ITO鍍膜交流報(bào)告

1、STN 事事業(yè)業(yè)部部1/50STN生產(chǎn)處生產(chǎn)處B班（班（QQ406433680）2009. 08. 08STN 事事業(yè)業(yè)部部2/50J/CJ/C作業(yè)時(shí)序及注意事項(xiàng)作業(yè)時(shí)序及注意事項(xiàng)STN 事事業(yè)業(yè)部部3/50 J/CJ/C時(shí)人員分工時(shí)人員分工蘭玉高蘭玉高蘭蘭玉玉高高1、人員分工2、確認(rèn)主操工藝參數(shù)輸入正確性3、確認(rèn)產(chǎn)品規(guī)格書，將要求事項(xiàng)傳達(dá)給每個(gè)員工4、檢查每個(gè)人工作完成情況羅羅斌斌1、更換框架2、計(jì)算轉(zhuǎn)產(chǎn)時(shí)間，通知凈化間轉(zhuǎn)產(chǎn)時(shí)間及周期，控制投入量3、工藝參數(shù)設(shè)定及調(diào)整及良品投入數(shù)任任其其盛盛1、確認(rèn)不良留樣與計(jì)數(shù)報(bào)表一致性2、及時(shí)輸入生產(chǎn)報(bào)表及鍍膜轉(zhuǎn)產(chǎn)3、跟蹤Dummy數(shù)據(jù)及時(shí)反饋主操STN

2、 事事業(yè)業(yè)部部4/50 J/CJ/C時(shí)人員分工時(shí)人員分工蘭玉高蘭玉高朱朱建建明明彭彭軍軍太太張張躍躍1、更換框架2、準(zhǔn)備下機(jī)種所需的包材1、包裝產(chǎn)品及生產(chǎn)結(jié)束打包入庫(kù)2、準(zhǔn)備下機(jī)種所需的包材3、打印下機(jī)種所需的標(biāo)簽4、當(dāng)需要預(yù)熱下個(gè)機(jī)種框架時(shí)，預(yù)熱框架1、包裝產(chǎn)品及生產(chǎn)結(jié)束打包入庫(kù)2、將準(zhǔn)備好的包材移送到現(xiàn)場(chǎng)3、當(dāng)需要預(yù)熱下個(gè)機(jī)種框架時(shí)，預(yù)熱框架STN 事事業(yè)業(yè)部部5/50 具體實(shí)施具體實(shí)施根據(jù)生產(chǎn)進(jìn)展情況，根據(jù)生產(chǎn)進(jìn)展情況，必須提前必須提前做好準(zhǔn)備工作做好準(zhǔn)備工作提前準(zhǔn)備好打印設(shè)備提前準(zhǔn)備好打印設(shè)備測(cè)試溶液提前升溫測(cè)試溶液提前升溫 J/CJ/C準(zhǔn)備準(zhǔn)備STN 事事業(yè)業(yè)部部6/50 J/CJ/

3、C時(shí)間縮短作業(yè)流程時(shí)間縮短作業(yè)流程項(xiàng)項(xiàng)目目?jī)?nèi)內(nèi) 容容責(zé)責(zé)任人任人更更換換框架框架1、提前、提前計(jì)計(jì)算好上算好上個(gè)個(gè)品品種種最后一最后一個(gè)個(gè)框架框架號(hào)號(hào)良品良品羅羅斌斌2、提前、提前10分分鐘將預(yù)熱鐘將預(yù)熱好的框架移送到好的框架移送到現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)場(chǎng)彭彭軍軍太太3、對(duì)對(duì)最后一最后一個(gè)個(gè)良品后的框架立即良品后的框架立即進(jìn)進(jìn)行更行更換換羅羅斌斌 彭彭軍軍太太STN 事事業(yè)業(yè)部部7/50 J/CJ/C時(shí)間縮短作業(yè)流程時(shí)間縮短作業(yè)流程項(xiàng)項(xiàng)目目?jī)?nèi)內(nèi) 容容責(zé)責(zé)任人任人物物性性調(diào)調(diào)整整1、最后一個(gè)良品框架后面空5個(gè)框架通知凈化間裝載Dummy羅斌2、主操根據(jù)物性是一般規(guī)格，轉(zhuǎn)產(chǎn)時(shí)好控制不需要掛第2次Dummy，在第1

4、個(gè)Dummy后面空4個(gè)框架直接掛良品，如果在靶材末期生產(chǎn)高電阻時(shí)要掛第2次Dummy，特殊機(jī)種要等Dummy數(shù)據(jù)結(jié)果出來后才能通知凈化間裝載良品羅斌3、最后一個(gè)框架良品在哪個(gè)區(qū)開始更改該區(qū)溫度,良品進(jìn)入C9區(qū)更改DC、Ar、周期，羅斌4、第一個(gè)Dummy進(jìn)入C9區(qū)間后，更改冷卻時(shí)間，以最快速度放出Dummy，通過產(chǎn)品顏色估計(jì)膜厚度情況，測(cè)量電阻根據(jù)經(jīng)驗(yàn)作相應(yīng)調(diào)整羅斌5、Dummy品測(cè)量完電阻后送FQA測(cè)量透過率和膜厚度，結(jié)果出來立即反饋主操任其盛6、主操根據(jù)透過率和膜厚度再次作調(diào)整羅斌7、班長(zhǎng)確認(rèn)主操輸入的工藝參數(shù)以及Dummy數(shù)據(jù)結(jié)果，判斷良品需要作哪方面調(diào)整蘭蘭玉高玉高結(jié)結(jié)論論一般機(jī)一般機(jī)

