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直流電弧放電外形直流電弧放電外形 n外外20mm 20mm 冷卻氣冷卻氣 ( (任務(wù)氣任務(wù)氣n中中17mm 17mm 等離子氣等離子氣n內(nèi)內(nèi)1.5mm 1.5mm 載氣載氣外繞高頻水冷線圈外繞高頻水冷線圈 三層同心石英玻璃三層同心石英玻璃炬管置于高頻感應(yīng)線圈炬管置于高頻感應(yīng)線圈中，等離子體任務(wù)氣體中，等離子體任務(wù)氣體從管內(nèi)經(jīng)過，試樣在霧從管內(nèi)經(jīng)過，試樣在霧化器中霧化后，由中心化器中霧化后，由中心管進入火焰管進入火焰 外層外層Ar從切線方向從切線方向進入，維護石英管不被進入，維護石英管不被燒熔，中層燒熔，中層Ar用來點燃用來點燃等離子體等離子體 當(dāng)高頻發(fā)生器接通電源后，高頻電流I經(jīng)過感應(yīng)線圈產(chǎn)生交變磁場(綠色)。 開場時，管內(nèi)為Ar氣，不導(dǎo)電，需求用高壓電火花觸發(fā)
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