ATLASBarrelSCTmoduleの位置精度および平面度測定

1、新間 秀一, 加藤 陽一, 秋元 崇, 原 和彥（筑波）中野 逸夫, 田中 禮三郎（岡山）高嶋 隆一（京都教育）海野 義信, 高力 孝, 近藤 敬比古, 寺田 進, 池上 陽一, 氏家 宣彥（高研）巖田 洋世, 大杉 節(jié)（広島）ATLAS Barrel SCT module 位置精度平面度測定1. 測定目的 何故, 位置精度平面度必要？ 2. 測定裝置3. 測定方法4. 位置精度記述5. 位置精度結果6. 平面度記述7. 平面度結果8. 1. 目的 (何故, 位置測定平面度測定必要？）位置測定, 平面度測定QA (Quality Assurance)一, 組立精度要求満 .QA流當座）組立精度

2、測定）QA中変動量測定組立溫度測定測定測定測定測定測定1. 目的（）位置精度 荷電粒子飛跡再構成精度 位置分解能（23 um）決. 位置分解能生, 表裏位置 精度, z方向25 um, r-f方向 5 um要求.平面精度 據(jù)付下図10度角度. z方向斷面図位置分解能 (23 um)精度保, r-f 方向8 um 以下要求. 10度重角度, 徑方向x um 考, x = 8/sin 10 = 50 um要求.量optimal Z max lower(upper)量表.2. 測定裝置3次元測定器Mitutoyo Quick VisionPro250測定精度xy平面対1 um以下（濃淡認識測定）z方

3、向対10 um以下 （測定）3次元測定器（寫真）3. 測定方法In-Plane survey（位置精度測定）透明固定.各(x,y)座標測定.表面, 中心座標測定.計 26 (x,y)座標計算Out-of-Plane survey（平面度測定）各5x5格子點(x,y,z)座標測定.基準平面Z1Z3點平面計100 (x,y,z)座標計算4.1 位置精度記述測定計26 (x,y) 座標13 個計算(mhx, mhy): 座標(msx, msy): 座標(midxf, midyf): 表面 重心裏面重心間x方向（平行）, y方向（垂直）(sepf, sepb): 表裏中心間距離(a1-a4): 各個別

4、回転half-stereo: 表面裏面 角半分 (a1a4) : 各個別回転角度4.2 各対設計値許容範囲表裏位置関係表midy 許容範囲最厳.5.1 位置精度結果測定(x,y)座標計算.位置精度重要midyf, half-stereo, a1a4分布示.2最重要midyftolerance超. midyftolerance超角度tolerance超傾向. Before Temperature Cycle5.2 測定結果 （QA変動量）右図行変動量.多前後大変動解（後変化?。?変動量大.測定可能性？使 返動可能性.基準測定行, 結果比較.6.1 平面度記述測定100個(x,y,z)座標一, 8

5、個計算.Max Z lower (upper): 基準面測定裏面（表面）z座標最大値module thickness: 厚x, y斷面例平面度個性, Mid-plane 大 個性無.個自身歪及歪形狀個性.6.1 ()Max Z lower (upper) 要求, 以下図隣合觸200 um 以內要求.(単位: mm)6.2 Mid-plane用Mid-plane左上面左下面測定全z座標中點計算, 平面方程式(z=ax+by+c). 得平面Mid-plane定義.右対同様 Mid-plane決定.optimal Z max lower (upper)各測定點Mid-plane距離求. 計測全, 距

6、離平均値計算. 內最大値.optimal Z RMS lower (upper) 上計算分布RMS （上下面対計算）Mid-plane height Mid-plane厚相當 7.1 平面度測定結果右図平面度記述全組立直後 結果.組立直後全 tolerance 以內 収解.QA行後変化？7.2 平面度測定結果 （ QA後）右図前後変化量.変化量小, 唯一 max Z lower 変化量最大約40 um, 変化量大.対 max Z upper変化量 (後変化全）.表裏介接著一方大変化不自然.今後, 現(xiàn)象解明必要.8. 今回, 自動化組立製作位置精度平面度測定.測定評価當, 位置精度13個, 平面度対 8個設定.位置精度取付基準測定,