儀器制造工藝學

1、第一章 儀器主要由實驗裝置、測量部件、數(shù)據(jù)處理、分析和輸出設(shè)備，以及針對具體對象的控制設(shè)備等幾部分構(gòu)成。 儀器設(shè)計與工藝制造的關(guān)系:優(yōu)質(zhì)儀器既是設(shè)計出來的，也是制造出來的。 虛擬儀器是以計算機為核心，充分利用計算機的軟件和硬件資源，將各種儀器功能卡應(yīng)用于微型計算機，使之成為計算機與儀器兼容的微型計算機。 第二章 功能材料：具有特殊的電、磁、光、熱、聲、化學性能和生物學性能及互相轉(zhuǎn)換的功能，用以實現(xiàn)對信息和能量的感受、計測、顯示、控制和轉(zhuǎn)換的材料。 電接點是指專門用以建立和消除點接觸的導(dǎo)電構(gòu)件。 弱接點材料，主要有Ag系、Au系、Pt系和Pd系等四類。 導(dǎo)電高分子材料：結(jié)構(gòu)型和復(fù)合型 超導(dǎo)材料：

2、有些物質(zhì)在一定的溫度Tc（超導(dǎo)溫度）以下時，電阻為零，同時完全排斥磁場，即磁力線不能進入其內(nèi)部，這就是超導(dǎo)現(xiàn)象。具有這種現(xiàn)象的材料叫超導(dǎo)材料。 永磁材料：磁性材料在磁場中被充磁，當磁場去除后，材料的磁性仍長時保留。 永磁材料性能的指標是最大磁能積(BH)max。<32低磁能積永磁材料，>160高，3280中。 稀土永磁材料，目前磁能積最大、矯頑力特高的一類永磁材料。 形狀記憶材料：具有形狀記憶效應(yīng)的材料。通常是兩種以上的金屬元素構(gòu)成，所以也稱形狀記憶合金。形狀記憶效應(yīng)：將材料在一定條件下進行一定限度以內(nèi)的變形后，在對材料施加適當?shù)耐饨鐥l件，材料的變形隨之消失而恢復(fù)變形前的形狀的現(xiàn)象

3、。按形狀恢復(fù)形式可分為： 單程記憶在低溫下塑性變形，加熱時恢復(fù)高溫時形狀，再次冷卻時不恢復(fù)低溫形狀。 雙程記憶加熱時恢復(fù)高溫形狀，冷卻時回復(fù)低溫形狀，即隨溫度升降，高、低溫形狀反復(fù)出現(xiàn)。 全程記憶在實現(xiàn)雙程記憶的同時，冷卻到更低溫時出現(xiàn)與高溫形狀完全相反的形狀。光功能材料按用途可以分為光學材料、固體激光器材料、信息顯示材料（如液晶顯示器）、光纖、隱形材料等。 通信光纖的纖芯和包層構(gòu)成：纖芯用高透明固體材料或低損耗透明液體制成，包層由石英玻璃、塑料等有損耗的材料制成。 吸波材料是用來對抗雷達探測和激光測距的隱形材料，所依據(jù)的原理是吸波材料能夠?qū)⒗走_或激光發(fā)射出的信號吸收，從而使雷達、激光探測接收

4、不到反射信號。 紅外隱形材料是用來對抗熱成像儀的隱形材料，它要求材料的比輻射率低。 智能材料是指對環(huán)境具有可感知、可響應(yīng)，并具有功能發(fā)現(xiàn)能力的材料。 金屬及其合金分為兩類：黑色金屬鐵和以鐵為基的合金有色金屬包括黑色金屬以外的所有金屬及其合金 鋼中S、P是有害雜質(zhì)，Si、Mn是有益雜質(zhì)。 優(yōu)質(zhì)碳素結(jié)構(gòu)鋼必須同時保證化學成分和力學性能 調(diào)質(zhì)鋼多用中碳和中碳合金，主加合金元素Cr、Mn、Ni、Si、B等，該類鋼經(jīng)調(diào)制處理后具有高強度與韌性的配合，綜合力學性能優(yōu)秀。制作軸類、齒輪、連桿、螺栓。 高分子是指分子質(zhì)量大于500的有機化合物，可分為天然高分子化合物和合成高分子化合物。 高分子材料的共同缺點是

