2018-2019年度廣東省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃“激光與增材制造”重大科技專(zhuān)項(xiàng)申報(bào)條件、時(shí)間、流程

1、2018-2019年度廣東省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃“激光與增材制造”重大科技專(zhuān)項(xiàng)申報(bào)條件、時(shí)間、流程申報(bào)單位申報(bào)單位主要為廣東省內(nèi)注冊(cè)的創(chuàng)新主體，包括科研院所、高校、企事業(yè)單位和行業(yè)組織等；鼓勵(lì)港澳地區(qū)高校院所作為牽頭單位或獨(dú)立申報(bào)；歡迎全國(guó)具備相應(yīng)條件和能力的企事業(yè)單位申報(bào)，項(xiàng)目評(píng)審與立項(xiàng)過(guò)程按照相關(guān)規(guī)定與廣東省內(nèi)單位平等對(duì)待。鼓勵(lì)以企業(yè)為主體，產(chǎn)學(xué)研結(jié)合，聯(lián)合相關(guān)優(yōu)勢(shì)單位進(jìn)行申報(bào)。如企業(yè)作為牽頭單位，必須是高新技術(shù)企業(yè)或大型龍頭骨干企業(yè)，建有研發(fā)機(jī)構(gòu)，在本領(lǐng)域擁有國(guó)家級(jí)、省部級(jí)重大創(chuàng)新平臺(tái)，且以本領(lǐng)域領(lǐng)軍人物作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，項(xiàng)目總投入中自籌經(jīng)費(fèi)一般不少于70%。省外單位牽頭申報(bào)的，與省內(nèi)單位公平

2、競(jìng)爭(zhēng)，擇優(yōu)納入科技計(jì)劃項(xiàng)目庫(kù)中管理；入庫(kù)的項(xiàng)目在滿(mǎn)足吸納廣東單位參與到項(xiàng)目研發(fā)中（承擔(dān)的工作量不少于30%）、在廣東注冊(cè)落戶(hù)或團(tuán)隊(duì)加入廣東省內(nèi)單位、科研成果向廣東單位轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化等條件之一后，正式列入省級(jí)科技計(jì)劃，撥付項(xiàng)目資金。不得申報(bào)項(xiàng)目情況1項(xiàng)目負(fù)責(zé)人或企業(yè)法人有廣東省級(jí)科技計(jì)劃項(xiàng)目3項(xiàng)以上（含3項(xiàng)）未完成結(jié)題的或有項(xiàng)目逾期一年未結(jié)題的（平臺(tái)類(lèi)、普惠性政策類(lèi)、后補(bǔ)助類(lèi)項(xiàng)目除外）；2在省級(jí)財(cái)政專(zhuān)項(xiàng)資金審計(jì)、檢查過(guò)程中發(fā)現(xiàn)重大違規(guī)行為的；3同一項(xiàng)目通過(guò)變換課題名稱(chēng)等方式進(jìn)行多頭申報(bào)的；高企云15省內(nèi)單位項(xiàng)目未經(jīng)主管部門(mén)組織推薦的；6有嚴(yán)重失信行為記錄和相關(guān)社會(huì)領(lǐng)域信用“黑名單”記錄。申報(bào)方式符合申

3、報(bào)條件的企事業(yè)單位通過(guò)“廣東省政務(wù)服務(wù)網(wǎng)”或“省科技廳陽(yáng)光政務(wù)平臺(tái)”提交有關(guān)資料進(jìn)行申報(bào)。申報(bào)項(xiàng)目專(zhuān)題一：高性能器件、關(guān)鍵部件（專(zhuān)題編號(hào)：0904）項(xiàng)目1：工業(yè)化皮秒、飛秒超短脈沖激光器研究?jī)?nèi)容：針對(duì)微電子學(xué)和消費(fèi)類(lèi)電子產(chǎn)品等領(lǐng)域高速高精細(xì)激光、復(fù)雜微結(jié)構(gòu)制造對(duì)“冷加工”激光光源的需求，開(kāi)展工業(yè)化皮秒、飛秒超短脈沖激光技術(shù)研究并開(kāi)發(fā)相應(yīng)激光器及器件（芯片）?？己酥笜?biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。皮秒激光器：平均功率:120W1MHz；波長(zhǎng):1064nm；重復(fù)頻率:50kHz1MHz；脈沖寬度:510ps；脈沖能量：M100|jJ1MHz;功率穩(wěn)定RMS）:<1.5%；光束質(zhì)

