捷佳偉創(chuàng)晶體硅電池高溫?cái)U(kuò)散爐的培訓(xùn)資料

1、精選ppt捷佳偉創(chuàng)晶體硅電池高溫?cái)U(kuò)散捷佳偉創(chuàng)晶體硅電池高溫?cái)U(kuò)散爐的培訓(xùn)資料爐的培訓(xùn)資料 日期；二零一一年四月二十五日精選ppt目錄1設(shè)備介紹 2設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)備結(jié)構(gòu)3工藝控制工藝控制4人員操作人員操作 5設(shè)備的保養(yǎng)設(shè)備的保養(yǎng)精選ppt設(shè)備介紹 1設(shè)備用途 2產(chǎn)品特點(diǎn) 3主要技術(shù)指標(biāo) 4技術(shù)特點(diǎn)精選ppt設(shè)備用途 晶體硅太陽(yáng)能電池制造中硅片的擴(kuò)散摻雜 通過(guò)擴(kuò)散所形成的PN結(jié)，就是晶體硅太陽(yáng)能電池的核心 太陽(yáng)光照到PN結(jié)上，產(chǎn)生電子的定向移動(dòng)，產(chǎn)生電流精選ppt產(chǎn)品特點(diǎn)l 串級(jí)溫度控制精度高，恒溫區(qū)穩(wěn)定、真實(shí)l 工藝舟軟著陸l 閉管擴(kuò)散l 工藝氣體流量精確l 性價(jià)比高l 具備手動(dòng)/自動(dòng)功能精選ppt主

2、要技術(shù)指標(biāo)1 電阻率誤差范圍：電阻率誤差范圍：5 o hms/sq 5 o hms/sq 2 2 溫度控制范圍：溫度控制范圍：350350130013003 3 溫度控制方式：溫度控制方式： 5 5段智能串級(jí)溫度控制器進(jìn)行控溫段智能串級(jí)溫度控制器進(jìn)行控溫4 4 恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度（動(dòng)態(tài)恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度（動(dòng)態(tài), ,即模擬工藝狀態(tài)）：即模擬工藝狀態(tài)）： 350350600 600 1/1100mm1/1100mm 600 6001300 1300 0.5/1100mm0.5/1100mm5 5 溫度斜變能力：溫度斜變能力：A A最大可控升溫速率：最大可控升溫速率：15/min15/min； B B最

3、大降溫速率：最大降溫速率：6/min6/min C CRT110090minRT110090min6 6 具有自動(dòng)斜率升溫及恒溫功能。具有自動(dòng)斜率升溫及恒溫功能。7 7 設(shè)置有超溫、斷偶、斷點(diǎn)啟動(dòng)等自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng)設(shè)置有超溫、斷偶、斷點(diǎn)啟動(dòng)等自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng) 8 8 送舟方式：采用送舟方式：采用SiCSiC懸臂槳自動(dòng)送片機(jī)構(gòu)，舟速懸臂槳自動(dòng)送片機(jī)構(gòu)，舟速20201000mm/min1000mm/min連續(xù)可調(diào)，連續(xù)可調(diào)，可選自可選自動(dòng)裝卸舟動(dòng)裝卸舟9 9 配備快速冷卻系統(tǒng)配備快速冷卻系統(tǒng) 10 10 工藝方式：工藝方式：軟著陸閉管擴(kuò)散軟著陸閉管擴(kuò)散（最大裝片量（最大裝片量400400片片/ /批）批）

4、11 11 工藝過(guò)程由工業(yè)計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制，直接在觸摸屏上操作。工藝過(guò)程由工業(yè)計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制，直接在觸摸屏上操作。12 12 可存儲(chǔ)可存儲(chǔ)200200條工藝曲線、每條曲線不少條工藝曲線、每條曲線不少100100個(gè)拐點(diǎn)。個(gè)拐點(diǎn)。13 13 最大升溫功率：最大升溫功率： 42KVA/42KVA/每管每管精選ppt技術(shù)特點(diǎn) 5段自動(dòng)適時(shí)恒溫區(qū) 工藝舟軟著陸 閉管擴(kuò)散 數(shù)字式MFC精確控制氣體流量 自動(dòng)裝卸舟精選ppt技術(shù)特點(diǎn)技術(shù)特點(diǎn)5段自動(dòng)適時(shí)恒溫區(qū) 在1100mm的恒溫區(qū)范圍內(nèi)，采用5點(diǎn)Profile熱偶配合爐壁熱偶進(jìn)行串級(jí)溫控 溫控元件應(yīng)用高精度智能溫控器 完整的控制方案確保從低溫到高溫狀態(tài)下

