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文檔簡介

1、2008-10-3 1 退出退出自動(dòng)檢測與轉(zhuǎn)換技術(shù)自動(dòng)檢測與轉(zhuǎn)換技術(shù)2008-10-3 2 第五章 電容傳感器1、了解電容傳感器的工作原理;、了解電容傳感器的工作原理; 2、掌握電容傳感器的應(yīng)用;、掌握電容傳感器的應(yīng)用; 3、了解電容接近開關(guān)的原理及應(yīng)用;、了解電容接近開關(guān)的原理及應(yīng)用; 4、了解流量的測量方法。、了解流量的測量方法。 2008-10-3 3 退出退出第一節(jié) 電容式傳感器的工作原理及結(jié)構(gòu)形式0 rAACdd 電容式傳感器的電容值變化的工作原理可以通過如電容式傳感器的電容值變化的工作原理可以通過如圖所示的平板電容器來說明。當(dāng)忽略邊緣效應(yīng)時(shí),電容圖所示的平板電容器來說明。當(dāng)忽略邊緣

2、效應(yīng)時(shí),電容器的電容值為器的電容值為 式中 A兩極板相互遮蓋的有效面積; d兩極板間的距離,也稱為極距; 兩極板間介質(zhì)的介電常數(shù); r兩極板間介質(zhì)的相對介電常數(shù) 0真空的介電常數(shù) 結(jié)論:在結(jié)論:在A、d、三個(gè)參量中,改變其中任意一個(gè)量,均三個(gè)參量中,改變其中任意一個(gè)量,均可使電容量可使電容量C改變。也就是說,電容量改變。也就是說,電容量C是是A、d、的函數(shù),的函數(shù),固定三個(gè)參量中的兩個(gè),可以做成三種類型的電容傳感器:固定三個(gè)參量中的兩個(gè),可以做成三種類型的電容傳感器:變面積式、變極距式、變介電常數(shù)式。變面積式、變極距式、變介電常數(shù)式。上式中,哪幾個(gè)參量是變量?可以做成哪幾種類型的電容傳感器?上

3、式中,哪幾個(gè)參量是變量?可以做成哪幾種類型的電容傳感器?2008-10-3 4 退出退出一、變面積式電容傳感器000()(1)XXb axAxCCaeedd= 如圖是平板形直線位移式結(jié)構(gòu),如圖是平板形直線位移式結(jié)構(gòu),其中極板其中極板1可以左右移動(dòng),稱為動(dòng)極可以左右移動(dòng),稱為動(dòng)極板。極板板。極板2固定不動(dòng),稱為定極板。固定不動(dòng),稱為定極板。 設(shè)兩極板原來的遮蓋長度為設(shè)兩極板原來的遮蓋長度為a0,極板寬度為極板寬度為b,極距為極距為d,極板,極板間介質(zhì)的介電常數(shù)為間介質(zhì)的介電常數(shù)為。當(dāng)動(dòng)極。當(dāng)動(dòng)極板隨被測物體移動(dòng)板隨被測物體移動(dòng)x時(shí),電容量時(shí),電容量將隨之改變。電容值為將隨之改變。電容值為 式中,

4、C0初始電容值,C0=ba0/d)1 ()(000axCdxabdACXX 從式中可知,增大極板長度從式中可知,增大極板長度b,減小極距,減小極距d,可提高,可提高靈敏度。但極距不可太小,否則容易引起短路。靈敏度。但極距不可太小,否則容易引起短路。 2008-10-3 5 退出退出 如圖是同心圓筒形變面積式傳如圖是同心圓筒形變面積式傳感器。外圓筒不動(dòng),內(nèi)圓筒在外圓感器。外圓筒不動(dòng),內(nèi)圓筒在外圓筒內(nèi)作上、下直線運(yùn)動(dòng)。筒內(nèi)作上、下直線運(yùn)動(dòng)。式中x外圓筒與內(nèi)圓筒覆蓋部分長度(m); r1、r2外圓筒內(nèi)半徑與內(nèi)圓筒(或內(nèi)圓柱)外半徑,即它們的工作半徑(m)。 x變化時(shí),電容量變化,靈敏度為變化時(shí),電容

