電渦流位移傳感器的原理

1、電渦流位移傳感器的工作原理:電渦流傳感器能靜態(tài)和動態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導體距探頭表面距離。它是一種非接觸的線性化計量工具。電渦流傳感器能準確測量被測體（必須是金屬導體）與探頭端面之間靜態(tài)和動態(tài)的相對位移變化。在高速旋轉機械和往復式運動機械狀態(tài)分析，振動研究、分析測量中，對非接觸的高精度振動、位移信號，能連續(xù)準確地采集到轉子振動狀態(tài)的多種參數(shù)。如軸的徑向振動、振幅以及軸向位置電渦流傳感器以其長期工作可靠性好、測量范圍寬、靈敏度高、分辨率高等優(yōu)點，在大型旋轉機械狀態(tài)的在線監(jiān)測與故障診斷中得到廣泛應用。從轉子動力學、軸承學的理論上分析，大型旋轉機械的運動狀態(tài),主要取決于其核心

2、一轉軸，而電渦流傳感器，能直接非接觸測量轉軸的狀態(tài)，對諸如轉子的不平衡、不對中、軸承磨損、軸裂紋及發(fā)生摩擦等機械問題的早期判定，可提供關鍵的信息。根據(jù)法拉第電磁感應原理，塊狀金屬導體置于變化的磁場中或在磁場中作切割磁力線運動時，導體內將產(chǎn)生呈渦旋狀的感應電流，此電流叫電渦流，以上現(xiàn)象稱為電渦流效應。而根據(jù)電渦流效應制成的傳感器稱為電渦流式傳感器。前置器中高頻振蕩電流通過延伸電纜流入探頭線圈,在探頭頭部的線圈中則在此金屬表面產(chǎn)生感應電流，與此同時該電渦流場也產(chǎn)生一個方向與頭部線圈方向相反的交變磁場，由于其反作用，使頭部線圈高頻電流的幅度和相位得到改變(線圈的有效阻抗)，這一變化與金屬體磁導率、電

3、導率、線圈的幾何形狀、幾何尺寸、電流頻率以及頭部線圈到金屬導體表面的距離等參數(shù)有關。通常假定金屬導體材質均勻且性能是線性和各項同性，則線圈和金屬導體系統(tǒng)的物理性質可由金屬導體的電導率 6 6、磁導率 S S、 尺寸因子頭部體線圈與金屬導體表面的距離口電流強度 I I 和頻率 3 參數(shù)來描述。則線圈特征阻抗可用 Z=F(TZ=F(T, ,七七, ,6,6,D,D,I,3)I,3)函數(shù)來表示。通常我們能做到控制 T,S,T,S,6,I,6,I,3 這幾個參數(shù)在一定范圍內不變，則線圈的特征阻抗 Z Z 就成為距離 D D 的單值函數(shù)，雖然它整個函數(shù)是一非線性的，其函數(shù)特征為“S S”型曲線，但可以選

4、取它近似為線性的一段。于此，通過前置器電子線路的處理，將線圈阻抗 Z Z 的變化，即頭部體線圈與金屬導體的距離 D D 的變化轉化成電壓或電流的變化。輸出信號的大小隨探頭到被測體表面之間的間產(chǎn)生交變的磁場。當被測金屬體靠近這一磁場,距而變化，電渦流傳感器就是根據(jù)這一原理實現(xiàn)對金屬物體的位移、振動等參數(shù)的測量。變化時， 探頭中線圈的 Q Q 值也發(fā)生變化， Q Q 值的變化引起振蕩電壓幅度的變化，而這個隨距離變化的振蕩電壓經(jīng)過檢波、濾波、線性補償、放大歸一處理轉化成電壓（電流）變化，最終完成機械位移（間隙）轉換成電壓（電流）。由上所述，電渦流傳感器工作系統(tǒng)中被測體可看作傳感器系統(tǒng)的一半，即一個電

5、渦流位移傳感器的性能與被測體有關。按照電渦流在導體內的貫穿情況，此傳感器可分為高頻反射式和低頻透射式兩類，但從基本工作原理上來說仍是相似的。電渦流式傳感器最大的特點是能對位移、厚度、表面溫度、速度、應力、材料損傷等進行非接觸式連續(xù)測量，另外還具有體積小，靈敏度高，頻率響應寬等特點，應用極其廣泛。典型應用：電渦流傳感器系統(tǒng)廣泛應用于電力、石油、化工、冶金等行業(yè)和一些科研單位。對汽輪機、水輪機、鼓風機、壓縮機、空分機、齒輪箱、大型冷卻泵等大型旋轉機械軸的徑向振動、軸向位移、鍵相器、圖1-3傳感器原理框圖頭之間的距離發(fā)生其工作過程是：當被測金屬與探軸轉速、脹差、偏心、以及轉子動力學研究和零件尺寸檢驗

