wú)可撼動(dòng)的王者地位。自成立至今，一直延續(xù)不斷創(chuàng)新的傳統(tǒng)，公司擁有廣泛的專有技術(shù)，隨著離子束技術(shù)和基于電子束的分析技術(shù)的加入、可為您提供鴇燈絲掃描電鏡、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡、雙束顯微鏡(FIBandSEM)、掃描離子顯微鏡等全系列解決方案。其產(chǎn)品的高性能、高質(zhì)量、高可靠性和穩(wěn)定性已得到全世界廣大用戶

3、的信賴與認(rèn)可。作為全球電鏡標(biāo)準(zhǔn)締造者的CARLZEISS將一路領(lǐng)跑高端電鏡市場(chǎng)為您開(kāi)創(chuàng)探求納米科技的嶄新紀(jì)元。歐波同有限公司做為CarlZeiss集團(tuán)顯微鏡事業(yè)部的戰(zhàn)略合作伙伴，在北京，上海，廣州，鞍山、濟(jì)南、關(guān)B州、西安等地設(shè)有營(yíng)銷機(jī)構(gòu)和維修服務(wù)站，致力于蔡司電鏡的技術(shù)咨詢，銷售和售后服務(wù)工作。二、產(chǎn)品概述掃描電鏡是以電子束作為光源，電子束在加速電壓的作用下經(jīng)過(guò)三級(jí)電磁透鏡，在末級(jí)透鏡上部掃描線圈的作用下，在試樣表面做光柵狀掃描，產(chǎn)生各種同試樣性質(zhì)有關(guān)的物理信息（如二次電子，背散射電子），然后加以收集和處理，從而獲得表征試樣形貌的掃描電子像。掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、

4、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。在材料科學(xué)、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域，進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體/晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測(cè)量。蔡司的EVO系列掃描電鏡廣泛應(yīng)用于材料和生命科學(xué)領(lǐng)域，能夠?yàn)槟峁└叻直媛实膱D像和更豐富的組織細(xì)節(jié)；在低電壓下，借助電子束減速和高分辨背散射電子成像

5、技術(shù)獲取出色的樣品形貌細(xì)節(jié)。您還可以在可變環(huán)境下實(shí)時(shí)觀察材料的相互作用；借助自動(dòng)化工作流程實(shí)現(xiàn)高效應(yīng)用。EVO獨(dú)一無(wú)二的X射線幾何學(xué)設(shè)計(jì)能確保在分析工作條件下達(dá)到最佳分辨率。三、技術(shù)參數(shù)EVOMA10多功能多用途掃描電鏡。EVOMA10是一臺(tái)高性能、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。系統(tǒng)采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級(jí)的物鏡設(shè)計(jì)，提供高、低真空成像功能，可對(duì)各種材料表面進(jìn)行分析。并且具有業(yè)界領(lǐng)先的X射線分析條件，樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制。標(biāo)準(zhǔn)的高效率無(wú)油渦輪分子泵滿足快速白樣品更換和無(wú)污染成像分析。EVOMA10可以提供較大的X-Y樣品臺(tái)行程，并具有最佳的可重復(fù)性。它是顆粒和槍擊殘留物(GSR)

6、分析等高效應(yīng)用的理想之選。主要參數(shù)1、光學(xué)系統(tǒng)1.1、 發(fā)射源：鴇燈絲。可選擇普通燈絲或預(yù)對(duì)中式燈絲。具有自動(dòng)電子槍啟動(dòng)，自動(dòng)對(duì)中，自動(dòng)選擇電子槍偏壓功能。1.2、 聚焦:具有手動(dòng)及自動(dòng)聚焦功能。1.3、 光闌：三級(jí)可調(diào)物鏡光闌，能快速對(duì)光闌孔定位，并可作電子束自動(dòng)對(duì)中。1.4、 加速電壓：0.2-30kV,10V步進(jìn)連續(xù)可調(diào)。1.5、 電子束位移：士20口。1.6、 放大倍數(shù)：7-1,000,000X1.7、 分辨率：3.0nm30kV(SE)3.5nm30kV(VP、SE)1.8、 探針電流范圍：0.5pA-5隱,連續(xù)可調(diào)。2、真空系統(tǒng)2.1、 真空泵系統(tǒng)：渦輪分子泵+機(jī)械泵，不需要冷卻水