5、易老化。工程塑料的特性：密度小。比強度高。良好的抗腐蝕性。優(yōu)良的電絕緣性。耐磨、減摩、自潤滑性好。工藝性好，一熱壓成形。 陶瓷彈性模量很大，比金屬高若干倍。Al2O3（剛玉）陶瓷廣泛用于制造高速切削工具、量規(guī)、拉絲模、高溫爐零件等。 復(fù)合材料： 將兩種或兩種以上物理/化學性質(zhì)或是組織結(jié)構(gòu)不同的材料組合起來而制成的一種多相固體材料。1纖維增強復(fù)合材料 2金屬陶瓷材料（由陶瓷顆粒與金屬結(jié)合的顆粒增強金屬復(fù)合材料稱為金屬陶瓷） 電子元件引腳材料基本要求：導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性好。熱膨脹系數(shù)小。機械強度高。拉伸和沖裁等加工性能好。材料Fe-Ni基合金（如42合金）、銅基合金 選材的一般原則：1使用性能原則 2

6、工藝性能原則 3經(jīng)濟性原則第三章 工藝規(guī)程：按照一定的條件選擇產(chǎn)品最合理的工藝過程，將實現(xiàn)這個工藝過程的程序、內(nèi)容、方法、工具、設(shè)備、材料以及每一個環(huán)節(jié)應(yīng)該遵守的技術(shù)規(guī)程，用文字和圖表的形式表示出來。作用: 1.是指導(dǎo)生產(chǎn)的主要技術(shù)文件2.是組織生產(chǎn)及管理工作的主要依據(jù)3.是新建、擴建工廠或車間的主要依據(jù)。 工藝規(guī)程是用于指導(dǎo)生產(chǎn)的，因此要做到正確、完整、統(tǒng)一、清晰。 工藝過程：在機械產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，直接改變生產(chǎn)對象形狀、尺寸、性能及位置的過程。 插裝元件時，主要遵循原則：先小后大，先遠后近。 工序：一個或一組工人在一個工作地點，對一個工作連續(xù)完成的那部分工藝過程 安裝：如果在一個工

7、序中需要對工件進行幾次裝夾，則每次裝夾下完成的那部分工序內(nèi)內(nèi)容 工位：在一次安裝過程中，通過分度裝置，使工件相對于機床床身變換加工位置，則把每個加工位置上的安裝內(nèi)容 工步：加工表面，切削刀具，切削速度和進給量都不變的情況下所完成的加工內(nèi)容 走刀：切削刀具在加工表面上切削一次所完成的工步內(nèi)容稱為一次走刀。制定加工工藝規(guī)程的原則和步驟： 原則：1.應(yīng)滿足生產(chǎn)綱領(lǐng)的要求，要與生產(chǎn)類型相適應(yīng)。2.應(yīng)保證零件的加工質(zhì)量，達到圖樣上提到的各項技術(shù)要求3.在保證加工質(zhì)量的基礎(chǔ)上，應(yīng)使工藝工程具有較高的生產(chǎn)率和較好的經(jīng)濟性。4.要盡量減輕工人的勞動強度，保證安全生產(chǎn)，創(chuàng)

8、造良好的文明勞動條件。步驟：1研究產(chǎn)品圖樣，進行工藝分析。2.計算零件生產(chǎn)綱領(lǐng)，明確生產(chǎn)類型。3.確定毛坯種類，設(shè)計毛坯圖。4.擬定工藝路線5.確定機械加工余量，計算工序尺寸及公差，并制工序草圖。6.研究企業(yè)現(xiàn)有的設(shè)備和條件，選擇各工序所用設(shè)備、工藝裝備、參數(shù)和工時定額。7.研究產(chǎn)品驗收和質(zhì)量標準，制定產(chǎn)品檢驗方法。 什么是基準？基準分為哪幾類？基準就是用以確定零件上點線面的位置所依據(jù)的點線面。 設(shè)計基準:設(shè)計零件時，根據(jù)零件在裝配結(jié)構(gòu)中的裝配關(guān)系和零件本身結(jié)構(gòu)要素之間的相互位置關(guān)系 工藝基準：工序基準，定位基準，測量基準，裝配基準。 定位基準的選擇中，粗基準和精基準的選擇

