位移傳感器的應(yīng)用

1、利用傳感器進(jìn)行位移的測量【摘要】：位移傳感器是新技術(shù)革命和信息社會(huì)的重要技術(shù)基礎(chǔ)，傳感器技術(shù) 是實(shí)現(xiàn)測試與自動(dòng)控制的重要環(huán)節(jié)。主要介紹磁致伸縮位移傳感；激光位移傳 感器；電阻應(yīng)變片式位移傳感器的測量位移的應(yīng)用。磁致伸縮位移（液位）傳 感器，是利用磁致伸縮原理，通過兩個(gè)不同磁場相交產(chǎn)生一個(gè)應(yīng)變脈沖信號(hào)來 準(zhǔn)確地測量位置的；激光發(fā)射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體，當(dāng)物 體沿激光線方向發(fā)生移動(dòng)時(shí)，測量結(jié)果就將發(fā)生改變，從而實(shí)現(xiàn)用激光測量物 體的位移；電阻應(yīng)變式位移傳感器測量位移，當(dāng)被測對(duì)象作用產(chǎn)生位移X時(shí)， 應(yīng)變片的阻值隨之產(chǎn)生變化。然后通過測量電路將應(yīng)變片電阻值變化轉(zhuǎn)化成電 壓或電流等易測量

2、輸出，根據(jù)測得的電壓或電流值就可以得出應(yīng)變片電阻值的 變化量，再根據(jù)應(yīng)變片阻值的變化量與懸梁產(chǎn)生的位移之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，即可 得出懸臂梁位移X的大小?！娟P(guān)鍵詞】：傳感器；位移傳感器；磁致伸縮位移傳感；激光位移傳感器；電 阻應(yīng)變片式位移傳感器Using sensors for displacement measurement【abstract 】 displacement sensor is a new technology revolution and the information societys important technology base, sensor technology is

3、 to achieve test and automatic control important segment. Mainly introduces magnetostrictive displacement sensing; Laser displacement sensor; Resistance strain chip displacement sensor measuring displacements of applications. Magnetostrictive displacement (level) sensor, which USES a magnetostrictiv

4、e principle, through two different magnetic field fellowship produce a strain pulse signal to accurately measure the position; Laser emitter red laser will be visible through a lens into object to be tested, when objects move along the direction of laser line, the measured results occur when it will

5、 change, so as to realize the displacement with laser measuring objects; Resistance strain type displacement sensor measurement of displacement, when tested object effects from the strain gauge shift, generates resistance of change. Then through the measurement circuit will strain film electrical re

6、sistance changes into voltage or current, according to wait for easy measurement output voltage or current measurement of the strain gauge shows the amount of variation resistance strain gauge, again according to the variation of without resistance with the displacement produced the corresponding re

7、lationship between displacement, can draw the size of the cantilever beam.【key words 】 sensors; Displace ment sensor; Magnetostrictive displacement sensing; Laser displacement sensor; Resistance strain chip displacement sensor利用傳感器進(jìn)行位移的測量1.傳感器的概述1.1傳感器的定義國家標(biāo)準(zhǔn)GB7665-87對(duì)傳感器下的定義是：“能感受規(guī)定的被測量并按照 一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成

8、可用信號(hào)的器件或裝置，通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成”。 傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將檢測感受到的信息， 按一定規(guī)律變換成為電信號(hào)或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、 處理、存儲(chǔ)、顯示、記錄和控制等要求。它是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測和自動(dòng)控制的首要 環(huán)節(jié)。最廣義地來說，傳感器是一種能把物理量、化學(xué)量或生物量等信息轉(zhuǎn)變成 便于利用的電信號(hào)的器件1.2傳感器的作用新技術(shù)革命的到來，世界開始進(jìn)入信息時(shí)代。在利用信息的過程中，首先 要解決的就是要獲取準(zhǔn)確可靠的信息，而傳感器是獲取自然和生產(chǎn)領(lǐng)域中信息 的主要途徑與手段。在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)尤其是自動(dòng)化生產(chǎn)過程中，要用各種傳感器來監(jiān)視和控制 生

