機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)與分析 引言1

1、學(xué)習(xí)本課程的目的學(xué)習(xí)本課程的目的本課程的主要內(nèi)容本課程的主要內(nèi)容教學(xué)方法教學(xué)方法現(xiàn)代機(jī)械工業(yè)發(fā)展對(duì)機(jī)械設(shè)計(jì)類人才的要求現(xiàn)代機(jī)械工業(yè)發(fā)展對(duì)機(jī)械設(shè)計(jì)類人才的要求學(xué)習(xí)本課程的作用學(xué)習(xí)本課程的作用 自從二十世紀(jì)中期以來，也就是從自從二十世紀(jì)中期以來，也就是從1950年以來，年以來，隨著工業(yè)控制系統(tǒng)、工程材料科學(xué)以及計(jì)算機(jī)技術(shù)的隨著工業(yè)控制系統(tǒng)、工程材料科學(xué)以及計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，機(jī)械設(shè)備的研究重點(diǎn)轉(zhuǎn)向了大型復(fù)雜系統(tǒng)以及發(fā)展，機(jī)械設(shè)備的研究重點(diǎn)轉(zhuǎn)向了大型復(fù)雜系統(tǒng)以及“三高一化三高一化”的方向上，其特點(diǎn)是各個(gè)學(xué)科在自身發(fā)的方向上，其特點(diǎn)是各個(gè)學(xué)科在自身發(fā)展基礎(chǔ)上相互交叉和綜合，由此引起了新學(xué)科的產(chǎn)生展基礎(chǔ)上

2、相互交叉和綜合，由此引起了新學(xué)科的產(chǎn)生和新技術(shù)的進(jìn)步，這里最明顯的標(biāo)志是機(jī)械科技與微和新技術(shù)的進(jìn)步，這里最明顯的標(biāo)志是機(jī)械科技與微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、信息處理技術(shù)的緊密融合，電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、信息處理技術(shù)的緊密融合，向機(jī)電一體化的方向發(fā)展。向機(jī)電一體化的方向發(fā)展。 機(jī)電一體化的含義機(jī)電一體化的含義 機(jī)電一體化：機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)、自動(dòng)控制機(jī)電一體化：機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)、自動(dòng)控制等技術(shù)有機(jī)結(jié)合的綜合技術(shù)。等技術(shù)有機(jī)結(jié)合的綜合技術(shù)。機(jī)電一體化的分類機(jī)電一體化的分類 它按照尺寸大小來分：微機(jī)電一體化產(chǎn)品和機(jī)電它按照尺寸大小來分：微機(jī)電一體化產(chǎn)品和機(jī)電一體化產(chǎn)品。微機(jī)電一體化產(chǎn)品泛指幾何尺寸不超

3、過一體化產(chǎn)品。微機(jī)電一體化產(chǎn)品泛指幾何尺寸不超過1cm3的機(jī)電一體化產(chǎn)品，最小體積大小的遠(yuǎn)期目標(biāo)的機(jī)電一體化產(chǎn)品，最小體積大小的遠(yuǎn)期目標(biāo)向納米、微米范疇定位。向納米、微米范疇定位。 微機(jī)電一體化研究的興起，標(biāo)志著人類對(duì)微觀領(lǐng)域探索研微機(jī)電一體化研究的興起，標(biāo)志著人類對(duì)微觀領(lǐng)域探索研究邁出了新的一步，早在究邁出了新的一步，早在1987年，美國(guó)加利福尼亞大學(xué)伯克年，美國(guó)加利福尼亞大學(xué)伯克利分校兩名中國(guó)留學(xué)生采用單晶硅制成了轉(zhuǎn)子直徑利分校兩名中國(guó)留學(xué)生采用單晶硅制成了轉(zhuǎn)子直徑150微米的微米的微型電機(jī)，在全世界引起轟動(dòng)，并因此奠定了微電子機(jī)械這微型電機(jī)，在全世界引起轟動(dòng)，并因此奠定了微電子機(jī)械這門學(xué)

4、科。我國(guó)從門學(xué)科。我國(guó)從1990年開始，微機(jī)電一體化研究從早期的單年開始，微機(jī)電一體化研究從早期的單件靜止產(chǎn)品，繼而向單件可動(dòng)型產(chǎn)品發(fā)展。件靜止產(chǎn)品，繼而向單件可動(dòng)型產(chǎn)品發(fā)展。 單件靜止產(chǎn)品：微機(jī)電一體化的靜止產(chǎn)品有各類微型滑塊、單件靜止產(chǎn)品：微機(jī)電一體化的靜止產(chǎn)品有各類微型滑塊、微型氣缸、微型渦輪、微型剪刀、分子扳手、分子夾具、微微型氣缸、微型渦輪、微型剪刀、分子扳手、分子夾具、微光學(xué)器件、微型通道冷卻器，微齒輪機(jī)件、微型傳感器、微光學(xué)器件、微型通道冷卻器，微齒輪機(jī)件、微型傳感器、微接口器件。其中上海交大研制成功的微型攝子控制精度小于接口器件。其中上海交大研制成功的微型攝子控制精度小于1微米

5、，可攝取分子團(tuán)。微金屬齒輪直徑只有微米，可攝取分子團(tuán)。微金屬齒輪直徑只有100微米，微型微米，微型彈簧長(zhǎng)度僅有彈簧長(zhǎng)度僅有45微米。微米。單件可動(dòng)產(chǎn)品：有各種組件式微型閥門，微型開關(guān)、微機(jī)械泵、毫米單件可動(dòng)產(chǎn)品：有各種組件式微型閥門，微型開關(guān)、微機(jī)械泵、毫米級(jí)鐘表機(jī)械和空氣透平。一張普通郵票大小的面積可容納級(jí)鐘表機(jī)械和空氣透平。一張普通郵票大小的面積可容納6萬件齒輪及萬件齒輪及其它活動(dòng)裝置，其中微型軸承直徑其它活動(dòng)裝置，其中微型軸承直徑0.06mm，金屬微靜電馬達(dá)，轉(zhuǎn)子直，金屬微靜電馬達(dá)，轉(zhuǎn)子直徑徑100微米。微米。整機(jī)動(dòng)能產(chǎn)品：有各類機(jī)電一體化醫(yī)療產(chǎn)品，微機(jī)電數(shù)控裝置、智能整機(jī)動(dòng)能產(chǎn)品：有各