4、量M2<1.3。飛秒激光器平均功率:50W500kHz波長(zhǎng):1064nm重復(fù)頻率:50kHz1MHz；脈沖寬度小于1.0ps；脈沖能量：M100|jJ500kHz;功率穩(wěn)定（RMS）:<1.5%；高企云#1高企云（）站式高新技術(shù)企業(yè)培育平臺(tái)f光束質(zhì)量:M2<1.3O項(xiàng)目執(zhí)行期內(nèi)完成激光器(整機(jī))銷(xiāo)售100臺(tái)以上，產(chǎn)值1.5億以上。支持方式與強(qiáng)度：采用競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審、無(wú)償資助方式；本項(xiàng)目研發(fā)經(jīng)費(fèi)省財(cái)政資助部分不超過(guò)人民幣2000萬(wàn)元，具體資助額度根據(jù)預(yù)算財(cái)務(wù)評(píng)審確定。項(xiàng)目2：工業(yè)化大功率光纖激光器研究?jī)?nèi)容：針對(duì)快速精密激光直接成形、厚板激光切割、高速激光焊接等增材制造與激光制造對(duì)大

5、功率激光的需求，基于國(guó)產(chǎn)光纖材料及相關(guān)核心器件，開(kāi)展工業(yè)化大功率光纖激光技術(shù)研究，開(kāi)發(fā)相應(yīng)激光器，并開(kāi)展示范應(yīng)用。考核指標(biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。研制功率M3000W、光束質(zhì)量M2W1.2的長(zhǎng)壽命單模光纖激光器；研制功率M2000W、光束質(zhì)量M2W1.2、線(xiàn)寬WIOGHz的窄線(xiàn)寬單模光纖激光器；研制功率為30kW的多模輸出、光束輸出能量分布均勻的高可靠光纖激光器。研制滿(mǎn)足增材制造和激光制造過(guò)程中的實(shí)時(shí)狀態(tài)監(jiān)測(cè)、激光能量控制、安全保護(hù)等大功率激光器功能模塊，產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。支持方式與強(qiáng)度：采用競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審、無(wú)償資助方式；本項(xiàng)目研發(fā)經(jīng)費(fèi)省財(cái)政資助部分不超過(guò)人民幣2000萬(wàn)元，具體資

6、助額度根據(jù)預(yù)算財(cái)務(wù)評(píng)審確定。項(xiàng)目3：大功率電子槍及其高精度掃描聚集系統(tǒng)研究?jī)?nèi)容：F應(yīng)用于粉末床電子束選區(qū)熔化增材制造的大功率電子槍及其高精度掃描聚F集系統(tǒng)、高壓逆變電源等，建立國(guó)產(chǎn)核心零部件的研制、生產(chǎn)和應(yīng)用體系，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵零部件自主研發(fā)，提升咼端增材制造裝備的創(chuàng)新能力和國(guó)產(chǎn)化水平。考核指標(biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。研制出大功率高精度數(shù)字式掃描電子槍系統(tǒng)，單槍功率36kW、單槍高精度掃描尺寸320mm以上，電子束斑直徑WlOOum,掃描定位精度好于50)am以上、高壓逆變電源穩(wěn)定度小于萬(wàn)分之一，電子槍系統(tǒng)無(wú)故障工作時(shí)間大于300小時(shí)，技術(shù)、器件均應(yīng)用于相應(yīng)的國(guó)產(chǎn)增材制造裝備，展