9、產(chǎn)過程中的各個(gè)參數(shù)，使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或最佳狀態(tài)，并使產(chǎn)品達(dá)到最 好的質(zhì)量。因此可以說，沒有眾多的優(yōu)良的傳感器，現(xiàn)代化生產(chǎn)也就失去了基 礎(chǔ)。在基礎(chǔ)學(xué)科研究中，傳感器更具有突出的地位?，F(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，進(jìn) 入了許多新領(lǐng)域：例如在宏觀上要觀察上千光年的茫茫宇宙，微觀上要觀察小 到cm的粒子世界，縱向上要觀察長達(dá)數(shù)十萬年的天體演化，短到s的瞬間反 應(yīng)。此外，還出現(xiàn)了對(duì)深化物質(zhì)認(rèn)識(shí)、開拓新能源、新材料等具有重要作用的 各種極端技術(shù)研究，如超高溫、超低溫、超高壓、超高真空、超強(qiáng)磁場、超弱 磁碭等等。顯然，要獲取大量人類感官無法直接獲取的信息，沒有相適應(yīng)的傳 感器是不可能的。許多基礎(chǔ)科學(xué)研究的障礙，首

10、先就在于對(duì)象信息的獲取存在 困難，而一些新機(jī)理和高靈敏度的檢測傳感器的出現(xiàn)，往往會(huì)導(dǎo)致該領(lǐng)域內(nèi)的 突破。一些傳感器的發(fā)展，往往是一些邊緣學(xué)科開發(fā)的先驅(qū)。1.3傳感器的功能及特性傳感器的特性分為靜態(tài)特性和動(dòng)態(tài)特性1、傳感器的靜態(tài)特性傳感器的靜態(tài)特性是指對(duì)靜態(tài)的輸入信號(hào)，傳感器的輸出量與輸入量之間 所具有相互關(guān)系。因?yàn)檫@時(shí)輸入量和輸出量都和時(shí)間無關(guān)，所以它們之間的關(guān) 系，即傳感器的靜態(tài)特性可用一個(gè)不含時(shí)間變量的代數(shù)方程，或以輸入量作橫 坐標(biāo)，把與其對(duì)應(yīng)的輸出量作縱坐標(biāo)而畫出的特性曲線來描述。表征傳感器靜 態(tài)特性的主要參數(shù)有：線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性、漂移等。2、傳感器的動(dòng)態(tài)特性所謂動(dòng)態(tài)特性，是

11、指傳感器在輸入變化時(shí)，它的輸出的特性。在實(shí)際工作 中，傳感器的動(dòng)態(tài)特性常用它對(duì)某些標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)來表示。這是因?yàn)閭?感器對(duì)標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)容易用實(shí)驗(yàn)方法求得，并且它對(duì)標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響 應(yīng)與它對(duì)任意輸入信號(hào)的響應(yīng)之間存在一定的關(guān)系，往往知道了前者就能推定 后者。最常用的標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)有階躍信號(hào)和正弦信號(hào)兩種，所以傳感器的動(dòng)態(tài) 特性也常用階躍響應(yīng)和頻率響應(yīng)來表示。2 .利用傳感器進(jìn)行位移的測量傳感器的作用是把各種被測物理量轉(zhuǎn)換為電量，在這種轉(zhuǎn)換過程中有許多 物理量（例如壓力、流量、加速度等）常常需要先變換為位移，然后再將位移變 換成電量。因此位移傳感器是一類重要的基本傳感器。測量位移的傳感器有

12、很多，如電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光 電式位移傳感器，超聲波式位移傳感器，霍爾式位移傳感器，數(shù)字式位移傳感 器，磁致伸縮位移傳感器，激光位移傳感器等。我們?cè)谶@里主要介紹磁致伸縮 位移傳感器，激光位移傳感器等一些位移傳感器。1磁致伸縮位移傳感器1-波導(dǎo)2-磁鐵3-磁場相互作用引起波導(dǎo)扭曲4-磁鐵磁場參照系5-由發(fā)射脈沖沿整個(gè)波導(dǎo)產(chǎn)生的磁場6-電子機(jī)殼7-傳感器元件頭部8-傳感器元件保護(hù)套圖1磁致伸縮位移傳感器工作原理圖磁致伸縮位移傳感器通過非接觸式的測控技術(shù)精確地檢測活動(dòng)磁環(huán) 的絕對(duì)位置來測量被檢測產(chǎn)品的實(shí)際位移值的；該傳感器的高精度和高可靠性 已被廣泛應(yīng)用于成千上萬的實(shí)際案例中。2.

