LCD工藝知識講座

1、前工程工藝知識講座前工程工藝知識講座 ITO玻璃投入清洗涂膠前烘曝光顯影后烘刻蝕脫膜清洗TOPUV固化OVEN清洗PI預(yù)烘主烘摩擦密封膠導(dǎo)電膠噴灑對盒熱壓固化固化主要工序n投入n清洗n涂膠n曝光n顯影n刻蝕n脫膜工序作用: 位于整條生產(chǎn)線的最前端，負責(zé)整片ITO玻璃基板的投入。 管控項目: 玻璃尺寸 倒角方向 判斷標準: 玻璃基板大倒角方向置于傳送方向的右上角。 工序作用: 將投入生產(chǎn)的玻璃上下表面清洗潔凈，為接下來的涂膠作準備管控項目: 玻璃表面臟點判斷標準: 臟點數(shù)量10個/片原因分析： 1 玻璃表面很臟造成清洗困難，達不到清洗效果。 2 設(shè)備本身長時間未打掃，造成清洗玻璃不干凈。 工序作

2、用: 在整片玻璃表面涂布一層厚度均勻的光刻膠膜。 管控項目: 光刻膠厚度判斷標準: t=1.5um0.5um原因分析： 1 玻璃基板厚度不一致 2 涂膠輥不平行 工序作用: 曝光時，玻璃表面未被掩膜版上圖形遮擋住部分的光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)分解。管控項目: 套刻精度（CF）對位精度（ITO）判斷標準: 3um X1、X2=5mm 50um Y=10mm 50um原因分析： 1 CF玻璃或鉻版有異常，造成套刻偏差大。 2 調(diào)整系統(tǒng)參數(shù)可以改善對位偏差。 工序作用: 將發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的光刻膠清除干凈，使玻璃上產(chǎn)生想要得到的膠膜圖形。管控項目: 圖凸 圖凹 短路 斷路 判斷標準: 參照制程檢驗標準原因分析

3、： 1 涂膠時有異物，造成涂膠不 良形成圖凹或斷路。 2 曝光版或曝光機內(nèi)部有異物， 造成曝光不良形成圖凸或短路。 工序作用: 將未被光刻膠覆蓋住的ITO層腐蝕掉。管控項目: 短路 斷路 原因分析： 刻蝕液濃度異常或噴淋槽的選擇不正確，會造成大面積短路或過刻蝕的現(xiàn)象或者斷路。 工序作用: 將刻蝕后玻璃表面的光刻膠膜去除，同時將玻璃清洗干凈。管控項目: 短路 斷路 線間距 脫膜后清洗效果判斷標準: 斷路3個 3um 脫膜后清洗無臟點原因分析： 1 線間距異常會引起顯示不良 2 脫膜后清洗不干凈會引起TOP/PI涂布不良 工序作用: 對玻璃表面形成的ITO圖形用電學(xué)原理進行短路測試，同時得到激光修

4、復(fù)所需要的數(shù)據(jù)。管控項目: 玻璃基板劃傷判斷標準: 霧燈下檢查無明顯劃傷原因分析： 檢測時如果探針壓力過大，會引起玻璃基板劃傷，電測時出現(xiàn)黑線現(xiàn)象。 （LASER REPAIR）工序作用: 對所查找到的短路缺陷進行修復(fù)。管控項目: 激光量判斷標準: 盡量減少灼燒ITO時產(chǎn)生的粉末 修補半反半透產(chǎn)品時不灼傷鋁層原因分析： 激光量過大，會打壞CF玻璃基板的其它部分，導(dǎo)致電測時出現(xiàn)亮點。成盒段主要工序vPIPI、TOPTOP印刷印刷v摩擦摩擦vSEALSEAL、TRTR印刷印刷v噴灑噴灑v對盒對盒v熱壓熱壓PIPI、TOPTOP印刷工藝印刷工藝TOP/PI印刷原理圖：在在LCD制造工序中，這是一道最