7、。2.2、 真空度：最高真空度：優(yōu)于2X10-4Pa；超低真空壓力范圍：10Pa-400Pa；在10Pa133Pa范圍內(nèi)無(wú)需安裝壓差光闌就可實(shí)現(xiàn)高低真空自由切換。2.3、 抽真空時(shí)間：小于3分鐘。3、樣品室3.1、 樣品室類型：高剛性、圓形、厚壁，大樣品室。3.2、 樣品室內(nèi)部尺寸：310mm（。）x220mm（h）。3.3、 可放置的最大樣品尺寸：直徑230mm,高度100mm3.4、 最大允許樣品重量：不小于5kg。3.5、 樣品臺(tái)移動(dòng)方式：5軸電動(dòng)計(jì)算機(jī)優(yōu)中心。3.6、 樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：X=80mm,Y=100mm,Z=35mm,T=-1090°,R=360°。3.7

8、、 樣品臺(tái)具有接觸報(bào)警與自動(dòng)停止功能。3.8、 具備樣品位置感知功能。3.9、 X射線分析條件：出射角35度；分析工作距離：8.5-20mm。4、探測(cè)、成像系統(tǒng)4.1、 高真空二次電子探測(cè)器。4.2、 背散射電子探測(cè)器。4.3、 具有X射線能譜儀接口。4.4、 探測(cè)器成像模式：同時(shí)對(duì)二次電子和背散射電子成像，可用分屏方式同時(shí)顯示兩種圖像，并可在一種圖像中任意位置顯示另外一種圖像。4.5、 掃描方式：全屏、選區(qū)、定點(diǎn)、線掃描、線輪廓、掃描旋轉(zhuǎn)、傾斜補(bǔ)償。4.6、 整機(jī)系統(tǒng)控制要求獨(dú)立控制單元，為檢修提供方便。4.7、 圖像解析度：3072x2304像素（最大）。4.8、 圖像控制：最高電子光學(xué)性

9、能與易用性相結(jié)合的OptiBeam模式（分辨率模式、景深模式、分析模式、視場(chǎng)模式）。4.9、 操作系統(tǒng)：Windows7,靈活易用的SmartSEM掃描電鏡操作控制軟件。4.10、 顯示器：24"TFT四、計(jì)劃進(jìn)度及培訓(xùn)交貨期為收到L/C后六個(gè)月。供方與需方配合進(jìn)行：1 .設(shè)備到達(dá)需方地址后，供方在接到需方安裝通知十四日內(nèi)派工程師到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行安裝調(diào)試。2 .安裝調(diào)試完畢后，馬上對(duì)用戶人員進(jìn)行培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容：(1)電鏡及附件的操作(2)電鏡及附件的日常維護(hù)(3)樣品觀測(cè)、分析、獲取圖象3 .培訓(xùn)方式：前期基礎(chǔ)操作培訓(xùn)：設(shè)備安裝后的現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)，為期5天左右，可根據(jù)客戶需要免費(fèi)延長(zhǎng)培訓(xùn)時(shí)間；

10、中期應(yīng)用培訓(xùn)：免費(fèi)尋訪指導(dǎo)，鞏固、提高，使設(shè)備使用更加得心應(yīng)手；高級(jí)應(yīng)用培訓(xùn)：針對(duì)客戶的疑難問(wèn)題，邀請(qǐng)資深應(yīng)用專家為您免費(fèi)提供解決方案。五、環(huán)境要求電源電源100-240V50/60Hz單相功耗2kVA3kVA（取決于安裝的附件）進(jìn)來(lái)的單相電源最好是供給SEM的支線。對(duì)于SEM需個(gè)13安培的電源插座，另加一個(gè)用于旋轉(zhuǎn)泵的插座（如果系統(tǒng)是帶有兩個(gè)旋轉(zhuǎn)泵的EP,則另加兩個(gè)插座）。用于附件的電源插座應(yīng)連接到同一相上。它應(yīng)不供給附近可能產(chǎn)生異常干擾的儀器。需個(gè)小于1Q接地電阻的保護(hù)接地。一根5米長(zhǎng)的接地線與EVO一起提供，并將連接到獨(dú)立的M8地線螺栓上。環(huán)境溫度為了操作者的舒適，建議室溫保持在23oC