6、類機(jī)電一體化醫(yī)療產(chǎn)品，微機(jī)電數(shù)控裝置、智能檢測(cè)裝置、仿生產(chǎn)品和食品加工產(chǎn)品，其中微型機(jī)器人也是攻堅(jiān)產(chǎn)品。檢測(cè)裝置、仿生產(chǎn)品和食品加工產(chǎn)品，其中微型機(jī)器人也是攻堅(jiān)產(chǎn)品。據(jù)報(bào)道，世界上現(xiàn)今最小的機(jī)器人由日本精工愛普生公司推出，外形尺據(jù)報(bào)道，世界上現(xiàn)今最小的機(jī)器人由日本精工愛普生公司推出，外形尺寸寸10.3mm*8.5mm*8.6mm，體積為，體積為0.5cm3，重量為，重量為3.5克，小小機(jī)器人克，小小機(jī)器人配有超微型驅(qū)動(dòng)芯片，其眼部裝有光傳感器，體內(nèi)由配有超微型驅(qū)動(dòng)芯片，其眼部裝有光傳感器，體內(nèi)由98個(gè)微型機(jī)械元件個(gè)微型機(jī)械元件組成，當(dāng)它受到光照后，會(huì)象蟲子一樣以組成，當(dāng)它受到光照后，會(huì)象蟲子一

7、樣以2.116.8mm/s的速度向著光源的速度向著光源方向爬行。方向爬行。2007年年7月月20日，在日本首都東京，日本一玩日，在日本首都東京，日本一玩具公司的職員操作該公司推出的人形步行機(jī)器具公司的職員操作該公司推出的人形步行機(jī)器人人i-SOBOT。該機(jī)器人在中國(guó)東莞生產(chǎn)，身高該機(jī)器人在中國(guó)東莞生產(chǎn)，身高16.5厘米，重厘米，重約約350克，可行走，跳舞，接收克，可行走，跳舞，接收10種語言的命令，種語言的命令，做出做出200多種動(dòng)作，說出約多種動(dòng)作，說出約180個(gè)短語，搭載有個(gè)短語，搭載有約約90種背景音樂，并于種背景音樂，并于2007年年6月被吉尼斯世界月被吉尼斯世界紀(jì)錄認(rèn)定為目前世界上

8、最小的量產(chǎn)化人形步行紀(jì)錄認(rèn)定為目前世界上最小的量產(chǎn)化人形步行機(jī)器人。機(jī)器人。l世界上最小的機(jī)器人世界上最小的機(jī)器人 一大群被遙控的蟑螂般大小的機(jī)器坦克，蜂擁著一大群被遙控的蟑螂般大小的機(jī)器坦克，蜂擁著從下水管道和通風(fēng)口進(jìn)入一幢辦公樓，你能想象出這樣的情景嗎？只從下水管道和通風(fēng)口進(jìn)入一幢辦公樓，你能想象出這樣的情景嗎？只要給它們安裝上合適的傳感器、攝像頭和通訊裝置，這些微型坦克就要給它們安裝上合適的傳感器、攝像頭和通訊裝置，這些微型坦克就可以在人類難以親臨的地方搜尋出化學(xué)武器、地雷或是炸彈。它們也可以在人類難以親臨的地方搜尋出化學(xué)武器、地雷或是炸彈。它們也可被用來尋找某一場(chǎng)事故后的幸存者或者跟蹤

9、人的活動(dòng)?？杀挥脕韺ふ夷骋粓?chǎng)事故后的幸存者或者跟蹤人的活動(dòng)。l 這些構(gòu)想很可能將變成現(xiàn)實(shí)，而這一切都要?dú)w功于美國(guó)桑迪亞國(guó)這些構(gòu)想很可能將變成現(xiàn)實(shí)，而這一切都要?dú)w功于美國(guó)桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室的埃德家實(shí)驗(yàn)室的埃德海勒和他的同事們。這個(gè)研究小組最近向人們展示了海勒和他的同事們。這個(gè)研究小組最近向人們展示了可能是迄今為止世界上最小的機(jī)器人，他們說它可能是迄今為止世界上最小的機(jī)器人，他們說它“可以在五分的硬幣可以在五分的硬幣上?？浚谝唤堑挠矌派限D(zhuǎn)彎。這種機(jī)器人是桑迪亞實(shí)驗(yàn)室研制的上?？浚谝唤堑挠矌派限D(zhuǎn)彎。這種機(jī)器人是桑迪亞實(shí)驗(yàn)室研制的微型機(jī)器人系列中最新的。為了使它比它的前輩們更小，科學(xué)家們采微型機(jī)

10、器人系列中最新的。為了使它比它的前輩們更小，科學(xué)家們采取了一種新的技術(shù)來把各種電子元件組裝在一起，這包括重新設(shè)計(jì)輪取了一種新的技術(shù)來把各種電子元件組裝在一起，這包括重新設(shè)計(jì)輪子和使用不同的機(jī)身材料。這樣造出的機(jī)器人體積只有四分之一立方子和使用不同的機(jī)身材料。這樣造出的機(jī)器人體積只有四分之一立方英寸，重量也不超過一盎司。英寸，重量也不超過一盎司。 l 由于采用了像坦克一樣的履帶，所以機(jī)器人的兩側(cè)各配有一個(gè)馬由于采用了像坦克一樣的履帶，所以機(jī)器人的兩側(cè)各配有一個(gè)馬達(dá)，由三粒鈕扣電池供電，以便它能自由移動(dòng)。它還裝有一個(gè)帶達(dá)，由三粒鈕扣電池供電，以便它能自由移動(dòng)。它還裝有一個(gè)帶8K只只讀內(nèi)存的處理器和

11、一只溫度傳感器，這也是它與眾不同之處。在測(cè)試讀內(nèi)存的處理器和一只溫度傳感器，這也是它與眾不同之處。在測(cè)試中，這種微型機(jī)器人以每分鐘大約中，這種微型機(jī)器人以每分鐘大約20英寸的速度，成功的在遙控下通英寸的速度，成功的在遙控下通過了用零錢搭起的障礙路段?？茖W(xué)家們還計(jì)劃進(jìn)一步提高它的性能，過了用零錢搭起的障礙路段?？茖W(xué)家們還計(jì)劃進(jìn)一步提高它的性能，比如考慮為它安上微型的攝像頭、麥克風(fēng)、通訊裝置和微型化學(xué)物質(zhì)比如考慮為它安上微型的攝像頭、麥克風(fēng)、通訊裝置和微型化學(xué)物質(zhì)感應(yīng)器。感應(yīng)器。 l機(jī)器人直徑機(jī)器人直徑1毫米、長(zhǎng)毫米、長(zhǎng)4毫米，體形是目前世界上最小的。毫米，體形是目前世界上最小的。這種機(jī)器人可以進(jìn)

