用于監(jiān)測酒精氣體濃度的氣敏傳感器課件

1、氣敏傳感器完整版04045班小組成員：朱振輝（組長） 周晟 謝鼎 周海牛綜述市場產(chǎn)品應用參考文獻第一節(jié) 綜述1.1 簡介1.2特點1.3分類1.4導電機理1.5電阻型氣敏器件1.6非電阻型氣敏器件1.1 簡介氣敏傳感器，又稱氣體傳感器，是指利用各種化學、物理效應將氣體成分、濃度按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成電信號輸出的傳感器件，是化學傳感器中最活躍的一種，其廣泛應用于煤礦、農(nóng)業(yè)、化工、建筑、環(huán)保、醫(yī)療、家電等領域。目前氣敏傳感器的主要產(chǎn)品包括可燃性氣敏傳感器、CO、H2S、NH3、SO2、C12、NO、NO2等毒性氣敏傳感器、氧傳感器、溶氧傳感器、CO2傳感器等。據(jù)中國電子元件行業(yè)協(xié)會信息中心統(tǒng)計，目前，毒

2、性氣體傳感器在環(huán)境保護中使用大約在20萬臺套左右，其中，進口產(chǎn)品占78%，農(nóng)業(yè)及工業(yè)用CO2傳感器幾乎全部依靠進口。環(huán)境保護需對空氣污染物主要是CO、HC、NOx、SO2、顆粒物進行監(jiān)測，市場上主要采用熒光光學原理和-線吸收原理制造的傳感器，產(chǎn)品90%以上為進口加拿大BW公司、美國熱電公司、法國環(huán)境儀器公司等產(chǎn)品。據(jù)中國電子元件行業(yè)協(xié)會信息中心預測，2006年中國氣敏傳感器的需求量將超過萬只。1.2特點由于傳感器原理是基于物理變化的，因而沒有相對運動部件，可以做到結(jié)構簡單，微型化； 靈敏度高，動態(tài)性能好，輸出為電量； 采用半導體為敏感材料容易實現(xiàn)傳感器集成化，智能化； 功耗低，安全可靠。同時，

3、半導體傳感器也存在以下一些缺點： 線性范圍窄，在精度要求高的場合應采用線性化補償電路； 與所有半導體元件一樣，輸出特性易受溫度影響而漂移，所以應采用補償措施； 性能參數(shù)離散性大。 雖然存在上述問題，但半導體傳感器仍是目前傳感器發(fā)展的重要方向，尤其是大規(guī)模集成電路技術的不斷發(fā)展，半導體傳感器的技術也日臻完善。1.3分類主要物理特性傳感器舉例工作溫度典型被測氣體電阻式電阻表面控制型氧化銀、氧化鋅室溫450可燃性氣體體控制型氧化鈦、氧化鈷、氧化鎂、氧化錫700以上酒精、氧氣、可燃性氣體非電阻式表面電位氧化銀室溫硫醇二極管整流特性鉑/硫化鎘、鉑/氧化鈦室溫200氫氣、一氧化碳、酒精晶體管特性鉑柵MOS

4、場效應晶體管150氫氣、硫化氫1.4導電機理 這里我們以半導瓷材SnO2為例說明氣敏半導體材料的導電機理。SnO2是N型半導體，其導電機理可以用吸附效應來解釋。器件在加熱到穩(wěn)定狀態(tài)的情況下，當有氣體吸附時，吸附分子首先在表面自由地擴散。其間一部分分子蒸發(fā)，一部分分子就固定在吸附處。此時如果材料的功函數(shù)小于吸附分子的電子親和力，則吸附分子將從材料奪取電子而變成負離子吸附；如果材料功函數(shù)大于吸附分子的離解能，吸附分子將向材料釋放電子而成為正離子吸附。O2和NOx（氮類氧化物）傾向于負離子吸附，稱為氧化型氣體。H2、CO、碳氫化合物和酒類傾向于正離子吸附，稱為還原型氣體。氧化型氣體吸附到N型半導體上

5、，將使載流子減少，從而使材料的電阻率增大。還原型氣體吸附到N型半導體上，將使載流子增多，材料電阻率下降。根據(jù)這一特性，就可以從阻值變化的情況得知吸附氣體的種類和濃度。 1.5電阻型氣敏器件電阻型氣敏器件在目前使用的比較廣泛。按其結(jié)構，可分為燒結(jié)型，薄膜型和厚膜型三種，下面分別予以介紹。燒結(jié)型薄膜型厚膜型燒結(jié)型氣敏器件的制作是將一定配比的敏感材料(SnO2、InO)及摻雜劑(Pt、Pb)等以水或粘合劑調(diào)和，經(jīng)研磨后使其均勻混合，然后將已均勻混合的膏狀物滴入模具內(nèi)，用傳統(tǒng)的制陶方法進行燒結(jié)。燒結(jié)時埋入加熱絲和測量電極，最后將加熱絲和測量電極焊在管座上，加特制外殼構成器件。這種器件一般分為內(nèi)熱式和旁

