傳感器第四章 電感式傳感器

1、第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器& 第一節(jié)第一節(jié) 變磁阻式傳感器變磁阻式傳感器& 第二節(jié)第二節(jié) 互感式傳感器互感式傳感器第三節(jié)第三節(jié) 電渦流式傳感器電渦流式傳感器內(nèi)容提要內(nèi)容提要學(xué)習(xí)目標學(xué)習(xí)目標 掌握變隙式、變面積式、差動自感傳感器掌握變隙式、變面積式、差動自感傳感器原理；理解測量電路原理；了解互感傳感器工原理；理解測量電路原理；了解互感傳感器工作原理；掌握相敏檢波原理；掌握電渦流傳感作原理；掌握相敏檢波原理；掌握電渦流傳感器原理及其種類；了解電感傳感器應(yīng)用。器原理及其種類；了解電感傳感器應(yīng)用。第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 被測非電量被測非電量自感系數(shù)自感系數(shù)L

2、 L互感系數(shù)互感系數(shù)M M U U、I I、f f定義：定義：是一種利用線圈是一種利用線圈自感自感和和互感互感的變化實現(xiàn)非電量電的變化實現(xiàn)非電量電測的裝置。測的裝置。應(yīng)用：應(yīng)用：測量位移、振動、壓力、應(yīng)變、流量、比重等。測量位移、振動、壓力、應(yīng)變、流量、比重等。種類：種類：根據(jù)轉(zhuǎn)換原理分：根據(jù)轉(zhuǎn)換原理分：自感式自感式、互感式互感式、電渦流式電渦流式； 根據(jù)結(jié)構(gòu)型式分：根據(jù)結(jié)構(gòu)型式分：氣隙型氣隙型、面積型面積型和和螺管型螺管型。第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器優(yōu)點：優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單、可靠，測量力小結(jié)構(gòu)簡單、可靠，測量力小靈敏度和分辨率高靈敏度和分辨率高機械位移機械位移0.01m0.01m，甚

3、至更?。?，甚至更小；輸出信號強，電壓靈敏度可達數(shù)百輸出信號強，電壓靈敏度可達數(shù)百mV/mm mV/mm 。重復(fù)性好，線性度優(yōu)良重復(fù)性好，線性度優(yōu)良在幾十在幾十mm到數(shù)到數(shù)mmmm的位移范圍內(nèi)，輸出特性的線性的位移范圍內(nèi)，輸出特性的線性度較好，且比較穩(wěn)定。度較好，且比較穩(wěn)定。能實現(xiàn)遠距離傳輸、記錄、顯示和控制。能實現(xiàn)遠距離傳輸、記錄、顯示和控制。不足：不足：存在交流零位信號，頻率響應(yīng)較低，不宜存在交流零位信號，頻率響應(yīng)較低，不宜高頻動態(tài)測量。高頻動態(tài)測量。 第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器第一節(jié)第一節(jié) 變磁阻式傳感器變磁阻式傳感器一、變隙式自感傳感器一、變隙式自感傳感器二、變面積自感傳感器

4、二、變面積自感傳感器三、螺管式自感傳感器三、螺管式自感傳感器四、差動自感傳感器四、差動自感傳感器六、變磁阻式傳感器的應(yīng)用六、變磁阻式傳感器的應(yīng)用五、測量電路五、測量電路第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器一、變隙式自感傳感器一、變隙式自感傳感器1 1、結(jié)構(gòu)和工作原理、結(jié)構(gòu)和工作原理線圈線圈鐵芯鐵芯銜鐵銜鐵MRNL2L1：鐵芯磁路總長；鐵芯磁路總長；L2：銜鐵的磁路長；銜鐵的磁路長；A：氣隙磁通截面積；氣隙磁通截面積；A1：鐵芯橫截面積；鐵芯橫截面積；A2：銜鐵橫截面積；銜鐵橫截面積；0=410-7Hm； ：空氣隙厚度?？諝庀逗穸取５谒恼碌谒恼?電感式傳感器電感式傳感器 2202ANRNL 空