12、入人的血管并將藥物送往人體各處。這種機(jī)器人可以進(jìn)入人的血管并將藥物送往人體各處。這種機(jī)器人在血管中運(yùn)動(dòng)時(shí)是在這種機(jī)器人在血管中運(yùn)動(dòng)時(shí)是在“爬行爬行”而不是在而不是在“游游泳泳”，這也讓它在血管中的運(yùn)動(dòng)更容易控制。，這也讓它在血管中的運(yùn)動(dòng)更容易控制。l機(jī)器人自身并不攜帶電池，其動(dòng)力來源于外部磁場(chǎng)激發(fā)機(jī)器人自身并不攜帶電池，其動(dòng)力來源于外部磁場(chǎng)激發(fā)的振動(dòng)。正因?yàn)槠淠芰咳縼碜酝獠?，這種機(jī)器人不僅的振動(dòng)。正因?yàn)槠淠芰咳縼碜酝獠?，這種機(jī)器人不僅能夠在人的控制下無時(shí)限地在人體內(nèi)工作，而且這樣的能夠在人的控制下無時(shí)限地在人體內(nèi)工作，而且這樣的設(shè)計(jì)還讓科學(xué)家得以最大限度縮小機(jī)器人的尺寸。設(shè)計(jì)還讓科學(xué)家得以

13、最大限度縮小機(jī)器人的尺寸。 l在微創(chuàng)手術(shù)以及治療癌癥用的近接療法中，這種機(jī)器人在微創(chuàng)手術(shù)以及治療癌癥用的近接療法中，這種機(jī)器人可以作為投送藥物的工具，解決如何將藥物精確施于需可以作為投送藥物的工具，解決如何將藥物精確施于需要治療部位的問題。要治療部位的問題。 l美國(guó)：迄今最小的機(jī)器人蒼蠅首次試飛美國(guó)：迄今最小的機(jī)器人蒼蠅首次試飛 l2002年年11月，美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校的科學(xué)家們宣稱，他們已月，美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校的科學(xué)家們宣稱，他們已經(jīng)利用仿生學(xué)原理制造出了世界上第一只能飛翔的經(jīng)利用仿生學(xué)原理制造出了世界上第一只能飛翔的“機(jī)器蠅機(jī)器蠅”。蒼蠅個(gè)頭雖小，卻能以蒼蠅個(gè)頭雖小，卻能以40公里

14、的時(shí)速飛行；如果發(fā)現(xiàn)情況，公里的時(shí)速飛行；如果發(fā)現(xiàn)情況，能在能在3秒的瞬間迅速起飛；蒼蠅飛行一整天卻只消耗食物秒的瞬間迅速起飛；蒼蠅飛行一整天卻只消耗食物1/10克?？?。加州大學(xué)伯克利分校的一位生物學(xué)家說：加州大學(xué)伯克利分校的一位生物學(xué)家說：“蒼蠅在所有飛蟲中，蒼蠅在所有飛蟲中，飛行最穩(wěn)定，機(jī)動(dòng)性能最佳的。在動(dòng)物世界，蒼蠅就是噴氣式戰(zhàn)飛行最穩(wěn)定，機(jī)動(dòng)性能最佳的。在動(dòng)物世界，蒼蠅就是噴氣式戰(zhàn)斗機(jī)。斗機(jī)。”l加州大學(xué)展示的這只機(jī)器蠅名叫加州大學(xué)展示的這只機(jī)器蠅名叫“黑寡婦黑寡婦”，重量只有，重量只有100毫克，毫克，身高不到身高不到3厘米。該項(xiàng)目負(fù)責(zé)人馬特厘米。該項(xiàng)目負(fù)責(zé)人馬特金儂介紹說：金儂介紹

15、說：“它在它在100米上米上空飛行，人們用肉眼幾乎發(fā)現(xiàn)不了它，而它卻可以拍出極為清晰空飛行，人們用肉眼幾乎發(fā)現(xiàn)不了它，而它卻可以拍出極為清晰的照片傳回。的照片傳回?！辈贿^科學(xué)家表示，目前這只機(jī)器蠅飛得太快，不不過科學(xué)家表示，目前這只機(jī)器蠅飛得太快，不能自行控制方向。而他們理想中的機(jī)器蠅則應(yīng)該飛得快慢自如，能自行控制方向。而他們理想中的機(jī)器蠅則應(yīng)該飛得快慢自如，可以隨時(shí)變換方向，而且會(huì)自行判斷周圍情況，躲在不為人知的可以隨時(shí)變換方向，而且會(huì)自行判斷周圍情況，躲在不為人知的角落。角落。lMEMS技術(shù)的應(yīng)用范圍廣泛，技術(shù)的應(yīng)用范圍廣泛，MEMS技術(shù)是一種典型技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域，

16、幾乎涉及到自然科學(xué)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域，幾乎涉及到自然科學(xué)及工程技術(shù)的所有領(lǐng)域，如電子技術(shù)、機(jī)械技術(shù)、物及工程技術(shù)的所有領(lǐng)域，如電子技術(shù)、機(jī)械技術(shù)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)和能源科學(xué)等。與理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)和能源科學(xué)等。與不同的技術(shù)結(jié)合，往往便會(huì)產(chǎn)生一種新型的不同的技術(shù)結(jié)合，往往便會(huì)產(chǎn)生一種新型的MEMS 器器件。件。l目前，除了進(jìn)行信號(hào)處理的集成電路部件以外，微機(jī)電系統(tǒng)的應(yīng)用目前，除了進(jìn)行信號(hào)處理的集成電路部件以外，微機(jī)電系統(tǒng)的應(yīng)用主要有以下幾大類：主要有以下幾大類：（1）微傳感器。）微傳感器。 傳感器是應(yīng)用最廣泛也是最成熟的傳感器是應(yīng)用最廣泛也是最成熟的MEMS，