6、等進行在線測量和保護。軸向位移測量對于許多旋轉機械，包括蒸汽輪機、燃汽輪機、水輪機、離心式和軸流式壓縮機、離心泵等，軸向位移是一個十分重要的信號，過大的軸向位移將會引起過大的機構損壞。軸向位移的測量，可以指示旋轉部件與固定部件之間的軸向間隙或相對瞬時的位移變化，用以防止機器的破壞。軸向位移是指機器內部轉子沿軸心方向，相對于止推軸承二者之間的間隙而言。有些機械故障，也可通過軸向位移的探測，進行判別：止推軸承的磨損與失效平衡活塞的磨損與失效止推法蘭的松動聯(lián)軸節(jié)的鎖住等。軸向位移（軸向間隙）的測量，經(jīng)常與軸向振動弄混。軸向振動是指傳感器探頭表面與被測體，沿軸向之間距離的快速變動，這是一種軸的振動，用

7、峰峰值表示。它與平均間隙無關。有些故障可以導致軸向振動。例如壓縮機的踹振和不對中即是。振動測量測量徑向振動，可以由它看到軸承的工作狀態(tài)，還可以看到轉子的不平衡，不對中等機械故障?？梢蕴峁τ谙铝嘘P鍵或基礎機械進行機械狀態(tài)監(jiān)測所需要的信息:工業(yè)透平，蒸汽/燃汽壓縮機，空氣/特殊用途氣體，徑向/軸向振動測量電動馬達,發(fā)電機勵磁機齒輪箱,泵風扇,鼓風機往復式機械振動測量同樣可以用于對一般性的小型機械進行連續(xù)監(jiān)測。可為如下各種機械故障的早期判別提供了重要信息。脹差測量對于汽輪發(fā)電機組來說，在其啟動和停機時，由于金屬材料的不同，熱膨脹系數(shù)的不同，以及散熱的不同，軸的熱膨脹可能超過殼體膨脹；有可能導致透平

8、機的旋轉部件和靜止部件（如機殼、噴嘴、臺座等）的相互接觸，導致機器的破壞。因此脹差的測量是非常重要的。轉速測量對于所有旋轉機械而言，都需要監(jiān)測旋轉機械軸的轉速，轉速是衡量機器正常運轉的一個重要指注劉標。而電渦流傳感器測量轉速的優(yōu)越性是其它任何傳感器測量沒法-_比的，它既能響應零轉速，也能響-停士二：；,！.!二：應高轉速，抗干擾性能也非常強。轉速測量對于所有旋轉機械而言，都需要監(jiān)測旋轉機械軸的轉速，轉速是衡量機器正常運轉的一個重要指標。而電渦流傳感器測量轉速的優(yōu)越性是其它任何傳感器測量沒法比的，它既能響應零轉速，也能響應高轉速，抗干擾性能也非常強。電渦流傳感器測轉速，通常選用 d3mmd3mm

9、（| |）4mm4mm 5mm5mm 8mm8mm 10mm10mm 的探頭。轉速測量頻響為 0 010KHz10KHz 電渦流傳感器測轉速，傳脹差測量斜坡式脹差測量補償式取差測量以斜面脹差測量感器輸出的信號幅值較高（在低速和高速整個范圍內）抗干擾能力強。無源磁電式傳感器是針對測齒輪而設計的發(fā)電型傳感器（無源），不適合測零轉速和較低轉速，因低頻時，幅值信號小，抗干擾能力差，它不需要供電。有源磁電式傳感器采用了+24V+24V 供電，輸出波形為矩形波，具有負載驅動能力，適合測量 0.03HZ0.03HZ 以上轉速信號。安裝要求：1 1、軸的徑向振動測量當需要測量軸的徑向振動時，要求軸的直徑大于探

10、頭直徑的三倍以上。每個測點應同時安裝兩個傳感器探頭，兩個探頭應分別安裝在軸承兩邊的同一平面上相隔 90o90o 士 5o5o。由于軸承蓋一般是水平分割的，因此通常將兩個探頭分別安裝在垂直中心線每一側 45o,45o,從原動機端看，分別定義為 X X 探頭（水平方向）和 Y Y 探頭（垂直方向），X X 方向在垂直中心線的右側，Y Y 方向在垂直中心線的左側。軸的徑向振動測量時探頭的安裝位置應該盡量靠近軸承，如圖所示，否則由于軸的撓度，得到的值會有偏差。軸的徑向振動探頭安裝位置與軸承的最大距離。軸的徑向振動測量時探頭的安裝：測量軸承直徑最大距離0-76mm25mm0-76mm25mm76510m

11、m76mm76510mm76mm大于 520mm160mm520mm160mm探頭中心線應與軸心線正交， 探頭監(jiān)測的表面 （正對探頭中心線的兩邊 1.1.5 5倍探頭直徑寬度的軸的整個圓周面，如圖）應無裂痕或其它任何不連續(xù)的表面現(xiàn)象（如鍵梢、凸凹不平、油孔等），且在這個范圍內不能有噴鍍金屬或電鍍，其表面的粗糟度應在 0.4um0.4um 至 0.8u0.8um m之間。2 2、軸的軸向位移測量測量軸的軸向位移時，測量面應該與軸是一個整體，這個測量面是以探頭的中心線為中心，寬度為 1.51.5 倍的探頭圓環(huán)。探頭安裝距離距止推法蘭盤不應超過 305mm305mm 否則測量結果不僅包含軸向位移的變