5、氣磁導(dǎo)率空氣磁導(dǎo)率 RRRFM RRF 222111ALALRF AR02 鐵芯與銜鐵磁阻鐵芯與銜鐵磁阻空氣隙磁阻空氣隙磁阻第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 2202ANRNL 第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 2202ANRNL 第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 ，A AL 2202ANRNL 第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器2 2、變氣隙式輸出特性、變氣隙式輸出特性00220 ANL 銜鐵下移銜鐵下移 0000111 LL線圈線圈鐵芯鐵芯銜鐵銜鐵 0, 00000112222 ANANLLL 00000122202LAN第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器001

6、LL時時，當(dāng)當(dāng) 1 0 .LL 3020001 0000111 LL0010LLK第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器時，當(dāng) 10002 LL 0, 0022200000222LANANLLL.LL 3020002 0010LLK第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器二、變面積自感傳感器二、變面積自感傳感器銜鐵移動位移銜鐵移動位移x,則則 xabxARM00 axLaxabNxANRNxLM11002022電感變化與移動位移電感變化與移動位移x成線性關(guān)系。成線性關(guān)系。x xa a第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器三、螺管式自感傳感器三、螺管式自感傳感器 鐵鐵 芯芯位移位移x0lAxlRM

7、00 00002211lxLxlANRNxLM 鐵芯在線圈中伸入長度變化，引起螺管線圈自感鐵芯在線圈中伸入長度變化，引起螺管線圈自感值變化。值變化。第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 當(dāng)銜鐵當(dāng)銜鐵3 3移動時，一個線圈的電感量增加，移動時，一個線圈的電感量增加，另一個線圈的電感量減少，形成差動形式。另一個線圈的電感量減少，形成差動形式。1-1-線圈線圈 2-2-鐵芯鐵芯 3-3-銜鐵銜鐵 4-4-導(dǎo)桿導(dǎo)桿1 12 23 34 44 4四、差動自感傳感器四、差動自感傳感器第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器43 32 21 13 31 14 41-1-線圈線圈 2-2-鐵芯鐵芯 3-3-銜

8、鐵銜鐵 4-4-導(dǎo)桿導(dǎo)桿第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器變氣隙式差動自感傳感器變氣隙式差動自感傳感器銜鐵銜鐵R1R2L2L1ACU0U .LL32000011 .LL30200021 )(ANL 00122)(ANL 002220LL0K第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 .LLLL530000122 .LLLLL5300000122 0002LLK%100%100|/|2|)/( |220030r002LL第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 差動式差動式與與單線圈單線圈電感式傳感器相比電感式傳感器相比: : 線性度較好；線性度較好； 靈敏度提高一倍；靈敏度提高一倍； 溫度變化、

9、電源波動、外界干擾等對傳感器溫度變化、電源波動、外界干擾等對傳感器精度的影響，由于能互相抵消而減?。痪鹊挠绊?，由于能互相抵消而減小； 電磁吸力對測力變化的影響也由于能相互抵電磁吸力對測力變化的影響也由于能相互抵消而減小。消而減小。 第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器五、測量電路五、測量電路1. 1. 電感式傳感器的等效電路電感式傳感器的等效電路RC:線圈的線圈的銅損電阻銅損電阻； Re : :鐵芯的鐵芯的渦流損耗電阻渦流損耗電阻 ； C線圈線圈固有電容和電纜的分布電容固有電容和電纜的分布電容. .ZCLRcRe第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器上圖的等效線圈阻抗為上圖的等效線圈阻抗為

10、 CjLjRCjLjRZ )(將上式有理化并應(yīng)用品質(zhì)因數(shù)將上式有理化并應(yīng)用品質(zhì)因數(shù)Q=L/R，可得，可得 22222222222)1 (1)1 (QLCLCQLCLCLjQLCLCRZ第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器當(dāng)當(dāng)Q2LC且且2LC 0 0，與與同頻同相同頻同相時：時： 正半周時正半周時LRReui214L2RReui23i3故故i i，流經(jīng)，流經(jīng)RL的電流為的電流為i= i i e1e2-+-+RL第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器-+-u1u2+R-RD3D2D1D4RRT1T2-+01U2U負半周時負半周時L121RReuiL112RReui故故i i，流經(jīng)流經(jīng)RL的電流