11、和25。£間相對(duì)濕度小于65%壓縮氮?dú)鈴?qiáng)烈建議，在樣品更換期間用干燥的氮?dú)鈱?duì)樣品室與真空泵進(jìn)氣。最低壓力應(yīng)不小于0.2bar；不然，對(duì)樣品室進(jìn)氣時(shí)間將太長(zhǎng)。最大壓力必須限制在0.3bar。在高于周圍壓力0.2bar時(shí)，在樣品室打開(kāi)時(shí)氮?dú)獾南牧看蠹s是3l/min。氮?dú)獾募兌葢?yīng)約為99.996%o提供的管子為4mm內(nèi)徑和6mm外徑。旋轉(zhuǎn)泵排氣在抽真空期間，旋轉(zhuǎn)泵產(chǎn)生油霧，在封閉環(huán)境中使用時(shí)，它能污染環(huán)境并危害健康。旋轉(zhuǎn)泵上必須連接提供的油霧過(guò)濾器和/或外部排氣。管子應(yīng)為內(nèi)經(jīng)為10mm的塑料管。震動(dòng)速度水平<6am/secrms。0-30Hz<12師/secrms。30Hz以

12、上測(cè)量方向：X、Y、Z雜散磁場(chǎng)室內(nèi)最大允許雜散磁場(chǎng)為3x10-7T（峰-峰值）=3mG（峰-峰值）。環(huán)境與實(shí)用要求是用戶的責(zé)任，并應(yīng)在安裝時(shí)提供。如果不滿足這些條件，可能會(huì)對(duì)技術(shù)規(guī)格中給出的性能產(chǎn)生不利的影響。ZEISS技術(shù)支持建議使用減震臺(tái)和AC磁場(chǎng)消除系統(tǒng)尺寸及重量:卜面提供的數(shù)據(jù)只作為指導(dǎo)：ZEISSEVO?用兩個(gè)包裝箱來(lái)提供。包裝箱1:可重復(fù)使用的木箱整體尺寸134cmx122cmx205cm整體重量708kg包裝箱2:歐洲推薦的硬紙板箱整體尺寸140cmx122cmx135cm整體重量123kg基體（無(wú)包裝）整體尺寸98cm深x78.4cm寬x158cm高整體重量600kg六、質(zhì)保及

13、其他服務(wù)A、規(guī)范化的服務(wù)體系：ZEISS產(chǎn)品售后服務(wù)具有ISO9001服務(wù)體系認(rèn)證資格，執(zhí)行ISO9001售后服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)。B、貼近用戶的服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)：ZEISS在中國(guó)設(shè)立直屬專業(yè)維修中心，下設(shè)有北京、上海、廣州、無(wú)錫四個(gè)專業(yè)維修站負(fù)責(zé)售后服務(wù)工作。近在咫尺的專業(yè)人士為您提供快捷、周到的服務(wù)。4 .固定維修站：在北京有15位維修工程師、無(wú)錫有10位維修工程師，上海有12位維修工程師，廣州有10位維修工程師，各服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)均有多位應(yīng)用專家，向目前ZEISS的用戶提供服務(wù)。5 .流動(dòng)維修站：目前在新加坡有4位資深工程師及4位維修工程師，如有需要將隨時(shí)協(xié)助ZEISS中國(guó)境內(nèi)工程師包括安裝、檢修工作等，以彌補(bǔ)由于

14、ZEISS用戶數(shù)量短期內(nèi)的急劇增加而需要的安裝調(diào)試及維修工作。6 .遠(yuǎn)程遙控服務(wù)：根據(jù)我們多年在世界各地的經(jīng)驗(yàn)，80%以上用戶提出的技術(shù)問(wèn)題”都是由于用戶本身，特別是電鏡新用戶還沒(méi)有完全熟練掌握電鏡的操控，或?qū)τ谀承悠返臏y(cè)試方式不熟悉而產(chǎn)生的，并非電鏡本身出現(xiàn)故障。針對(duì)此點(diǎn)，我們?cè)O(shè)立了遠(yuǎn)程遙控技術(shù)服務(wù)，我們的技術(shù)人員每天24小時(shí)提供熱線電話技術(shù)服務(wù)，即時(shí)協(xié)助、解答操作員提出的問(wèn)題。C、完善的呼叫服務(wù)中心：ZEISS在中國(guó)設(shè)有統(tǒng)一的售后服務(wù)電話，對(duì)用戶提出的技術(shù)及質(zhì)量問(wèn)題8小時(shí)內(nèi)答復(fù)，如要求現(xiàn)場(chǎng)維修則24小時(shí)內(nèi)到達(dá)解決。在保修期內(nèi)，非人為故障免費(fèi)負(fù)責(zé)修理。D.全國(guó)領(lǐng)先的保修政策：ZEISS產(chǎn)品質(zhì)量保障期為最終驗(yàn)收后12個(gè)月，如果設(shè)備到貨后3個(gè)月