5、種種物性物性轉(zhuǎn)產(chǎn)時(shí)間轉(zhuǎn)產(chǎn)時(shí)間是：是： 10個(gè)個(gè)框架框架*周期周期靶靶材材初、初、末期末期轉(zhuǎn)產(chǎn)轉(zhuǎn)產(chǎn)高高電電阻阻時(shí)間時(shí)間是：是： 16個(gè)個(gè)框架框架*周期周期STN 事事業(yè)業(yè)部部8/50J/CJ/C時(shí)注意事項(xiàng)時(shí)注意事項(xiàng)序序號(hào)號(hào)J/CJ/C時(shí)時(shí)注意事注意事項(xiàng)項(xiàng)責(zé)責(zé)任人任人1J/C更換框架時(shí)，更換框架作業(yè)者要檢查確認(rèn)好框架變形更換框架時(shí)，更換框架作業(yè)者要檢查確認(rèn)好框架變形與否的正常狀態(tài)與否的正常狀態(tài)相相應(yīng)應(yīng)作作業(yè)業(yè)者者2認(rèn)真確認(rèn)產(chǎn)品規(guī)格書認(rèn)真確認(rèn)產(chǎn)品規(guī)格書,特別是特記事項(xiàng)，要讓每個(gè)員工都知特別是特記事項(xiàng)，要讓每個(gè)員工都知道道蘭蘭玉高玉高3根據(jù)產(chǎn)品物性規(guī)格來判斷進(jìn)行的根據(jù)產(chǎn)品物性規(guī)格來判斷進(jìn)行的Dummy

6、次數(shù)，計(jì)算出轉(zhuǎn)次數(shù)，計(jì)算出轉(zhuǎn)產(chǎn)時(shí)間通知清洗和凈化間產(chǎn)時(shí)間通知清洗和凈化間羅羅斌斌4提前計(jì)算好提前計(jì)算好Dummy裝載的框架號(hào)裝載的框架號(hào)羅羅斌斌5Dummy產(chǎn)品進(jìn)入產(chǎn)品進(jìn)入C5區(qū)間通知區(qū)間通知FQA加熱溶液加熱溶液羅羅斌斌STN 事事業(yè)業(yè)部部9/50J/CJ/C時(shí)注意事項(xiàng)時(shí)注意事項(xiàng)序序 號(hào)號(hào)J/CJ/C時(shí)時(shí)注意事注意事項(xiàng)項(xiàng)責(zé)責(zé)任人任人6Dummy產(chǎn)品出來后要通過產(chǎn)品顏色調(diào)整產(chǎn)品出來后要通過產(chǎn)品顏色調(diào)整DC，根據(jù)電阻，根據(jù)電阻調(diào)整溫度，特別時(shí)注意上下電阻情況來調(diào)整理相應(yīng)加熱調(diào)整溫度，特別時(shí)注意上下電阻情況來調(diào)整理相應(yīng)加熱板溫度板溫度羅羅斌斌7高電阻產(chǎn)品如高電阻產(chǎn)品如HIT 80產(chǎn)品至少要掛產(chǎn)品至

7、少要掛2個(gè)個(gè)Dummy，確認(rèn)，確認(rèn)電阻沒問題之后才能裝載良品電阻沒問題之后才能裝載良品羅羅斌斌8根據(jù)經(jīng)驗(yàn)判斷不好生產(chǎn)的特殊機(jī)種要等根據(jù)經(jīng)驗(yàn)判斷不好生產(chǎn)的特殊機(jī)種要等FQA數(shù)據(jù)出來合數(shù)據(jù)出來合格后才能生產(chǎn)格后才能生產(chǎn)羅羅斌斌9良品進(jìn)入鍍膜室后經(jīng)常查看良品進(jìn)入鍍膜室后經(jīng)常查看RGA數(shù)據(jù)波動(dòng)情況數(shù)據(jù)波動(dòng)情況羅羅斌、斌、蘭蘭玉高玉高10良品進(jìn)入良品進(jìn)入Sio2區(qū)間后查看區(qū)間后查看RF反射功率情況，要將反射功反射功率情況，要將反射功率控制在最低率控制在最低羅羅斌、斌、蘭蘭玉高玉高11第一個(gè)框架良品進(jìn)入第一個(gè)框架良品進(jìn)入C9區(qū)后要以最快的時(shí)間放出鍍膜室區(qū)后要以最快的時(shí)間放出鍍膜室（更改冷卻時(shí)間）（更改冷卻