11、為的電流為i= i i i2i1e1+e2RL第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器u1u2-R+RD3D2D1D4RRT1T2+-01U2U正半周正半周負半周負半周LRReui214L2RReui23故故i i i i。流經(jīng)。流經(jīng)R RL L的電流為的電流為i i= = i i i i 銜鐵在零位以下，銜鐵在零位以下，x(t)0 x(t)0，與與同頻反相時：同頻反相時： e1e2+-+-i4i3RL第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器u1u2+R-RD3D2D1D4RRT1T2-+01U2U同理同理: :負半周負半周正半周時正半周時i i i i。流經(jīng)。流經(jīng)R RL L的電流為的電流為i

12、i= = i i i i 表示表示i i0 0的方向也與規(guī)定的正方向相反。的方向也與規(guī)定的正方向相反。L121RReuiL112RReuii2i1RL-+-e1e2第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 結(jié)論：結(jié)論： 銜鐵在中間位置時，無論參考電壓是正銜鐵在中間位置時，無論參考電壓是正半周還是負半周，在負載半周還是負半周，在負載R RL L上的輸出電壓始終為上的輸出電壓始終為0 0。 銜鐵在零位以上移動時，無論參考電壓銜鐵在零位以上移動時，無論參考電壓是正半周還是負半周，在負載是正半周還是負半周，在負載R RL L上得到的輸出電壓上得到的輸出電壓始終為正。始終為正。 銜鐵在零位以下移動時，無論

13、參考電壓銜鐵在零位以下移動時，無論參考電壓是正半周還是負半周，在負載是正半周還是負半周，在負載R RL L上得到的輸出電壓上得到的輸出電壓始終為負。始終為負。 由此可見，該電路能判別鐵芯移動的方向。由此可見，該電路能判別鐵芯移動的方向。第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器tttttt1U2U2i1i4i3iMit第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 經(jīng)過相敏檢波電路后，正位移輸出正電壓，負位經(jīng)過相敏檢波電路后，正位移輸出正電壓，負位移輸出負電壓。差動變壓器的輸出經(jīng)過相敏檢波以后，移輸出負電壓。差動變壓器的輸出經(jīng)過相敏檢波以后，特性曲線由圖（特性曲線由圖（a a）變成（）變成（b b），殘存

14、電壓自動消失。），殘存電壓自動消失。 第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 三、三、 誤差因素分析誤差因素分析 1 1、激勵電壓幅值與頻率的影響、激勵電壓幅值與頻率的影響 激勵電源電壓幅值的波動，會使線圈激勵磁場的磁激勵電源電壓幅值的波動，會使線圈激勵磁場的磁通發(fā)生變化，直接影響輸出電勢。而頻率的波動，只要通發(fā)生變化，直接影響輸出電勢。而頻率的波動，只要適當(dāng)?shù)剡x擇頻率，其影響不大。適當(dāng)?shù)剡x擇頻率，其影響不大。 2 2、溫度變化的影響、溫度變化的影響 周圍環(huán)境溫度的變化，引起線圈及導(dǎo)磁體磁導(dǎo)率的周圍環(huán)境溫度的變化，引起線圈及導(dǎo)磁體磁導(dǎo)率的變化，從而使線圈磁場發(fā)生變化產(chǎn)生溫度漂移。當(dāng)線圈變化，從