5、量變化,靈敏度為圓柱線位移型電容器的電容為:12/ln2rrxC 2008-10-3 6 退出退出 如圖是一個(gè)角位移式的結(jié)構(gòu)。如圖是一個(gè)角位移式的結(jié)構(gòu)。極板極板2 2的軸由被測物體帶動(dòng)而旋轉(zhuǎn)一的軸由被測物體帶動(dòng)而旋轉(zhuǎn)一個(gè)角位移個(gè)角位移 度時(shí),兩極板的遮蓋面積度時(shí),兩極板的遮蓋面積A A就減小,因而電容量也隨之減小。就減小,因而電容量也隨之減小。 當(dāng)覆蓋面積對應(yīng)的中心角為當(dāng)覆蓋面積對應(yīng)的中心角為a、極板半徑為極板半徑為r時(shí),覆蓋面積為時(shí),覆蓋面積為:電容量為:電容量為:其靈敏度為其靈敏度為 上述可知,面積變化型電容傳感器的優(yōu)點(diǎn)是輸出與輸入上述可知,面積變化型電容傳感器的優(yōu)點(diǎn)是輸出與輸入成線性關(guān)系

6、,但與極板變化型相比,靈敏度較低,適用于成線性關(guān)系,但與極板變化型相比,靈敏度較低,適用于較大角位移及直線位移的測量。較大角位移及直線位移的測量。 2008-10-3 7 退出退出二、變極距式電容傳感器 當(dāng)動(dòng)極板受被測物體作用引起位移時(shí),改變了兩當(dāng)動(dòng)極板受被測物體作用引起位移時(shí),改變了兩極板之間的距離極板之間的距離 ,從而使電容量發(fā)生變化。,從而使電容量發(fā)生變化。 實(shí)際使用時(shí),總是使初始極距實(shí)際使用時(shí),總是使初始極距 0盡量小些,以提高靈盡量小些,以提高靈敏度,但這也帶來了變極距式電容器的行程較小的缺點(diǎn)。敏度,但這也帶來了變極距式電容器的行程較小的缺點(diǎn)。 根據(jù)式根據(jù)式如果如果 S 、 不變,當(dāng)

7、不變,當(dāng)變化,引起電容量的變化變化,引起電容量的變化為:為: 傳感器的靈敏度為:傳感器的靈敏度為: 2008-10-3 8 退出退出變極距式電容傳感器的特性曲線 從圖中可以看到,為了提高靈敏度,應(yīng)使當(dāng)從圖中可以看到,為了提高靈敏度,應(yīng)使當(dāng)d d0 0小些還是小些還是大些?當(dāng)變極距式電容傳感器的初始極距大些?當(dāng)變極距式電容傳感器的初始極距d d0 0較小時(shí),它的測量較小時(shí),它的測量范圍變大還是變小?范圍變大還是變?。?a) 結(jié)構(gòu)示意圖結(jié)構(gòu)示意圖 b)電容量與極板距離的關(guān)系)電容量與極板距離的關(guān)系 1定極板定極板 2動(dòng)極板動(dòng)極板 2008-10-3 9 退出退出差動(dòng)電容傳感器差動(dòng)電容傳感器 為了提

8、高傳感器的靈敏度,減小非線性為了提高傳感器的靈敏度,減小非線性 ,常采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)常采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)外界的影響諸如溫度、外界的影響諸如溫度、激勵(lì)源電壓、頻率變化激勵(lì)源電壓、頻率變化等也基本能相互抵消等也基本能相互抵消 2008-10-3 10 退出退出三、變介電常數(shù)式 當(dāng)相對介電常數(shù)為當(dāng)相對介電常數(shù)為r的的介電質(zhì)的厚度為介電質(zhì)的厚度為時(shí),其電時(shí),其電容值為容值為 0 00()()rbCllleed=-+x )(153 0 xxabC2008-10-3 11 退出退出 因?yàn)楦鞣N介質(zhì)的相對介電常數(shù)不同,所以在電容器因?yàn)楦鞣N介質(zhì)的相對介電常數(shù)不同,所以在電容器兩極板間插入不同介質(zhì)時(shí),電容器的電容量也就不同

