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文檔簡介

1、、濺射、濺射 電子束蒸發(fā)系統電子束蒸發(fā)系統 1. 高壓電源系統高壓電源系統 2. 真空系統真空系統 3. 電子加速聚焦偏轉系統電子加速聚焦偏轉系統 4. 工藝腔工藝腔 5. 水冷坩鍋系統（通常為帶旋轉的四坩鍋）水冷坩鍋系統（通常為帶旋轉的四坩鍋） 6. 載片架載片架 磁控濺射系統磁控濺射系統 電遷徙電遷徙 1. 提高歐姆接觸的可靠性；提高歐姆接觸的可靠性； 2. 消除淺結材料擴散或結穿刺；消除淺結材料擴散或結穿刺； 3. 阻擋金屬雜質的擴散（如銅擴散）阻擋金屬雜質的擴散（如銅擴散） 1. 有很好的阻擋擴散特性有很好的阻擋擴散特性 2. 低電阻率具有很低的歐姆接觸電阻低電阻率具有很低的歐姆接觸電

2、阻 3. 與半導體和金屬的粘附性好，接觸良好與半導體和金屬的粘附性好，接觸良好 4. 抗電遷徙抗電遷徙 5. 膜很薄且高溫下穩(wěn)定性好膜很薄且高溫下穩(wěn)定性好 6. 抗腐蝕和氧化抗腐蝕和氧化 1. TiTiN 2. TaTaN（主要用于銅布線）（主要用于銅布線） 硅化物是在高溫下難熔金屬（通常是鈦硅化物是在高溫下難熔金屬（通常是鈦Ti、鈷、鈷 Co）與硅反應形成的金屬化合物（如）與硅反應形成的金屬化合物（如TiSi2、 CoSi2 ） 1. 降低接觸電阻。降低接觸電阻。 2. 作為金屬與有源層的粘合劑。作為金屬與有源層的粘合劑。 1. 電阻率低（電阻率低（Ti：60 ， TiSi2 ：13 17 ） 2. 高溫穩(wěn)定性好，抗電遷徙性能好高溫穩(wěn)定性好，抗電遷徙性能好 3. 與硅柵工藝的兼容性好與硅柵工藝的兼容性好 1. 硅化鈦硅化鈦TiSi2 2. 硅化鈷硅化鈷CoSi2 （0.25um及以下）及以下）

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