8、時(shí)間）羅羅斌斌STN 事事業(yè)業(yè)部部10/50說明：良品結(jié)束的下一框架鍍膜工序開始更說明：良品結(jié)束的下一框架鍍膜工序開始更換框架，根據(jù)調(diào)整溫度隔換框架，根據(jù)調(diào)整溫度隔4-64-6個(gè)框架掛個(gè)框架掛DUMMYDUMMY關(guān)注：物性、安全、信息傳遞關(guān)注：物性、安全、信息傳遞說明：說明：當(dāng)?shù)谝淮萎?dāng)?shù)谝淮蜠UMMYDUMMY裝載后，間隔裝載后，間隔5 5個(gè)框架時(shí)個(gè)框架時(shí) 裝載第二次裝載第二次DUMMYDUMMY，如果第一次如果第一次DUMMYDUMMY正正 常及時(shí)裝載良品常及時(shí)裝載良品關(guān)注：物性、信息傳遞關(guān)注：物性、信息傳遞說明：說明：先測(cè)量電阻及透光率，當(dāng)該項(xiàng)正常即先測(cè)量電阻及透光率，當(dāng)該項(xiàng)正常即 通知裝

9、載良品，接下來測(cè)量膜厚度通知裝載良品，接下來測(cè)量膜厚度關(guān)注：準(zhǔn)確性、信息傳遞關(guān)注：準(zhǔn)確性、信息傳遞說明：說明：電阻及透光率值正常即裝載良品，電阻及透光率值正常即裝載良品， 不等待膜厚度數(shù)據(jù)出來再裝載不等待膜厚度數(shù)據(jù)出來再裝載關(guān)注：物性、信息傳遞關(guān)注：物性、信息傳遞A A 更換框架更換框架D D 等待時(shí)等待時(shí)C FQAC FQA測(cè)量測(cè)量B B 物性調(diào)整物性調(diào)整J/CJ/C時(shí)序匯總時(shí)序匯總STN 事事業(yè)業(yè)部部11/50時(shí)間時(shí)間 分分鐘鐘 5 51010151520202525責(zé)責(zé)任人任人更更換換框架框架凈凈化班化班長(zhǎng)長(zhǎng)鍍鍍膜班膜班長(zhǎng)長(zhǎng)當(dāng)凈當(dāng)凈化化間間最后一最后一個(gè)個(gè)框架裝框架裝載載完，完，鍍鍍膜立

10、即膜立即開開始更始更換換框架框架物性物性調(diào)調(diào)整整凈凈化班化班長(zhǎng)長(zhǎng)鍍鍍膜班膜班長(zhǎng)長(zhǎng) 第五第五個(gè)個(gè)新框架裝新框架裝載載DUMMY，間間隔隔5個(gè)個(gè)框架裝框架裝載載良品良品FQA測(cè)測(cè)量量FQA人人員員電電阻及透光率正常阻及透光率正常等待等待時(shí)間時(shí)間微微調(diào)參數(shù)將數(shù)調(diào)參數(shù)將數(shù)據(jù)在中心據(jù)在中心值值鍍鍍膜班膜班長(zhǎng)長(zhǎng)密切跟蹤密切跟蹤DUMMY物性情物性情況況品種：品種：S56NL7R-80S56NL7R-80歐姆基準(zhǔn)歐姆基準(zhǔn)時(shí)間：時(shí)間：8 8月月1818日日 靶材壽命的變化會(huì)進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整靶材壽命的變化會(huì)進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整 速度：速度：2.52.5分鐘分鐘12.51057.5J/CJ/C時(shí)物性時(shí)間分解時(shí)物性時(shí)間分解ST

11、N 事事業(yè)業(yè)部部12/50 J/CJ/C異常調(diào)整舉例說明異常調(diào)整舉例說明進(jìn)行2次Dummy，J/C共54分鐘背景：背景：8 8月月1212生產(chǎn)生產(chǎn)S16NL7R-80 HITS16NL7R-80 HIT產(chǎn)品時(shí)，進(jìn)行產(chǎn)品時(shí)，進(jìn)行2 2次次DummyDummy共用時(shí)共用時(shí)5454分鐘分鐘 規(guī)格規(guī)格: 82: 8210 ITO10 ITO膜厚度：膜厚度：32032070 70 透過率：透過率：87.2%87.2% 第1次Dummy溫度：430/560/540DC：2.16第1次Dummy結(jié)果:電阻:85-92上限,上下電阻有超規(guī)B面比A面電阻高膜厚度:274-284有較多的上調(diào)空間,增加DC電阻不會(huì)

12、太明顯下降透過率:88.0%-88.3%,有下調(diào)空間,但增加DC透過率會(huì)下降增加A面:DC:0.03KW增加B面:DC:0.05KW增加溫度:20度,C5區(qū)上下加熱板溫度由560/540-620/340第2次Dummy第2次Dummy結(jié)果:電阻:78-82上下電阻最高86良品按第2次Dummy條件進(jìn)行生產(chǎn)STN 事事業(yè)業(yè)部部13/50確認(rèn)框架是否超出外框底槽確認(rèn)框架是否超出外框底槽J/CJ/C時(shí)更換框架點(diǎn)檢內(nèi)容時(shí)更換框架點(diǎn)檢內(nèi)容確認(rèn)擋板變形、歪斜確認(rèn)擋板變形、歪斜確認(rèn)框架橫桿變形確認(rèn)框架橫桿變形確認(rèn)框架是否凸出外框確認(rèn)框架是否凸出外框STN 事事業(yè)業(yè)部部14/50J/CJ/C時(shí)更換框架點(diǎn)檢內(nèi)容