15、而使線圈磁場發(fā)生變化產(chǎn)生溫度漂移。當(dāng)線圈品質(zhì)因數(shù)較低時，影響更為嚴重，因此，品質(zhì)因數(shù)較低時，影響更為嚴重，因此，采用恒流源激采用恒流源激勵比恒壓源激勵有利勵比恒壓源激勵有利。適當(dāng)提高線圈品質(zhì)因數(shù)并。適當(dāng)提高線圈品質(zhì)因數(shù)并采用差采用差動電橋動電橋可以減少溫度的影響?？梢詼p少溫度的影響。 第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 3 3、零點殘余電壓、零點殘余電壓 當(dāng)差動變壓器的銜鐵處于中間位置時，理想條件下當(dāng)差動變壓器的銜鐵處于中間位置時，理想條件下其輸出電壓為零。但實際上，其輸出電壓為零。但實際上，當(dāng)使用橋式電路時，在零當(dāng)使用橋式電路時，在零點仍有一個微小的電壓值點仍有一個微小的電壓值( (從零

16、點幾從零點幾mVmV到數(shù)十到數(shù)十mV)mV)存在，存在，稱為零點殘余電壓。稱為零點殘余電壓。0 x第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 零點殘余電壓產(chǎn)生原因：零點殘余電壓產(chǎn)生原因： 基波分量基波分量 由于差動變壓器兩個次級繞組不可能完全一致，由于差動變壓器兩個次級繞組不可能完全一致，因此它的因此它的等效電路參數(shù)等效電路參數(shù)（互感互感M、自感自感L及損耗電及損耗電阻阻R）不可能相同，從而使兩個次級繞組的感應(yīng)電不可能相同，從而使兩個次級繞組的感應(yīng)電動勢數(shù)值不等。又因初級線圈中銅損電阻及導(dǎo)磁材動勢數(shù)值不等。又因初級線圈中銅損電阻及導(dǎo)磁材料的鐵損和材質(zhì)的不均勻，線圈匝間電容的存在等料的鐵損和材質(zhì)的不

17、均勻，線圈匝間電容的存在等因素，使激勵電流與所產(chǎn)生的磁通相位不同。因素，使激勵電流與所產(chǎn)生的磁通相位不同。第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 高次諧波高次諧波 高次諧波分量主要由導(dǎo)磁材料磁化曲線的高次諧波分量主要由導(dǎo)磁材料磁化曲線的非線性非線性引起。由于磁滯損耗和鐵磁飽和的影響，使得激勵電引起。由于磁滯損耗和鐵磁飽和的影響，使得激勵電流與磁通波形不一致產(chǎn)生了非正弦流與磁通波形不一致產(chǎn)生了非正弦( (主要是三次諧波主要是三次諧波) )磁通，從而在次級繞組感應(yīng)出非正弦電勢。另外，激磁通，從而在次級繞組感應(yīng)出非正弦電勢。另外，激勵電流波形失真，因其內(nèi)含高次諧波分量，這樣也將勵電流波形失真，因其內(nèi)

18、含高次諧波分量，這樣也將導(dǎo)致零點殘余電壓中有高次諧波成分。導(dǎo)致零點殘余電壓中有高次諧波成分。 第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器（1 1）從設(shè)計和工藝上保證結(jié)構(gòu)對稱性）從設(shè)計和工藝上保證結(jié)構(gòu)對稱性 為保證線圈和磁路的對稱性，首先，要求提高加工為保證線圈和磁路的對稱性，首先，要求提高加工精度，線圈選配成對，采用磁路可調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。其次，精度，線圈選配成對，采用磁路可調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。其次，應(yīng)選高磁導(dǎo)率、低矯頑力、低剩磁感應(yīng)的導(dǎo)磁材料。應(yīng)選高磁導(dǎo)率、低矯頑力、低剩磁感應(yīng)的導(dǎo)磁材料。并應(yīng)經(jīng)過熱處理，消除殘余應(yīng)力，以提高磁性能的均并應(yīng)經(jīng)過熱處理，消除殘余應(yīng)力，以提高磁性能的均勻性和穩(wěn)定性。由高次諧波產(chǎn)生的因素