5、，爐管內(nèi)恒溫區(qū)的持續(xù)與真實(shí)性。精選ppt技術(shù)特點(diǎn)技術(shù)特點(diǎn)5段自動(dòng)適時(shí)恒溫區(qū)+ PID1PID2觸發(fā)器溫度設(shè)定值420mA輸出420mA輸入溫變器溫控儀溫控儀380V380V380V 溫度串級(jí)控制示意圖溫度串級(jí)控制示意圖+ + + + 精選ppt技術(shù)特點(diǎn)技術(shù)特點(diǎn)工藝舟軟著陸精選ppt技術(shù)特點(diǎn)技術(shù)特點(diǎn)數(shù)字化控制，消除了模擬變量傳輸?shù)母蓴_l 懸臂槳的進(jìn)出料運(yùn)動(dòng)與軟著陸的上下運(yùn)動(dòng)，均運(yùn)用通訊控制的256細(xì)分馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器，防止運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的阻步、丟步現(xiàn)象，從而確保機(jī)械運(yùn)動(dòng)的高度穩(wěn)定與重復(fù)性。 l 數(shù)字式MFC的運(yùn)用，確保了反應(yīng)氣體流量的控制精確、穩(wěn)定、無(wú)干擾，對(duì)工藝生產(chǎn)的重復(fù)穩(wěn)定控制具有非常有益的幫助，通過(guò)

6、配合串級(jí)溫度控制，可極大的提高工藝批次間的品質(zhì)。同時(shí)具備手動(dòng)設(shè)置調(diào)整功能，極大的方便設(shè)備測(cè)試、維護(hù)工作的開展。 精選ppt技術(shù)特點(diǎn)技術(shù)特點(diǎn)自動(dòng)裝卸舟（機(jī)械手）l自動(dòng)裝卸舟功能的實(shí)現(xiàn)將大大的提高擴(kuò)散工序的自動(dòng)化操作程度l高度的重復(fù)性，避免了人工操作的隨意性對(duì)工藝產(chǎn)生的影響。l全套動(dòng)作由獨(dú)立監(jiān)控電腦控制，各種動(dòng)作通過(guò)電機(jī)與導(dǎo)軌配合自動(dòng)完成，系統(tǒng)通過(guò)與各管工位現(xiàn)場(chǎng)計(jì)算機(jī)及到位傳感器進(jìn)行聯(lián)鎖，保護(hù)舟及反應(yīng)片的安全。精選ppt設(shè)備結(jié)構(gòu)1. DS-300A型管式高溫?cái)U(kuò)散爐：型管式高溫?cái)U(kuò)散爐： 控制部分、控制部分、 推舟凈化部分、爐體加熱部分、推舟凈化部分、爐體加熱部分、 氣源部分。氣源部分。2.外圍外圍3

7、.工裝夾具：工裝夾具： 石英舟石英舟 舟托架舟托架精選pptDS-300A型管式高溫?cái)U(kuò)散爐型管式高溫?cái)U(kuò)散爐控制部分推舟凈化部分爐體加熱部分氣源部分精選ppt控制部分控制部分 位于控制柜的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)分布位于控制柜的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)分布于各個(gè)層面，但每個(gè)層面的控制系統(tǒng)都于各個(gè)層面，但每個(gè)層面的控制系統(tǒng)都是相對(duì)的獨(dú)立部分，每層控制對(duì)應(yīng)推舟、是相對(duì)的獨(dú)立部分，每層控制對(duì)應(yīng)推舟、爐溫及氣路部分，是擴(kuò)散爐溫及氣路部分，是擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)的控氧化系統(tǒng)的控制中心。制中心。 在每層相應(yīng)的前面板上，分布有觸摸在每層相應(yīng)的前面板上，分布有觸摸屏，狀態(tài)指示燈、報(bào)警器、急停開關(guān)和屏，狀態(tài)指示燈、報(bào)警器、急停開關(guān)和控制開