13、時(shí)更換框架點(diǎn)檢內(nèi)容黃燈和綠燈同時(shí)亮正常黃燈和綠燈同時(shí)亮正常單一綠燈亮說明框單一綠燈亮說明框架沒有擋住光眼架沒有擋住光眼STN 事事業(yè)業(yè)部部15/50T/CT/C作業(yè)時(shí)序及注意事項(xiàng)作業(yè)時(shí)序及注意事項(xiàng)STN 事事業(yè)業(yè)部部16/501、更換、更換A7、A8靶材靶材2、松松C6-C10C6-C10大門螺釘大門螺釘3 3、放、放A A面靶材面靶材內(nèi)面水內(nèi)面水 T/CT/C時(shí)人員分工時(shí)人員分工職長(zhǎng)職長(zhǎng)/班長(zhǎng)班長(zhǎng)蘭蘭玉玉高高朱朱建建明明任任其其盛盛1、更換、更換A5、A6靶材靶材2 2、卸框架、卸框架3 3、拆、拆A A面面ArAr氣氣管管1、更換、更換A3、A4靶材靶材2、卸框架、卸框架3、拆、拆C7、C

14、8區(qū)高真空閥區(qū)高真空閥1、人員分、人員分工工2、更換、更換A1、A2靶材靶材3、松、松A面靶面靶材螺釘材螺釘4、拆、拆C3、C4區(qū)高真空區(qū)高真空閥閥1、更換、更換Sio2靶靶材材2、準(zhǔn)備、準(zhǔn)備工具及工具及消耗品消耗品3、拆、拆C5、C6區(qū)高區(qū)高真空閥真空閥1 1、協(xié)助、協(xié)助A A面面換靶材（抬換靶材（抬靶材拿保護(hù)靶材拿保護(hù)框）框）2 2、生產(chǎn)結(jié)束、生產(chǎn)結(jié)束打包入庫(kù)打包入庫(kù)張張躍躍彭彭軍軍太太陳陳泌泌洲洲B面面A面面STN 事事業(yè)業(yè)部部17/501 1、協(xié)助、協(xié)助B B面換面換靶材（抬靶材靶材（抬靶材拿保護(hù)框）拿保護(hù)框）2 2、將、將ABAB面靶面靶材移送到現(xiàn)場(chǎng)材移送到現(xiàn)場(chǎng)3 3、松、松C6-C

15、10C6-C10大門螺釘大門螺釘 T/CT/C時(shí)人員分工時(shí)人員分工職長(zhǎng)職長(zhǎng)/ /班班長(zhǎng)長(zhǎng)唐唐宏宏林林羅羅斌斌陳陳志志1 1、更換、更換B7B7、B8B8靶材靶材2 2、將、將ABAB面靶材面靶材移送到現(xiàn)場(chǎng)移送到現(xiàn)場(chǎng)3 3、松、松C1-C5C1-C5大門大門螺釘螺釘4 4、松、松B B面靶材螺面靶材螺釘釘1 1、更換、更換B5B5、B6B6靶材靶材2 2、關(guān)閉設(shè)備，、關(guān)閉設(shè)備，充氣充氣3 3、關(guān)閉冷卻水、關(guān)閉冷卻水閥閥4 4、放、放B B面冷卻面冷卻水水1 1、更換、更換B3B3、B B4 4靶材靶材2 2、將、將ABAB面靶面靶材移送到現(xiàn)場(chǎng)材移送到現(xiàn)場(chǎng)3、松、松C1-C5大門螺釘大門螺釘4 4

16、、松、松B B面靶材面靶材螺釘螺釘1 1、更換、更換B1B1、B2B2靶材靶材2 2、協(xié)調(diào)、協(xié)調(diào)B B面靶材更面靶材更換作業(yè)換作業(yè)3 3、拆、拆B(yǎng) B面面ArAr氣管氣管1 1、清潔鍍膜室、清潔鍍膜室2 2、拆、拆ABAB面電源面電源線線喻喻 安安張張來來民民李李鑫鑫源源B面面A面面STN 事事業(yè)業(yè)部部18/50 T/CT/C時(shí)注意事項(xiàng)時(shí)注意事項(xiàng)現(xiàn)象：現(xiàn)象：T/CT/C時(shí)，靶材內(nèi)有積水，造成靶時(shí)，靶材內(nèi)有積水，造成靶材不絕緣或絕緣不好材不絕緣或絕緣不好對(duì)策：對(duì)策：徹底清掃陰極，兆歐表打在徹底清掃陰極，兆歐表打在500V500V檔位，測(cè)量時(shí)只要有絕緣或比沒裝檔位，測(cè)量時(shí)只要有絕緣或比沒裝上靶材時(shí)