7、示出不低于同類(lèi)進(jìn)口裝備的性能指標(biāo)，產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。支持方式與強(qiáng)度：采用競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審、無(wú)償資助方式；本項(xiàng)目研發(fā)經(jīng)費(fèi)省財(cái)政資助部分不超過(guò)人民幣2000萬(wàn)元，具體資助額度根據(jù)預(yù)算財(cái)務(wù)評(píng)審確定。項(xiàng)目4：高分辨率/大幅面3D打印高分辨率紫外曝光機(jī)芯片及核心部件研究及產(chǎn)業(yè)化研究?jī)?nèi)容：針對(duì)樹(shù)脂、陶瓷漿料等光固化材料快速成形3D打印制造，開(kāi)展核心部件關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，突破國(guó)外技術(shù)封鎖，引領(lǐng)國(guó)際技術(shù)方向，拓展3D打印在微納機(jī)電系統(tǒng)、生物醫(yī)療、微納傳感器、微流控制器、生物芯片等方面應(yīng)用?？己酥笜?biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。開(kāi)發(fā)高分辨率紫外LCOS芯片及大功率紫外LED光源，芯片分辨率M3000萬(wàn)像素，反射

8、率M70%，紫外高企云30.19W數(shù)值孔徑W0.23，輸出光功率大于10W。項(xiàng)目期間申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利5件以上，完成產(chǎn)值3000萬(wàn)以上，產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。支持方式與強(qiáng)度：采用競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審、無(wú)償資助方式；本項(xiàng)目研發(fā)經(jīng)費(fèi)省財(cái)政資助部分不超過(guò)人民幣1000萬(wàn)元，具體資助額度根據(jù)預(yù)算財(cái)務(wù)評(píng)審確定。專(zhuān)題二：重大裝備與應(yīng)用系統(tǒng)（專(zhuān)題編號(hào)：0905）項(xiàng)目2：?jiǎn)J性能增減材復(fù)合制造裝備研究?jī)?nèi)容：針對(duì)現(xiàn)有增材制造技術(shù)難以兼顧高效率、高質(zhì)量、高精度、低成本的難題，在增材制造（如激光、等離子熔覆等）過(guò)程中復(fù)合單一或者多種方式（激光鍛造或機(jī)械加工減材技術(shù)等），提高成形件的質(zhì)量與精度，降低內(nèi)應(yīng)力、減小或消除內(nèi)部缺陷、細(xì)化材料晶粒。通

9、過(guò)增材制造技術(shù)與復(fù)合的單一或者多種技術(shù)有機(jī)融合，研發(fā)航空航天、汽車(chē)、消費(fèi)電子和醫(yī)療器械等領(lǐng)域復(fù)雜零件的高性能復(fù)合增材制造工藝技術(shù)和相匹配的材料體系，開(kāi)發(fā)復(fù)合增材制造裝備，實(shí)現(xiàn)過(guò)程監(jiān)控與質(zhì)量回溯，探索增材與其他技術(shù)復(fù)合的相互影響機(jī)理、控形控性規(guī)律，以及協(xié)同、集成調(diào)控方法，建立復(fù)合增材制造策略?？己酥笜?biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。將高能束增材制造技術(shù)與單一或者多種方式（激光鍛造或機(jī)械加工減材技術(shù)）相結(jié)合，研發(fā)復(fù)合增材制造裝備、工藝和與之相匹配的材料體系（金屬粉或金屬絲），克服單一增材制造精度和表面光潔度差、內(nèi)部缺陷/內(nèi)應(yīng)力嚴(yán)重等缺點(diǎn)，成形尺寸大于高企云51高企云（）站式高新技術(shù)企業(yè)