8、關(guān)?？刂崎_關(guān)。 控制部分是我們調(diào)節(jié)工藝參數(shù)的主要控制部分是我們調(diào)節(jié)工藝參數(shù)的主要途徑。途徑。精選ppt控制部分 工控機(jī)軟件功能強(qiáng)大工控機(jī)軟件功能強(qiáng)大,人機(jī)接口界面友好人機(jī)接口界面友好: 有工藝程序集中編輯功能。 有計(jì)算機(jī)手動(dòng)調(diào)試界面。 工藝運(yùn)行中,可方便地實(shí)現(xiàn)跳步在線編輯修改。 具有程序斷點(diǎn)啟動(dòng)功能。 具有超溫?cái)嗯紙?bào)警保護(hù)及自動(dòng)斜率升降溫和故障自 診斷功能。 能存儲(chǔ)200條以上工藝曲線。 (7)全中文圖示，直觀、易懂、方便精選ppt推舟凈化部分推舟凈化部分 推舟凈化柜的頂部裝有照明燈，正面是水平層流的高效推舟凈化柜的頂部裝有照明燈，正面是水平層流的高效過(guò)濾器及推舟的絲杠、導(dǎo)軌副傳動(dòng)系統(tǒng)，過(guò)濾器

9、及推舟的絲杠、導(dǎo)軌副傳動(dòng)系統(tǒng)，SiC懸臂槳座，絲懸臂槳座，絲杠的前端安裝有驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)，導(dǎo)軌下端按有限位開關(guān)。杠的前端安裝有驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)，導(dǎo)軌下端按有限位開關(guān)。平移馬達(dá)平移馬達(dá)限位保護(hù)開關(guān)限位保護(hù)開關(guān)凈化系統(tǒng)凈化系統(tǒng)SIC 槳槳上下馬達(dá)上下馬達(dá)精選ppt推舟凈化部分推舟凈化部分 精密直線導(dǎo)軌副配合精密絲桿副傳動(dòng) 步進(jìn)電機(jī)及數(shù)字通訊驅(qū)動(dòng)器作驅(qū)動(dòng) 計(jì)算機(jī)通過(guò)通訊方式給驅(qū)動(dòng)器發(fā)出控制信號(hào) 可精確控制步進(jìn)電機(jī)256細(xì)分，達(dá)到穩(wěn)定可靠轉(zhuǎn)速 推舟的速度在20 1000mm/min內(nèi)無(wú)級(jí)變化 工藝反應(yīng)過(guò)程中，懸臂槳外置，實(shí)現(xiàn)真正的閉管擴(kuò)散 自動(dòng)機(jī)械手實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝卸舟功能，實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化精選ppt爐體加熱部分爐

10、體加熱部分 主要工藝控制點(diǎn)：主要工藝控制點(diǎn)： 爐門爐門 爐體（熱電偶爐體（熱電偶 加熱絲）加熱絲） 溫控表主要參數(shù)設(shè)置方法 精選ppt爐體加熱部分爐體加熱部分 1） 功率部件 變壓器為低壓大電流輸出，原邊以380V三相供電， 設(shè)備中任意一管工作，都不影響電網(wǎng)負(fù)荷的平衡。采用 周波過(guò)零觸發(fā)技術(shù)，克服了對(duì)電網(wǎng)的二次諧波干擾。 2） 爐體 優(yōu)良熱場(chǎng)設(shè)計(jì)，既有良好的熱場(chǎng)均勻性，又能保證 升、降溫的速度。 3） 爐絲 進(jìn)口一級(jí)康泰爾絲，保證長(zhǎng)壽命精選ppt爐體加熱部分爐體加熱部分c10.93010.93010.93710.93510.93510.93910.93410.94010.93910.93410