6、熱式兩種結(jié)構 1、燒結(jié)型內(nèi)熱式器件管芯體積一般都很小，加熱絲直接埋在金屬氧化物半導體材料內(nèi)，兼作一個測量板，該結(jié)構制造工藝簡單。其缺點是：熱容量小，易受環(huán)境氣流的影響；測量電路和加熱電路之間相互影響；加熱絲在加熱和不加熱狀態(tài)下產(chǎn)生脹、縮，容易造成與材料接觸不良的現(xiàn)象。旁熱式氣敏器件的管芯是在陶瓷管內(nèi)放置高阻加熱絲，在瓷管外涂梳狀金電極，再在金電極外涂氣敏半導體材料。這種結(jié)構形式克服了內(nèi)熱式器件的缺點，使器件穩(wěn)定性有明顯提高 2、薄膜型 薄膜型氣敏器件的制作首先須處理基片(玻璃石英式陶瓷)；焊接電極，之后采用蒸發(fā)或濺射方法在石英基片上形成一薄層氧化物半導體薄膜。實驗測得SnO2和ZnO薄膜的氣敏

7、特性較好。這種器件具有較高的機械強度，而且具有互換性好，產(chǎn)量高、成本低等優(yōu)點。3、厚膜型 為解決器件一致性問題，1977年發(fā)展了厚膜型器件。它是有SnO2和ZnO等材料與315(重量)的硅凝膠混合制成能印刷的厚膜膠，把厚膜膠用絲網(wǎng)印制到事先安裝有鉑電極的Al2O3基片上，以400800燒結(jié)1小時制成。其結(jié)構如圖12-5所示。厚膜工藝制成的元件一致性較好，機械強度高，適于批量生產(chǎn)，是一種有前途的器件。這種氣敏器件的優(yōu)點是：工藝簡單，價格便宜，使用方便；對氣體濃度變化時的響應快；即使在低濃度(3000mg/kg)下，靈敏度也很高。其缺點在于：穩(wěn)定性差，老化較快，氣體識別能力不強，各器件之間的特性差

8、異大等。1.6非電阻型氣敏器件1、二極管氣敏傳感器2、MOS二極管氣敏器件3、Pd-MOSFET氣敏器件1、二極管氣敏傳感器如果二極管的金屬與半導體的界面吸附有氣體，而這種氣體又對半導體的禁帶寬度或金屬的功函數(shù)有影響的話，則其整流特性就會發(fā)生變化。在摻錮的硫化鎘上，薄薄地蒸發(fā)一層鈀薄膜，就形成了鈀硫化鎘二極管氣敏傳感器，這種傳感器可用來檢測氫氣。氫氣對這種二極管整流特性的影響如下:在氫氣濃度急劇增高的同時，正向偏置條件下的電流也急劇增大。所以在一定的偏置下，通過測量電流值就能知道氫氣的濃度。電流值之所以增大，是因為吸附在鈀表面的氧氣由于氫氣濃度的增高而解吸，從而使肖特基勢壘降低的緣故。2、MO

9、S二極管氣敏器件金屬-氧化物-半導體(MOS)二極管的結(jié)構和等效電路如圖12-8所示。它是利用MOS二極管的電容-電壓特性的變化制成的MOS半導體氣敏器件。在P型半導體硅芯片上，采用熱氧化工藝生長一層厚度為50100nm左右的SiO2層，然后再在其上蒸發(fā)一層鈀金屬薄膜，作為柵電極。SiO2層電容Cax是固定不變的，Si-SiO2界面電容Cx是外加電壓的函數(shù)。所以總電容C是柵極偏壓的函數(shù)。其函數(shù)關系稱為該MOS管的C-U(電容-電壓)特性。由于鈀在吸附H2以后，會使鈀的功函數(shù)降低。這將引起MOS管的C-U特性向負偏壓方向平移，如圖12-9所示。由此可測定H2的濃度。3、Pd-MOSFET氣敏器件

10、這種器件是利用MOS場效應晶體管(MOSFET)的閾值電壓的變化做成的半導體氣敏器件。Pd-MOSFET與普通MOSFET的主要區(qū)別在于用Pd薄膜取代Al膜作為柵極。因為鈀對H2吸附能力強，而H2在鈀上的吸附將導致鈀的功函數(shù)降低。閾電壓UT的大小與金屬和半導體之間的功函數(shù)差有關。Pd-MOSFET氣敏器件正是利用H2在鈀柵上吸附后引起閾電壓UT下降這一特性來檢測H2濃度的。 由于目前大多數(shù)氣敏器件的選擇性并不理想，而鈀膜只對H2敏感，所以Pd-MOSFET對氫有獨特的高選擇性。由于這類器件的性能尚不太穩(wěn)定，作為定量檢測氫氣濃度還存在一些問題 市場產(chǎn)品半導體式（MQ系列）催化然燒式（MC系列）電