9、原則:粗基準：1.保證互相位置要求的原則2.保證加工表面余量合理分配的原則3.便于工件裝夾的原則4.粗基準一般不重復(fù)使用的原則。精基準：基準重合原則，統(tǒng)一基準原則，互為基準原則，自為基準原則，便于裝夾原則 什么是機械加工余量，影響工序余量的因素有哪些？ 加工余量是指為使加工表面達到所需要的精度和表面，而應(yīng)切除的金屬表面厚度。 影響工序余量：1.上道工序的尺寸公差Ta。2.上道工序產(chǎn)生的表面粗糙度Ry和表面缺陷層深度Hy。3.上道工序的下空間誤差ea。4.本道工序的裝夾誤差b。 什么是尺寸鏈？說明尺寸鏈中組成環(huán)和封閉環(huán)的含義。 在零件的加工或產(chǎn)品的裝配過程中。經(jīng)常遇

10、到一些相互聯(lián)系且按一定順序排列著的，封閉的尺寸組合，這些互相聯(lián)系。又按一定順序排列著，封閉的尺寸組合。被稱為尺寸鏈。 組成環(huán)：直接影響封閉環(huán)精度的各環(huán)，稱為組成環(huán)。 封閉環(huán)：在零件的加工或產(chǎn)品的裝配過程中，間接形成的，其精度是被間接保證的各環(huán)，稱為封閉環(huán)。 工件裝夾的含義是什么？在機械加工中有哪幾種裝夾工件的方法？簡述每種裝夾方法的特點和應(yīng)用場合。 裝夾有兩種含義，即定位和夾緊。定位是指使工件在機床或夾具中獲得正確位置的過程；夾緊是指工件定位后將其固定，使工件在加工過程中保持定位位置不變的操作。裝夾有三種方法：1.直接找正裝夾：工件裝到機床后，用百分表（或千分尺）

11、或劃線盤上的劃針目測校正工件位置，以保證被加工表面的位置精度，然后夾緊工件  2. 劃線找正裝夾：這種裝夾方式所需設(shè)備比較簡單、適應(yīng)性強，但生產(chǎn)效率均較低，因此多適用于單件、小批生產(chǎn)中的復(fù)雜鑄件或鑄件精度較低的粗加工工序  3.夾具裝夾：在夾具上裝夾工件時，由工件上的定位基準與夾具定位元件的工作表面保持接觸來實現(xiàn)工件的定位。定位誤差：由于工件在夾具或者機床上定位不準確而引起的加工誤差。來源：一是由于工件的定位表面或夾具上的定位元件制作不準確引起的定位誤差，稱為基準位置誤差。二是由于工件的工序基準定位基準不重合而引起的定位誤差，稱為基準不重合誤差。工件以外

12、圓定位，以工件下母線為工序基準時，定位誤差較小。常用夾緊機構(gòu)：1斜楔夾緊機構(gòu)，有增力作用2螺旋夾緊機構(gòu)，自鎖性能好3偏心夾緊機構(gòu)4定心夾緊機構(gòu)5聯(lián)動夾緊機構(gòu)第四章表面貼裝SMT和通孔組裝THT技術(shù)的根本區(qū)別：一是所用元器件外形不相同；二是PCB焊盤表面，前者焊盤上沒有孔、而后者焊盤上有通孔；三是前者是“貼裝”，即將元器件貼裝在PCB焊盤表面，而后者則是“插裝”，即將長引腳元器件插入PCB通孔內(nèi)；四是前者是預(yù)先將焊料錫膏涂放在焊盤上，貼裝元器件后一次加熱而完成焊接過程，而后者是通過波峰焊機利用熔融的焊料流，實現(xiàn)升溫與焊接。電子組裝中常用的焊接技術(shù)有哪些？  1.手工焊接：在企

13、業(yè)中，焊接SMT元器件主要依靠自動焊接設(shè)備，但在維修電子產(chǎn)品或者研究單位制作樣機時，檢測,焊接SMT元件常用手工焊接。  2.浸悍：是最早應(yīng)用在電子產(chǎn)品批量生產(chǎn)中的焊接方法，現(xiàn)在還在一些小型企業(yè)中使用。   3.波峰焊：分為兩種：單波峰焊和雙波峰焊電子產(chǎn)品THT批量生產(chǎn)中的焊接方法是單波峰焊；SMT批量生產(chǎn)中的焊接方法是雙波峰焊。 4. 再流焊：再流焊目前主要用于表面組裝技術(shù)中片狀元件的焊接。 塑料零件的成形方式：1.注射成形 2.壓塑成形 3.擠出成形 4.壓延成形  設(shè)計塑料零件時，在結(jié)構(gòu)工