17、包括敏感和檢測(cè)力，包括敏感和檢測(cè)力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和生物量等的傳感器。每一類又可學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和生物量等的傳感器。每一類又可以細(xì)分為多種，例如微加速度計(jì)等傳感器。以細(xì)分為多種，例如微加速度計(jì)等傳感器。 （2）微執(zhí)行器。）微執(zhí)行器。 主要包括微電機(jī)、微陀螺、微泵、微進(jìn)給裝置等主要包括微電機(jī)、微陀螺、微泵、微進(jìn)給裝置等 （3）微型構(gòu)件。）微型構(gòu)件。 三維微型構(gòu)件主要包括微膜、微梁、微探針、微齒輪、微彈簧、三維微型構(gòu)件主要包括微膜、微梁、微探針、微齒輪、微彈簧、微腔、微溝道、微錐體、微軸、微連桿等。微腔、微溝道、微錐體、微軸、微連桿等。 l4）微機(jī)械光學(xué)器件。）微機(jī)械光學(xué)器

18、件。 即利用即利用MEMS技術(shù)制作的光學(xué)元件及器件，主要有微鏡陣列、微光掃描器、微技術(shù)制作的光學(xué)元件及器件，主要有微鏡陣列、微光掃描器、微光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關(guān)、微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器光閥、微斬光器、微干涉儀、微光開關(guān)、微可變焦透鏡、微外腔激光器、光編碼器等。等。 （5）真空微電子器件。）真空微電子器件。 它是微電子技術(shù)、它是微電子技術(shù)、MEMS技術(shù)和真空電子學(xué)發(fā)展的產(chǎn)物，具有極快的開關(guān)速度、技術(shù)和真空電子學(xué)發(fā)展的產(chǎn)物，具有極快的開關(guān)速度、非常好的抗輻照能力和極佳的溫度特性。目前主要應(yīng)用如場(chǎng)發(fā)射顯示器、場(chǎng)發(fā)射照非常好的抗輻照能力和極佳的溫度特性。目前主要應(yīng)用如場(chǎng)發(fā)射顯

19、示器、場(chǎng)發(fā)射照明器件、真空微電子毫米波器件、真空微電子傳感器等。明器件、真空微電子毫米波器件、真空微電子傳感器等。 （6）電力電子器件。）電力電子器件。 主要包括主要包括MEMS技術(shù)制作的垂直導(dǎo)電型技術(shù)制作的垂直導(dǎo)電型MOS（VMOS）器件、）器件、V型槽垂直導(dǎo)電型槽垂直導(dǎo)電型型MOS（VVMOS）器件等各類高壓大電流器件）器件等各類高壓大電流器件（7）微小型機(jī)器人。）微小型機(jī)器人。 微機(jī)電一體化的應(yīng)用前景還有，在生物醫(yī)療中，將帶有特種傳感微機(jī)電一體化的應(yīng)用前景還有，在生物醫(yī)療中，將帶有特種傳感器的微型機(jī)器人，用口服或皮下注射法送入人體，就可把體內(nèi)的五臟器的微型機(jī)器人，用口服或皮下注射法送入人

20、體，就可把體內(nèi)的五臟六腑進(jìn)行直接有效的監(jiān)測(cè)，進(jìn)行體內(nèi)攝像及電視圖像傳遞。在食品加六腑進(jìn)行直接有效的監(jiān)測(cè)，進(jìn)行體內(nèi)攝像及電視圖像傳遞。在食品加工中把微型機(jī)器人放入魚體，可把魚體上骨頭全面清除。工中把微型機(jī)器人放入魚體，可把魚體上骨頭全面清除。 以上介紹了微機(jī)電一體化產(chǎn)品信息，大家可能會(huì)問：這么小的產(chǎn)以上介紹了微機(jī)電一體化產(chǎn)品信息，大家可能會(huì)問：這么小的產(chǎn)品是如何加工出來的？這主要是靠微機(jī)械制造技術(shù)，微機(jī)械制造技術(shù)品是如何加工出來的？這主要是靠微機(jī)械制造技術(shù)，微機(jī)械制造技術(shù)并不是簡(jiǎn)單地將大尺寸的機(jī)械按比例縮小。它是具有創(chuàng)新內(nèi)涵的機(jī)械并不是簡(jiǎn)單地將大尺寸的機(jī)械按比例縮小。它是具有創(chuàng)新內(nèi)涵的機(jī)械加工尖

21、端技術(shù)，它超越傳統(tǒng)機(jī)械領(lǐng)域，其加工工藝與傳統(tǒng)的機(jī)械加工加工尖端技術(shù)，它超越傳統(tǒng)機(jī)械領(lǐng)域，其加工工藝與傳統(tǒng)的機(jī)械加工截然不同，傳統(tǒng)的機(jī)械加工采用車、鉗、銑等加工手段，而微型機(jī)械截然不同，傳統(tǒng)的機(jī)械加工采用車、鉗、銑等加工手段，而微型機(jī)械本體的制造必須采用高精度特殊加工，其特點(diǎn)和要求有：本體的制造必須采用高精度特殊加工，其特點(diǎn)和要求有：特種材料特種材料 微機(jī)械加工機(jī)理基于從半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工工藝中發(fā)展起來的平面微機(jī)械加工機(jī)理基于從半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工工藝中發(fā)展起來的平面加工技術(shù)和三維立體加工技術(shù)。其加工用材主要有各種硅體（單晶硅、多晶加工技術(shù)和三維立體加工技術(shù)。其加工用材主要有各種硅體（單晶

22、硅、多晶硅）、石英、金剛石、壓電陶瓷、記憶合金和稀有金屬等。硅）、石英、金剛石、壓電陶瓷、記憶合金和稀有金屬等?；准苫准?微機(jī)械裝置經(jīng)加工后和微電子電路集成，如：把微電子芯片、微型傳感微機(jī)械裝置經(jīng)加工后和微電子電路集成，如：把微電子芯片、微型傳感器、微接口裝置和微型執(zhí)行機(jī)構(gòu)等都集成作在一微小機(jī)板上，實(shí)現(xiàn)機(jī)電一體器、微接口裝置和微型執(zhí)行機(jī)構(gòu)等都集成作在一微小機(jī)板上，實(shí)現(xiàn)機(jī)電一體化?；?。特殊工藝特殊工藝 采用超精密技術(shù)，它包括光刻技術(shù)和刻蝕技術(shù)兩大部分，其中光刻技術(shù)采用超精密技術(shù)，它包括光刻技術(shù)和刻蝕技術(shù)兩大部分，其中光刻技術(shù)是微細(xì)加工技術(shù)的核心，通常采用聚焦是微細(xì)加工技術(shù)的核心，通常采用