11、化學式（ME系列）熱線型半導體式（MR系列）氣體熱傳導式（MD系列）固體電解質(zhì)式（MG系列）離子式半導體式（MQ系列）半導體型可燃氣體敏感元件一氧化碳氣敏元件 一氧化碳/可燃氣體敏感元件 臭氧氣體敏感元件 空氣污染氣敏元件 毒性氣體敏感元件 酒精氣體敏感元件 半導體型可燃氣體敏感元件 半導體型可燃氣體敏感元件MQ-2 半導體型可燃氣體敏感元件MQ-4 半導體型可燃氣體敏感元件MQ-5 半導體型可燃氣體敏感元件MQ-6 半導體型可燃氣體敏感元件MQ-8 半導體型可燃氣體敏感元件MQ306A 半導體型可燃氣體敏感元件MQ214 半導體型可燃氣體敏感元件MQ216 半導體型可燃氣體敏感元件MQ-2

12、Application/應用 家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)?？扇細怏w泄漏報警器，氣體檢漏儀。 Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 驅(qū)動電路簡單/大的電信號輸出 Specification/規(guī)格適用氣體：可燃氣體、煙霧探測范圍：100 to 10000ppm特征氣體：1000ppm異丁烷靈敏度：R in air/Rin typical gas5敏感體電阻：40 to 400K in air空氣中響應時間：10s恢復時間：30s加熱電阻：313加熱電流：180mA加熱電壓：5V0.2V加熱功率：900mW測量電壓：15

13、V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路半導體型可燃氣體敏感元件MQ-4 Application/應用 家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)?？扇細怏w泄漏報警器，氣體檢漏儀。 Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 驅(qū)動電路簡單/大的電信號輸出 Specification/規(guī)格適用氣體：天然氣、甲烷探測范圍：300 to 10000ppm特征氣體：5000ppm甲烷靈敏度：R in air/Rin typical gas5敏感體電阻：40 to 4

14、00K in air空氣中響應時間：10s恢復時間：30s加熱電阻：313加熱電流：180mA加熱電壓：5V0.2V加熱功率：900mW測量電壓：15V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路半導體型可燃氣體敏感元件MQ-5 Application/應用 家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)?？扇細怏w泄漏報警器，氣體檢漏儀。 Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 驅(qū)動電路簡單/大的電信號輸出 Specification/規(guī)格適用氣體：液化氣、甲烷、

15、煤制氣探測范圍：300 to 5000ppm特征氣體：1000ppm異丁烷靈敏度：R in air/Rin typical gas5敏感體電阻：40 to 400K in air空氣中響應時間：10s恢復時間：30s加熱電阻：313加熱電流：180mA加熱電壓：5V0.2V加熱功率：900mW測量電壓：15V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路半導體型可燃氣體敏感元件MQ-6 Application/應用 家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)?？扇細怏w泄漏報警器，氣體檢漏儀。 Feat

16、ure/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 驅(qū)動電路簡單/大的電信號輸出 Specification/規(guī)格適用氣體：液化氣、異丁烷、丙烷探測范圍：100 to 10000ppm特征氣體：1000ppm異丁烷靈敏度：R in air/Rin typical gas5敏感體電阻：40 to 400K in air空氣中響應時間：10s恢復時間：30s加熱電阻：313加熱電流：180mA加熱電壓：5V0.2V加熱功率：900mW測量電壓：15V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路半導體型可燃

17、氣體敏感元件MQ-8 Application/應用 家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)。可燃氣體泄漏報警器，氣體檢漏儀。 Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 驅(qū)動電路簡單/大的電信號輸出 Specification/規(guī)格適用氣體：氫氣、煤制氣探測范圍：50 to 10000ppm特征氣體：800ppm氫氣靈敏度：R in air/Rin typical gas5敏感體電阻：40 to 400K in air空氣中響應時間：20s恢復時間：40s加熱電阻：313加熱電流：180mA加熱電壓：5V0.2V加熱功率：900mW

18、測量電壓：15V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路半導體型可燃氣體敏感元件MQ306AApplication/應用 家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)?？扇細怏w泄漏報警器，氣體檢漏儀。Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 驅(qū)動電路簡單/大的電信號輸出Specification/規(guī)格適用氣體：液化氣、甲烷、煤制氣探測范圍：300 to 5000ppm特征氣體：1000ppm異丁烷靈敏度：R in air/Rin typical gas3敏感體

19、電阻：20 to 400K in air空氣中響應時間：10s恢復時間：30s加熱電阻：450.5加熱電流：130mA加熱電壓：0.9V0.1V加熱功率：130mW測量電壓：6V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路半導體型可燃氣體敏感元件MQ214 Application/應用 家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)?？扇細怏w泄漏報警器，氣體檢漏儀。 Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 驅(qū)動電路簡單/大的電信號輸出 Specification/