13、 1. 1磁致伸縮位移(液位)傳感器工作原理磁致伸縮位移(液位)傳感器，是利用磁致伸縮原理、通過兩個(gè)不同磁場 相交產(chǎn)生一個(gè)應(yīng)變脈沖信號(hào)來準(zhǔn)確地測量位置的。測量元件是一根波導(dǎo)管，波 導(dǎo)管內(nèi)的敏感元件由特殊的磁致伸縮材料制成的。測量過程是由傳感器的電子 室內(nèi)產(chǎn)生電流脈沖，該電流脈沖在波導(dǎo)管內(nèi)傳輸，從而在波導(dǎo)管外產(chǎn)生一個(gè)圓 周磁場，當(dāng)該磁場和套在波導(dǎo)管上作為位置變化的活動(dòng)磁環(huán)產(chǎn)生的磁場相交 時(shí)，由于磁致伸縮的作用，波導(dǎo)管內(nèi)會(huì)產(chǎn)生一個(gè)應(yīng)變機(jī)械波脈沖信號(hào)，這個(gè)應(yīng) 變機(jī)械波脈沖信號(hào)以固定的聲音速度傳輸，并很快被電子室所檢測到。由于這個(gè)應(yīng)變機(jī)械波脈沖信號(hào)在波導(dǎo)管內(nèi)的傳輸時(shí)間和活動(dòng)磁環(huán)與電子 室之間的距離成正

14、比，通過測量時(shí)間，就可以高度精確地確定這個(gè)距離。由于 輸出信號(hào)是一個(gè)真正的絕對(duì)值，而不是比例的或放大處理的信號(hào)，所以不存在信 號(hào)漂移或變值的情況,更無需定期重標(biāo)。2. 1. 2 磁致伸縮位移(液位)傳感器應(yīng)用位置計(jì)算位置的計(jì)算是非常簡單，將所測量的時(shí)差乘以一個(gè)傳感器傳送速度的系數(shù)。 或者用除以一個(gè)傳送速度倒置常數(shù)。傳送速度的倒置常數(shù)或稱傾斜度，慣例傾斜 度印在傳感器的標(biāo)簽上。例如:時(shí)差130. 500p s,傳感器的傾斜度354. 330 xlSps/ mm時(shí)差小s)位置(mm)=時(shí)差( s)/傾斜度( s/ mm)-零點(diǎn)的位置(mm)=130.500/354.330 x103- 114.30

15、0注:114.300mm為零區(qū)和死區(qū)之和。由于磁鐵距離傳感器的電子零件越遠(yuǎn)，音波所需行走時(shí)間越長，所以傳感 器的更新時(shí)間與距離成正比。當(dāng)然，循環(huán)電子所需之更新時(shí)間也較長。傳感器 最長更新時(shí)間可用下式作精略計(jì)算。更新時(shí)間=(位置+零點(diǎn)位置)X傾斜度，等價(jià)頻率響應(yīng)=1/更新時(shí)間舉例:一根508mm長的傳感器,其更新時(shí)間及等價(jià)頻率響應(yīng)分別為：更新時(shí)間=(508 + 114.300) X354. 330 X 10-3 =220.5 x10-6 卜頻率響應(yīng)=1/220.5 X 10-6 =4535Hz傳感器的更新頻率對(duì)電液伺服控制機(jī)構(gòu)的應(yīng)用非常重要。對(duì)一般伺服控制 而言500Hz以上便已足夠。磁致伸縮位

16、移傳感器是根據(jù)磁致伸縮原理制造的高精度、長行程絕對(duì)位置 測量的位移傳感器。它采用非接觸的測量方式，由于測量用的活動(dòng)磁環(huán)和傳感 器自身并無直接接觸，不至于被摩擦、磨損，因而其使用壽命長、環(huán)境適應(yīng)能 力強(qiáng)，可靠性高，安全性好，便于系統(tǒng)自動(dòng)化工作，即使在惡劣的工業(yè)環(huán)境下 （如容易受油潰、塵?；蚱渌奈廴緢龊希材苷９ぷ?。此外，它還能承受 高溫、高壓和強(qiáng)振動(dòng)，現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于機(jī)械位移的測量、控制中。它的行程 可達(dá)3米或更長，標(biāo)稱精度為0.05% F-S，行程1米以上傳感器精度可達(dá)0.02% FS,重復(fù)性可達(dá)0.002% F-S，因此它在石油化工，航空航天、電力、水利等行 業(yè)得到廣泛的應(yīng)用。2.2激