17、絕緣好，就沒問題。靶材上靶材時(shí)絕緣好，就沒問題。靶材裝上幾顆螺釘測(cè)量時(shí)如果仍能有點(diǎn)裝上幾顆螺釘測(cè)量時(shí)如果仍能有點(diǎn)絕緣那么繼續(xù)下步作業(yè)，反之只有絕緣那么繼續(xù)下步作業(yè)，反之只有拆陰極了拆陰極了使用維修電吹風(fēng)機(jī)進(jìn)行加熱處理，使用維修電吹風(fēng)機(jī)進(jìn)行加熱處理，邊加熱邊進(jìn)行絕緣測(cè)量，當(dāng)兆歐表邊加熱邊進(jìn)行絕緣測(cè)量，當(dāng)兆歐表逐步在想好的方向變化，證明是水逐步在想好的方向變化，證明是水份影響份影響靶材內(nèi)有水絕緣不好注意：注意：此項(xiàng)作業(yè)前提是陰極不是異物造此項(xiàng)作業(yè)前提是陰極不是異物造成不絕緣成不絕緣STN 事事業(yè)業(yè)部部19/50 T/CT/C時(shí)注意事項(xiàng)時(shí)注意事項(xiàng)設(shè)備在開啟狀態(tài)開始松螺設(shè)備在開啟狀態(tài)開始松螺釘，這樣會(huì)

18、造成釘，這樣會(huì)造成高真空閥突高真空閥突然自行關(guān)閉然自行關(guān)閉真空閥關(guān)閉，開始松螺釘，真空閥關(guān)閉，開始松螺釘，這樣會(huì)造成這樣會(huì)造成少量螺釘松不動(dòng)少量螺釘松不動(dòng)現(xiàn)象現(xiàn)象真空閥關(guān)閉，真空閥關(guān)閉，C1C1、C10C10區(qū)仍區(qū)仍保持抽真空狀態(tài)松螺釘，這保持抽真空狀態(tài)松螺釘，這樣效果最好樣效果最好STN 事事業(yè)業(yè)部部20/50 T/CT/C時(shí)注意事項(xiàng)時(shí)注意事項(xiàng)現(xiàn)象：現(xiàn)象：鍍膜室底部滾輪較臟，有鍍膜室底部滾輪較臟，有防護(hù)罩的滾輪清潔不方便防護(hù)罩的滾輪清潔不方便對(duì)策：對(duì)策：清潔底部滾輪時(shí)，手動(dòng)運(yùn)清潔底部滾輪時(shí)，手動(dòng)運(yùn)行滾輪，轉(zhuǎn)速設(shè)在行滾輪，轉(zhuǎn)速設(shè)在10001000，使，使?jié)L輪運(yùn)行，這樣清潔時(shí)方便，滾輪運(yùn)行，這樣

19、清潔時(shí)方便，同時(shí)也清潔的較干凈同時(shí)也清潔的較干凈滾輪在運(yùn)行滾輪在運(yùn)行狀態(tài)下清潔狀態(tài)下清潔STN 事事業(yè)業(yè)部部21/50 T/CT/C時(shí)時(shí)操作技巧操作技巧先放先放1#1#、3#3#、4#4#、6#6#、8#8#靶材作業(yè)靶材作業(yè)再放再放2#2#、5#5#、7#7#靶材作業(yè)靶材作業(yè)靶材更換時(shí)靶材更換時(shí)間縮短間縮短STN 事事業(yè)業(yè)部部22/50 T/CT/C時(shí)時(shí)操作技巧操作技巧現(xiàn)象：現(xiàn)象：螺釘隨意裝各螺孔，螺釘隨意裝各螺孔，壞的螺孔不易及時(shí)發(fā)現(xiàn)壞的螺孔不易及時(shí)發(fā)現(xiàn)造成靶材漏氣造成靶材漏氣對(duì)策：對(duì)策：取靶材螺釘?shù)臅r(shí)候，取靶材螺釘?shù)臅r(shí)候，在每個(gè)螺孔的位置做個(gè)在每個(gè)螺孔的位置做個(gè)記號(hào)，在裝螺釘時(shí)保持記號(hào)，在

20、裝螺釘時(shí)保持在原螺孔的地方裝螺釘，在原螺孔的地方裝螺釘，減少漏氣減少漏氣STN 事事業(yè)業(yè)部部23/50 T/CT/C時(shí)時(shí)操作技巧操作技巧現(xiàn)象：現(xiàn)象：T/CT/C時(shí)，每個(gè)區(qū)間溫度降到時(shí)，每個(gè)區(qū)間溫度降到250250度度以下方能開門以下方能開門對(duì)策：對(duì)策：為了加速降各區(qū)間溫度，節(jié)省時(shí)為了加速降各區(qū)間溫度，節(jié)省時(shí)間，生產(chǎn)結(jié)束時(shí)，不要馬上鎖框架，間，生產(chǎn)結(jié)束時(shí)，不要馬上鎖框架，最后最后1 1個(gè)良品后面空個(gè)良品后面空1010個(gè)框架，再個(gè)框架，再鎖框架，通過框架運(yùn)行，帶走鍍膜鎖框架，通過框架運(yùn)行，帶走鍍膜室內(nèi)熱量，這樣可以節(jié)省降溫時(shí)間室內(nèi)熱量，這樣可以節(jié)省降溫時(shí)間STN 事事業(yè)業(yè)部部24/50 T/CT/