23、聚焦X射線集束射在覆有抗涂層的加工硅射線集束射在覆有抗涂層的加工硅基表面，經(jīng)爆光生成微機(jī)械零部件的幾何外形。然后再腐蝕成型、淀積外延、基表面，經(jīng)爆光生成微機(jī)械零部件的幾何外形。然后再腐蝕成型、淀積外延、鏈合連接等手段加工。此外，在微型機(jī)械特殊加工還有電子束、電火花、激鏈合連接等手段加工。此外，在微型機(jī)械特殊加工還有電子束、電火花、激光技術(shù)等。光技術(shù)等。機(jī)電一體化的共性關(guān)鍵技術(shù)機(jī)電一體化的共性關(guān)鍵技術(shù)檢測(cè)傳感技術(shù)檢測(cè)傳感技術(shù)信息處理技術(shù)信息處理技術(shù)自動(dòng)控制技術(shù)自動(dòng)控制技術(shù)伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)精密機(jī)械技術(shù)精密機(jī)械技術(shù)系統(tǒng)總體技術(shù)系統(tǒng)總體技術(shù)檢測(cè)傳感技術(shù)檢測(cè)傳感技術(shù) 檢測(cè)傳感器的檢測(cè)對(duì)象有溫度、

24、壓力、位移、速度、加速檢測(cè)傳感器的檢測(cè)對(duì)象有溫度、壓力、位移、速度、加速度、力和力矩等物理量及物品的幾何參數(shù)等，其檢測(cè)精度的高度、力和力矩等物理量及物品的幾何參數(shù)等，其檢測(cè)精度的高低直接影響到機(jī)電一體化產(chǎn)品的性能好壞。因此，要求檢測(cè)傳低直接影響到機(jī)電一體化產(chǎn)品的性能好壞。因此，要求檢測(cè)傳感器具有高精度、高靈敏度和高可靠性。需研究的問題有：感器具有高精度、高靈敏度和高可靠性。需研究的問題有：（1）提高各種敏感材料和元件的靈敏度及可靠度；）提高各種敏感材料和元件的靈敏度及可靠度；（2）改進(jìn)傳感器結(jié)構(gòu)，開發(fā)溫度與濕度、視覺與觸覺同時(shí)存）改進(jìn)傳感器結(jié)構(gòu)，開發(fā)溫度與濕度、視覺與觸覺同時(shí)存在的復(fù)合傳感器等

25、；在的復(fù)合傳感器等；（3）研究在線檢測(cè)技術(shù)，提高抗干擾能力；）研究在線檢測(cè)技術(shù)，提高抗干擾能力；（4）研究具有自動(dòng)診斷與自動(dòng)補(bǔ)償功能的傳感器等。）研究具有自動(dòng)診斷與自動(dòng)補(bǔ)償功能的傳感器等。 包括信息的輸入、變換、運(yùn)算、存儲(chǔ)和輸出技術(shù)。信息包括信息的輸入、變換、運(yùn)算、存儲(chǔ)和輸出技術(shù)。信息處理的硬件包括輸入處理的硬件包括輸入/輸出設(shè)備、顯示器、磁盤、計(jì)算機(jī)、可輸出設(shè)備、顯示器、磁盤、計(jì)算機(jī)、可編程控制器和數(shù)控裝置等。信息處理是否正確及時(shí)，直接影編程控制器和數(shù)控裝置等。信息處理是否正確及時(shí)，直接影響機(jī)電一體化產(chǎn)品的效率和質(zhì)量，因而成為機(jī)電一體化產(chǎn)品響機(jī)電一體化產(chǎn)品的效率和質(zhì)量，因而成為機(jī)電一體化產(chǎn)品

26、的關(guān)鍵技術(shù)。的關(guān)鍵技術(shù)。 信息處理技術(shù)信息處理技術(shù) 需研究的問題有需研究的問題有（1）提高大規(guī)模集成電路（包括微機(jī)芯片和專用集成電路）的制造工藝）提高大規(guī)模集成電路（包括微機(jī)芯片和專用集成電路）的制造工藝水平，保證產(chǎn)品的可靠性，降低成本；水平，保證產(chǎn)品的可靠性，降低成本；（2）提高）提高I/O、A/D、D/A轉(zhuǎn)換的速度和可靠性；轉(zhuǎn)換的速度和可靠性；（3）開發(fā)高速處理技術(shù)（如開發(fā)高速運(yùn)算的微處理器和高速處理圖像技）開發(fā)高速處理技術(shù)（如開發(fā)高速運(yùn)算的微處理器和高速處理圖像技術(shù)）；術(shù)）；（4）通信與傳遞（包括聯(lián)機(jī)、信道分配、傳遞速率等）；）通信與傳遞（包括聯(lián)機(jī)、信道分配、傳遞速率等）；（5）加速軟盤

27、機(jī)、可編程控制器、微機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)化，提高維修性；）加速軟盤機(jī)、可編程控制器、微機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)化，提高維修性；（6）在信息處理部分加上自動(dòng)診斷功能，在人機(jī)接口設(shè)備上，利用聲音）在信息處理部分加上自動(dòng)診斷功能，在人機(jī)接口設(shè)備上，利用聲音或圖像識(shí)別等方式實(shí)現(xiàn)信息處理的智能化，柔性自動(dòng)化仿真技術(shù)?；驁D像識(shí)別等方式實(shí)現(xiàn)信息處理的智能化，柔性自動(dòng)化仿真技術(shù)。自動(dòng)控制技術(shù)自動(dòng)控制技術(shù) 包括高精度定位控制、速度控制、自適應(yīng)控制、自診斷、包括高精度定位控制、速度控制、自適應(yīng)控制、自診斷、校正、補(bǔ)償、再現(xiàn)、檢索等技術(shù)。這些都是機(jī)電一體化技術(shù)校正、補(bǔ)償、再現(xiàn)、檢索等技術(shù)。這些都是機(jī)電一體化技術(shù)中十分重要的關(guān)鍵技術(shù)。其技術(shù)難點(diǎn)

28、是現(xiàn)代控制理論的工程中十分重要的關(guān)鍵技術(shù)。其技術(shù)難點(diǎn)是現(xiàn)代控制理論的工程化與實(shí)用化，以及優(yōu)化控制模型的建立等。需研究的問題有：化與實(shí)用化，以及優(yōu)化控制模型的建立等。需研究的問題有：（1）多功能、全功能數(shù)控技術(shù)與裝置（包括多軸聯(lián)動(dòng)）多功能、全功能數(shù)控技術(shù)與裝置（包括多軸聯(lián)動(dòng)CNC等）；等）；（2）分級(jí)控制系統(tǒng)；）分級(jí)控制系統(tǒng)；（3）復(fù)雜控制系統(tǒng)的模擬仿真；）復(fù)雜控制系統(tǒng)的模擬仿真；（4）智能控制技術(shù)；）智能控制技術(shù)；（5）自診斷監(jiān)控技術(shù)及容錯(cuò)技術(shù)等。）自診斷監(jiān)控技術(shù)及容錯(cuò)技術(shù)等。伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù) 伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)主要是執(zhí)行元件中的一些技術(shù)問題伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)主要是執(zhí)行元件中的一些技術(shù)問題,，伺服