9、。兩極板間插入不同介質(zhì)時(shí),電容器的電容量也就不同。 表表5-1 5-1 幾種介質(zhì)的相對介電常數(shù)幾種介質(zhì)的相對介電常數(shù) 根據(jù)根據(jù)表表5-15-1,分析,分析不同介質(zhì)對變介電常數(shù)電容器的影不同介質(zhì)對變介電常數(shù)電容器的影響。在電容器兩極板間插入干的紙和潮濕的紙時(shí),哪一種響。在電容器兩極板間插入干的紙和潮濕的紙時(shí),哪一種情況下的電容量大?可以用于測量什么非電量?情況下的電容量大?可以用于測量什么非電量?2008-10-3 12 退出退出一一、橋式電路、橋式電路 CCCCCCxx0201第二節(jié) 電容式傳感器的測量轉(zhuǎn)換電路 圖圖(b)中,設(shè))中,設(shè) 圖圖a)為單臂接法的橋式測量電路,電路中的高頻電源經(jīng)為單

10、臂接法的橋式測量電路,電路中的高頻電源經(jīng)變壓器接到電容電橋的一條對角線上,電容變壓器接到電容電橋的一條對角線上,電容C1、C2、C3、CX構(gòu)成電橋電路的構(gòu)成電橋電路的4個(gè)橋臂,其中個(gè)橋臂,其中CX為電容傳感器。當(dāng)無信為電容傳感器。當(dāng)無信號輸入時(shí),交流電橋平衡,即號輸入時(shí),交流電橋平衡,即C1/C2=CX/C3,輸出電壓,輸出電壓=0。當(dāng)當(dāng)CX改變時(shí),則改變時(shí),則 U0 0,有電壓輸出。,有電壓輸出。 2008-10-3 13 退出退出 缺點(diǎn):由于電路輸出為交流電,應(yīng)進(jìn)行相敏檢波后,才能辨別缺點(diǎn):由于電路輸出為交流電,應(yīng)進(jìn)行相敏檢波后,才能辨別位移方向。位移方向。 對于變間隙式差分電容傳感器經(jīng)分

11、析推導(dǎo)可得:對于變間隙式差分電容傳感器經(jīng)分析推導(dǎo)可得: ),(其中ddACddACxx020102ddUUo優(yōu)點(diǎn):把變間隙式電容傳感器的位移與電容的非線性關(guān)系優(yōu)點(diǎn):把變間隙式電容傳感器的位移與電容的非線性關(guān)系 轉(zhuǎn)化為位移與輸出電壓的線性關(guān)系。轉(zhuǎn)化為位移與輸出電壓的線性關(guān)系。 02CCUUo可得:可得: 22UUUxCo2221UZZZUxxxCCC21212xxxxCCCCU2111221UCjCjCjUxxx2008-10-3 14 退出退出 調(diào)頻電路將電容式傳感器作為調(diào)頻電路將電容式傳感器作為 LC LC 振蕩器諧振振蕩器諧振回路的一部分,當(dāng)電容傳感器工作時(shí),電容回路的一部分,當(dāng)電容傳感器

12、工作時(shí),電容Cx 發(fā)生發(fā)生變化,就使振蕩器的頻率變化,就使振蕩器的頻率 f 產(chǎn)生相應(yīng)的變化。產(chǎn)生相應(yīng)的變化。 電容式傳感器的調(diào)頻電路與電渦流傳感器有何區(qū)別?電容式傳感器的調(diào)頻電路與電渦流傳感器有何區(qū)別?式中哪些量是變量?式中哪些量是變量?01 5-22fL C二、二、調(diào)頻電路調(diào)頻電路2008-10-3 15 退出退出第三節(jié) 電容式傳感器的應(yīng)用 電容器的容量受三個(gè)因素影響,即:極距電容器的容量受三個(gè)因素影響,即:極距x、相對面積、相對面積A 和極間介電常數(shù)和極間介電常數(shù) 。固定其中兩。固定其中兩個(gè)變個(gè)變 量,電容量量,電容量C 就是另一個(gè)變量的一元函數(shù)。就是另一個(gè)變量的一元函數(shù)。只要想辦法將被測