21、C時(shí)操作技巧時(shí)操作技巧現(xiàn)象：現(xiàn)象：T/CT/C后，測(cè)完框架絕緣后，通常后，測(cè)完框架絕緣后，通常是凈化間手動(dòng)推一個(gè)框架進(jìn)是凈化間手動(dòng)推一個(gè)框架進(jìn)C1C1區(qū)，區(qū)，這樣操作是為了框架能夠自動(dòng)運(yùn)行，這樣操作是為了框架能夠自動(dòng)運(yùn)行，但這樣凈化間手動(dòng)推框架進(jìn)但這樣凈化間手動(dòng)推框架進(jìn)C1C1比較比較麻煩，也浪費(fèi)時(shí)間。麻煩，也浪費(fèi)時(shí)間。對(duì)策：對(duì)策：框架測(cè)完絕緣后，不從凈化間推框架測(cè)完絕緣后，不從凈化間推框架進(jìn)框架進(jìn)C1C1，而是直接抽真空，框架，而是直接抽真空，框架自動(dòng)運(yùn)行時(shí)，點(diǎn)擊光眼自動(dòng)初始化，自動(dòng)運(yùn)行時(shí)，點(diǎn)擊光眼自動(dòng)初始化，C1C1區(qū)會(huì)自動(dòng)進(jìn)入一個(gè)框架區(qū)會(huì)自動(dòng)進(jìn)入一個(gè)框架STN 事事業(yè)業(yè)部部25/50 T

22、/CT/C時(shí)操作技巧時(shí)操作技巧現(xiàn)象：現(xiàn)象：C1C1、C10C10區(qū)大門鏍釘易斷區(qū)大門鏍釘易斷原因分析：原因分析：C1C1、C10C10區(qū)每次充氣時(shí)區(qū)每次充氣時(shí)N2N2氣量可氣量可能不夠，與外界壓力沒有成正平衡能不夠，與外界壓力沒有成正平衡對(duì)策：對(duì)策：C1C1、C10C10區(qū)大門四角部分別用個(gè)區(qū)大門四角部分別用個(gè)夾鉗固定緊，或多上夾鉗固定緊，或多上4 4個(gè)螺釘個(gè)螺釘STN 事事業(yè)業(yè)部部26/50 T/CT/C時(shí)操作技巧時(shí)操作技巧現(xiàn)象：現(xiàn)象：T/CT/C后框架自動(dòng)運(yùn)行時(shí)，第后框架自動(dòng)運(yùn)行時(shí)，第1 1個(gè)框個(gè)框架到架到C10C10區(qū)時(shí)，區(qū)時(shí)，7#7#小門不完全開，小門不完全開，造成框架堵在造成框架堵在

23、C10C10區(qū)區(qū)對(duì)策：對(duì)策：框架運(yùn)行到框架運(yùn)行到C5C5區(qū)時(shí)，擋住區(qū)時(shí)，擋住C10C10區(qū)區(qū)光眼，讓光眼，讓7#7#門提前開啟（半開狀門提前開啟（半開狀態(tài)），這樣框架還沒到態(tài)），這樣框架還沒到C10C10區(qū)，使區(qū)，使這種現(xiàn)象提前發(fā)生。待這種現(xiàn)象提前發(fā)生。待7#7#門打開后，門打開后，立即停止擋光眼，立即停止擋光眼，7#7#會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，這樣框架運(yùn)行到這樣框架運(yùn)行到C10C10區(qū)時(shí)能正常運(yùn)區(qū)時(shí)能正常運(yùn)行行7#小門未完全開框架運(yùn)行到C5區(qū)時(shí)，擋住C10區(qū)光眼，等7#門開才能停止擋光眼STN 事事業(yè)業(yè)部部27/50靶材初、末期生產(chǎn)物性靶材初、末期生產(chǎn)物性STN 事事業(yè)業(yè)部部28/50 靶材

24、初期生產(chǎn)注意事項(xiàng)靶材初期生產(chǎn)注意事項(xiàng)項(xiàng)項(xiàng) 目目注注 意意 事事 項(xiàng)項(xiàng)靶靶材材初期初期生生產(chǎn)產(chǎn)1、靶材初期如果第1個(gè)品種是1.1T玻璃 20產(chǎn)品，開加熱器時(shí)間至少要到7個(gè)小時(shí)才能出良品2、靶材壽命至少要到 8 KW才能進(jìn)行Dummy測(cè)試，否測(cè)測(cè)試出來的物性不準(zhǔn)確3、靶材初期第1個(gè)品種生產(chǎn)時(shí)，第一個(gè)框架產(chǎn)品一般沒問題，RGA數(shù)據(jù)有上升趨勢(shì)電阻肯定有異常，半個(gè)小時(shí)以后整體電阻沒有上升趨勢(shì)，一般就穩(wěn)定了STN 事事業(yè)業(yè)部部29/50 靶材末期生產(chǎn)注意事項(xiàng)靶材末期生產(chǎn)注意事項(xiàng)項(xiàng)項(xiàng) 目目注注 意意 事事 項(xiàng)項(xiàng)靶靶材材末期末期生生產(chǎn)產(chǎn)1、靶材末期生產(chǎn)高電阻產(chǎn)品，進(jìn)行Dummy時(shí)最好不要只進(jìn)行一次Dummy測(cè)