10、培育平臺(tái)500mmx500mmx500mm,成形效率超過(guò)300cm3/h,成形表面粗糙度Ra小于F2|am,成形尺寸精度20|am/100mm,在不少于3類(lèi)5件典型樣品中得到應(yīng)用，且工件性能達(dá)到并超過(guò)傳統(tǒng)制造技術(shù)水平，實(shí)現(xiàn)基于過(guò)程監(jiān)控的質(zhì)量回溯。申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利8件以上，建立產(chǎn)品技術(shù)規(guī)范與工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。支持方式與強(qiáng)度：采用競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審、無(wú)償資助方式；本項(xiàng)目研發(fā)經(jīng)費(fèi)省財(cái)政資助部分不超過(guò)人民幣2000萬(wàn)元，具體資助額度根據(jù)預(yù)算財(cái)務(wù)評(píng)審確定。項(xiàng)目2：無(wú)熱源多噴頭3D打印復(fù)合制造系統(tǒng)研究?jī)?nèi)容：面向精密復(fù)雜大批量金屬零部件的快速制造，研究無(wú)熱源的多噴頭打印粘結(jié)，結(jié)合后期的高溫?zé)Y(jié)工藝的復(fù)合制造技術(shù)，

11、研究多噴頭協(xié)同路徑算法與后處理技術(shù)，及材料粘結(jié)復(fù)合高溫?zé)Y(jié)的尺寸收縮率?？己酥笜?biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)?？沙尚尾簧儆?00mm*300mm的復(fù)雜樣件，成形中實(shí)現(xiàn)3000個(gè)以上噴嘴的穩(wěn)定均勻噴射高粘性液體材料，單噴嘴最小直徑25um，打印頭最高工作頻率M10KHz,無(wú)堵塞噴射高粘性液體時(shí)間不小于2h，具有快速自動(dòng)清洗功能，成形樣件致密度99%以上，成形尺寸精度小于0.1mm/100mm,產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。支持方式與強(qiáng)度：采用競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審、無(wú)償資助方式；本項(xiàng)目研發(fā)經(jīng)費(fèi)省財(cái)政資助部分不超過(guò)人民幣2000萬(wàn)元，具體資助額度根據(jù)預(yù)算財(cái)務(wù)評(píng)審確定。項(xiàng)目3：復(fù)雜構(gòu)件的激光清洗/刻蝕/拋光等智能

12、制造裝備研究?jī)?nèi)容：高企云#高企云()站式高新技術(shù)企業(yè)培育平臺(tái)，研究多脈寬激光合束及其高效加工方高企云9法與控制策略；開(kāi)發(fā)智能控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)振鏡與多軸運(yùn)動(dòng)同步控制，具備典型的光機(jī)電協(xié)同控制功能。開(kāi)發(fā)激光脈沖調(diào)制、光束穩(wěn)定性控制、加工軌跡規(guī)劃、多軸運(yùn)動(dòng)協(xié)同、光機(jī)電協(xié)調(diào)控制、加工過(guò)程在線(xiàn)監(jiān)測(cè)與補(bǔ)償?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)；研究多光束并行加工技術(shù)；開(kāi)發(fā)面向復(fù)雜結(jié)構(gòu)零件的微結(jié)構(gòu)制造、精密切割、清洗、表面拋光等裝備?？己酥笜?biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。針對(duì)清洗、刻蝕、拋光工藝，研制2套激光清洗，刻蝕和拋光激光復(fù)合加工裝備。激光清洗用千瓦級(jí)脈沖光纖激光器，平均功率大于1000W，最高脈沖能量不低于50mJ,

13、脈沖寬度100-150ns，重復(fù)頻率不低于20kHz。復(fù)合加工裝備可實(shí)現(xiàn)，金屬構(gòu)件清洗效率大于40m2/h,清洗質(zhì)量不低于Sa3級(jí)；激光刻蝕精度±0.002mm；激光拋光后表面粗糙WRa1.0,加工效率M200cm2/h;并進(jìn)行典型工程應(yīng)用示范。支持方式與強(qiáng)度：采用競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審、無(wú)償資助方式；本項(xiàng)目研發(fā)經(jīng)費(fèi)省財(cái)政資助部分不超過(guò)人民幣2000萬(wàn)元，具體資助額度根據(jù)預(yù)算財(cái)務(wù)評(píng)審確定。項(xiàng)目4:超高速線(xiàn)光斑激光3D打印裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化研究?jī)?nèi)容：針對(duì)目前3D打印存在工時(shí)長(zhǎng)、制造成本高等問(wèn)題，研發(fā)光學(xué)整形技術(shù)和光源技術(shù)，開(kāi)發(fā)高功率高均勻性的線(xiàn)光斑光學(xué)整形系統(tǒng)、適合多種不同材料特性的激光光源模塊、超