19、可知，磁路工勻性和穩(wěn)定性。由高次諧波產(chǎn)生的因素可知，磁路工作點應(yīng)選在磁化曲線的線性段。作點應(yīng)選在磁化曲線的線性段。 消除零點殘余電壓方法：消除零點殘余電壓方法：第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 采用相敏檢波電路不僅可鑒別銜鐵移動方向，而采用相敏檢波電路不僅可鑒別銜鐵移動方向，而且把銜鐵在中間位置時，因高次諧波引起的零點殘余且把銜鐵在中間位置時，因高次諧波引起的零點殘余電壓消除掉。如圖，采用相敏檢波后銜鐵反行程時的電壓消除掉。如圖，采用相敏檢波后銜鐵反行程時的特性曲線由特性曲線由1 1變到變到2 2，從而消除了零點殘余電壓。，從而消除了零點殘余電壓。U0+x-x210相敏檢波后相敏檢波后的

20、輸出特性的輸出特性 （2 2）選用合適的測量線路）選用合適的測量線路 第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器（3 3）、采用補償線路）、采用補償線路CR1U0U第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器 四、互感式傳感器的應(yīng)用四、互感式傳感器的應(yīng)用 測量振動、厚度、應(yīng)變、壓力、加速度等測量振動、厚度、應(yīng)變、壓力、加速度等 1. 1. 差動變壓器式加速度傳感器差動變壓器式加速度傳感器穩(wěn)壓電源穩(wěn)壓電源振蕩器振蕩器檢檢波波器器濾濾波波器器220Va輸出輸出1 1 懸臂梁；懸臂梁；2 2 差動變壓器；差動變壓器；3 3 銜鐵銜鐵1 12 2a3 3 用于測定振動物體的頻率用于測定振動物體的頻率和振幅時其激

21、磁頻率必須是振和振幅時其激磁頻率必須是振動頻率的十倍以上，才能得到動頻率的十倍以上，才能得到精確的測量結(jié)果。可測量的振精確的測量結(jié)果。可測量的振幅為幅為(0.1(0.15)mm5)mm，振動頻率為，振動頻率為(0(0150)Hz150)Hz。第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器1 1 接頭；接頭；2 2 膜盒；膜盒；3 3 底座；底座；4 4 線路板；線路板；5 5 差動變壓器；差動變壓器；6 6 銜鐵；銜鐵；7 7 罩殼罩殼1 12 23 34 45 56 67 7 2. 2. 微壓力變送器微壓力變送器可分檔測量可分檔測量(5(510105 56 610105 5)N/m)N/m2 2壓力

22、，輸壓力，輸出信號電壓為出信號電壓為(0(050)mV50)mV，精度為，精度為1.51.5級。級。將差動變壓器和彈性敏感元件（膜片、膜盒和彈簧將差動變壓器和彈性敏感元件（膜片、膜盒和彈簧管等）相結(jié)合，可以組成各種形式的壓力傳感器。管等）相結(jié)合，可以組成各種形式的壓力傳感器。第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器3 3、電感測微儀、電感測微儀探頭探頭測量測量電橋電橋交流交流放大放大相敏相敏檢波檢波指示器指示器振蕩器振蕩器第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器4 4、測量力或壓力、測量力或壓力例：例：張力測量張力測量第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器第二節(jié)第二節(jié) 電渦流式傳感器電渦流式傳感器

23、一、基本工作原理一、基本工作原理 二、電渦流傳感器等效電路二、電渦流傳感器等效電路三、電渦流傳感器的種類三、電渦流傳感器的種類四、電渦流傳感器測量電路四、電渦流傳感器測量電路五、電渦傳感器的應(yīng)用五、電渦傳感器的應(yīng)用第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器一、基本工作原理一、基本工作原理 1 1、電渦流效應(yīng)、電渦流效應(yīng) 根據(jù)法拉第定律，塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場中根據(jù)法拉第定律，塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場中或在磁場中作切割磁力線運動時，導(dǎo)體內(nèi)部將產(chǎn)生漩或在磁場中作切割磁力線運動時，導(dǎo)體內(nèi)部將產(chǎn)生漩渦狀的感應(yīng)電流，稱為電渦流，這種現(xiàn)象稱為渦狀的感應(yīng)電流，稱為電渦流，這種現(xiàn)象稱為“電渦電渦流效應(yīng)流效應(yīng)