14、藝性上應(yīng)注意問題：1.形狀  2.壁厚塑件的壁厚應(yīng)適當和均勻 3.脫模斜度 4.加強筋 5.薄壁件的底部和邊緣 6.圓角 7.孔 8.螺紋 9.鑲嵌件 精密沖壓的基本工序可分為分離工序和成形工序第五章 儀器參數(shù)與特性：1示指與示指范圍 2刻度與分辨力 3測量范圍 4靈敏度與鑒別閥 5儀器的穩(wěn)定性與漂移 6滯差 7零值誤差和基值誤差 影響儀器精度的主要因素： 1.儀器原理誤差（在儀器制造過程中，由于采用了近似的理論、近似的數(shù)學模型、近似的機構(gòu)和近似的測量控制電路等近似方案，所以產(chǎn)生了原理誤差）2.

15、形狀特性 (措施：合理的分配誤差和確定制造公差、正確應(yīng)用儀器設(shè)計原理和設(shè)計原則、合理的確定儀器的結(jié)構(gòu)參數(shù)、合理的結(jié)構(gòu)工藝性、設(shè)置適當?shù)恼{(diào)整和補償環(huán)節(jié) ) 3. 運動特性 4.外部干擾特性 加工精度是指零件加工后的實際幾何參數(shù)（尺寸、幾何形狀、表面相互位置）與理想幾何參數(shù)相符合的程度。 加工精度包括：尺寸精度、形狀精度、位置精度 影響加工精度的工藝因素：1. 方法誤差2.機床誤差（主軸回轉(zhuǎn)誤差、機床導(dǎo)軌誤差、機床傳動鏈誤差）3.夾具誤差和磨損 4.刀具誤差和磨損5.工藝系統(tǒng)的受力變形6.工藝系統(tǒng)的受熱變形（熱源種類、刀具的熱變形、工件熱

16、變形對加工精度影響、機床熱變形對加工精度影響、減少工藝系統(tǒng)熱變形的措施）7.工件安裝誤差調(diào)整誤差和測量誤差（工件安裝誤差、調(diào)整誤差、測量誤差）8.工件殘余應(yīng)力引起的變形（毛坯制造和熱處理過程中產(chǎn)生的殘余應(yīng)力、冷校直產(chǎn)生的殘余應(yīng)力、切削加工產(chǎn)生的殘余應(yīng)力）主軸回轉(zhuǎn)誤差又分為軸向竄動誤差、徑向圓跳動誤差和角度偏擺。機床主軸系統(tǒng)的回轉(zhuǎn)精度對加工件表面的形狀精度有直接影響。誤差敏感方向是指加工中刀具接觸處工件法線的方向。在具有絲杠-螺母副傳動的機床中，傳動鏈中最后一個與絲杠同步旋轉(zhuǎn)的齒輪對加工精度影響最大，因為它的傳動誤差將以1:1傳給絲杠。由機床、夾具、刀具、工件所組成的工藝系統(tǒng)是一個彈性系統(tǒng)。工藝

17、系統(tǒng)的剛度在沿工件軸向的各個位置是不同的，所以加工后工件各個橫截面上的直徑尺寸也不相同，造成了加工后工件軸向的形狀誤差。加工誤差分類 舉例：1. 系統(tǒng)誤差 刀具的的磨損誤差也是與時間相關(guān)的變值系統(tǒng)誤差2.隨機誤差 毛坯誤差的復(fù)映 工藝系統(tǒng)的受熱變形：工件熱變形、機床熱變形、刀具熱變形 熱源種類：1切削熱 對工件加工精度的影響最直接2摩擦熱 導(dǎo)致機床產(chǎn)生熱變形的主要原因，因而破壞了工藝系統(tǒng)原有的精度3輻射熱及環(huán)境溫度 Cp>1,只能說明工藝足夠，不代表全部合格。第六章 研磨過程中磨粒的滾軋和微切削作用 特種加工有別于傳統(tǒng)切削加工的特點：1. 加工中工具不與工件接觸，沒有