14、高速線(xiàn)光斑3D打印可調(diào)制控制系統(tǒng)、超高速線(xiàn)光斑3D打印工藝等，形成一套高均勻性、高能量密度的線(xiàn)光斑激光系統(tǒng)，高倍率提升打印考核指標(biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。開(kāi)發(fā)咼效率、咼功率、咼均勻性線(xiàn)光斑光學(xué)整形系統(tǒng)，形成高分辨率的線(xiàn)陣激光光源，線(xiàn)陣上每個(gè)點(diǎn)為50-100|am,100-500W功率輸出，每個(gè)打印單元可實(shí)時(shí)控制，獨(dú)立工作，線(xiàn)光斑長(zhǎng)達(dá)可根據(jù)需求進(jìn)行配置，最高達(dá)到目前傳統(tǒng)3D打印光斑的數(shù)十倍長(zhǎng)度，光斑尺寸可達(dá)5-10毫米，高倍率提升3D打印效率，成型效率達(dá)到500cm3/h以上，實(shí)現(xiàn)大尺寸高精度工件的快速分能加工。從紫外到近紅外開(kāi)發(fā)適合多種不同材料特性的激光光源模塊，實(shí)現(xiàn)高可靠

15、性、高效率、高精度金屬材料與非金屬材料3D打印，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)核心關(guān)鍵技術(shù)，申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利10件以上，軟件著作權(quán)2項(xiàng)，形成新方法及新工藝2項(xiàng)以上，超高速、線(xiàn)光斑激光3D打印裝備實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。支持方式與強(qiáng)度：采用競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審、無(wú)償資助方式；本項(xiàng)目研發(fā)經(jīng)費(fèi)省財(cái)政資助部分不超過(guò)人民幣3000萬(wàn)元，具體資助額度根據(jù)預(yù)算財(cái)務(wù)評(píng)審確定。專(zhuān)題三：重大應(yīng)用示范（專(zhuān)題編號(hào)：0906）項(xiàng)目1：高性能大型金屬構(gòu)件高效高精度增材制造與應(yīng)用示范研究?jī)?nèi)容：以鈦合金、高強(qiáng)鋼、高強(qiáng)鋁合金、高溫合金等高性能大型復(fù)雜金屬構(gòu)件高能束熔化沉積增材制造過(guò)程為主線(xiàn)，開(kāi)展高效高精度制造工藝研究。研究激光/等離子增材制造裝備的優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，增材制

16、造過(guò)程實(shí)時(shí)可視監(jiān)控技術(shù)，大跨度F高精度載能束/數(shù)控工作臺(tái)或機(jī)器手的聯(lián)合運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)，為實(shí)現(xiàn)高性能大型復(fù)F雜金屬構(gòu)件增材制造高效高精度制造裝備提供工藝基礎(chǔ)?？己酥笜?biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。實(shí)現(xiàn)鈦合金、高強(qiáng)合金鋼、高強(qiáng)鋁合金、高溫合金等4類(lèi)金屬、10種以上規(guī)格大型復(fù)雜關(guān)鍵結(jié)構(gòu)的高效高精度增材制造，制件單方向最大尺度達(dá)1000mm以上、變形控制在0.3mm/100mm以?xún)?nèi)，成形效率提高至500cm3/h以上，連續(xù)工作時(shí)間不低于240小時(shí)，成形過(guò)程可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度、幾何與氣氛等關(guān)鍵參數(shù)。支持方式與強(qiáng)度：采用競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審、無(wú)償資助方式；本項(xiàng)目研發(fā)經(jīng)費(fèi)省財(cái)政資助部分不超過(guò)人民幣2500萬(wàn)元