24、”。 特點：特點：能對位移、厚度、表面溫度、速度、應(yīng)力、能對位移、厚度、表面溫度、速度、應(yīng)力、材料損傷等進行非接觸式連續(xù)測量。材料損傷等進行非接觸式連續(xù)測量。第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器2 2、工作原理、工作原理 1I1H傳感器激勵線圈(a)(b)2H2I被測金屬導(dǎo)體傳感器激勵電流 渦流的大小與金渦流的大小與金屬板的電阻率屬板的電阻率、磁、磁導(dǎo)率導(dǎo)率、厚度、厚度h h、金、金屬板與線圈的距離屬板與線圈的距離、激勵電流角頻率激勵電流角頻率等等參數(shù)有關(guān)。參數(shù)有關(guān)。若固定某若固定某些參數(shù)，就可根據(jù)渦些參數(shù)，就可根據(jù)渦流的變化測量另一個流的變化測量另一個參數(shù)。參數(shù)。 第四章第四章 電感式傳感

25、器電感式傳感器 3 3、電渦流強度與距離的關(guān)系、電渦流強度與距離的關(guān)系22121DxxIII1：線圈激勵電流：線圈激勵電流 I2：金屬導(dǎo)體中等效電流：金屬導(dǎo)體中等效電流 x：線圈到金屬導(dǎo)體表面距離：線圈到金屬導(dǎo)體表面距離D：線圈外徑：線圈外徑 以上分析表明：以上分析表明： 電渦流強度與距離電渦流強度與距離x呈非線性關(guān)系，且隨著呈非線性關(guān)系，且隨著x/D的增加而迅速減小。的增加而迅速減小。 當(dāng)利用電渦流式傳感器測量位移時，只有在當(dāng)利用電渦流式傳感器測量位移時，只有在x/DlMHz)(lMHz)高頻激勵電流產(chǎn)生的高頻磁場高頻激勵電流產(chǎn)生的高頻磁場作用于金屬板的表面，由于集作用于金屬板的表面，由于集

26、膚效應(yīng)，在金屬板表面將形成膚效應(yīng)，在金屬板表面將形成渦電流。與此同時，該渦流產(chǎn)渦電流。與此同時，該渦流產(chǎn)生的交變磁場又反作用于線圈，生的交變磁場又反作用于線圈，引起線圈自感引起線圈自感L或阻抗或阻抗ZL的變的變化。線圈自感化。線圈自感L或阻抗或阻抗ZL的變的變化與距離該金屬板的電阻率化與距離該金屬板的電阻率、磁導(dǎo)率磁導(dǎo)率、激勵電流、激勵電流i及角頻率及角頻率等有關(guān)，若只改變距離等有關(guān)，若只改變距離而而保持其它參數(shù)不變，則可將保持其它參數(shù)不變，則可將位位移移的變化轉(zhuǎn)換為線圈的變化轉(zhuǎn)換為線圈自感自感的變的變化，通過測量電路轉(zhuǎn)換為電壓化，通過測量電路轉(zhuǎn)換為電壓輸出。輸出。高頻反射式渦流傳感器多用于位移測量高頻反射式渦流傳感器多用于位移測量第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器iedMe工作原理圖工作原理圖第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器高頻反射式渦流厚度傳感器高頻反射式渦流厚度傳感器 厚度給定系統(tǒng)S1檢波比較電壓檢波S2加法器指示儀表帶材xx1x2第四章第四章 電感式傳感器電感式傳感器四、電渦流傳感器測量電路四、電渦流傳感器測量電路1. 1. 調(diào)頻式電路調(diào)頻式電路頻 率 計f-V電 壓 表振蕩器CLx(a