12、化，而且包含脹差在內的變化，這樣測量的不是軸的真實位移值。3 3、鍵相測量鍵相測量就是通過在被測軸上設置一個凹梢或凸鍵，稱鍵相標記。當這個凹梢或凸鍵轉到探頭位置時，相當于探頭與被測面間距突變，傳感器會產(chǎn)生一個脈沖信號，軸每轉一圈，就會產(chǎn)生一個脈沖信號，產(chǎn)生的時刻表明了軸在每轉周期中的位置。因此通過對脈沖計數(shù)，可以測量軸的轉速；通過將脈沖與軸的振動信號比較，可以確定振動的相位角，用于軸的動平衡分析以及設備的故障分析與診斷等方面。凹梢或凸鍵要足夠大，以使產(chǎn)生的脈沖信號峰峰值不小于5V5V。一般若采用 0505、0808 探頭，則這一凹梢或凸鍵寬度應大于7.6mni7.6mni 深度或高度應大于 1

13、.5mm1.5mm（推薦采用 2.5mm2.5mm 以上）、長度應大于 0.2mm0.2mmo o凹梢或凸鍵應平行于軸中心線，其長度盡量長，以防當軸產(chǎn)生軸向竄動時，探頭還能對著凹梢或凸鍵。為了避免由于軸相位移引起的探頭與被測面之間的間隙變化過大，應將鍵相探頭安裝在軸的徑向，而不是軸向的位置。應盡可能地將鍵相探頭安裝在機組的驅動部分上，這樣即使機組的驅動部分與載荷脫離，傳感器仍會有鍵相信號輸出。當機組具有不同的轉速時通常需要有多套鍵相傳感器探頭對其進行監(jiān)測，從而可以為機組的各部分提供有效的鍵相信號。鍵相標記可以是凹梢，也可以是凸鍵，如圖所示，標準要求用凹梢的形式。當標記是凹梢時，安裝探頭要對著軸

14、的完整部分調整初始安裝間隙（安裝在傳感器的線性中點為宜），而不是對著凹梢來調整初始安裝間隙。而當標記是凸鍵時探頭一定要對著凸起的頂部表面調整初始安裝間隙（安裝在傳感器的線性中點為宜），不是對著軸的其它完整表面進行調整。否則當軸轉動時，可能會造成凸鍵與探頭碰撞，剪斷探頭。安裝時不能把夜場包住，要酸場外露官定的物理固定和恒溫R R境是最理想的安裝方法消除傾斜， 保證平行.用膨脹系數(shù)較低的材料避免側負載在多個傳感器近年離安裝時要采用同步方式_被測體對電渦流傳感器特性的影響:1 1、被測體材料對傳感器的影響傳感器特性與被測體的電導率 6 6、磁導率 S S 有關，當被測體為導磁材料（如普通鋼、結構鋼等

15、）時，由于渦流效應和磁效應同時存在，磁效應反作用于渦流效應，使得渦流效應減弱，即傳感器的靈敏度降低。而當被測體為弱導磁材料（如銅，鋁，合金鋼等）時，由于磁效應弱，相對來說渦流效應要強，因此傳感器感應靈敏度要高。2 2、被測體表面平整度對傳感器的影響不規(guī)則的被測體表面，會給實際的測量帶來附加誤差，因此對被測體表面應該平整光滑，不應存在凸起、洞眼、刻痕、凹梢等缺陷。一般要求，對于振動測量的被測表面粗糙度要求在工，口。號小叫川r1MlI?I11IllrlllI0.4um0.4um0.8um0.8um 之間；對于位移測量被測表面粗糙度要求在0.4um0.4um1.6um1.6um 之間。3 3、被測體

16、表面磁效應對傳感器的影響電渦流效應主要集中在被測體表面，如果由于加工過程中形成殘磁效應，以及淬火不均勻、硬度不均勻、金相組織不均勻、結晶結構不均勻等都會影響傳感器特性。在進行振動測量時，如果被測體表面殘磁效應過大，會出現(xiàn)測量波形發(fā)生畸變。4 4、被測體表面鍍層對傳感器的影響被測體表面的鍍層對傳感器的影響相當于改變了被測體材料， 視其鍍層的材質、厚薄，傳感器的靈敏度會略有變化。5 5、被測體表面尺寸對傳感器的影響由于探頭線圈產(chǎn)生的磁場范圍是一定的，而被測體表面形成的渦流場也是一定的。這樣就對被測體表面大小有一定要求。通常，當被測體表面為平面時，以正對探頭中心線的點為中心，被測面直徑應大于探頭頭部直徑的 1.51.5 倍以上；當被測體為圓軸且探頭中心線與軸心線正交時，一般要求被測軸直徑為探頭頭部直徑的 3 3 倍以上，否則傳感器的靈敏度會下降，被測體表面越小,靈敏度下降越多。實驗測試，當被測體表面大小與探頭頭部直徑相同，其靈敏度會下降到 7272 妞右。被測體的厚度也會影響測量結果。被測體中電渦流場作用的深度由頻率、