17、，具體資助額度根據(jù)預(yù)算財(cái)務(wù)評(píng)審確定。項(xiàng)目2：生物醫(yī)療植入物精確增材制造應(yīng)用示范研究?jī)?nèi)容：突破金屬鉭或非金屬聚醚醚酮(PEEK)材料增材精確制造的核心技術(shù)和裝備研制，掌握鉭或PEEK的核心技術(shù)及其裝備的研發(fā)技術(shù)，研究骨植入物仿生結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)與增材制造技術(shù)，改善/提高鉭或PEEK材料生物活性/促成骨性能，并在臨床上形成應(yīng)用示范?？己酥笜?biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。掌握組織工程支架復(fù)雜仿生結(jié)構(gòu)和定制式骨科植入物的設(shè)計(jì)以及增材制造工藝與裝備開(kāi)發(fā)等關(guān)鍵技術(shù)，研究提高3D打印植入體生物活性關(guān)鍵技術(shù)及其在組織修復(fù)及功能重建等方面的應(yīng)用。鉭成形尺寸范圍不小于200mm*200mm*200mm

18、范圍，金屬鉭氧含量11高企云()站式高新技術(shù)企業(yè)培育平臺(tái)；PEEK材料成形尺寸范圍300mm*300mm*300mm以上。進(jìn)入臨床應(yīng)用，從CT數(shù)模到臨床可實(shí)現(xiàn)72小時(shí)快速響應(yīng)，推動(dòng)定制式骨科植入物在金屬材料和高分子材料的發(fā)展，促使生物設(shè)計(jì)/制造方法的革新。支持方式與強(qiáng)度：采用競(jìng)爭(zhēng)性評(píng)審、無(wú)償資助方式；鉭和PEEK方向各支持1項(xiàng)，完成相應(yīng)指標(biāo)，本項(xiàng)目每項(xiàng)研發(fā)經(jīng)費(fèi)省財(cái)政資助部分不超過(guò)人民幣2000萬(wàn)元，具體資助額度根據(jù)預(yù)算財(cái)務(wù)評(píng)審確定。項(xiàng)目3：復(fù)雜構(gòu)件表面激光精細(xì)制造工藝與裝備研究?jī)?nèi)容：面向國(guó)家重大需求及產(chǎn)業(yè)化需求，針對(duì)航空航天復(fù)雜構(gòu)件、半導(dǎo)體功率器件、超高熱流密度組件熱沉等硬脆材料復(fù)雜結(jié)構(gòu)的多功

19、能制造，開(kāi)展激光精細(xì)加工共性基礎(chǔ)研究，通過(guò)新方法與新工藝攻關(guān)來(lái)突破激光高端精細(xì)制造裝備與功能部件的核心技術(shù)，研制硬脆材料表面復(fù)雜結(jié)構(gòu)的激光高效精細(xì)去除加工專(zhuān)用裝備，達(dá)到國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品水平，提升國(guó)產(chǎn)激光制造技術(shù)與裝備的競(jìng)爭(zhēng)力。考核指標(biāo)：自主研發(fā)，核心部件、材料具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。開(kāi)發(fā)碳化硅、氮化鎵、氧化鋁、金剛石等硬脆材料的激光精細(xì)加工關(guān)鍵共性技術(shù)與高效精密去除專(zhuān)用裝備，微結(jié)構(gòu)加工尺寸范圍0.05mm-0.8mm；深徑/槽寬比大于15:1；加工精度±5m；微結(jié)構(gòu)無(wú)表面裂紋、氧化、沉積現(xiàn)象；激光加工裝備：X/Y/Z軸定位精度5m，重復(fù)定位精度2|jm；A/C軸定位精度W8"，重復(fù)定位精度W4"；功率穩(wěn)定性W5%10min,光束指向穩(wěn)定性WO.Imrad；研發(fā)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)加工控制系統(tǒng),支持視覺(jué)定位、機(jī)械溫度誤差補(bǔ)償、狀態(tài)