11、.93210.93310.93610.93210.932靠爐尾(偏差7V）中(偏差6V）靠爐口(偏差4V）精選ppt爐門爐門 設(shè)備中爐門對(duì)于工藝的影響是比較的，如果接近爐口的方阻大量出現(xiàn)偏高，且片內(nèi)的方阻出現(xiàn)上下分層現(xiàn)象，都是爐門沒關(guān)緊引起的精選ppt爐體加熱部分爐體加熱部分（5個(gè)）熱電偶（外偶的分布位置由個(gè)）熱電偶（外偶的分布位置由5個(gè)控溫點(diǎn)組成）個(gè)控溫點(diǎn)組成）該部分主要配置該部分主要配置有：有：爐管爐管 控溫?zé)犭娕?、控溫?zé)犭娕?、超溫保護(hù)熱電偶超溫保護(hù)熱電偶加熱點(diǎn)（加熱點(diǎn)（6個(gè)）個(gè)）精選ppt 五塊溫控表，相對(duì)應(yīng)五個(gè)溫度點(diǎn)。溫控表主要用于溫度的整定，PB值的設(shè)置等。如果實(shí)際溫度偏離設(shè)置值溫度

12、幅度很大，在排除其他加熱正常的情況下，一般重新進(jìn)行恒溫即可。精選pptRKC HA900溫控表主要參數(shù)設(shè)置方法 一面板操作鍵：A/M（自動(dòng)/手動(dòng)）切換 R/L（遠(yuǎn)程/本地）切換 R/S（Run/Stop）運(yùn)行/停止切換 按set鍵進(jìn)行SV1、SV2溫度設(shè)置：SV1CH1（內(nèi)熱電偶），SV2CH2（外熱電偶） 按住set鍵3秒以上：EV3絕對(duì)值報(bào)警溫度，（目前對(duì)應(yīng)的是EV3=1100度 控CH2：本地控制，PID參數(shù)由自整定形成。 (當(dāng)CH2溫度達(dá)300度后，穩(wěn)定5分鐘，再次設(shè)為600度，此時(shí)把CH2自整定打開，CH2自整定AT完成后，按R/S鍵切換進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，進(jìn)行CH1的自總定，CH1設(shè)為8

13、60度，此時(shí)CH2可設(shè)為0度)精選ppt 二：按住mode鍵3秒以上：ATU=ON。CH1， CH2分別進(jìn)行自整定。先在本地控制的模式下進(jìn)行CH2的自總定，完畢后在遠(yuǎn)程模式下進(jìn)行CH1的自總定。PID參數(shù)自總定完成。A-M手動(dòng)/自動(dòng)切換 r-L 本地/遠(yuǎn)程控制選擇 r-5:RUN/STOP切換 三一邊按set鍵一邊按mode鍵： 1、Pb：2.pb修正 Add1：:通訊地址設(shè)置 Lck:密碼設(shè)置 bps1：19.2、b1T1：801、1nT1：30 PV數(shù)字濾波器：1dF=5 2dF=5 四同時(shí)按set鍵和mode鍵3秒以上（工程技術(shù)模式設(shè)置），必須在Stop狀態(tài)下才能修改： F0：spch=

14、0。dE=6 （ 通道2的操作輸出值MV） dEuT=100條形分辨率) F11：Fn1=3 （輸入1與輸入2自動(dòng)/手動(dòng)的切換） Fn2=1（遠(yuǎn)程/本地切換鍵操作） Fn3=1切換R/S F1：1np=3（熱電偶種類 S型）UnIT=0(溫度單位) 精選ppt PGdP=1（小數(shù)點(diǎn)以下1位） PGSL=0 （輸入刻度下限值0）PGSH=1500（輸入刻度上限值1500） F22一樣設(shè)置 F30：LoGC=5（輸出邏輯） OUT4 ：對(duì)應(yīng)EV3 （5、6端子繼電器輸出） ALC1=01111 RLC2=00011 F43：ES3=5 （EV3的最大報(bào)警值，外熱電偶斷偶超溫報(bào)警） EVA3=1事件

