TFTLCD液晶玻璃基板后加工工藝培訓原理課件

1、后加工培訓 第1頁，共55頁。TFT-LCD玻璃基板生產(chǎn)線的基本流程：Pt通道馬弗爐退火爐熔爐第2頁，共55頁。后加工流程 第3頁，共55頁。后加工流程第4頁，共55頁。研磨區(qū)設備概述 概要 后加工設備的主要作用是將退火爐末端區(qū)輸送來的半成品經(jīng)過投入裝載、劃線、掰斷、研磨、檢查等工序，生產(chǎn)出符合下一道工序生產(chǎn)要求的產(chǎn)品。主要包括A型架、A型架回轉臺（BAS)、取紙機（PUS)、上片機(GLL)、上片傳送帶(LCV)、劃線機、掰斷機、緩存?zhèn)魉蛶В˙UF)、換向傳送帶(DVC)、抽檢機(INS)、 尺寸檢驗裝置(MSR)、研磨機等設備。第5頁，共55頁。A型架功能：主要用于G5TFT-LCD玻璃基

2、板（尺寸：1160*1360 *0.7）的密集包裝，可循環(huán)使用。整體可分為A型架、承載蓋、配套材料 第6頁，共55頁。A型架回轉臺（BAS)項 目內 容設備規(guī)格外形尺寸：20002000770重量：3T適應產(chǎn)品TFT-LCD 玻璃基板 G5動能指標動力主電源壓縮空氣AC380V5%, 3相, 50Hz1.5%5.00.5Kgf/驅動方式電機、氣缸共同驅動 設備簡述：用來放置A型架，通過氣缸調整A型架的位置，對其精確定位。第7頁，共55頁。A型架回轉臺照片懸浮定位裝置定位氣缸定位氣缸第8頁，共55頁。GLS（玻璃裝載系統(tǒng)）簡介GLS安裝部位及作用： 該設備安裝在研磨區(qū)段前側，用于吸取A型架中的玻

3、璃基板和間隔紙，并分別將玻璃基板放置到上片傳送帶的齒形帶上面之上，將間隔紙放置到放紙臺的機器設備。GLS設備構成： 該設備由機器人底座、玻璃裝載機械手、機器人取紙系統(tǒng)、放紙臺、氣動及電氣控制部分組成。 機器人底座用于安裝固定機器人，有玻璃裝載和取紙兩個。 玻璃裝載機械手由機械手臂架、除靜電器、氣缸、吸盤等組成。 取紙系統(tǒng)由機器人連接板、吸管、傳感器連接件等組成。 放紙臺由氣缸、壓紙組件、放紙臺架等組成。 氣動部分基本是前邊PUS、GLL的組合。 第9頁，共55頁。設備安裝部位第10頁，共55頁。機器人底座第11頁，共55頁。玻璃裝載機械手第12頁，共55頁。玻璃裝載機械手照片離子風棒第13頁，

4、共55頁。取紙系統(tǒng)(PUS)第14頁，共55頁。取紙系統(tǒng)(PUS)照片第15頁，共55頁。放紙臺第16頁，共55頁。上片傳送帶（LCV）簡介 LCV設備構成： 該設備由機架部分、傳動部分、舉升部分、電氣控制部分等組成。 機架是一個安裝有傳動部件、舉升部件和門板、滾輪、支腳等零部件的鋁型材框架。 傳動由電機通過斜齒輪帶動傳動軸旋轉，再通過傳動軸上的斜齒輪帶動各滾輪軸旋轉，使玻璃基板在滾子上達到輸送的目的。 舉升部分由氣缸、升降座、升降板、升降桿等零部件組成。 氣動部分控制舉升氣缸按要求進行升降，完成玻璃的接取。 第17頁，共55頁。LCV照片第18頁，共55頁。LCV結構第19頁，共55頁。LC

5、V傳動第20頁，共55頁。LCV舉升第21頁，共55頁。劃線機（Scribing）設備概述 本機接上游傳來玻璃，經(jīng)第一個傳感器運行一定距離到劃線位置，皮帶下方的風機吹氣使玻璃半懸浮態(tài)，左側汽缸上升，擺缸旋轉九十度，下降，使定位塊壓到皮帶上。左側定位機構上升，限位汽缸上升，定位一次前進，氣缸下降，此時限位氣缸起支撐作用使定位塊在皮帶上，但又沒有壓到皮帶，之后二次前進，推動半懸浮狀態(tài)的玻璃到左側定位輪，然后左右定位機構后退回位，同時皮帶下的吹氣改為真空吸附，一號刀架前進，玻璃沿傳送帶方向前進，一號刀架上的傳感器檢測到玻璃后，玻璃再前進一定距離，傳送帶停止，一號刀架前進，刀頭下降，刀架后退劃線完成，