5、關(guān)鍵的工序之一制造工序中，這是一道最關(guān)鍵的工序之一TOP工序：把刻蝕區(qū)與非刻蝕區(qū)之間的溝槽填平并把電極覆蓋住，這即可以有效地消除非顯示狀態(tài)下的電極底影，還有助于防止靜電及改善視角特性。 PI工序：在基板的表面上涂覆一層取向?qū)樱偻ㄟ^高溫固化處理使取向?qū)庸袒?，為以后在取向?qū)由夏Τ鰷喜圩龊脺蕚洹?工序的作用工序的作用管控項目 印刷位置 黑白點 膜厚及固含量 針孔 擴散 判斷標準 0.1mm TOP膜厚450100 PI膜厚由PI液固含量決定 原因分析 1 通過調(diào)整系統(tǒng)參數(shù)可以改善印刷位置 2 生產(chǎn)環(huán)境會引起黑白點 3 印刷不良會引起針孔 4 因原材料的不同或異常會引起膜厚不一致或擴散現(xiàn)象管控項目、

6、判斷標準摩擦工藝摩擦工藝RUBBING的工作原理流品方向工序的作用工序的作用TOP/PI COATING后 PI TOP ITO GLASS RUBBING后 PI層被取向 管控項目 摩擦角度 摩擦痕 靜電擊傷 判斷標準 摩擦角度與制造規(guī)格單相符 無摩擦痕 無靜電傷 原因分析 1 摩擦布的使用時間過長 2 生產(chǎn)環(huán)境有變化管控項目、判斷標準SEALSEAL、TRTR印刷工藝印刷工藝工序的作用工序的作用 SEAL作用：貼合上下兩張基板,防止液晶外漏或被污染。 TR作用：上下電極導(dǎo)通管控項目 膠高 膠寬 邊框印刷位置 SEAL和TR網(wǎng)清洗狀態(tài) 金粉、玻璃纖維結(jié)團 框線均勻性 SEAL和TR膠的攪拌時

7、間和方法判斷標準 粗細不均呈蓮藕狀不合格 膠高 h=30um5um 手動對位標記80um SEAL和TR相連接寬度大于2/3正常邊框膠 金粉、玻璃纖維無結(jié)團 原因分析 1 調(diào)整參數(shù)設(shè)置可以改善印刷及對接位置 2 重新絞膠或換膠可以改善膠高及膠寬和 金粉、玻璃纖維結(jié)團的現(xiàn)象。管控項目、判斷標準噴灑工藝噴灑工藝燒杯噴灑設(shè)備示意圖工序的作用工序的作用支撐上下基板,保持液晶盒厚均勻管控項目 噴灑密度 噴灑結(jié)團 判斷標準 噴灑密度與制造規(guī)格單相符 噴灑無結(jié)團 原因分析 1 襯墊料沒有充分攪拌好 2 氮氣壓力不足 3 噴頭或管路惻壁有沉淀 管控項目、判斷標準對盒工藝對盒工藝 工序的作用工序的作用將兩張Gl

8、ass基板對位之后加壓形成液晶Cell.管控項目 對盒是否旋轉(zhuǎn) 對盒歪 判斷標準 對盒是否旋轉(zhuǎn)與制造規(guī)格單相符 內(nèi)外組合記號重疊合格（3um） 原因分析 1 調(diào)整對盒對位登錄系統(tǒng) 2 光源的亮度 3 玻璃本身的透過率管控項目、判斷標準熱壓工藝熱壓工藝 工序的作用工序的作用利用加熱和加壓的方法固化Seal, 并保持一定的Cell Gap管控項目 熱壓三點壓力平衡差異 盒厚一致性判斷標準 三點壓力中任意兩點的壓力值差應(yīng)75kgf 盒厚一致性與制造規(guī)格單相符 原因分析 三點壓力不平衡導(dǎo)致盒厚不一致管控項目、判斷標準工藝環(huán)境對工藝環(huán)境對LCDLCD生產(chǎn)的重要性生產(chǎn)的重要性良好的工藝環(huán)境是嚴格執(zhí)行工藝規(guī)