20、規(guī)格適用氣體：甲烷探測范圍：300 to 5000ppm特征氣體：5000ppm甲烷靈敏度：R in air/Rin typical gas3敏感體電阻：0.1 to 0.55K in air空氣中 in air空氣中響應時間：10s恢復時間：30s加熱電流：約20mA加熱電壓：6V0.2V加熱功率：約150mW測量電壓：6V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路半導體型可燃氣體敏感元件MQ216 Application/應用 家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)?？扇細怏w泄漏報警器，氣

21、體檢漏儀。 Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 驅(qū)動電路簡單/大的電信號輸出 Specification/規(guī)格適用氣體：液化氣、甲烷、煤制氣探測范圍：100 to 10000ppm特征氣體：1000ppm異丁烷靈敏度：R in air/Rin typical gas3敏感體電阻：0.1 to 0.55K in air空氣中 in air空氣中 air空氣中響應時間：10s恢復時間：30s加熱電流：約20mA加熱電壓：6V0.2V加熱功率：約150mW測量電壓：6V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度

22、:70%RH 說明書 應用電路一氧化碳氣敏元件一氧化碳氣敏元件MQ-7 一氧化碳氣敏元件MQ307A 一氧化碳氣敏元件MQ-7 Application/應用 用于家庭、商業(yè)、工業(yè)環(huán)境的一氧化碳、煤氣探測裝置。 Feature/特色 對一氧化碳的高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 大的電信號輸出 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：一氧化碳CO探測范圍：10 to 1000ppm特征氣體：100ppm一氧化碳靈敏度：R in air/Rin typical gas5敏感體電阻：40 to 400K in air空氣中響應時間：150s（70% Response）恢復時

23、間：150s（70% Response）加熱電阻：313加熱電壓：5V0.2V加熱功率：約350mW測量電壓：3.0-10.0V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路一氧化碳氣敏元件MQ307A Application/應用 用于家庭、商業(yè)、工業(yè)環(huán)境的一氧化碳、煤氣探測裝置。Feature/特色對一氧化碳的高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 大的電信號輸出 / 優(yōu)異的選擇性Specification/規(guī)格適用對象：一氧化碳CO探測范圍：10 to 500ppm特征氣體：100ppm一氧化碳靈敏度R in air

24、/Rin typical gas3敏感體電阻：20 to 400K in air空氣響應時間：150s（70% Response恢復時間：150s（70% Response）加熱電阻：4.50.5加熱電壓：0.9V0.1V加熱功率：約50mW測量電壓：3.0-10.0V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路一氧化碳/可燃氣體敏感元件 一氧化碳/可燃氣體敏感元件MQ-9 一氧化碳/可燃氣體敏感元件MQ309A 一氧化碳/可燃氣體敏感元件MQ-9 Application/應用 用于家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體和一氧化

25、碳氣體泄漏監(jiān)測裝置,防火/安全探測系統(tǒng)。Feature/特色 兼顧一氧化碳和可燃氣體 / 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 驅(qū)動電路簡單/大的電信號輸出 / 優(yōu)異的選擇性Specification/規(guī)格適用氣體：一氧化碳、可燃氣體探測范圍：10 to 1000ppm CO、100 to 10000ppm可燃氣體特征氣體：100ppm一氧化碳/5000ppm甲烷靈敏度：R in air/Rin typical gas5敏感體電阻：40 to 400K in air空氣響應時間：150s（70% Response）恢復時間：150s（70% Response）加熱電阻：313加熱電壓：5V0

26、.2V加熱功率：約350mW測量電壓：3.0-10.0V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65 濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70 濕度:70%RH 說明書 應用電路一氧化碳/可燃氣體敏感元件MQ309A Application/應用 用于家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體和一氧化碳氣體泄漏監(jiān)測裝置,防火/安全探測系統(tǒng)。Feature/特色 兼顧一氧化碳和可燃氣體 / 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 驅(qū)動電路簡單/大的電信號輸出 / 優(yōu)異的選擇性Specification/規(guī)格適用氣體：一氧化碳、可燃氣體探測范圍：10 to 500ppm CO、300 to 5000ppm可燃

27、氣體特征氣體：100ppm一氧化碳/5000ppm甲烷靈敏度：R in air/Rin typical gas3敏感體電阻：20 to 400K in air空氣中響應時間：150s（70% Response）恢復時間：150s（70% Response）加熱電阻：4.50.5加熱電壓0.9V0.1V加熱功率約：50mW測量電壓3.0-10.0V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路臭氧氣體敏感元件元件：臭氧氣體敏感元件MQ131 臭氧氣體敏感元件MQ131 Application/應用 用于家庭、商業(yè)環(huán)境中臭氧氣