13、非電量轉(zhuǎn)換成極距或者面積、只要想辦法將被測非電量轉(zhuǎn)換成極距或者面積、介電常數(shù)的變化,就可以通過測量電容量這個(gè)介電常數(shù)的變化,就可以通過測量電容量這個(gè)電參數(shù)來達(dá)到非電量電測的目的。電參數(shù)來達(dá)到非電量電測的目的。 2008-10-3 16 一、電容測厚儀 電容測厚儀可以用電容測厚儀可以用來測量金屬帶材在扎制來測量金屬帶材在扎制過程中的厚度的儀器,過程中的厚度的儀器,其工作原理如圖所示。其工作原理如圖所示。 1-金屬帶材金屬帶材 2-電容極板電容極板 3-傳動(dòng)輪傳動(dòng)輪 4-軋棍軋棍 返返 回回 測測厚時(shí),在被測金屬帶材的上、下兩側(cè)各安裝一厚時(shí),在被測金屬帶材的上、下兩側(cè)各安裝一塊面積塊面積相等、與帶

14、材距離相等的極板,這樣金屬帶材的上下兩個(gè)相等、與帶材距離相等的極板,這樣金屬帶材的上下兩個(gè)表面與上下兩個(gè)極板分別形成電容。其總的電容量表面與上下兩個(gè)極板分別形成電容。其總的電容量C C就應(yīng)是就應(yīng)是兩個(gè)極板的電容之后(兩個(gè)極板的電容之后(C=CC=C1 1+C+C2 2)。如果帶材的厚度發(fā)生變)。如果帶材的厚度發(fā)生變化,用交流電橋?qū)⑦@一變化檢測出來,然后經(jīng)放大就可以化,用交流電橋?qū)⑦@一變化檢測出來,然后經(jīng)放大就可以在相應(yīng)的顯示儀表上把帶材的厚度變化顯示出來在相應(yīng)的顯示儀表上把帶材的厚度變化顯示出來2008-10-3 17 退出退出二、硅微加工加速度傳感器二、硅微加工加速度傳感器 1 1加速度測試

15、單元加速度測試單元 2 2信號處理電路信號處理電路 3 3襯底襯底 4 4底層多晶硅(下電極)底層多晶硅(下電極) 5 5多晶硅懸臂梁多晶硅懸臂梁 6 6頂層多晶硅(上電極)頂層多晶硅(上電極) 在硅襯底上,制造出三個(gè)多晶在硅襯底上,制造出三個(gè)多晶硅電極,組成差動(dòng)電容硅電極,組成差動(dòng)電容C C1 1、C C2 2。圖。圖中的底層多晶硅和頂層多晶硅固定中的底層多晶硅和頂層多晶硅固定不動(dòng)。中間層多晶硅是一個(gè)可以上不動(dòng)。中間層多晶硅是一個(gè)可以上下微動(dòng)的振動(dòng)片。其左端固定在襯下微動(dòng)的振動(dòng)片。其左端固定在襯底上,所以相當(dāng)于懸臂梁。底上,所以相當(dāng)于懸臂梁。 當(dāng)它感受到上下振動(dòng)時(shí),當(dāng)它感受到上下振動(dòng)時(shí),C

16、C1 1、C C2 2呈差動(dòng)變化。與加速度測試單元呈差動(dòng)變化。與加速度測試單元封裝在同一殼體中的信號處理電路封裝在同一殼體中的信號處理電路將將C C 轉(zhuǎn)換成直流輸出電壓。它的轉(zhuǎn)換成直流輸出電壓。它的激勵(lì)源也做在同一殼體內(nèi),所以集激勵(lì)源也做在同一殼體內(nèi),所以集成度很高。成度很高。2008-10-3 18 退出退出加速度傳感器在汽車中的應(yīng)用 加速度傳感器安裝在轎車上,可以作為碰撞傳感器。加速度傳感器安裝在轎車上,可以作為碰撞傳感器。當(dāng)測得的負(fù)加速度值超過設(shè)定值時(shí),當(dāng)測得的負(fù)加速度值超過設(shè)定值時(shí), 微處理器微處理器據(jù)此判斷據(jù)此判斷發(fā)生了碰發(fā)生了碰 撞,于是就啟動(dòng)轎車前部的折疊式安全氣囊迅撞,于是就啟