29、驅(qū)動(dòng)包括電動(dòng)、，伺服驅(qū)動(dòng)包括電動(dòng)、氣動(dòng)、液動(dòng)等各種類型。伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生直接影響。氣動(dòng)、液動(dòng)等各種類型。伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生直接影響。 在機(jī)電一體化產(chǎn)品（系統(tǒng)）中，對(duì)機(jī)電轉(zhuǎn)換部件，如電磁螺旋管、電在機(jī)電一體化產(chǎn)品（系統(tǒng)）中，對(duì)機(jī)電轉(zhuǎn)換部件，如電磁螺旋管、電動(dòng)機(jī)、液壓馬達(dá)等執(zhí)行元件的精度要求更高、可靠性更好，響應(yīng)速度更快；動(dòng)機(jī)、液壓馬達(dá)等執(zhí)行元件的精度要求更高、可靠性更好，響應(yīng)速度更快；對(duì)直流伺服電動(dòng)機(jī)，要求控制性能更好（高分辨率、高靈敏度）、速度和對(duì)直流伺服電動(dòng)機(jī)，要求控制性能更好（高分辨率、高靈敏度）、速度和扭矩特性更穩(wěn)定，交流調(diào)速系統(tǒng)的難點(diǎn)在于變頻調(diào)速、電子逆變技術(shù)、矢扭矩

30、特性更穩(wěn)定，交流調(diào)速系統(tǒng)的難點(diǎn)在于變頻調(diào)速、電子逆變技術(shù)、矢量變換技術(shù)等。氣動(dòng)和液動(dòng)中，各元件都存在提高性能、可靠性、標(biāo)準(zhǔn)化量變換技術(shù)等。氣動(dòng)和液動(dòng)中，各元件都存在提高性能、可靠性、標(biāo)準(zhǔn)化以及減輕重量、小型化等方面的問題。以及減輕重量、小型化等方面的問題。 此外，希望執(zhí)行元件滿足小型、重量輕和輸出功率大等三個(gè)方面的要此外，希望執(zhí)行元件滿足小型、重量輕和輸出功率大等三個(gè)方面的要求，以及提高其對(duì)環(huán)境的適應(yīng)性和可靠性。求，以及提高其對(duì)環(huán)境的適應(yīng)性和可靠性。 研究的問題研究的問題（1）提高機(jī)電轉(zhuǎn)換部件的精度、可靠性及快速響應(yīng)性；）提高機(jī)電轉(zhuǎn)換部件的精度、可靠性及快速響應(yīng)性；（2）提高直流伺服電機(jī)的性能

31、（高分辨率、高靈敏度）；）提高直流伺服電機(jī)的性能（高分辨率、高靈敏度）；（3）對(duì)交流調(diào)速系統(tǒng)的研究（包括變頻調(diào)速、電子逆變、矢）對(duì)交流調(diào)速系統(tǒng)的研究（包括變頻調(diào)速、電子逆變、矢量控制等技術(shù)）；量控制等技術(shù)）；（4）大功率晶體管（）大功率晶體管（GTR）和晶閘管（）和晶閘管（SCR、GTO）等功）等功率器件的研制；率器件的研制；（5）中、小慣量伺服電動(dòng)機(jī)的研制；）中、小慣量伺服電動(dòng)機(jī)的研制；（6）伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)；）伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)；（7）微型電磁離合器的研制等。）微型電磁離合器的研制等。精密機(jī)械技術(shù)精密機(jī)械技術(shù) 機(jī)電一體化產(chǎn)品對(duì)精密機(jī)械提出新的要求：減輕重量、機(jī)電一體化產(chǎn)品對(duì)精密機(jī)械提出新的要求：減輕

32、重量、縮小體積、提高精度、提高剛度、改善動(dòng)態(tài)性能等。減輕重縮小體積、提高精度、提高剛度、改善動(dòng)態(tài)性能等。減輕重量、縮小體積不能降低機(jī)械的剛度，除考慮靜態(tài)、動(dòng)態(tài)的剛量、縮小體積不能降低機(jī)械的剛度，除考慮靜態(tài)、動(dòng)態(tài)的剛度及熱變形的問題外，還要提高導(dǎo)軌面的剛度。因此，在設(shè)度及熱變形的問題外，還要提高導(dǎo)軌面的剛度。因此，在設(shè)計(jì)時(shí)，要考慮采用新型復(fù)合材料和新型結(jié)構(gòu)。為便于維修，計(jì)時(shí)，要考慮采用新型復(fù)合材料和新型結(jié)構(gòu)。為便于維修，要使零件模塊化、標(biāo)準(zhǔn)化、規(guī)格化。要使零件模塊化、標(biāo)準(zhǔn)化、規(guī)格化。精密機(jī)械技術(shù)精密機(jī)械技術(shù) 需研究的問題有需研究的問題有（1）研究機(jī)械零部件的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)剛性和熱變形問題（既要求重量

33、輕、）研究機(jī)械零部件的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)剛性和熱變形問題（既要求重量輕、體積小、又要求剛性好。如對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)、采用新型復(fù)合材料等）；體積小、又要求剛性好。如對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)、采用新型復(fù)合材料等）；（2）提高關(guān)鍵零部件的精度（包括高精度導(dǎo)軌、精密滾珠絲杠、高精度）提高關(guān)鍵零部件的精度（包括高精度導(dǎo)軌、精密滾珠絲杠、高精度主軸軸承和高精度齒輪等）并使之能批量生產(chǎn)，提高可靠性、降低成本；主軸軸承和高精度齒輪等）并使之能批量生產(chǎn)，提高可靠性、降低成本；（3）超精加工與精密測(cè)量技術(shù)；）超精加工與精密測(cè)量技術(shù)；（4）提高刀具、磨具質(zhì)量，改進(jìn)材質(zhì)（高性能、超硬、復(fù)合刀具材料的）提高刀具、磨具質(zhì)量，改進(jìn)材質(zhì)（