25、試，（如HIT 80）等物性數(shù)據(jù)沒問題再通知掛良品，進(jìn)行Dummy時(shí)主操應(yīng)了解框架上下產(chǎn)品透過率與產(chǎn)品中間的差別，并由此來判斷靶材是否擊穿2、靶材末期生產(chǎn)高電阻產(chǎn)品，進(jìn)行Dummy時(shí)主操應(yīng)了解框架上下產(chǎn)品與中間產(chǎn)品透過率的差別，并由此來判斷靶材是否擊穿3、靶材末期生產(chǎn)高電阻產(chǎn)品進(jìn)行Dummy時(shí)，可以不等耐熱性但一定要測(cè)試耐熱性（特殊機(jī)種除外）4、靶材末期生產(chǎn)高電阻產(chǎn)品電阻時(shí)，必須必須每30鐘對(duì)框架上產(chǎn)品進(jìn)行電阻測(cè)量STN 事事業(yè)業(yè)部部30/50 目前目前CS2CS2鍍膜物性控制主要有以下個(gè)機(jī)種不好控鍍膜物性控制主要有以下個(gè)機(jī)種不好控制生產(chǎn)，物性不穩(wěn)定制生產(chǎn)，物性不穩(wěn)定 1、S74NL1R-15

26、 VST產(chǎn)品，物性規(guī)格是：電阻：132 ITO膜厚度：1250100 透過率：84%91% 難控點(diǎn)難控點(diǎn): :角部電阻角部電阻框架角部產(chǎn)品的角部(紅線)電阻上限生產(chǎn)時(shí)的建議生產(chǎn)時(shí)的建議: :1 1、C5C5區(qū)溫度最好控制在區(qū)溫度最好控制在480480-500-500度，度，C5C5區(qū)上下加熱板溫區(qū)上下加熱板溫度度560-580560-580度度 特殊客戶注意事項(xiàng)特殊客戶注意事項(xiàng)STN 事事業(yè)業(yè)部部31/50 2、S16NL1R-80 T16NL1R-80 HIT產(chǎn)品，物性規(guī)格是：電阻：8012 ITO膜厚度：32070 透過率：87.2% 耐熱性:2.7倍 難控點(diǎn):電阻框架上下部位(紅線)電阻

27、上限框架上下產(chǎn)品中間部(藍(lán)線)電阻接下限“S S”產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)的建議產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)的建議: :1 1、C5C5區(qū)溫度最好控制在區(qū)溫度最好控制在430-440430-440度，度，C5C5區(qū)區(qū)7#7#、8 8# #加熱板溫度加熱板溫度590/290590/290度度2 2、ITOITO靶材開靶材開6#6#、7#7#沒沒帶翅膀的保護(hù)框帶翅膀的保護(hù)框效果效果好些好些3 3、O2O2氣只能開氣只能開0.5,0.5,如開如開1.01.0產(chǎn)品剛出角部會(huì)偏產(chǎn)品剛出角部會(huì)偏高高“T T”產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)的建議產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)的建議: :1 1、C5C5區(qū)溫度最好控制在區(qū)溫度最好控制在400-410400-410度，度，C5C5

28、區(qū)區(qū)7#7#、8 8# #加熱板溫度加熱板溫度480/280480/280度度2 2、ITOITO靶材開靶材開6#6#、7#7#沒帶翅膀保護(hù)框效果好些沒帶翅膀保護(hù)框效果好些3 3、O2O2氣開氣開1.01.0, ,如開如開0.50.5生產(chǎn)半個(gè)多小時(shí)左右中生產(chǎn)半個(gè)多小時(shí)左右中間電阻會(huì)越來越低間電阻會(huì)越來越低 特殊客戶注意事項(xiàng)特殊客戶注意事項(xiàng)STN 事事業(yè)業(yè)部部32/50 3、S16NL7R-60 ANS產(chǎn)品，物性規(guī)格是：電阻：458.5 ITO膜厚度：45070 透過率： 84%89% 耐熱性:2.2倍 難控點(diǎn)難控點(diǎn): :耐熱性耐熱性生產(chǎn)時(shí)的建議生產(chǎn)時(shí)的建議: :1 1、溫度最好控制在、溫度最好

29、控制在400-410400-410度度2 2、ITOITO靶材開后靶材開后3 3對(duì)對(duì)3 3、ITOITO靶材壽命控制在靶材壽命控制在200KWH200KWH以內(nèi)生產(chǎn)比較好以內(nèi)生產(chǎn)比較好 特殊客戶注意事項(xiàng)特殊客戶注意事項(xiàng)STN 事事業(yè)業(yè)部部33/50 鍍膜應(yīng)了解框架不同點(diǎn)的物性鍍膜應(yīng)了解框架不同點(diǎn)的物性例如彎曲度：框架上的玻璃彎曲度是由下向上，數(shù)值越來越大建議：建議：整理出多機(jī)種數(shù)據(jù)來說明整理出多機(jī)種數(shù)據(jù)來說明上大上大下小下小STN 事事業(yè)業(yè)部部34/50 鍍膜應(yīng)了解鍍膜應(yīng)了解FQAFQA設(shè)備性能設(shè)備性能右邊爐子比左邊爐子耐熱右邊爐子比左邊爐子耐熱性差性差產(chǎn)品放在上層耐熱性比下產(chǎn)品放在上層耐熱性