18、切削力的影響，工具硬度可以低于工件材料的硬度。2. 加工能量容易控制。3. 便于實現(xiàn)特殊形狀零件加工即微細加工。4. 機床運動簡單。 電火花加工又稱放電加工或電蝕加工。 電火花成形加工的原理是基于工具和工件之間脈沖性火花放電時的電腐蝕現(xiàn)象來腐蝕多余的金屬，以達到對零件的尺寸、形狀及表面質(zhì)量預(yù)定的加工要求。 電火花切割加工與電火花成型加工相比不同點( 或線切割特點）：1.以細金屬絲作為電極，不需要制作特定形狀的電極，降低成本。 2.通過計算機控制，很容易加工出形狀復(fù)雜的零件。 3.輪廓加工所需加工余量少，能有效節(jié)約材料，特別是對貴金屬材料，能加工微細異型孔，窄縫的工件。

19、60;4.加工中電極絲往復(fù)移動，損耗小，對加工精度的影響可以忽略，特別是用低速走絲線切割的工件。 5.電火花線切割不能加工型腔，盲孔類零件。 電解磨削與機械磨削有何區(qū)別？  電解磨削即是電化學機械復(fù)合加工的另一種，電解磨削是利用電解腐蝕和機械磨削作用相結(jié)合的方法對零件進行加工。 影響材料放電腐蝕的主要因素：1極性效應(yīng)：材料相同的兩個電極電蝕量不一樣的現(xiàn)象2脈沖參數(shù)3金屬材料的熱學常數(shù)4工作液：電火花加工一般在液體介質(zhì)中進行，液體介質(zhì)通稱工作液。5其他因素 電解加工的特點：可以加工高硬度高強度的各種金屬材料，并且可以形狀復(fù)雜的型面。生產(chǎn)率高。對于型孔、型面、型腔可以

20、一次進給成形。 電解加工的基本原理：利用金屬在電解液中發(fā)生電化學陽極溶解而去除金屬材料的一種加工方法。 電解磨削是利用電解腐蝕和機械磨削作用相結(jié)合的方法對零件進行加工，是電化學機械復(fù)合加工的一種，另外還有電解珩磨和電解研磨。 超聲波加工原理：超聲波加工是利用工具端面做超聲品振動，通過磨料懸浮液加工脆性材料的一種成形加工方法。 超聲波加工設(shè)備：1超聲波發(fā)生器 2超聲振動系統(tǒng)（換能器、變幅桿、工具） 3超聲波加工機床本體 4研磨懸浮液冷卻及循環(huán)系統(tǒng) 超聲波加工特點：加工范圍廣 2切削力小、切削功率消耗低 3工件加工精度高、表面粗糙度低 4易于加工各種復(fù)雜形狀的型孔、型腔和成型表面等 5工具可用較軟

21、的材料做成較復(fù)雜的形狀 6設(shè)備結(jié)構(gòu)一般比較簡單，操作維修方便。 第七章 數(shù)控機床控制方式分類：1開環(huán)控制系統(tǒng) 2半閉環(huán)控制系統(tǒng) 3閉環(huán)數(shù)控系統(tǒng) 什么是柔性制造系統(tǒng)（FMS）及其主要特征  指一種主要用于多品種中、小批量或批量生產(chǎn)的制造自動化技術(shù)。 特征： 指制造系統(tǒng)對系統(tǒng)內(nèi)部及外部環(huán)境的一種適應(yīng)能力，也是指制造系統(tǒng)能夠適應(yīng)產(chǎn)品變化能力。 柔性制造系統(tǒng)由哪幾部分組成？它們的主要作用是什么？  組成：多位數(shù)控加工系統(tǒng)、自動化的物料儲存系統(tǒng)和計算機控制的信息系統(tǒng)。作用：主要包括生產(chǎn)調(diào)度理論與算法的研究；計算機通信及數(shù)據(jù)庫技術(shù)的研究。 FMS

22、（柔性制造系統(tǒng)）的特點：1具有很強的柔性制造能力 2提高設(shè)備利用率 3減少在制品數(shù)量 4產(chǎn)品質(zhì)量提高，加工成本降低。 5減少直接生產(chǎn)工人，提高勞動生產(chǎn)率。6FMS可以逐步的實現(xiàn)實施計劃。 工業(yè)機器人的基本形成和結(jié)構(gòu)特點：  工業(yè)機器人一般由機械系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、驅(qū)動系統(tǒng)、智能系統(tǒng)組成。 特點：1.工業(yè)機器人的操作可以簡化成各連桿首尾相連、末端開放的一個開式連桿系，結(jié)構(gòu)剛度差。2.在組成操作機的開式連桿系中，每根連桿都具有獨立驅(qū)動器，不同連桿之間運動沒有依從關(guān)系，操作機的運動靈活但復(fù)雜。3.連桿驅(qū)動轉(zhuǎn)矩在運動過程中的變化規(guī)律比較復(fù)雜，連桿的驅(qū)動屬于伺服控制型，對系統(tǒng)剛