28、體的探測，空氣清新機、空氣消毒控制器。 Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 簡單的測試電路/ 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：臭氧O3探測范圍：0.01-2ppmO3/10-500ppmO3靈敏度：R in air/Rin typical gas3敏感體電阻：20 to 1000K in 50ppb O3/2-20K in 200ppm O3響應時間：30s（70% Response）恢復時間：60s（70% Response）加熱電阻：353加熱電流：180mA加熱電壓5V0.2V加熱功率：850mW測量電壓：10V工作條件

29、 環(huán)境溫度:-10to65 濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70 濕度:70%RH 說明書 應用電路空氣污染氣敏元件空氣污染氣敏元件MQ135 空氣污染氣敏元件MQ135 Application/應用 用于家庭、環(huán)境的有害氣體探測、自動排風裝置、空氣清新機。Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 簡單的測試電路Specification/規(guī)格適用氣體：氨氣、苯、酒精、煙霧探測范圍：10-300ppmNH3、10-1000ppm苯、10-600ppm酒精、1%-10%煙霧特征氣體：100ppm酒精靈敏度：R in air/Rin typica

30、l gas5敏感體電阻：2 to 500K in air空氣中響應時間：10s（70% Response）恢復時間：30s（70% Response）加熱電阻：313加熱電流：180mA加熱電壓：5V0.2V加熱功率：850mW測量電壓：15V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 應用電路毒性氣體敏感元件毒性氣體敏感元件MQ136 毒性氣體敏感元件MQ137 毒性氣體敏感元件MQ138 毒性氣體敏感元件MQ136 Application/應用 用于家庭、工廠、商業(yè)場所的毒性氣體泄漏監(jiān)測、報警裝置。 Feature/特色 高靈敏度

31、/快速響應恢復 /穩(wěn)定性好/長壽命 /驅(qū)動電路簡單 /大信號 輸出 /優(yōu)異的選擇性Specification/規(guī)格適用氣體：硫化氫探測范圍：1-100ppm特征氣體：10ppm硫化氫靈敏度：R in air/Rin typical gas3敏感體電阻：30 to 300K in 10ppmH2S響應時間：30s（70% Response）恢復時間：60s（70% Response）加熱電阻：313加熱電流：180mA加熱電壓：5V0.2V加熱功率：850mW測量電壓15V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65 濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70 濕度:70%RH 說明書 應用電路毒

32、性氣體敏感元件MQ137 Application/應用 用于家庭、工廠、商業(yè)場所的毒性氣體泄漏監(jiān)測、報警裝置。 Feature/特色 高靈敏度 /快速響應恢復 /穩(wěn)定性好/長壽命 /驅(qū)動電路簡單 /大信號 輸出 /優(yōu)異的選擇性Specification/規(guī)格適用氣體：氨氣探測范圍：10-300ppm特征氣體：50ppm氨氣靈敏度：R in air/Rin typical gas3敏感體電阻：500 to 5000K in clean air響應時間：30s（70% Response）恢復時間：60s（70% Response）加熱電阻：313加熱電流：180mA加熱電壓5V0.2V加熱功率：8

33、50mW測量電壓15V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路毒性氣體敏感元件MQ138 Application/應用 用于家庭、工廠、商業(yè)場所的毒性氣體泄漏監(jiān)測、報警裝置。 Feature/特色 高靈敏度 /快速響應恢復 /穩(wěn)定性好/長壽命 /驅(qū)動電路簡單 /大信號 輸出 /優(yōu)異的選擇性Specification/規(guī)格適用氣體：醇類、苯類、醛類、酮類、酯類等有機揮發(fā)物探測范圍：10-1000ppm特征氣體：50ppm甲苯靈敏度：R in air/Rin typical gas3敏感體電阻：10 to 200K in

34、 clean air潔凈空氣響應時間：30s（70% Response）恢復時間：60s（70% Response）加熱電阻：313加熱電流：180mA加熱電壓：5V0.2V加熱功率：850mW測量電壓：15V工作條件 環(huán)境溫度:-10to65 濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70 濕度:70%RH 說明書 應用電路酒精氣體敏感元件酒精氣體敏感元件MQ-3 酒精氣體敏感元件MQ303A 酒精氣體敏感元件MQ-3 Application/應用 用于機動車駕駛?cè)藛T及其他風險作業(yè)人員的酒后監(jiān)督檢測和其他場所乙醇蒸汽的探測。 Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)

35、定性/長壽命 驅(qū)動電路簡單/大的電信號 輸出 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：酒精（乙醇）探測范圍：10 to 1000ppm特征氣體：100ppm酒精靈敏度：R in air/Rin typical gas5敏感體電阻：400 to 4000K in air空氣響應時間：10s（70% Response）恢復時間：30s（70% Response）加熱電阻：313加熱電流：180mA加熱電壓：5V0.2V加熱功率：900mW測量電壓：15V工作條件環(huán)境溫度:-10to65 濕度:95%RH&nb貯存條件溫度:-20-70 濕度:70%RH 說明書 應用電路酒精氣體