30、比下層耐熱性差層耐熱性差產(chǎn)品兩側(cè)放玻璃保護(hù)，耐產(chǎn)品兩側(cè)放玻璃保護(hù)，耐熱性數(shù)據(jù)穩(wěn)定熱性數(shù)據(jù)穩(wěn)定產(chǎn)品放在爐子中間耐熱性產(chǎn)品放在爐子中間耐熱性差差兩側(cè)和頂部產(chǎn)品耐熱性比中間耐熱性差STN 事事業(yè)業(yè)部部35/50 鍍膜應(yīng)了解鍍膜應(yīng)了解FQAFQA設(shè)備性能設(shè)備性能產(chǎn)品放在一塊磚上的耐熱性產(chǎn)品放在一塊磚上的耐熱性比放在兩塊磚上的差比放在兩塊磚上的差簡(jiǎn)單道理簡(jiǎn)單道理：加熱一升水需要5分鐘時(shí)間， 加熱2升水需要的時(shí)間就是10分鐘， 所以放一枚玻璃進(jìn)去在300度穩(wěn)定和放10枚玻璃進(jìn)去所需要的時(shí)間是不一樣的耐熱性耐熱性差差STN 事事業(yè)業(yè)部部36/50產(chǎn)品加入產(chǎn)品加入O2后為什么電阻會(huì)升高后為什么電阻會(huì)升高 加入

31、加入O2后，后，ITO薄膜濺射的過程中，會(huì)產(chǎn)生大量的氧負(fù)離子,氧負(fù)離子在電場(chǎng)的作用會(huì)轟擊到所沉積的ITO薄膜表面，使ITO薄膜的結(jié)晶結(jié)構(gòu)和晶體狀態(tài)造成結(jié)構(gòu)缺陷。濺射的電壓越大，氧負(fù)離子轟擊膜層表面的能量也越大，那么造成缺陷的幾率就越大，產(chǎn)生晶體結(jié)構(gòu)也越嚴(yán)重，從而導(dǎo)致了ITO薄膜沉積厚度下降，電阻升高 鍍膜應(yīng)了解知識(shí)鍍膜應(yīng)了解知識(shí)STN 事事業(yè)業(yè)部部37/50方塊電阻測(cè)量?jī)x方塊電阻測(cè)量?jī)x 在長(zhǎng)和寬相等的樣品在長(zhǎng)和寬相等的樣品上測(cè)量的玻璃鍍膜電上測(cè)量的玻璃鍍膜電阻。阻。方塊電阻的大小方塊電阻的大小與樣品尺寸無關(guān)，與樣品尺寸無關(guān)，即即任意大小正方形的玻任意大小正方形的玻璃電阻都是一樣的，璃電阻都是一

32、樣的，不管邊長(zhǎng)是不管邊長(zhǎng)是1米還是米還是0.1米，它們的電阻都是米，它們的電阻都是一樣一樣 鍍膜應(yīng)了解知識(shí)鍍膜應(yīng)了解知識(shí)結(jié)論 在耐熱性規(guī)格不穩(wěn)定和難控制的時(shí)候， 測(cè)試耐熱性要求QA嚴(yán)格按玻璃100*50mm 進(jìn)行切割(1：2的比例)STN 事事業(yè)業(yè)部部38/50PinnaclePinnacle：使使ITOITO靶材形成等離子體的靶材形成等離子體的功率生成功率生成裝置。裝置?？缮煽缮?-120-12的功率的功率 鍍膜應(yīng)了解設(shè)備具體功能鍍膜應(yīng)了解設(shè)備具體功能STN 事事業(yè)業(yè)部部39/50Sparc-leVSparc-leV：對(duì)在對(duì)在PinnaclePinnacle里生成傳達(dá)到靶材之里生成傳達(dá)到

33、靶材之前的功率，起著前的功率，起著濾波及控制濾波及控制的作用，可用頻率為的作用，可用頻率為20-10020-100 鍍膜應(yīng)了解設(shè)備具體功能鍍膜應(yīng)了解設(shè)備具體功能STN 事事業(yè)業(yè)部部40/50設(shè)備邀請(qǐng)事項(xiàng)設(shè)備邀請(qǐng)事項(xiàng)STN 事事業(yè)業(yè)部部41/50 邀請(qǐng)事項(xiàng)邀請(qǐng)事項(xiàng)- -加熱板變形加熱板變形現(xiàn)象：現(xiàn)象：A8A8靶材旁的加熱板變形嚴(yán)重，靶材旁的加熱板變形嚴(yán)重，每次每次T/CT/C關(guān)關(guān)A8A8靶材時(shí)，靶材時(shí)，ARAR管會(huì)管會(huì)碰到變形的加熱板，造成靶材碰到變形的加熱板，造成靶材安裝困難，導(dǎo)致漏氣安裝困難，導(dǎo)致漏氣加熱板變加熱板變形嚴(yán)重形嚴(yán)重對(duì)策對(duì)策: : T/CT/C時(shí)，請(qǐng)維修徹底解時(shí)，請(qǐng)維修徹底解決決STN 事事業(yè)業(yè)部部42