34、高性能、超硬、復(fù)合刀具材料的開發(fā)和生產(chǎn)等）；開發(fā)和生產(chǎn)等）；（5）摩擦、磨損與潤(rùn)滑問題；）摩擦、磨損與潤(rùn)滑問題；（6）零部件的模塊化、標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)、規(guī)格化（提高互換性、保證維修方便）。）零部件的模塊化、標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)、規(guī)格化（提高互換性、保證維修方便）。系統(tǒng)總體技術(shù)系統(tǒng)總體技術(shù) 系統(tǒng)總體技術(shù)是一種從整體目標(biāo)出發(fā)，用系統(tǒng)的觀點(diǎn)和系統(tǒng)總體技術(shù)是一種從整體目標(biāo)出發(fā)，用系統(tǒng)的觀點(diǎn)和方法，將總體分解成若干功能單元，找出能完成各個(gè)功能的方法，將總體分解成若干功能單元，找出能完成各個(gè)功能的技術(shù)方案，再把功能與技術(shù)方案組合成方案組進(jìn)行分析、評(píng)技術(shù)方案，再把功能與技術(shù)方案組合成方案組進(jìn)行分析、評(píng)價(jià)和優(yōu)選的綜合應(yīng)用技術(shù)。系統(tǒng)總

35、體技術(shù)包括的內(nèi)容很多，價(jià)和優(yōu)選的綜合應(yīng)用技術(shù)。系統(tǒng)總體技術(shù)包括的內(nèi)容很多，例如接插件、接口轉(zhuǎn)換、軟件開發(fā)、微機(jī)應(yīng)用技術(shù)、控制系例如接插件、接口轉(zhuǎn)換、軟件開發(fā)、微機(jī)應(yīng)用技術(shù)、控制系統(tǒng)的成套性和成套設(shè)備自動(dòng)化技術(shù)等。即使各個(gè)部分的性能、統(tǒng)的成套性和成套設(shè)備自動(dòng)化技術(shù)等。即使各個(gè)部分的性能、可靠性都很好，如果整個(gè)系統(tǒng)不能很好協(xié)調(diào)，系統(tǒng)與產(chǎn)品也可靠性都很好，如果整個(gè)系統(tǒng)不能很好協(xié)調(diào)，系統(tǒng)與產(chǎn)品也難保證正常運(yùn)行。難保證正常運(yùn)行。系統(tǒng)總體技術(shù)系統(tǒng)總體技術(shù) 需要研究的問題：需要研究的問題：（1）軟件開發(fā)與應(yīng)用技術(shù)，包括過程參數(shù)應(yīng)用軟件，實(shí)適時(shí)）軟件開發(fā)與應(yīng)用技術(shù)，包括過程參數(shù)應(yīng)用軟件，實(shí)適時(shí)精度補(bǔ)償軟件，精

36、度補(bǔ)償軟件，CAD/CAM及及FMS軟件，各種專用語言（如軟件，各種專用語言（如機(jī)器人語言），實(shí)時(shí)控制語言，人機(jī)器人語言），實(shí)時(shí)控制語言，人機(jī)對(duì)話編程技術(shù)，專用機(jī)對(duì)話編程技術(shù)，專用數(shù)據(jù)庫的建立等；數(shù)據(jù)庫的建立等；（2）研究接插件技術(shù)，提高可靠性；）研究接插件技術(shù)，提高可靠性；（3）通用接口和數(shù)據(jù)總線標(biāo)準(zhǔn)化；）通用接口和數(shù)據(jù)總線標(biāo)準(zhǔn)化；（4）控制系統(tǒng)成套性和成套設(shè)備自動(dòng)化；）控制系統(tǒng)成套性和成套設(shè)備自動(dòng)化；（5）系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)化問題等。）系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)化問題等。機(jī)機(jī)電電一一體體化化優(yōu)優(yōu)先先發(fā)發(fā)展展領(lǐng)領(lǐng)域域及及條條件件 機(jī)械工業(yè)實(shí)現(xiàn)信息化、柔性化和智能化已迫在眉睫，各種機(jī)械工業(yè)實(shí)現(xiàn)信息化、柔性化和智能化已

37、迫在眉睫，各種自動(dòng)化控制技術(shù)和智能化機(jī)器的廣泛應(yīng)用已經(jīng)成為現(xiàn)代機(jī)械工自動(dòng)化控制技術(shù)和智能化機(jī)器的廣泛應(yīng)用已經(jīng)成為現(xiàn)代機(jī)械工業(yè)發(fā)展的一種必然趨勢(shì)，現(xiàn)在不僅對(duì)傳統(tǒng)機(jī)械工業(yè)的高、大、業(yè)發(fā)展的一種必然趨勢(shì)，現(xiàn)在不僅對(duì)傳統(tǒng)機(jī)械工業(yè)的高、大、精、尖設(shè)備的生產(chǎn)離不開機(jī)電一體化技術(shù)，成套機(jī)械設(shè)備的自精、尖設(shè)備的生產(chǎn)離不開機(jī)電一體化技術(shù)，成套機(jī)械設(shè)備的自動(dòng)化、柔性化離不開機(jī)電一體化技術(shù)，而且就是對(duì)已有的關(guān)鍵動(dòng)化、柔性化離不開機(jī)電一體化技術(shù)，而且就是對(duì)已有的關(guān)鍵的機(jī)械設(shè)備的更新和改造也離不開機(jī)電一體化技術(shù)。的機(jī)械設(shè)備的更新和改造也離不開機(jī)電一體化技術(shù)。 由此可見：機(jī)電一體化技術(shù)已成為實(shí)現(xiàn)機(jī)械工業(yè)高效、自由此可見：

38、機(jī)電一體化技術(shù)已成為實(shí)現(xiàn)機(jī)械工業(yè)高效、自動(dòng)化和柔性化的關(guān)鍵所在。動(dòng)化和柔性化的關(guān)鍵所在。 目前由于國(guó)際上機(jī)電一體化產(chǎn)品的大量涌現(xiàn)，這就使得目前由于國(guó)際上機(jī)電一體化產(chǎn)品的大量涌現(xiàn)，這就使得了機(jī)械產(chǎn)品的性能發(fā)生了質(zhì)的飛躍，從而也使人機(jī)關(guān)系發(fā)生了機(jī)械產(chǎn)品的性能發(fā)生了質(zhì)的飛躍，從而也使人機(jī)關(guān)系發(fā)生了根本性的變化。機(jī)械設(shè)備由原來的功能單一主要靠人工操了根本性的變化。機(jī)械設(shè)備由原來的功能單一主要靠人工操作已經(jīng)發(fā)展到了現(xiàn)在能夠自動(dòng)檢測(cè)有關(guān)參數(shù)、自動(dòng)進(jìn)行數(shù)據(jù)作已經(jīng)發(fā)展到了現(xiàn)在能夠自動(dòng)檢測(cè)有關(guān)參數(shù)、自動(dòng)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理、自動(dòng)顯示、自動(dòng)保護(hù)、故障診斷以及自行調(diào)節(jié)和自動(dòng)處理、自動(dòng)顯示、自動(dòng)保護(hù)、故障診斷以及自行調(diào)節(jié)和自