36、敏感元件MQ303A Application/應用 用于機動車駕駛?cè)藛T及其他風險作業(yè)人員的酒后監(jiān)督檢測和其他場所乙醇蒸汽的探測。 Feature/特色 高靈敏度 / 快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 驅(qū)動電路簡單/大的電信號 輸出 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：酒精（乙醇）探測范圍：20 to 1000ppm特征氣體：100ppm酒精靈敏度：R in air/Rin typical gas3敏感體電阻：4 to 400K in air空氣中響應時間：10s（70% Response）恢復時間：30s（70% Response）加熱電阻：4.50.5 加熱電流

37、：130mA加熱電壓：0.9V0.1V加熱功率：130mW測量電壓：15V作條件環(huán)境溫度:-10to65 濕度:95%RH&nb貯存條件溫度:-20-70 濕度:70%RH 說明書 應用電路催化燃燒式（MC系列） 催化燃燒式可燃氣體敏感元件 催化燃燒式可燃氣體敏感元件（防爆型） 工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件 催化燃燒式可燃氣體敏感元件催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC101 催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC102 催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC105 催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC106 催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC108 催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC101 Application/應用 家

38、庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)?？扇細怏w泄漏報警器，氣體檢漏儀。 Feature/特色 線性電壓信號輸出 / 快速響應恢復 / 抗溫濕度干擾 / 穩(wěn)定可靠適用氣體:甲烷、液化氣、丙烷等可燃性氣體探測范圍:0-100%LEL特征氣體:1%甲烷靈敏度:25mV/1%甲烷響應時間:10s恢復時間:30s工作電壓:3V0.1V工作電流:140mA功率:420mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC102 Application/應用 家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃

39、氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)。可燃氣體泄漏報警器，氣體檢漏儀。Feature/特色 線性電壓信號輸出 / 快速響應恢復 / 抗溫濕度干擾 / 穩(wěn)定可靠Specification/規(guī)格適用氣體:甲烷、液化氣、丙烷等可燃性氣體探測范圍:0-100%LEL特征氣體:1%甲烷靈敏度:20mV/1%甲烷響應時間:10s恢復時間:30s工作電壓:2.8V0.1V工作電流:120mA功率:350mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC105 Application/應用 家庭、工廠、商業(yè)

40、場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)。可燃氣體泄漏報警器，氣體檢漏儀。 Feature/特色 線性電壓信號輸出 / 快速響應恢復 / 抗溫濕度干擾 / 穩(wěn)定可靠 Specification/規(guī)格適用氣體:甲烷、液化氣、丙烷等可燃性氣體探測范圍:0-100%LEL特征氣體:1%甲烷靈敏度:20mV/1%甲烷響應時間:10s恢復時間:30s工作電壓:2.5V0.1V工作電流:180mA功率:450mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC106 Application/應用 家

41、庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)?？扇細怏w泄漏報警器，氣體檢漏儀。 Feature/特色 線性電壓信號輸出 / 快速響應恢復 / 抗溫濕度干擾 / 穩(wěn)定可靠 Specification/規(guī)格適用氣體:甲烷、液化氣、丙烷等可燃性氣體探測范圍:0-100%LEL特征氣體:1%甲烷靈敏度:30mV/1%甲烷響應時間:10s恢復時間:30s工作電壓:2.5V0.1V工作電流:180mA功率:450mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC108 Applicati

42、on/應用 家庭、工廠、商業(yè)場所的可燃氣體泄漏監(jiān)測裝置, 防火/安全探測系統(tǒng)。可燃氣體泄漏報警器，氣體檢漏儀。 Feature/特色 線性電壓信號輸出 / 快速響應恢復 / 抗溫濕度干擾 / 穩(wěn)定可靠 Specification/規(guī)格適用氣體:氫氣、可燃氣體探測范圍:0-100%LEL特征氣體:1%甲烷靈敏度:50mV/1%甲烷響應時間:10s恢復時間:30s工作電壓:5V0.1V工作電流:120mA功率:600mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路催化燃燒式可燃氣體敏感元件（防爆型）催化燃燒式可燃氣體敏感元件

43、（防爆型）MC112 催化燃燒式可燃氣體敏感元件（防爆型）MC113 催化燃燒式可燃氣體敏感元件（防爆型）MC114 催化燃燒式可燃氣體敏感元件（防爆型）MC112 Application/應用工業(yè)現(xiàn)場的天然氣、液化氣、煤氣、 烷類等可燃性氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測?？扇夹詺怏w探測器、氣體濃度計、瓦斯偵測儀。 Feature/特色 線性電壓信號輸出 / 快速響應恢復 / 抗溫濕度干擾 / 穩(wěn)定可靠 / 防爆結(jié)構 Specification/規(guī)格適用氣體:天然氣、液化氣、煤氣、烷類等可燃氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測探測范圍:0-100%LEL特征氣體:1%甲