23、度、間隙和精度有高要求。4.連桿的受力狀態(tài)，剛度條件和動態(tài)性能都隨位置改變而改變，容易發(fā)生振動或不穩(wěn)定。 工業(yè)機器人分類：1按自動化功能層次分類：專用機器人、通用機器人、示教再現(xiàn)機器人、智能機器人2按結(jié)構(gòu)形式分類：直角坐標型機器人、圓柱坐標型機器人、球坐標型機器人、關(guān)節(jié)型機器人3按控制類型分類：伺服控制（固定程序控制）機器人、非伺服控制（可編程控制）機器人4按自由度數(shù)目分類：無亢余度機器人、有亢余度機器人5按驅(qū)動方式分類：電力驅(qū)動機器人、液壓驅(qū)動機器人、氣壓驅(qū)動機器人、復(fù)合驅(qū)動機器人 什么是快速原型制造技術(shù)及特征：快速原型制造技術(shù)借助于計算機、激光、精密傳動和數(shù)控技術(shù)等現(xiàn)代手段，將CAD和CA

24、M集成于一體，根據(jù)計算機上構(gòu)建的三維模型，在短的時間內(nèi)直接制造出產(chǎn)品樣品，無須傳統(tǒng)刀具、夾具和模具，整個過程中無人干預(yù)。 特征：1.高柔性 2.成形的快速性 3.全數(shù)字化的制造技術(shù) 4.無切割、噪聲和振動等，有利于環(huán)保。 快速原型制造工藝主要有哪幾類型？舉例說明主要應(yīng)用領(lǐng)域。   1.光固化成形工藝 2.疊層實體制造工藝 3.選擇性激光燒結(jié)工藝 4.熔融、沉積制造工藝 5三維印刷工藝 6彈道微粒制造工藝 7三維焊接工藝  應(yīng)用領(lǐng)域：1.RPM技術(shù)

25、在新產(chǎn)品開發(fā)的應(yīng)用 2.基于RPM技術(shù)的快速模具制造 3.RPM技術(shù)在醫(yī)學領(lǐng)域中的應(yīng)用 4.RPM技術(shù)在鑄造領(lǐng)域中的應(yīng)用 快速原型制造工藝主要有哪幾類型及主要應(yīng)用領(lǐng)域：  1.光固化成形工藝 2.疊層實體制造工藝 3.選擇性激光燒結(jié)工藝 4.熔融、沉積制造工藝 5三維印刷工藝 6彈道微粒制造工藝 7三維焊接工藝   應(yīng)用領(lǐng)域：1.RPM技術(shù)在新產(chǎn)品開發(fā)的應(yīng)用 2.基于RPM技術(shù)的快速模具制造 3.RPM技術(shù)在醫(yī)學領(lǐng)域中的應(yīng)用 4.RPM

26、技術(shù)在鑄造領(lǐng)域中的應(yīng)用第八章 微機電系統(tǒng)（MEMS）也稱為微系統(tǒng)或微機械，是利用集成電路制造技術(shù)微細加工技術(shù)，把電路、微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器等制造在一個芯片上的微型集成系統(tǒng)。 微細加工可分為微米級、亞微米級和納米級微細加工按基本加工類型可大致分四類：1分離加工。如分解，蒸發(fā)，濺射，破碎等。 2接合加工。如蒸鍍，淀積，摻入，生長，黏結(jié)等。 3變形加工，如塑性變形加工，流體變形加工。 4材料處理或改性，如一些熱處理或表面改性等。 光刻技術(shù): 1勻膠 2前烘 3曝光 4顯影 5后烘 6刻蝕 體微細加工技術(shù)指通過刻蝕等方法去除部分基體或襯底材料，從而得到所需元件的體構(gòu)形 表面微細加工技術(shù)指那些能夠制造微小尺寸元器件或薄膜圖形的方法 LIGA加工技術(shù)基本工藝過程 ：1深層同步輻射X射線光刻： 利用同步輻射X射線透過掩膜，對固定于金屬基