17、動(dòng)轎車前部的折疊式安全氣囊迅速充氣而膨脹,托住駕駛員及前排乘員的胸部和頭部。速充氣而膨脹,托住駕駛員及前排乘員的胸部和頭部。 裝有傳感裝有傳感器的假人器的假人氣囊氣囊2008-10-3 19 退出退出利用加速度傳感器實(shí)現(xiàn) 延時(shí)起爆的鉆地炸彈傳感器安裝位置傳感器安裝位置2008-10-3 20 退出退出三、濕敏電容 利用具有很大吸濕性的絕緣材料作為電容傳感器的介利用具有很大吸濕性的絕緣材料作為電容傳感器的介質(zhì),在其兩側(cè)面鍍上多孔性電極。當(dāng)相對濕度增大時(shí),吸濕質(zhì),在其兩側(cè)面鍍上多孔性電極。當(dāng)相對濕度增大時(shí),吸濕性介質(zhì)吸收空氣中的水蒸氣,使兩塊電極之間的介質(zhì)相對介性介質(zhì)吸收空氣中的水蒸氣,使兩塊電極

18、之間的介質(zhì)相對介電常數(shù)大為增加(水的相對介電常數(shù)為電常數(shù)大為增加(水的相對介電常數(shù)為8080),所以電容量增),所以電容量增大。大。 2008-10-3 21 退出退出四、電容式油量表分析油量表工作原理:分析油量表工作原理: 1、當(dāng)油箱中無油時(shí),電容傳感器的電容量、當(dāng)油箱中無油時(shí),電容傳感器的電容量Cx =Cx 0,調(diào)節(jié)匹配電容使,調(diào)節(jié)匹配電容使C0=Cx 0,R4=R3;并使調(diào)零電位器;并使調(diào)零電位器RP的滑動(dòng)臂位于的滑動(dòng)臂位于0點(diǎn),即點(diǎn),即RP的電阻值的電阻值為為0。此時(shí),電橋滿足。此時(shí),電橋滿足Cx /C0=R4 /R3的平衡條件,電橋輸出為零,伺服電的平衡條件,電橋輸出為零,伺服電動(dòng)機(jī)

19、不轉(zhuǎn)動(dòng),油量表指針偏轉(zhuǎn)角動(dòng)機(jī)不轉(zhuǎn)動(dòng),油量表指針偏轉(zhuǎn)角 =0。2008-10-3 22 2、當(dāng)油箱中注滿油時(shí),液位上升至、當(dāng)油箱中注滿油時(shí),液位上升至h處,處,Cx=Cx0+ Cx,而,而 Cx與與h成成正比,此時(shí)電橋失去平衡,電橋的輸出電壓正比,此時(shí)電橋失去平衡,電橋的輸出電壓Uo經(jīng)放大后驅(qū)動(dòng)伺服電動(dòng)機(jī),經(jīng)放大后驅(qū)動(dòng)伺服電動(dòng)機(jī),再由減速箱減速后帶動(dòng)指針順時(shí)針偏轉(zhuǎn),同時(shí)帶動(dòng)再由減速箱減速后帶動(dòng)指針順時(shí)針偏轉(zhuǎn),同時(shí)帶動(dòng)RP的滑動(dòng)臂移動(dòng),從的滑動(dòng)臂移動(dòng),從而使而使RP阻值增大,阻值增大,Rc d =R3+RP也隨之增大。當(dāng)也隨之增大。當(dāng)RP阻值達(dá)到一定值時(shí),阻值達(dá)到一定值時(shí),電橋又達(dá)到新的平衡狀態(tài),

20、電橋又達(dá)到新的平衡狀態(tài),Uo=0,于是伺服電動(dòng)機(jī)停轉(zhuǎn),指針停留在轉(zhuǎn),于是伺服電動(dòng)機(jī)停轉(zhuǎn),指針停留在轉(zhuǎn)角為角為處。處。 3、由于指針及可變電阻的滑動(dòng)臂同時(shí)為伺服電動(dòng)機(jī)所帶動(dòng),因此,、由于指針及可變電阻的滑動(dòng)臂同時(shí)為伺服電動(dòng)機(jī)所帶動(dòng),因此,RP的阻值與的阻值與 間存在著確定的對應(yīng)關(guān)系,即間存在著確定的對應(yīng)關(guān)系,即正比于正比于RP的阻值,而的阻值,而RP的阻的阻值又正比于液位高度值又正比于液位高度h,因此可直接從刻度盤上讀得液位高度,因此可直接從刻度盤上讀得液位高度h。2008-10-3 23 4、當(dāng)油箱中的油位降低時(shí),伺服電動(dòng)機(jī)反轉(zhuǎn),指針逆時(shí)針偏、當(dāng)油箱中的油位降低時(shí),伺服電動(dòng)機(jī)反轉(zhuǎn),指針逆時(shí)針偏