39、動(dòng)控制等多功能和全自動(dòng)的操作?？刂频榷喙δ芎腿詣?dòng)的操作。 因此，這就對(duì)于我們這些從事機(jī)械設(shè)備設(shè)計(jì)的工程技術(shù)因此，這就對(duì)于我們這些從事機(jī)械設(shè)備設(shè)計(jì)的工程技術(shù)人員提出了更高的要求，除了具備機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)這一基本的人員提出了更高的要求，除了具備機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)這一基本的技能外，還必須要對(duì)機(jī)電一體化的一些共性關(guān)鍵技術(shù)，如檢技能外，還必須要對(duì)機(jī)電一體化的一些共性關(guān)鍵技術(shù)，如檢測(cè)傳感技術(shù)、信息處理技術(shù)、自動(dòng)控制技術(shù)、伺服傳動(dòng)技術(shù)、測(cè)傳感技術(shù)、信息處理技術(shù)、自動(dòng)控制技術(shù)、伺服傳動(dòng)技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、系統(tǒng)總體技術(shù)等有所了解。也就是說，在某精密機(jī)械技術(shù)、系統(tǒng)總體技術(shù)等有所了解。也就是說，在某種條件下，機(jī)械設(shè)備的電氣

40、設(shè)計(jì)和電氣安裝等工作應(yīng)該由機(jī)種條件下，機(jī)械設(shè)備的電氣設(shè)計(jì)和電氣安裝等工作應(yīng)該由機(jī)械設(shè)計(jì)人員來完成，換句話說：我們從事機(jī)械設(shè)備設(shè)計(jì)人員械設(shè)計(jì)人員來完成，換句話說：我們從事機(jī)械設(shè)備設(shè)計(jì)人員應(yīng)成為機(jī)電一體化的人才。因此，我們的這門課程是在這樣應(yīng)成為機(jī)電一體化的人才。因此，我們的這門課程是在這樣的背景下開設(shè)的。的背景下開設(shè)的。傳統(tǒng)觀點(diǎn)傳統(tǒng)觀點(diǎn) 機(jī)電系統(tǒng)就是指以電動(dòng)機(jī)（交流電機(jī)、直流電機(jī)）為原動(dòng)機(jī)，通過傳機(jī)電系統(tǒng)就是指以電動(dòng)機(jī)（交流電機(jī)、直流電機(jī)）為原動(dòng)機(jī)，通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)工作機(jī)構(gòu)（或執(zhí)行機(jī)構(gòu)）完成一定生產(chǎn)任務(wù)的系統(tǒng)。動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)工作機(jī)構(gòu)（或執(zhí)行機(jī)構(gòu)）完成一定生產(chǎn)任務(wù)的系統(tǒng)?，F(xiàn)代觀點(diǎn)現(xiàn)代觀點(diǎn) 它是指系統(tǒng)中

41、的動(dòng)力部分是電氣的，經(jīng)過電氣系統(tǒng)與工藝過程或被控它是指系統(tǒng)中的動(dòng)力部分是電氣的，經(jīng)過電氣系統(tǒng)與工藝過程或被控對(duì)象相聯(lián)系的是機(jī)械。機(jī)械與電氣動(dòng)力相結(jié)合的系統(tǒng)是機(jī)電系統(tǒng)。當(dāng)這一對(duì)象相聯(lián)系的是機(jī)械。機(jī)械與電氣動(dòng)力相結(jié)合的系統(tǒng)是機(jī)電系統(tǒng)。當(dāng)這一系統(tǒng)中融合了檢測(cè)顯示、自動(dòng)控制等技術(shù)后自然成為了機(jī)電一體化系統(tǒng)。系統(tǒng)中融合了檢測(cè)顯示、自動(dòng)控制等技術(shù)后自然成為了機(jī)電一體化系統(tǒng)。 因此，從廣泛的意義上說，現(xiàn)代的機(jī)電系統(tǒng)，必然將是一個(gè)機(jī)電因此，從廣泛的意義上說，現(xiàn)代的機(jī)電系統(tǒng)，必然將是一個(gè)機(jī)電一體化系統(tǒng)，現(xiàn)代的機(jī)電產(chǎn)品也應(yīng)該成為機(jī)電一體化產(chǎn)品。一體化系統(tǒng)，現(xiàn)代的機(jī)電產(chǎn)品也應(yīng)該成為機(jī)電一體化產(chǎn)品。機(jī)電一體化的含義、

42、機(jī)電一體化技術(shù)及機(jī)電一體化產(chǎn)品的基本概念和機(jī)電一體化的含義、機(jī)電一體化技術(shù)及機(jī)電一體化產(chǎn)品的基本概念和組成組成。機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)機(jī)械系統(tǒng)構(gòu)成、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及執(zhí)行機(jī)械的選型與設(shè)計(jì)和機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)模型及傳遞函數(shù)機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)模型及傳遞函數(shù) 如何繪制機(jī)電系統(tǒng)原理圖？如何建立機(jī)電系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)方程及傳遞函數(shù)等。機(jī)電傳動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)機(jī)電傳動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì) 檢測(cè)傳感知識(shí)檢測(cè)傳感知識(shí) 人機(jī)與機(jī)電接口知識(shí)人機(jī)與機(jī)電接口知識(shí) 連續(xù)性生產(chǎn)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)控制連續(xù)性生產(chǎn)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)控制 電液伺服系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)分析與仿真電液伺服系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)分析與仿真 液壓伺服控制系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)分析與仿真，重點(diǎn)研究動(dòng)態(tài)分析與仿真的意義方法、模型建立、基于MATLAB仿真工具箱SIMULINK的實(shí)現(xiàn)和實(shí)際科研例子。 機(jī)電傳動(dòng)