44、烷靈敏度:20mV/1%甲烷響應時間:10s恢復時間:30s工作電壓:3V0.1V工作電流:140mA功率:420mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路催化燃燒式可燃氣體敏感元件（防爆型）MC113 Application/應用 工業(yè)現(xiàn)場的天然氣、液化氣、煤氣、 烷類等可燃性氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測。可燃性氣體探測器、氣體濃度計、瓦斯偵測儀 Feature/特色 線性電壓信號輸出 / 快速響應恢復 / 抗溫濕度干擾 / 穩(wěn)定可靠 / 防爆結(jié)構 Specification/規(guī)格適用氣體:天然

45、氣、液化氣、煤氣、烷類等可燃氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測探測范圍:0-100%LEL特征氣體:1%甲烷靈敏度:15mV/1%甲烷響應時間:10s恢復時間:30s工作電壓:2.8V0.1V工作電流:120mA功率:350mW工作條件環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路 催化燃燒式可燃氣體敏感元件（防爆型）MC114 Application/應用 工業(yè)現(xiàn)場的天然氣、液化氣、煤氣、 烷類等可燃性氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測?？扇夹詺怏w探測器、氣體濃度計、瓦斯偵測儀。 Feature/特色 線性電

46、壓信號輸出 / 快速響應恢復 / 抗溫濕度干擾 / 穩(wěn)定可靠 / 防爆結(jié)構 Specification/規(guī)格適用氣體：天然氣、液化氣、煤氣、烷類等可燃氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測探測范圍：0-100%LEL特征氣體：1%甲烷靈敏度：15mV/1%甲烷響應時間：10s恢復時間：30s工作電壓：2.5V0.1V工作電流：180mA功率：450mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC201 工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC115

47、工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC116 工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC117 工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC118 工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC201Application/應用 工業(yè)現(xiàn)場的天然氣、液化氣、煤氣、 烷類等可燃性氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測?？扇夹詺怏w探測器、氣體濃度計、瓦斯偵測儀。Feature/特色 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異 的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體 民用、工業(yè)現(xiàn)場的天然氣、液化氣、煤氣、烷類等可燃性氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的特征氣體環(huán)境溫

48、度: -10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC115 Application/應用 工業(yè)現(xiàn)場的天然氣、液化氣、煤氣、 烷類等可燃性氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測?？扇夹詺怏w探測器、氣體濃度計、瓦斯偵測儀 Feature/特色高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：天然氣、液化氣、煤氣、烷類等可燃氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測探測范圍：0-100%LEL特征氣體：1%甲烷靈敏度：20mV/1%甲烷

49、響應時間：10s恢復時間：30s工作電壓：3V0.1V工作電流：140mA功率：420mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC116 Application/應用 工業(yè)現(xiàn)場的天然氣、液化氣、煤氣、 烷類等可燃性氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測?？扇夹詺怏w探測器、氣體濃度計、瓦斯偵測儀 Feature/特色 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：天然氣、液化氣、煤氣、烷類

50、等可燃氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測探測范圍：0-100%LEL特征氣體：1%甲烷靈敏度：20mV/1%甲烷響應時間：10s恢復時間：30s工作電壓：2.5V0.1V工作電流：180mA功率：450mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC117 Application/應用 工業(yè)現(xiàn)場的天然氣、液化氣、煤氣、 烷類等可燃性氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測?？扇夹詺怏w探測器、氣體濃度計、瓦斯偵測儀 Feature/特色 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 /

51、優(yōu)異的選擇性 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：天然氣、液化氣、煤氣、烷類等可燃氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測探測范圍：0-100%LEL特征氣體：1%甲烷靈敏度：25mV/1%甲烷響應時間：10s恢復時間：30s工作電壓：2.5V0.1V工作電流：180mA功率：450mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路工業(yè)級催化燃燒式可燃氣體敏感元件MC118Application/應用 工業(yè)現(xiàn)場的天然氣、液化氣、煤氣、 烷類等可燃性氣體及汽油、醇、酮

52、、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測?？扇夹詺怏w探測器、氣體濃度計、瓦斯偵測儀 Feature/特色 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性Specification/規(guī)格適用氣體：天然氣、液化氣、煤氣、烷類等可燃氣體及汽油、醇、酮、苯等有機溶劑蒸汽的濃度檢測探測范圍：0-100%LEL特征氣體：1%甲烷靈敏度：30mV/1%甲烷響應時間：10s恢復時間：30s工作電壓：4.2V0.1V工作電流：120mA功率：450mW工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路電化學式（M