21、轉(zhuǎn)(示值減?。?,同時(shí)帶動(dòng)轉(zhuǎn)(示值減?。瑫r(shí)帶動(dòng)RP的滑動(dòng)臂移動(dòng),使的滑動(dòng)臂移動(dòng),使RP阻值減小。阻值減小。當(dāng)當(dāng)RP阻值達(dá)到一定值時(shí),電橋又達(dá)到新的平衡狀態(tài),阻值達(dá)到一定值時(shí),電橋又達(dá)到新的平衡狀態(tài),Uo=0,于是伺服電動(dòng)機(jī)再次停轉(zhuǎn),指針停留在與該液位相對應(yīng)的轉(zhuǎn)于是伺服電動(dòng)機(jī)再次停轉(zhuǎn),指針停留在與該液位相對應(yīng)的轉(zhuǎn)角角處。處。 5、從以上分析得到涉及、從以上分析得到涉及“閉環(huán)控制閉環(huán)控制”的結(jié)論:放大器的非線性的結(jié)論:放大器的非線性及溫漂對測量精度影響不大。及溫漂對測量精度影響不大。 該油量表在傾斜狀態(tài)時(shí)可以使用嗎?為什么?油量表在傾斜狀態(tài)時(shí)可以使用嗎?為什么? 該油量表可用于飛該油量表可用于飛

22、機(jī)油箱機(jī)油箱2008-10-3 24 退出退出五、電容式接近開關(guān) 被檢測物體可以是導(dǎo)電體、介質(zhì)損耗較大的絕緣被檢測物體可以是導(dǎo)電體、介質(zhì)損耗較大的絕緣體、含水的物體(例如飼料、人體等)體、含水的物體(例如飼料、人體等) ;可以是接地的,;可以是接地的,也可以是不接地的。也可以是不接地的。 調(diào)節(jié)接近開關(guān)尾部的靈敏度調(diào)節(jié)電調(diào)節(jié)接近開關(guān)尾部的靈敏度調(diào)節(jié)電位器,可以根據(jù)被測物不同來改變動(dòng)作距離。位器,可以根據(jù)被測物不同來改變動(dòng)作距離。 齊平式齊平式非齊平式非齊平式 2008-10-3 25 退出退出電容式接近開關(guān)在液位測量控制中的使用2008-10-3 26 退出退出 電容式接近開關(guān)在物位測量控制中的

23、使用演示2008-10-3 27 退出退出第四節(jié) 壓力和流量的測量 一、壓力的基本概念一、壓力的基本概念 物理學(xué)中的物理學(xué)中的“壓強(qiáng)壓強(qiáng)”在檢測領(lǐng)域和工業(yè)中稱為在檢測領(lǐng)域和工業(yè)中稱為“壓力壓力”. 壓力分類:壓力分類: (1)絕對壓力傳感器絕對壓力傳感器 它所測得的壓力數(shù)值是相對于密封在絕它所測得的壓力數(shù)值是相對于密封在絕對壓力傳感器內(nèi)部的基準(zhǔn)真空而言的。當(dāng)絕對壓力小于對壓力傳感器內(nèi)部的基準(zhǔn)真空而言的。當(dāng)絕對壓力小于101kPa時(shí),可以認(rèn)為是時(shí),可以認(rèn)為是“負(fù)壓負(fù)壓”,所測得壓力相當(dāng)于真空度。,所測得壓力相當(dāng)于真空度。 (2)差壓傳感器差壓傳感器 差壓是指兩個(gè)壓力差壓是指兩個(gè)壓力p1和和p2之

24、差,又稱為壓力之差,又稱為壓力差。當(dāng)差壓表兩側(cè)面均向大氣敞開時(shí),差壓等于零。差。當(dāng)差壓表兩側(cè)面均向大氣敞開時(shí),差壓等于零。 (3)表壓傳感器表壓傳感器 表壓傳感器常稱為壓力傳感器。它以環(huán)境大表壓傳感器常稱為壓力傳感器。它以環(huán)境大氣壓為參考基準(zhǔn),將差壓傳感器的一側(cè)向大氣敞開,就形成表氣壓為參考基準(zhǔn),將差壓傳感器的一側(cè)向大氣敞開,就形成表壓傳感器。壓傳感器。 2008-10-3 28 退出退出二、電容式差壓變送器 l差動(dòng)電容式差壓變送器結(jié)構(gòu)的核心部差動(dòng)電容式差壓變送器結(jié)構(gòu)的核心部分是一個(gè)變極距差動(dòng)式電容傳感器。分是一個(gè)變極距差動(dòng)式電容傳感器。 1高壓側(cè)進(jìn)氣口高壓側(cè)進(jìn)氣口 2低壓側(cè)進(jìn)氣口低壓側(cè)進(jìn)氣口