17、光位移傳感器激光位移傳感器可精確非接觸測量被測物體的位置、位移等變化，主要應(yīng) 用于檢測物的位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等幾何量的測量。按照測量原理，激光位移傳感器原理分為激光三角測量法和激光回波分析 法，激光三角測量法一般適用于高精度、短距離的測量，而激光回波分析法則用 于遠(yuǎn)距離測量，下面分別介紹激光位移傳感器原理的兩種測量方式。2.2.1激光位移傳感器原理1.激光三角測量法原理計(jì)算機(jī)信號(hào)處理器被額物陣遠(yuǎn)端位萱光通過接收器鏡頭，被內(nèi)部的CCD （Charge-coupled Device電荷耦合元件） 線性相機(jī)接收，根據(jù)不同的距離，CCD線性相機(jī)可以在不同的角度下“看見” 這個(gè)光點(diǎn)。根據(jù)這個(gè)角

18、度及已知的激光和相機(jī)之間的距離，數(shù)字信號(hào)處理器就 能計(jì)算出傳感器和被測物體之間的距離。當(dāng)物體沿激光線方向發(fā)生移動(dòng)時(shí)，測 量結(jié)果就將發(fā)生改變，從而實(shí)現(xiàn)用激光測量物體的位移。同時(shí)，光束在接收元件的位置通過模擬和數(shù)字電路處理，并通過微處理 器分析，計(jì)算出相應(yīng)的輸出值，并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi)，按比例輸出標(biāo) 準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號(hào)。如果使用開關(guān)量輸出，則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通，窗口之外截止。 另外，模擬量與開關(guān)量輸出可獨(dú)立設(shè)置檢測窗口。2.激光回波分析法激光位移傳感器采用回波分析原理來測量距離以達(dá)到一定程度的精度。傳感器內(nèi)部是由處理器單元、回波處理單元、激光發(fā)射器、激光接收器等部分 組成。激光位移傳感器通過激光發(fā)射

19、器每秒發(fā)射一百萬個(gè)激光脈沖到檢測物并 返回至接收器，處理器計(jì)算激光脈沖遇到檢測物并返回至接收器所需的時(shí)間， 以此計(jì)算出距離值，該輸出值是將上千次的測量結(jié)果進(jìn)行的平均輸出。2.2.2激光位移傳感器測量位移應(yīng)用激光位移傳感器可精確非接觸測量被測物體的位置、位移等變化，主要應(yīng) 用于檢測物的位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等幾何量的測量。激光位移傳感器利用三角原理測量位移應(yīng)用圖3為三角測量原理圖。激光器發(fā)出的光與被測面的法線方向成一定角度入射到被測面上，同樣用接收透鏡 接收光點(diǎn)在被測面的散射光或反射 光。此時(shí)應(yīng)滿足的Scheimpflug條 件為tg（ 01 +。2）= 0tg。3式中，為橫向放大率。此時(shí)

20、一定景深范圍內(nèi)的被測點(diǎn)都能正焦成像在探測器上，從而保證了精度。圖3為三角測量原理圖若光點(diǎn)的像在探測器敏感面上移動(dòng)x，利用相似三角形的比例關(guān)系，則 物體表面沿法線方向的移動(dòng)距離為:ax sin0 cos0 x = 34 bsin(0 +0 ) xsin(0 +0 +0 )式中，a為激光束光軸和接收光軸的交點(diǎn)到接收透鏡前主面的距離；b為 接收透鏡后主面到成像面中心點(diǎn)的距離；01為激光束光軸與被測面法線之間的 夾角；02為成像透鏡光軸與被測面法線之間的夾角；氣為探測器光軸與成像 透鏡光軸之間的夾角。當(dāng)1為0。時(shí)，此時(shí)為直射式。光點(diǎn)移動(dòng)*時(shí)，被測面沿法線方向移動(dòng)的距 離為：ax sin 0 x =-7