53、E式） 電化學氣體敏感元件 電化學氣體敏感元件ME4-CO 電化學氣體敏感元件ME4-H2S 電化學氣體敏感元件ME3-CO 電化學氣體敏感元件ME3-H2S 電化學氣體敏感元件ME3-O2 電化學氣體敏感元件ME2-O2 電化學氣體敏感元件ME4-COApplication/應用 用于工業(yè)、家庭環(huán)境的CO、H2S、SO2、Nox、NH3等毒性氣體及O2、H2的探測。 Feature/特色高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體:一氧化碳CO探測范圍:0-1000ppm靈敏度:0.10.02A/ppm分辨率:0.5ppm取樣負載電阻:10響應時間:

54、30s（90% Response）恢復時間:90s（90% Response）工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路電化學氣體敏感元件ME4-H2SApplication/應用 用于工業(yè)、家庭環(huán)境的CO、H2S、SO2、Nox、NH3等毒性氣體及O2、H2的探測。Feature/特色高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性Specification/規(guī)格適用氣體:硫化氫H2S探測范圍:0-200ppm靈敏度:0.350.05A/ppm分辨率:0.25ppm取樣負載電阻:10響應時間:30s（90% Respon

55、se）恢復時間:90s（90% Response）工作條件 環(huán)境溫度:-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度:-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路電化學氣體敏感元件ME3-COApplication/應用 用于工業(yè)、家庭環(huán)境的CO、H2S、SO2、Nox、NH3等毒性氣體及O2、H2的探測。 Feature/特色高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：一氧化碳CO探測范圍：0-500ppm靈敏度：0.050.01A/ppm分辨率：1ppm取樣負載電阻：10響應時間：30s（90% Response）恢復時間：90s（90%

56、Response）工作條件 環(huán)境溫度：-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度：-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路電化學氣體敏感元件ME3-H2SApplication/應用 用于工業(yè)、家庭環(huán)境的CO、H2S、SO2、Nox、NH3等毒性氣體及O2、H2的探測。 Feature/特色高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：硫化氫H2S探測范圍：0-100ppm靈敏度：0.50.1A/ppm分辨率：0.1ppm取樣負載電阻：10響應時間：30s（90% Response）恢復時間：90s（90% Response）工作條件 環(huán)

57、境溫度：-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度：-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路電化學氣體敏感元件ME3-O2Application/應用 用于工業(yè)、家庭環(huán)境的CO、H2S、SO2、Nox、NH3等毒性氣體及O2、H2的探測。 Feature/特色高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：氧氣O2探測范圍：0-25%V/V空氣中輸出：0.250.05nA/ppm取樣負載電阻：100響應時間：30s（90% Response）恢復時間：90s（90% Response）工作條件 環(huán)境溫度：-10to65濕度:95%RH&nb

58、貯存條件 溫度：-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路電化學氣體敏感元件ME2-O2Application/應用 用于工業(yè)、家庭環(huán)境的CO、H2S、SO2、NOx、NH3等毒性氣體及O2、H2的探測。 Feature/特色高靈敏度 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性 / 優(yōu)異的選擇性 Specification/規(guī)格適用氣體：氧氣O2探測范圍：0-25%V/V空氣中輸出：0.10.02nA/ppm取樣負載電阻：100響應時間：30s（90% Response）恢復時間：90s（90% Response）工作條件 環(huán)境溫度：-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度：-20-70濕度:70%RH

59、說明書 應用電路熱線型半導體式（MR系列）熱線型酒精氣體敏感元件熱線型酒精氣體敏感元件MR513 熱線型可燃氣體敏感元件 熱線型可燃氣體敏感元件MR511 熱線型酒精氣體敏感元件MR513Application/應用 用于機動車駕駛?cè)藛T及其他風險作業(yè)人員的酗酒檢測和其他場所乙醇蒸氣的探測。 Feature/特色快速響應恢復 / 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 功耗低、微型化設計 / 溫濕度影響小 Specification/規(guī)格產(chǎn)品規(guī)格：3V0.2V/120mA適用氣體：酒精（乙醇）探測范圍：0 to 1000ppm特征氣體：100ppm酒精靈敏度：60mV in 100ppm酒精響應時間：20s恢

60、復時間：40s工作電壓：3V0.2V工作電流：120mA功率：360mW工作條件 環(huán)境溫度：-10to65濕度:95%RH&nb貯存條件 溫度：-20-70濕度:70%RH 說明書 應用電路熱線型可燃氣體敏感元件MR511Application/應用 適于民用、工業(yè)現(xiàn)場的可燃氣體檢漏、檢測報警裝置。 Feature/特色高靈敏度,大信號輸出/快速響應恢復/ 優(yōu)異的穩(wěn)定性/長壽命 / 功耗低、微型設計溫濕度影響小 Specification/規(guī)格產(chǎn)品規(guī)格：3V0.2V/120mA適用氣體：甲烷、丁烷探測范圍：0 to 1000ppm特征氣體：1000ppm甲烷靈敏度：60mV in 5000pp