15、分配（輸入事件報(bào)警，內(nèi)熱電偶斷偶超溫報(bào)警） F50：pd:0(熱啟動(dòng)) CAM：2(輸入2的用途) 級(jí)聯(lián)控制 CAr=1(級(jí)聯(lián)比率)CAb=000(通道CH2附加偏置) F51：1：OS：1逆動(dòng)作（加熱控制） F60：通訊協(xié)議：Cmps1:0(RKC通訊協(xié)議)：cmps2：0精選ppt注意事項(xiàng)首先進(jìn)行第二通道的PID,這個(gè)時(shí)候,第二通道一定是在本地摸式.1. 設(shè)定為本地模式。 r-L = LoC2. 設(shè)定第二通道的設(shè)定値的溫度。 2. SV = 目標(biāo)溫度3. 進(jìn)行第二通道的AT(自整定演算)。 2.ATU = on整定完成后,進(jìn)行第一通道的自整定, 這個(gè)是在串級(jí)的情況下做自整定: 1. 從 本

16、地模式 設(shè)定為 遠(yuǎn)程模式。 r-L = rEM2. 設(shè)定主的設(shè)定値的溫度。 1. SV = 目標(biāo)溫度3. 進(jìn)行第二通道的AT(自整定演算)。 1.ATU = on精選ppt氣源部分氣源部分 氣源柜頂部設(shè)置有排毒口，用以排除在換源過(guò)氣源柜頂部設(shè)置有排毒口，用以排除在換源過(guò)程中泄露的有害氣體。程中泄露的有害氣體。 柜頂設(shè)置有三路工藝氣體及一路柜頂設(shè)置有三路工藝氣體及一路CDA的進(jìn)氣接的進(jìn)氣接口，接口以下安裝有減壓閥、截止閥，用以對(duì)進(jìn)氣口，接口以下安裝有減壓閥、截止閥，用以對(duì)進(jìn)氣壓力進(jìn)行控制及調(diào)節(jié)。對(duì)應(yīng)氣路，分別裝有相應(yīng)的壓力進(jìn)行控制及調(diào)節(jié)。對(duì)應(yīng)氣路，分別裝有相應(yīng)的電磁閥、氣動(dòng)閥、過(guò)濾器、單向閥、及

17、源瓶冷阱等。電磁閥、氣動(dòng)閥、過(guò)濾器、單向閥、及源瓶冷阱等。精選ppt氣源部分氣源部分CDAO2大N2小N2精選ppt氣源進(jìn)氣圖氣源進(jìn)氣圖電磁閥氣動(dòng)閥小氧 MFC小氮 MFC大氮MFC精選ppt爐體尾部氣路爐體尾部氣路尾氣排廢管道（尾部抽風(fēng)）熱電偶（內(nèi)偶）氣源進(jìn)氣口（噴淋管）恒溫槽精選ppt恒溫槽及源瓶恒溫槽及源瓶源量對(duì)于方阻的影響是最直接的工藝點(diǎn)之一源瓶源瓶恒溫槽的溫度一般都為20度，偏高或偏低都會(huì)影響擴(kuò)散氮的實(shí)際流量精選ppt三氯氯氧磷的使用和注意事項(xiàng) 三氯氯氧磷:1如果在裝的過(guò)程中不小心發(fā)生泄漏或打破源瓶應(yīng)立即通知車間人員疏散,同時(shí)處理人員應(yīng)戴上防毒面具和相應(yīng)工具對(duì)泄漏的三氯氯氧磷進(jìn)行清理

18、,盡量減少三氯氯氧磷的污染范圍同時(shí)通知安全人員配合處理 2.磷源更換及注意事項(xiàng):通知當(dāng)班工藝人員準(zhǔn)備更換磷源工藝人員應(yīng)積極配合監(jiān)督并陪同更換磷源全過(guò)程生產(chǎn)人員應(yīng)事先將必備物件備好佩帶自吸過(guò)濾或防毒面具內(nèi)戴丁晴手套,外戴耐酸咸橡膠手套.檢查新源瓶有無(wú)損壞裂痕及參透檢查進(jìn)氣和出氣口閥門是否關(guān)閉及標(biāo)簽是否真確.源瓶閥門進(jìn)氣口為錐形口出氣口為平口在加一錐形噻在安裝進(jìn)出氣管時(shí)需小心避免瓶頸的破壞 3.源瓶更換操作要領(lǐng):先關(guān)閉進(jìn)氣口閥門,在關(guān)閉出氣口拆卸進(jìn)出氣口需緊固螺母和連接氣管.更換源瓶:開啟源瓶包裝箱之前必須檢查源瓶是否有裂痕是否有損壞,閥門開關(guān)是否完好而且是關(guān)閉狀態(tài),檢查是否有檢驗(yàn)合格證.檢查進(jìn)出