21、7bsin0 xsin(0 +0 )當(dāng)02為0。時(shí)，此時(shí)為斜入射直接收式。光點(diǎn)移動(dòng)*時(shí)，被測面沿法線方 向移動(dòng)的距離為：_ax sin0 cos0bsin0 xsin(0 +0 )式中各個(gè)參數(shù)的含義與圖2所示相同，它屬于斜入射式傳感器的一個(gè)特例。三角位移傳感器屬于非接觸測量，因此對(duì)被測材料無特殊要求，既可測金 屬材料，也可測非金屬及柔軟材料，并且還可測量易污染、易磨損的材料。 在惡劣環(huán)境下也可進(jìn)行測量。大量研究表明，光學(xué)三角法更適于加工表面粗糙 度的非接觸測量。隨著工業(yè)生產(chǎn)的發(fā)展，激光位移傳感器將向著高速度、高 精度、多功能、多參數(shù)、小尺寸的方向發(fā)展。它將在機(jī)器視覺、自動(dòng)加工、工 業(yè)在線檢測、

22、產(chǎn)品質(zhì)量控制、實(shí)物仿形、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域具有重要的意義和廣 闊的應(yīng)用前景。2.3電阻應(yīng)變式位移傳感器2.3.1電阻應(yīng)變式位移傳感器原理電阻應(yīng)變測量范圍較小，由于應(yīng)變量8通常在5000u以下，電阻應(yīng)變片把 機(jī)械應(yīng)變信號(hào)轉(zhuǎn)換為dR/R后，所引起的電阻變化dR/R 一般都很微小，即難以 精確測量，又不便直接處理，因此，必須采用電橋測量電路，把應(yīng)變片電阻的 變化轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化。根據(jù)輸出測得電壓U 0計(jì)算位移變化的應(yīng)用電阻應(yīng)變片位移傳感器一般采用電橋測量方法如圖4應(yīng)變片測量電橋在工作前應(yīng)使用電橋平衡，以使在工作時(shí)電橋輸出電壓只與應(yīng) 變片感受應(yīng)變所引起的電阻變化有關(guān)。設(shè)初始條件為R1 = R2 =

23、R3 = R4設(shè)只有一個(gè)應(yīng)變片接入電橋，并R1為接入的應(yīng)變片，測量時(shí)的變化為AR ,則輸出電壓為 TOC o 1-5 h z R，ARU圖4電橋測量電路2 R (2 R + AR)通常情況下，AR R，所以 HYPERLINK l bookmark97 o Current Document u . U .竺 04 R由電阻一應(yīng)變效應(yīng)，則上式可寫成 HYPERLINK l bookmark100 o Current Document U 牝 U - K& 04 x式中K為電阻應(yīng)變片的靈敏系數(shù)；8 = d 一金屬絲的軸向應(yīng)變位移X l2.3.2電阻應(yīng)變式位移傳感器應(yīng)用電阻應(yīng)變式位移傳感器測量懸臂梁

24、的位移結(jié)構(gòu)如圖5所示，圖中敏感元件即 為應(yīng)變片粘貼在彈性元件也就是懸臂梁上，當(dāng)懸臂梁自由端受被測對(duì)象作用產(chǎn)圖5電阻應(yīng)變片式位移傳感器測量懸臂梁的位移原理1應(yīng)變片2一懸臂梁生位移x時(shí)，應(yīng)變片的阻值隨之產(chǎn)生變 化。然后通過測量電路將應(yīng)變片電阻值 變化轉(zhuǎn)化成電壓或電流等易測量輸出， 根據(jù)測得的電壓或電流值就可以得出 應(yīng)變片電阻值的變化量，再根據(jù)應(yīng)變片 阻值的變化量與懸梁產(chǎn)生的位移之間 的對(duì)應(yīng)關(guān)系，即可得出懸臂梁位移x的 大小。同理，當(dāng)懸臂梁自由端受到一定 的扭矩，產(chǎn)生變形即角位移，也可以通 過貼在懸臂梁上的應(yīng)變片阻值的變化， 而得出角位移的大小。電阻式應(yīng)變位移傳感器的位移測量范圍較小，一般在0.1u