9、程 的必要條件影響工藝環(huán)境的重要因素： 塵埃 溫度 濕度塵埃對工藝環(huán)境的影響塵埃對工藝環(huán)境的影響塵埃 在清洗時如果玻璃粘上灰塵會形成斷路， 涂膠及曝光版粘上灰塵會形成短路，在涂PI時如果在涂層上粘附了灰塵會影響產(chǎn)品的取向效果，對盒時被污染會形成內(nèi)污?？傊瑝m埃是影響產(chǎn)品品質(zhì)的重要因素。溫度對工藝環(huán)境的影響溫度對工藝環(huán)境的影響溫度直接影響工藝參數(shù)不適當(dāng)?shù)臏囟瓤赡茉斐苫瘜W(xué)試劑的分解、變質(zhì)，而使其失效。凈化間溫度通常保持在222濕度對工藝環(huán)境的影響濕度對工藝環(huán)境的影響濕度的影響實際上是空氣中水氣的影響吸潮：玻璃表面、邊框膠、銀點膠、定向劑等 影響：材料性能、盒的密封性、液晶盒功耗、使用壽命大部分LC

10、D生產(chǎn)工序必須保持低的濕度環(huán)境：555% 劃條 斷條 退火 注入 終封 研磨 條洗 視測 劃粒 斷粒 盒洗 彩標 再排列 電測 貼片 噴碼 模塊或包裝 輪刀刀線A BC劃條分為單刀劃條和四刀劃條管控項目：破損、尺寸不符、臺階現(xiàn)象原因分析：1 設(shè)備本身因素 ，操作手法 2 輔助動力突然不穩(wěn)定 3 操作手法及參數(shù)確認 工作臺標盒劃條切割標記 斷棒管控項目：破損原因分析：斷棒壓力過大或者刀線不良 A B 在真空狀態(tài)下對空盒進行高溫加熱，將空盒中水分及殘留有機溶劑蒸發(fā)掉，以免污染液晶，影響產(chǎn)品品質(zhì)。0 0.5h 2.0h160 電極注入口平板管控項目：1 注入后真空氣泡，長時間待制，影響生產(chǎn)進度。 2

11、 SPACER在注入口處聚集。 3 未注滿原因分析：1 真空度不夠，或者充氣時間短，以及材料因素 2 注入的速度有影響 3 工裝擺放位置有誤，或者液晶不足。 擋板 屏 墊片 壓力管控項目：1 色斑、盒厚偏大或者偏小。 2 滲膠不良，封口白環(huán)。原因分析：1 終封壓力不穩(wěn)定，時間不足或者過長。 2 滲膠壓力差過大或者過小，注入口處有臺階現(xiàn)象， 封口膠被污染。IMPORTANT POSITION 研磨前 研磨后倒角處電極管控項目：1 研磨量不符 2 薄崩現(xiàn)象，邦定時破損。原因分析：1 砂輪或擋銷位置移動 2 砂輪有微小破損或凸起。 條洗是在一定溫度的清洗劑和純水中，利用超聲震蕩的方式將屏表面殘留的液

12、晶及污物清洗干凈。 管控項目：色斑原因分析：超聲功率過大、清洗時間過長 條 管控項目：1 劃反 、臺階、切割不良 2 斷粒產(chǎn)生色斑原因分析：1 操作失誤，數(shù)據(jù)有偏差。 2 斷棒壓力較大劃粒切割標記 盒洗的目的主要是將玻璃夾縫中的殘留液晶和屏電極表面清洗干凈。管控項目：1 清洗效果 2 色斑不良 3 封口膠脫落原因分析：1 對清洗劑的濃度、使用時間和超聲功率、 時間進行確認。 2 盒較厚，SPACER移動 3 長時間或者多次進行清洗產(chǎn)生膠脫落的現(xiàn) 象 彩標的目的是利用不同顏色的組合方式對各種尺寸的產(chǎn)品進行標識。每一種型號的產(chǎn)品都有固定的顏色組合。管控項目：電極破損原因分析：彩標膠皮輥在印彩標時壓力過 大，使電極難以承受，導(dǎo)致破 損產(chǎn)生。 為使液晶分子沿著摩擦溝槽的方向規(guī)則排列，需要對屏進行加熱，以使液晶達到清亮點溫度，并保持一定的時間。管控項目：1 向錯 2 電壓 原因分析：1 長時間的高溫 2 實際溫度超過規(guī)定的溫度 對LCD加上電壓信號，觀察實際顯示狀態(tài)下，產(chǎn)品是否合格正常的過程，即為電測。管控項目：1 各種不良形式的區(qū)分 2 限度樣本的制作 3 不良品的報廢程序原因分析：