19、氣口有沒有裝反.小口徑為進(jìn)氣口其氣管連接端深入到三氯氯氧磷液位一下,大口徑為出氣口其氣管連接端未伸入到三氯氯氧磷液位精選ppt外圍部分外圍部分 1. 抽風(fēng)抽風(fēng)：抽風(fēng)過(guò)大，過(guò)小都會(huì)影響爐管內(nèi)氣體的穩(wěn)定：抽風(fēng)過(guò)大，過(guò)小都會(huì)影響爐管內(nèi)氣體的穩(wěn)定 性，進(jìn)一步影響方阻。性，進(jìn)一步影響方阻。 2. 工藝氣體及工藝氣體及CDA的流量的流量： N2 和和O2都是擴(kuò)散所需的重都是擴(kuò)散所需的重要工藝氣體，要工藝氣體，CDA則是控制氣動(dòng)閥門等的重要?dú)怏w。則是控制氣動(dòng)閥門等的重要?dú)怏w。 上訴上訴氣體如果流量偏差時(shí)間持續(xù)過(guò)長(zhǎng)，對(duì)工藝會(huì)產(chǎn)生很大的影響。氣體如果流量偏差時(shí)間持續(xù)過(guò)長(zhǎng)，對(duì)工藝會(huì)產(chǎn)生很大的影響。精選ppt抽風(fēng)廢

20、棄柜處處于的抽風(fēng)：一般抽走的是爐門打開時(shí)散發(fā)的殘余廢氣廢氣柜處處于爐門邊上的抽風(fēng)：一般也是抽走的是爐門打開時(shí)散發(fā)的殘余廢氣氣源柜處的抽風(fēng)是擴(kuò)散工藝的主要控制點(diǎn)，該處抽風(fēng)的過(guò)大，過(guò)小都會(huì)對(duì)方阻產(chǎn)生影響，一般在工藝正常運(yùn)行后，很少進(jìn)行調(diào)試，但如果外圍抽風(fēng)力道變大，爐口的方阻就會(huì)升高精選ppt工裝夾具工裝夾具 石英舟需要定時(shí)清洗，臟的石英舟會(huì)影響擴(kuò)散后硅片邊緣的外觀。（清洗要求要跟距工藝變化來(lái)決定）距工藝 新舟或剛清洗完成的舟使用前一定要進(jìn)行飽和。精選ppt工藝控制工藝控制影響工藝的主要參數(shù)：影響工藝的主要參數(shù)： 1. 溫度溫度 2. 時(shí)間時(shí)間 3.工藝編輯和修改工藝編輯和修改 4.擴(kuò)散氮擴(kuò)散氮 5

21、. 大氮大氮 6. 氧氣氧氣精選ppt工藝參數(shù)工藝參數(shù)時(shí)間擴(kuò)散氮的濃度氣體流量五個(gè)溫度點(diǎn)小氧精選ppt溫度溫度 溫度是影響擴(kuò)散工藝的一個(gè)直接工藝參數(shù)之一，溫度越高，分子運(yùn)動(dòng)越劇烈，進(jìn)入硅片內(nèi)部的P原子也就越多，形成的結(jié)深就越深。 擴(kuò)散一般有五個(gè)溫度點(diǎn)（LL LM MM RM RR）,來(lái)控制爐管的五個(gè)溫區(qū)。溫度一般用于調(diào)節(jié)片間的均勻性。精選ppt時(shí)間時(shí)間 時(shí)間：一般不同工藝段的時(shí)間不一，但就目前擴(kuò)散的工藝而言，進(jìn)舟，出舟，和回溫氧化步的時(shí)間比較固定，（一般都是800s左右）。 一般時(shí)間越長(zhǎng)，擴(kuò)散形成的PN結(jié)越深，方阻越小。調(diào)時(shí)間的條件一般是在方阻整體偏高或偏低的情況下。 精選ppt工藝編輯和修改