6、刀頭提升，刀架回退至原位，二號刀架前進，刀頭下降，刀架前進劃線完成，刀頭提升，刀架回退至原位，完成劃線工作，玻璃傳到掰斷傳送帶 第22頁，共55頁。劃線機性能指標數(shù)值外形尺寸2800*2600*1500(H)重量4T投入基板尺寸1160*1360mm切割后基板尺寸1100*1300mm基板厚度0.5 1.1mm玻璃水平傳送速度40m/min切割速度40m/min生產(chǎn)節(jié)拍30sec滲透深度100150m切割精度50m刀輪尺寸2.5*0.8*0.65刀輪角度120125簡述：本裝置對玻璃準確定位，精密劃線。第23頁，共55頁。劃線機壓力調整旋鈕進行換型時使用進行尺寸調整第24頁，共55頁。定位系統(tǒng)

7、定位論定位塊伸擺氣缸第25頁，共55頁。劃線原理刀輪水平裂紋垂直裂紋金剛刀輪切割玻璃表面，在玻璃內部制造裂紋，然后沿著裂紋給與折力和壓力使其斷開。由刀輪產(chǎn)生的裂紋，除了垂直裂紋以外還包括八字型斜向裂紋。為了得到整齊的斷面，我們應該盡量減小斜向裂紋，制造好的垂直裂紋。第26頁，共55頁。刀架第27頁，共55頁。劃線控制點在劃線時必須注意玻璃破碎（BKG)，以及劃線時產(chǎn)生的碎屑（玻璃碎片）。影響加工精度的因素： 劃線工序主要參數(shù)：1、設備精度； 1、劃線輪直徑 2、劃線輪質量； 2、刀輪刃角度3、劃線壓力和刀輪切入量； 3、劃線速度 4、劃線速度。 4、劃線壓力 A、 一定要使用合適的硬質刀輪。

8、B、刀輪的刃面呈鈍角可以減少水平裂紋。但是劃線的時候需要一定的壓力來產(chǎn)生垂直裂紋，這樣增加了薄板玻璃破碎的可能。 C、除了刀輪以外，還必須保證設備的硬度和精度。 壓力取決于刀輪的刃角。 D、在加工條件方面，如果速度過慢，垂直裂紋很難進入玻璃，劃線效果不佳，所以需要一定的速度。 E、為保證裂紋深度，刀輪切入量0.15mm0.25mm之間。第28頁，共55頁。掰斷機（Breaking ）設備概述 本機接劃線工序傳來的玻璃，玻璃前進經(jīng)傳感器減速定位，使玻璃上的劃線停在攝像頭下，然后再經(jīng)傳送帶傳輸一定距離 ，使玻璃上的劃線到上下掰斷刀中間，下掰刀上升，上掰刀下降吸附玻璃，然后向外旋轉將玻璃掰斷，掰斷后

9、斷真空，掰下的玻璃條掉入掰刀下邊的碎玻璃槽中，完成對玻璃兩邊的掰斷；然后本傳送帶繼續(xù)前進，直到攝像頭檢測到玻璃前部的劃線，掰掉前邊 ，完成玻璃前邊的掰斷。玻璃前進一定距離，經(jīng)攝像頭定位到后邊掰斷位置，完成后邊邊掰斷，上下掰刀回位，掰下的玻璃條掉入掰刀下邊的碎玻璃槽中，然后傳送帶繼續(xù)前進，傳到下一道工序。第29頁，共55頁。掰斷機照片下掰斷桿上掰斷桿除塵裝置第30頁，共55頁。掰斷機照片碎玻璃收集箱粉塵收集裝置第31頁，共55頁。掰斷機操作盤第32頁，共55頁。掰斷控制點控制要點：1 、防止玻璃破損。2 、及時徹底的清掃玻璃掰斷時產(chǎn)生玻璃碎屑。3 、避免掉片的發(fā)生。4、檢查掰斷支撐動作是否異常第

10、33頁，共55頁。層緩存?zhèn)魉蛶?BUF)設備概述功能：對玻璃進行緩存（可存10片），已達到小故障不停機的目的設備構成：由機架部件、傳送部件、舉升部件組成特點：機架部件采用鋁合金型材，傳動部件采用滾輪式的傳動方式，電機帶動傳動軸，傳動軸帶動各個滾輪對玻璃進行傳送。舉升部件有伺服電機和滾珠絲杠組成支撐玻璃的立柱采用PEEK材質，傳動裝置的滾輪采用UPE材質。利用光電傳感器對玻璃位置進行檢測傳動滾輪潤滑方式為水潤滑第34頁，共55頁。層緩存?zhèn)魉蛶?BUF)層緩存?zhèn)魉蛶д掌?5頁，共55頁。換向傳送帶(DVC)簡介換向傳送帶(DVC)的安裝部位及作用：該設備位于掰斷區(qū)后，研磨區(qū)前，當需要檢測玻璃的劃