25、 3過濾片過濾片 4空腔空腔 5柔性不銹鋼柔性不銹鋼波波 紋隔離膜片紋隔離膜片 6導(dǎo)壓硅油導(dǎo)壓硅油 7 凹形玻璃圓片凹形玻璃圓片 8鍍金凹形電極鍍金凹形電極 9彈性平膜片彈性平膜片 10 腔腔當(dāng)被測壓力當(dāng)被測壓力p1、p2由兩側(cè)的內(nèi)螺紋壓力由兩側(cè)的內(nèi)螺紋壓力接頭進(jìn)入各自的空腔,該壓力通過不銹接頭進(jìn)入各自的空腔,該壓力通過不銹鋼波紋隔離膜和導(dǎo)壓硅油,傳導(dǎo)到鋼波紋隔離膜和導(dǎo)壓硅油,傳導(dǎo)到“腔腔”。彈性平膜片由于受到來自兩側(cè)的壓。彈性平膜片由于受到來自兩側(cè)的壓力之差,而凸向壓力小的一側(cè)。在力之差,而凸向壓力小的一側(cè)。在腔中,腔中,彈性膜片與兩側(cè)的鍍金定極之間的距離彈性膜片與兩側(cè)的鍍金定極之間的距離很

26、小(約很?。s0.5mm左右),所以微小的位左右),所以微小的位移(不大于移(不大于0.1mm)就可以使電容量變)就可以使電容量變化化100pF以上。測量轉(zhuǎn)換電路(相敏檢以上。測量轉(zhuǎn)換電路(相敏檢波器)將此電容量的變化轉(zhuǎn)換成波器)將此電容量的變化轉(zhuǎn)換成420mA的標(biāo)準(zhǔn)電流信號,通過信號電纜的標(biāo)準(zhǔn)電流信號,通過信號電纜線輸出到二次儀表。線輸出到二次儀表。2008-10-3 29 退出退出各種電容式差壓變送器外形 2008-10-3 30 退出退出三、利用電容差壓變送器測量液體的液位 差壓變送器差壓變送器 電容差壓變送器的高壓側(cè)(電容差壓變送器的高壓側(cè)(p1)進(jìn)氣孔及低壓側(cè))進(jìn)氣孔及低壓側(cè)(p2)

27、進(jìn)氣孔通過管道與儲液罐相連,就組成差壓式液位)進(jìn)氣孔通過管道與儲液罐相連,就組成差壓式液位計(jì)計(jì)p1=p0+g (h -h 0) p2=p0則: p = p1-p2= g (h-h0)投入式水位計(jì)投入式水位計(jì)2008-10-3 31 退出退出四、流量的基本概念 流量的定義流量的定義: 流體在單位時(shí)間內(nèi)通過某一截面的體積數(shù)或質(zhì)量數(shù),分流體在單位時(shí)間內(nèi)通過某一截面的體積數(shù)或質(zhì)量數(shù),分別稱為體積流量別稱為體積流量qV和質(zhì)量流量和質(zhì)量流量qm。這種單位時(shí)間內(nèi)的流量統(tǒng)。這種單位時(shí)間內(nèi)的流量統(tǒng)稱為瞬時(shí)流量稱為瞬時(shí)流量q。 把瞬時(shí)流量對時(shí)間把瞬時(shí)流量對時(shí)間t進(jìn)行積分,求出累計(jì)體積或累計(jì)質(zhì)量進(jìn)行積分,求出累計(jì)體積或累計(jì)質(zhì)量的總和,稱為累積流量,也叫總量。的總和,稱為累積流量,也叫總量。 流速法測量流量流速法測量流量:流速:流速v越快,瞬時(shí)流量越大;管道的截面越快,瞬時(shí)流量越大;管道的截面積越大,瞬時(shí)流量也越大。采用測量流速積越大,瞬時(shí)流量也

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