22、 工藝編輯是在軟件中的工藝編輯欄里面進(jìn)行編輯。 如果工藝不穩(wěn)定的情況下，要對(duì)工藝進(jìn)行修改。如修改溫度可以在你所需要的溫區(qū)進(jìn)行溫度修改，不要到手動(dòng)設(shè)置中去修改溫區(qū)的PB值，如果修改會(huì)導(dǎo)致爐體的溫度混亂。精選ppt擴(kuò)散氮擴(kuò)散氮 擴(kuò)散氮的主要物質(zhì)是三氯氧磷（擴(kuò)散氮的主要物質(zhì)是三氯氧磷（POCl3）。）。 POCl3在高溫下（在高溫下（600）分解生成五氯化磷（）分解生成五氯化磷（PCl5）和）和五氧化二磷（五氧化二磷（P2O5），其反應(yīng)式如下：），其反應(yīng)式如下： 生成的生成的P2O5在擴(kuò)散溫度下與硅反應(yīng)，生成二氧化硅在擴(kuò)散溫度下與硅反應(yīng)，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反應(yīng)式如下：）和磷原子，其

23、反應(yīng)式如下：5253OP3PCl5POClC6004P5SiO5SiO2P252精選ppt擴(kuò)散氮擴(kuò)散氮 由上面反應(yīng)式可以看出，由上面反應(yīng)式可以看出，POCl3熱分解時(shí)，如果沒有外來(lái)的氧熱分解時(shí)，如果沒有外來(lái)的氧（O2）參與其分解是不充分的，生成的）參與其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且對(duì)是不易分解的，并且對(duì)硅有腐蝕作用，破壞硅片的表面狀態(tài)。但在有外來(lái)硅有腐蝕作用，破壞硅片的表面狀態(tài)。但在有外來(lái)O2存在的情況下，存在的情況下，PCl5會(huì)進(jìn)一步分解成會(huì)進(jìn)一步分解成P2O5并放出氯氣（并放出氯氣（Cl2）其反應(yīng)式如下：）其反應(yīng)式如下： 生成的生成的P2O5又進(jìn)一步與硅作用，生成又進(jìn)一

24、步與硅作用，生成SiO2和磷原子。和磷原子。2522510ClO2P5O4PCl2過(guò)量O精選ppt擴(kuò)散氮擴(kuò)散氮 在有氧氣的存在時(shí)，在有氧氣的存在時(shí)，POClPOCl3 3熱分解的反應(yīng)式為：熱分解的反應(yīng)式為： POClPOCl3 3分解產(chǎn)生的分解產(chǎn)生的P P2 2O O5 5淀積在硅片表面，淀積在硅片表面，P P2 2O O5 5與硅反應(yīng)生成與硅反應(yīng)生成SiOSiO2 2和磷原子，并在硅片表面形成一層磷和磷原子，并在硅片表面形成一層磷- -硅玻璃，然后磷原子再向硅玻璃，然后磷原子再向硅中進(jìn)行擴(kuò)散。硅中進(jìn)行擴(kuò)散。 在實(shí)際調(diào)節(jié)擴(kuò)散工藝的時(shí)候，一般是在方阻整體偏高或偏低在實(shí)際調(diào)節(jié)擴(kuò)散工藝的時(shí)候，一般是在方阻整體偏高或偏低的情況下。另外，源瓶中的源量會(huì)隨著時(shí)間逐步減少，此時(shí)也要的情況下。另外，源瓶中的源量會(huì)隨著時(shí)間逐步減少，此時(shí)也要適當(dāng)?shù)脑黾訑U(kuò)散氮的流量。適當(dāng)?shù)脑黾訑U(kuò)散氮的流量。 322524526POClOPOCl精選ppt大氮及氧氣大氮及氧氣 大氮：大氮： 屬惰性氣體，主要起填充介質(zhì)的作用，使進(jìn)入爐屬惰性氣體，主要起填充介質(zhì)的作用，使進(jìn)入爐管內(nèi)的三氯氧磷分布得更加均勻。