11、線掰斷質量時，可以將玻璃分流到抽檢傳送帶上該設備主要由機架部件、傳送部件、升降部件等組成護罩由透明PVC板制造第36頁，共55頁。換向傳送帶照片第37頁，共55頁。換向傳送帶（DVC)設備特點1. 設備機架部分采用鋁合金型材連接而成2. 傳送部分是由電機通過皮帶和聯(lián)軸器帶動四條特制的同步齒形帶對玻璃進行傳送3. 輔助結構：一、防止齒形帶皮帶下垂的托架 二、清除粘連在皮帶表面雜質的毛刷結構4. 升降部件位于傳送部件的下部，通過氣缸帶動平板上的立柱將玻璃頂起；為保護玻璃表面，頂桿頂部裝有白色尼龍頂頭第38頁，共55頁。抽檢傳送帶（INS)簡介用途：該設備可以將換向傳送帶向上舉升的玻璃用無桿氣缸送到

12、抽檢傳送帶上設備構成:主要由骨架組件、傳送組件、抽取組件、限位組件及其他附屬組件構成傳送組件由直流電機和同步帶組成抽取部分由無桿氣缸及LM導軌組成第39頁，共55頁。抽檢傳送帶（INS)性能指標數(shù)值外形尺寸1200*2100*2000(H)傳送速度40m/min傳送部分： 直流電動機+同步帶電機：0.2KW提升部分： 氣缸+導桿汽缸缸徑：80mm抽取部分： 無桿氣缸+LM導軌汽缸缸徑：40mm潔凈空氣壓力5.00.5Kgf/電源AC200V-230V簡述：本機對掰斷機傳送來的玻璃進行抽檢輸出；第40頁，共55頁。抽檢傳送帶（INS)照片第41頁，共55頁。尺寸檢測裝置簡述：本裝置是對抽檢的玻璃

13、進行直角度的測量性能指標數(shù)值外形尺寸1200*700*1400(H)檢測臺傾斜角度10橫式數(shù)顯標尺分辨力：0.01mm精度：0.03mm豎式數(shù)顯標尺分辨力：0.01mm精度：0.02mm百分表分度值：0.01mm精度：16m第42頁，共55頁。研磨機（ Grinding）設備概述 該設備是為了防止玻璃邊破碎而作的基板磨邊設備 。該設備是玻璃從前一工序的機器運送到輸入傳送帶后，先進行氣缸氣浮定位，然后在進行攝像頭精確定位，完成對短邊研磨。短邊研磨完成后，進行90換向，完成對長邊研磨，然后再對四個角進行加工，完成后到達輸出傳送帶，輸送到下一工序。第43頁，共55頁。研磨機性能指標數(shù)值外形尺寸109

14、40*2400*3400(H)重量16ton研磨機速度300mm/sec研磨機節(jié)拍30sec研磨玻璃規(guī)格1100*1300*0.7mm電力AC380V/50Hz34kW潔凈空氣6Kgf/1570L/min真空壓力(-70KPa)250L/min純水(3Kgf/)100L/min簡述：該設備是對玻璃短邊、長邊、四角進行研磨加工的設備。第44頁，共55頁。輸入傳送帶玻璃基板到達此位置后，氣管開始吹氣，使玻璃浮起，然后左右及前邊氣缸對其進行定位；定位完成后，玻璃基板落在傳送帶滾輪上。1#研磨機工作臺到達本位置，上升吸附玻璃基板。第45頁，共55頁。攝像頭定位玻璃基板吸附在工作臺后，攝像頭對玻璃進行精

15、確定位。研磨機工作臺有自動旋轉功能，如定位有偏差，會自動更正。氣管LED光源攝像頭氣管第46頁，共55頁。 研磨工作臺（ Grinding Stage）第47頁，共55頁。研磨機拋光輪裝置研磨輪裝置第48頁，共55頁。研磨機角研磨輪 拋光輪壓力調整第49頁，共55頁。研磨品質控制 以下研磨條件決定研磨品質。研磨輪的旋轉速度（圓周速度）研磨對象的“研磨量（mm）”研磨對象的“移動速度（m/min）”研磨時“冷卻水的流量”第50頁，共55頁。研磨品質如果研磨溫度過高，會導致研磨輪的切割效果下降，玻璃發(fā)生燒邊現(xiàn)象。高速研磨熱量增加對金剛石顆粒造成熱損傷磨損金剛石，鋒利度下降（突起的部分變平）研磨壓力增加玻璃燒邊，產(chǎn)生裂紋研磨熱量上升第51頁，共55頁。研磨品質玻璃移動速度過快，在研磨時給予研磨輪過強的機械性負荷，引起金剛石顆粒脫落和研磨輪壽命縮短。過快的移動速度研磨時沖擊力較大機械性損傷金剛石顆粒脫落（金剛石粉碎，破碎導致脫落）研磨輪壽命縮短第52頁，共55頁。研磨品質如果研磨量過多，會導致研磨輪壽命降低。金剛石研磨過深，研磨過程中被帶走，會顯著縮短研磨輪的壽命。高研磨量研磨時造成沖擊給予機械性損傷金剛石顆粒脫落（粉碎后脫落）研磨輪壽命縮短第53頁，共55頁。研磨品質研磨玻璃的時候有以下幾個問題。法蘭的晃動 撞擊玻璃玻璃破碎。