25、m0.1mm之間，其測量精度小于2%,線性度在0.1%0.5%之間。電阻應(yīng)變式位移傳感器通常廣泛應(yīng)用于稱重和測力領(lǐng)域。3 .傳感器的未來發(fā)展趨勢隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，傳感器技術(shù)發(fā)展的趨勢將是開發(fā)新材料與傳感器智能化 發(fā)展相結(jié)合。新材料開發(fā)、應(yīng)用半導(dǎo)體材料在敏感技術(shù)中占有較大的技術(shù)優(yōu)勢，半導(dǎo)體傳感器不僅靈敏度高、 響應(yīng)速度快、體積小、質(zhì)量輕，且便于實(shí)際集成化，在今后的一個(gè)時(shí)期，扔占 有主要地位。以一定化學(xué)成分組成、經(jīng)過成型及燒結(jié)的功能陶瓷材料，其最大的特點(diǎn)是耐熱 性，在敏感技術(shù)的發(fā)展中具有很大的潛力。例如：按在汽車上的作用可分為控制發(fā)動(dòng)機(jī)、控制底盤以及給駕駛員提供各種 信息用傳感器，構(gòu)成這些傳感器

26、的材料有精細(xì)陶瓷、半導(dǎo)體材料、光導(dǎo)纖維及 高分子薄膜等新工藝、新技術(shù)的應(yīng)用將半導(dǎo)體的精密細(xì)微加工技術(shù)應(yīng)用在傳感器的制造中，可極大提高傳感器的性 能指標(biāo)，并為傳感器的集成化、超小型化提供了技術(shù)支撐。借助半導(dǎo)體的蒸鍍 技術(shù)、擴(kuò)散技術(shù)、光刻技術(shù)、靜電封接技術(shù)、全固態(tài)封接技術(shù)等，也可同樣取 得類似的功效。例如用傳統(tǒng)的硅半導(dǎo)體技術(shù)制作的微電子器件由于不能在很高 的溫度下工作，已不能勝任。為了解決在高溫環(huán)境下溫度測量問題，必須研制 一種新的材料來取代傳統(tǒng)的半導(dǎo)體材料如第三代寬能帶半導(dǎo)體材料Sic。利用新的效應(yīng)開發(fā)新型傳感器隨著人們認(rèn)識(shí)自然地深化，會(huì)不斷發(fā)現(xiàn)一些新的物理效應(yīng)、化學(xué)效應(yīng)、生物效 應(yīng)等。利用這些

27、新的效應(yīng)可開發(fā)出相應(yīng)的新型傳感器，從而為提高傳感器性能 和擴(kuò)展傳感器的應(yīng)用范圍提供了新的可能。如汽車運(yùn)用檢測氣體濃度的傳感 器。傳感器的集成化利用集成加工技術(shù)，將敏感元件、測量電路、放大電路、補(bǔ)償電路、運(yùn)算電路 等制作在同一芯片上，從而使傳感器具有了體積小、質(zhì)量輕、生產(chǎn)自動(dòng)化程度 高、執(zhí)照成本低、穩(wěn)定性和可靠性高、電路設(shè)計(jì)簡單、安裝調(diào)試時(shí)間短等優(yōu)點(diǎn)。如在醫(yī)療用品、衛(wèi)生用品、食品、保健品等產(chǎn)品進(jìn)行輻照消毒滅菌的方面的傳 感器。傳感器的多維化一般的傳感器只限于對(duì)某一點(diǎn)物理量的測量，而利用電子掃描方法，把多個(gè)傳 感器單元做在一起，就可以研究一維、二維以至三維空間的擦亮問題，甚至向 包含時(shí)間系的四維空間發(fā)展。X射線的CT就是多維傳感器的實(shí)例。如在交通公 路測速方面的應(yīng)用。傳感器的多功能化一般的一個(gè)傳感器只能測量一種參數(shù)，多功能化則意味著一個(gè)傳感器具有多種 參數(shù)的檢測功能，如壓力和溫度，或溫度和濕度等。如新型的SAW傳感器可同 時(shí)測量壓力與溫度。傳感器的智能化智能化傳感器將數(shù)據(jù)的采集、存儲(chǔ)、處理等一體化，顯然，它